JPH04207620A - 表面弾性波素子 - Google Patents

表面弾性波素子

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JPH04207620A
JPH04207620A JP33682390A JP33682390A JPH04207620A JP H04207620 A JPH04207620 A JP H04207620A JP 33682390 A JP33682390 A JP 33682390A JP 33682390 A JP33682390 A JP 33682390A JP H04207620 A JPH04207620 A JP H04207620A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface acoustic
acoustic wave
input
piezoelectric substrate
converter
Prior art date
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Pending
Application number
JP33682390A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidefumi Murakoshi
村越 英史
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NIPPON DENSO KOGYO KK
Original Assignee
NIPPON DENSO KOGYO KK
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Publication date
Application filed by NIPPON DENSO KOGYO KK filed Critical NIPPON DENSO KOGYO KK
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、表面弾性波素子の改良に関するものである。
(従来の技術) 従来、表面弾性波素子としては、たとえば圧電媒質(L
iNb03)の単結晶面上に、入力信号を表面弾性波に
変換する入力側のくし型電極と、その単結晶面上の表面
を伝搬する表面弾性波を電気信号に変換する出力側のく
し型電極とを、所定間隔おいて蒸着形成したものが知ら
れている。
(発明が解決しようとする課題) しかし、従来の表面弾性波素子では、入出力側の両くし
型電極から漏れ出てくる表面弾性波や、表面弾性波素子
の周囲から反射してくる反射波の影響により、出力側の
くし型電極から取り出される信号のSN比が悪いという
問題があった。
そこで、本発明は、上記の問題を解消し、SN比の向上
を図ることを目的とする。
(課題を解決するための手段) かかる目的を達成するために、本発明は、以下のように
構成した。
すなわち、本発明は、圧電基板上に、入力信号を表面弾
性波に変換する入力変換器と、前記圧電基板の表面を伝
搬する表面弾性波を電気信号に変換する出力変換器とを
所定間隔おいて形成し、これら両変換器および表面弾性
波の伝搬路の周囲の圧電基板上に、表面弾性波を吸収す
る表面弾性波吸収器を形成してなる。
(作用) このように構成する本発明では、入力変換器は入力信号
を表面弾性波に変換する。
この変換された表面弾性波は、その大部分が出力変換器
に向けて伝搬されるが、その一部は伝搬路から外れて反
射波としてノイズの原因になる。
しかし、伝搬路から外れた表面弾性波などは、両度換器
および表面弾性波の伝搬路の周囲に形成する表面弾性波
吸収器により吸収されるので、反射波などが生ぜずSN
比が向上する。
(実施例)   ゛ 以下、図面を参照して本発明実施例を詳細に説明する。
第1図は、本発明の第1実施例を示す平面図である。
第1実施例は、水晶やLiNbへなどで形成する圧電基
板1上の左右に、入力信号を表面弾性波に変換する入力
変換器2と、圧電基板1の表面を伝搬する表面弾性波を
電気信号に変換する出力変換器3とを所定間隔おいてそ
れぞれ形成する。
入力変換器2は、くし型電極2Aと、くし型電極2Bと
を、各くしが交互かつ平行に配列されるようにアルミニ
ウムの薄膜などで形成する。ここで、平行に配列する各
くし相互間の距離は、入力信号の波長をλとすれば、λ
/2である。出力変換器3は、くし型電極3Aと、くし
型電極3Bとを、入力変換器2と同様にアルミニウムの
薄膜などで形成する。
これら両度換器2,3および表面弾性波の伝搬路の周囲
の圧電基板l上に、アルミニウムなどからなる線状の導
体パターン4Aを複数本平行に配列するとともに、その
