JPH04208834A - 液晶パネルの検査方法 - Google Patents

液晶パネルの検査方法

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JPH04208834A
JPH04208834A JP2404006A JP40400690A JPH04208834A JP H04208834 A JPH04208834 A JP H04208834A JP 2404006 A JP2404006 A JP 2404006A JP 40400690 A JP40400690 A JP 40400690A JP H04208834 A JPH04208834 A JP H04208834A
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JP
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pattern
inspected
liquid crystal
crystal panel
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JP2404006A
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Ryohei Kumagai
熊谷　良平
Kaoru Hiiro
日色　馨
Harumi Shimizu
清水　晴美
Manabu Aisaka
逢坂　学
Toru Takahashi
徹 高橋
Hiroshi Kuramochi
倉持　博
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Ezel Inc
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Ezel Inc
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    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
［０００１１
【産業上の利用分野］本発明は、コンピュータ等のデイ
スプレィ装置に設けられる液晶パネルの検査方法に関す
る。 ［０００２］ 【従来の技術】液晶パネルの製造において、通常、数％
の不良品が含まれており、従来、目視による検査により
不良品を発見している。すなわち、まず通電状態でパネ
ル表面の発光状態を観察し、これにより不良箇所がある
か否かを概略的に検査する。次に、不良液晶パネルにつ
いて、液晶パネルの各パーツを顕微鏡によって観察し、
不良パーツとその不良内容を検査する。 ［０００３１
【発明が解決しようとする課題］ところが、このような
目視検査は非常に困難であり、熟練者であっても、１つ
の液晶パネルの検査に数時間を要する。 ［０００４］一方、ＩＣの自動検査に採用されている、
ＩＣの画像を設計図と比較する手法、すなわちパターン
マツチングの手法を液晶パネルの検査に採用することも
可能である。しかし、液晶パネルの各パーツは立体的で
あり、光学的収差及び照明条件により、被検査パーツを
テンプレートに対して比較するという検査では、不良品
パーツを確実に抽出することは困難である。本発明は、
熟練を要さず、短時間に実施できる液晶パネルの検査方
法を提供することを目的としている。 ［０００５］ 【課題を解決する手段】液晶パネルの単位画像を被検査
パターンとし、この被検査パターンを予め登録された基
準パターンと比較することにより被検査パターンの良否
を判定する液晶パネルの検査方法において、検査の実行
に先だって、検査すべき液晶パネルから欠陥が含まれな
い単位画像を選択し、この単位画像の各画素に対して、
その画素を含むコンボリューション内の最大輝度値を与
えかつ一定輝度値を加算した上限基準パターンと、前記
画素を含むコンボリューション内の最少輝度値を与えか
つ一定輝度値を減算した下限基準パターンとを生成し、
これら上限、下限基準パターンの各画素の輝度値と被検
査パターンの対応画素の輝度値とを比較し当該被検査パ
ターンにおける一定数以上の画素の輝度値が上限、下限
基準パターンの輝度値の間の範囲に含まれるときに、当
該液晶パネルを合格品と判定することを特徴としている
。 ［０００６］
【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。第
３図は本発明方法の実施に使用される装置の一例を示す
。液晶パネル１１は指示枠１２の内側に配置され、ポル
ト１３により、この指示枠１２に固定される。指示枠１
２は可動盤１４の上に載置され、可動盤１４の上面に設
けられた一対のレール１５によって移動自在に支持され
る。可動盤１４の端部にはシリンダ装置１６が設けられ
ており、支持枠１２は、このシリンダ装置１６のピスト
ンロッド１７に連結される。可動盤１４は固定盤２１の
上に載置され、固定盤２１の上面に設けられた一対のレ
ール２２によって移動自在に支持される。可動盤１４と
同様に、固定盤２１の端部にはシリンダ装置２３が設け
られており、可動盤１４は、このシリンダ装置２３のピ
ストンロッド２４に連結される。 ［０００７］したがって、シリンダ装置１６を制御する
ことにより支持枠１２が可動盤１４に対して平行移動し
、またシリンダ装置２３を制御することにより可動盤１
４が固定盤２１に対して平行移動する。シリンダ装置１
６．２３のピストンロッド１７．２４は、それぞれ駆動
回路２５．２６によって駆動され、突出あるいは後退す
る。駆動回路２５．２６は制御回路２７によって制御さ
れる。 ［０００８］液晶パネル１１の上方には顕微鏡３１が配
設されており、この顕微鏡３１は図示しない固定枠に取
り付けられる。顕微鏡３１は後述するように、各パター
ンを撮影するためのものであり、このパターンの画像は
画像処理システム３２に取り込まれ、種々の処理を施さ
れる。画像処理システム３２は、コンピュータ３３によ
って制御される。 ［０００９］指示枠１２の上側には、ストロボ等の光源
３４が設けられる。この光源３４は指示枠１２に固定さ
れ、指示枠１２とともに移動する。光源３４の発光は駆
動回路３５を介して行われ、駆動回路３５は制御回路２
７によって制御される。まず、第１図を説明し、この図
は、基準パターンと被検査パターンを比較して被検査パ
ネルの良否を判定する課程を示している。
【００１０】まず、ステップ１０１で被検査パネルの基
準パターンを決定する。ここにいうパターンとは、１つ
の画像領域として区切ることの出来る範囲をいう。ここ
では、その領域に液晶パネルを構成する多数のセルの内
、一定数のセルが含まれているものとする。基準パター
ンは、任意に抽出した複数のパターンの内、最も多数を
占める類似の特徴を有するパターングループに属するも
のを１つ選んで基準パターンとする。 ［００１１１次に、ステップ１０２で、この基準パター
ンを顕微鏡等で取り込み、その画像の平均輝度値を求め
る。ステップ１０３では、基準パターンの実際の平均輝
度値が、例えば１００であっても、あるいは１５０であ
っても、各画素の輝度値に一定値を加減して平均輝度値
が１２８になるよう調整し、この１２８という値は、２
５６の階調で表示される輝度値の中央値であり、これに
より上下最大の範囲で被検査パターンの輝度値を検査す
ることが可能である。 ［００１２１次に、ステップ１０４で、輝度値の許容範
囲を定めるため、調整済みの基準輝度値パターンに、−
定の値を各々、加算減算する。その結果求められたパタ
ーンを各々、上限輝度値パターン、下限輝度値パターン
とし、この上限パターンと下限輝度パターンの間に位置
するものを許容範囲パターンと呼ぶことにする（図２）
。そして、被検査パターンがこの許容範囲パターン内で
あれば、良品と判定される。 ［００１３］Ｌかしながら、被検査パターンを顕微鏡等
で取り込む際、位置ずれが発生すると正確な輝度値を測
定出来ない。その場合、例えば、被検査パターンが許容
範囲パターン内であったとしても不良品と判定され、又
、逆に被検査パターンが許容範囲外であったとしても、
良品と判定されることがある。そこで、ステップ１０５
で、被検査パターン取り込みの際の、位置ずれ問題に対
処するために、上限輝度値パターンに膨張処理を施す。 ここに膨張処理とは、３ｘ３コンボリユーシヨンにおけ
る最大輝度値を中央画素に与える処理であり、上下左右
一画素のずれを吸収する処理である。同様に、下限輝度
値パターンには収縮処理を施す。膨張の場合と同じく、
一画素のずれに対しては、３ｘ３コンボリユーシヨンに
ついての１回の収縮を行えばよいこととなる。この様な
処理を施せば、被検査パターンの画像を取りむ際、位置
ずれによる輝度値測定誤差を回避出来る。 ［００１４１次に、ステップ１０６で、被検査パターン
を顕微鏡等で取り込み、その画像の輝度値を測定する。 そして、ステップ１０７で、被検査パターンの各画素に
基準パターンと同じ値を加減する。 ［００１５１次に、ステップ１０８で、ステップ１０７
の調整済み被検査パターンが許容範囲パターン内である
か否かを測定する。そして、ステップ１０７の調整済み
被検査パターンが許容範囲パターン内であれば、ステッ
プ１０９で、その被検査パターンは良品と判定する。逆
に、上限輝度値パターンと下限輝度値パターンとの誤差
許容範囲を越える場合は、ステップ１１０で、その被検
査パターンは不良品と判定する。 ［００１６］
【発明の効課】以上のように本発明によれば、熟練を要
さず、短時間に実施でき、しかも液晶パネルの全体にわ
たって高精度に検査を行うことができるという効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基準パターンと被検査パターンを比較すること
により、被検査パネルの良否を判断する方法を示す図で
ある。
【図２】許容範囲パターンを示す図である。
【図３】本発明方法の実施に使用される装置の一例を示
す斜視図である。
【図１】
【手続補正書】
【提出日】平成３年５月９日
【手続補正１】
【補正対象項目名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】　液晶パネルの検査方法（７２）発明者
　通板　学 東京都文京区小石川２丁目２２番２号　株式会社イーゼ
ル内 （７２）発明者　高橋　徹 東京都文京区小石川２丁目２２番２号　株式会社イーゼ
ル内 （７２）発明者　金持　博 東京都文京区小石川２丁目２２番２号　株式会社イーゼ
ル内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】液晶パネルの単位画像を被検査パターンと
    し、この被検査パターンを予め登録された基準パターン
    と比較することにより被検査パターンの良否を判定する
    液晶パネルの検査方法において、検査の実行に先だって
    、検査すべき液晶パネルから欠陥が含まれない単位画像
    を選択し、この単位画像の各画素に対して、その画素を
    含むコンボリューション内の最大輝度値を与えかつ一定
    輝度値を加算した上限基準パターンと、前記画素を含む
    コンボリューション内の最少輝度値を与えかつ一定輝度
    値を減算した下限基準パターンとを生成し、これら上限
    、下限基準パターンの各画素の輝度値と被検査パターン
    の対応画素の輝度値とを比較し、当該被検査パターンに
    おける一定数以上の画素の輝度値が上限、下限基準パタ
    ーンの輝度値の間の範囲に含まれるときに、当該液晶パ
    ネルを合格品と判定することを特徴とする液晶パネルの
    検査方法。
JP2404006A 1990-12-04 1990-12-04 液晶パネルの検査方法 Pending JPH04208834A (ja)

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