導体パターン4Aの各交点を接続し、表面弾性波による
電荷を吸収する表面弾性波吸収器4を形成する。ここで
、平行に配列する各導体パターン4Aは蒸着により形成
し、その平行する各導体パターン4A間の距離は、入力
信号の波長をλとすれば、λ/2とする。
次に、このように構成する第1実施例の動作の一例につ
いて説明する。
いま、入力変換器2に入力信号が入力されると、その入
力信号は表面弾性波に変換される。
この変換された表面弾性波は、その大部分が出力変換器
3に向けて伝搬されるが、その一部は伝搬路から外れて
反射波などの原因になる。
ところで、この実施例では、両度換器2,3および表面
弾性波の伝搬路の周囲の圧電基板1上に、アルミニウム
などからなる線状の導体パターン4Aを複数本平行に配
列するとともに、その導体パターン4Aの各交点を接続
し、表面弾性波を吸収する表面弾性波吸収器4を形成す
る 従って、伝搬路から外れた表面弾性波は、表面弾性波吸
収器4の導体パターン4Aによりほとんど吸収され基板
の端での反射が少なくなり、反射波などが生ぜず出力変
換器3からの出力信号はSN比が向上する。
次に、本発明の第2実施例を第2図を参照して説明する
この第2実施例は、第1図の第1実施例における表面弾
性波吸収器4の導体パターン4Aを、第3図に示すよう
な断面が凹状で全体が方形状の溝4Bに置き換えたもの
である。このように構成しても、第1実施例と同様の作
用効果が得られる。
次に、本発明の第3実施例を第4図を参照して説明する
この第3実施例は、第1図の第1実施例における表面弾
性波吸収器4の導体パターン4Aを、所定の幅(入力信
号の波長をλとすれば、λ/2以上とする)を有し、全
体が方形状の導体パターン4Cに置き換えたものである
。このように構成しても、第1実施例と同様の作用効果
が得られる。
ところで、これら第1実施例〜第3実施例は、いずれも
両度換器2,3および表面弾性波の伝搬路の周囲の圧電
基板1上に、表面弾性波を吸収する表面弾性波吸収器4
を形成する。従って、第5図に示すように圧電基板1の
大きさを大きくし、それに多数の表面弾性波素子を配列
方向を問わず形成しても、各素子間で干渉を起こすこと
がなくそれぞれを独立した機能が得られる。
(発明の効果) 以上のように、本発明によれば、入力変換器、出力変換
器、および表面弾性波の伝搬路の周囲の圧電基板上を、
表面弾性波を吸収する表面弾性波吸収器で取り囲むよう
にしたので、両度換器から漏れ出てくる表面弾性波や、
表面弾性波素子の周囲から反射してくる反射波の影響が
少なくなり、出力変換器から取り出される信号のSN比
が格段に向上するという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例の平面図、第2図は本発明
の第2実施例の平面図、第3図は第2実施例における表
面弾性波吸収器の断面図、第4図は本発明の第3実施例
の平面図、第5図は本発明の第4実施例の平面図である
。 1は圧電基板、2は入力変換器、3は出力変換器、4は
表面弾性波吸収器である。 特許出願人  日本電素工業株式会社 代理人    牧 舌部(他3名) 第1図 第2図 第3図 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  圧電基板上に、入力信号を表面弾性波に変換する入力
    変換器と、前記圧電基板の表面を伝搬する表面弾性波を
    電気信号に変換する出力変換器とを所定間隔おいて形成
    し、 これら両変換器および表面弾性波の伝搬路の周囲の圧電
    基板上に、表面弾性波を吸収する表面弾性波吸収器を形
    成してなる表面弾性波素子。
JP33682390A 1990-11-30 1990-11-30 表面弾性波素子 Pending JPH04207620A (ja)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50147690A (ja) * 1974-05-15 1975-11-26
JPS51120153A (en) * 1975-04-15 1976-10-21 Toko Inc Elastic surface wave filter
JPS5526967B2 (ja) * 1974-05-14 1980-07-17
JPS5974718A (ja) * 1982-09-21 1984-04-27 シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト 表面波フイルタおよびその製造方法

Patent Citations (4)

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