JPH04210170A - ライン逆止弁 - Google Patents
ライン逆止弁Info
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- JPH04210170A JPH04210170A JP2409953A JP40995390A JPH04210170A JP H04210170 A JPH04210170 A JP H04210170A JP 2409953 A JP2409953 A JP 2409953A JP 40995390 A JP40995390 A JP 40995390A JP H04210170 A JPH04210170 A JP H04210170A
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- wall surface
- valve
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１１
【産業上の利用分野］本発明は、新規なライン逆止弁に
関するものである。 ［０００２］ 【従来の技術】従来のライン逆止弁としては、弁本体内
に流入通路及び流出通路が開口する弁作用空間を設け、
該弁作用空間内に、流入通路の開口部に形成せる弁座に
離接すべく摺動する弁体を設け、該弁体をコイルスプリ
ングにより弁座に押圧附勢させたものがよく知られてい
る。 ［０００３］
関するものである。 ［０００２］ 【従来の技術】従来のライン逆止弁としては、弁本体内
に流入通路及び流出通路が開口する弁作用空間を設け、
該弁作用空間内に、流入通路の開口部に形成せる弁座に
離接すべく摺動する弁体を設け、該弁体をコイルスプリ
ングにより弁座に押圧附勢させたものがよく知られてい
る。 ［０００３］
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来の
ライン逆止弁では、弁体におけるクラッキング圧の受圧
面積が小さいことから、流入通路への流入量ないし流入
圧が小さいときには、弁体が動作しない虞れがあり、応
答性、信頼性が低い。しかも、スプリングの調整を必要
とし、その調整も極めて困難であり、組立性、取扱性に
劣る。 ［０００４］また、シール部の面積と差圧の受圧部の面
積とは路間−面積に設定されており、シール部の面積を
大きくすると開放時の感度は良くなるものの、シール性
が悪化する。 ［０００５１更に、弁体が摺動するため、コイルスプリ
ングを使用していることと相俟って、摩耗粉が発生し易
い。しかも、弁作用空間に配設される部品点数が多いこ
とから、内部構造が複雑化して、ガス溜り等の流体滞留
部が発生し易い。したがって、高クリーン度が要求され
る半導体、医薬品等の製造装置における流体輸送ライン
や真空機器における真空ラインには好適しない。 ［０００６］加えて、差圧がスプリングの反力を超える
と流体が流れ始めるが、流体が流れ始めると、差圧が減
少してスプリングの反力により閉鎖される。その結果、
所謂弁体のチャタリング現象が発生することになり、こ
れを皆無とすることができない。 ［０００７］本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、差圧の受圧面積とシール部の面積とを機能的に分離
すると共にスプリングの使用を廃することにより、応答
性、信頼性９組立性、取扱性に優れ且つ上記したライン
にも好適に使用できるライン逆止弁を提供することを目
的とするものである。 ［０００８］
ライン逆止弁では、弁体におけるクラッキング圧の受圧
面積が小さいことから、流入通路への流入量ないし流入
圧が小さいときには、弁体が動作しない虞れがあり、応
答性、信頼性が低い。しかも、スプリングの調整を必要
とし、その調整も極めて困難であり、組立性、取扱性に
劣る。 ［０００４］また、シール部の面積と差圧の受圧部の面
積とは路間−面積に設定されており、シール部の面積を
大きくすると開放時の感度は良くなるものの、シール性
が悪化する。 ［０００５１更に、弁体が摺動するため、コイルスプリ
ングを使用していることと相俟って、摩耗粉が発生し易
い。しかも、弁作用空間に配設される部品点数が多いこ
とから、内部構造が複雑化して、ガス溜り等の流体滞留
部が発生し易い。したがって、高クリーン度が要求され
る半導体、医薬品等の製造装置における流体輸送ライン
や真空機器における真空ラインには好適しない。 ［０００６］加えて、差圧がスプリングの反力を超える
と流体が流れ始めるが、流体が流れ始めると、差圧が減
少してスプリングの反力により閉鎖される。その結果、
所謂弁体のチャタリング現象が発生することになり、こ
れを皆無とすることができない。 ［０００７］本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、差圧の受圧面積とシール部の面積とを機能的に分離
すると共にスプリングの使用を廃することにより、応答
性、信頼性９組立性、取扱性に優れ且つ上記したライン
にも好適に使用できるライン逆止弁を提供することを目
的とするものである。 ［０００８］
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明のライン逆止弁は、弁本体内に形成された閉塞空間で
あって、流入通路を開口せる上流側壁面と流出通路を開
口せる下流側壁面とで囲繞形成された弁作用空間と、上
流側壁面に形成された環状の静止シール部と、静止シー
ル部に直対向する環状の可動シール部を有するダイヤフ
ラムと、静止シール部又は可動シール部に固着された環
状のシール部材とを具備するものである。 ［０００９］ダイヤフラムは、その中心部又は外周部を
上流側壁面又は下流側壁面に固定される。 ［００１０１而して、ダイヤフラムの中心部が壁面に固
定される場合には、ダイヤフラムの外周部に可動シール
部を設けておくと共に、流入通路を上流側壁面における
静止シール部の内側領域に開口させておく。 ［００１１１また、ダイヤフラムの外周部が壁面に固定
される場合には、ダイヤフラムを環状のものとして、そ
の中心部に可動シール部を設けておくと共に、流入通路
を上流側壁面における静止シール部の外側領域に形成し
ておく。 ［００１２］
明のライン逆止弁は、弁本体内に形成された閉塞空間で
あって、流入通路を開口せる上流側壁面と流出通路を開
口せる下流側壁面とで囲繞形成された弁作用空間と、上
流側壁面に形成された環状の静止シール部と、静止シー
ル部に直対向する環状の可動シール部を有するダイヤフ
ラムと、静止シール部又は可動シール部に固着された環
状のシール部材とを具備するものである。 ［０００９］ダイヤフラムは、その中心部又は外周部を
上流側壁面又は下流側壁面に固定される。 ［００１０１而して、ダイヤフラムの中心部が壁面に固
定される場合には、ダイヤフラムの外周部に可動シール
部を設けておくと共に、流入通路を上流側壁面における
静止シール部の内側領域に開口させておく。 ［００１１１また、ダイヤフラムの外周部が壁面に固定
される場合には、ダイヤフラムを環状のものとして、そ
の中心部に可動シール部を設けておくと共に、流入通路
を上流側壁面における静止シール部の外側領域に形成し
ておく。 ［００１２］
【作用】流入通路に流体が流入すると、ダイヤフラム両
側の差圧によりダイヤフラムが変形して、可動シール部
が静止シール部から離間せしめられる。その結果、両通
路は連通されて、流体は流入通路から流出通路へと流動
する。 ［００１３］流出通路に逆流が生じた場合には、ダイヤ
フラム両側の差圧によりダイヤフラムが上記とは逆の状
態に変形して、可動シール部がシール部材を介して静止
シール部に押圧接触せしめられる。その結果、両通路は
一方のシール部と他方のシール部に固着したシール部材
との接触部分で遮断され、流出通路から流入通路への逆
流が阻止される。 ［００１４］
側の差圧によりダイヤフラムが変形して、可動シール部
が静止シール部から離間せしめられる。その結果、両通
路は連通されて、流体は流入通路から流出通路へと流動
する。 ［００１３］流出通路に逆流が生じた場合には、ダイヤ
フラム両側の差圧によりダイヤフラムが上記とは逆の状
態に変形して、可動シール部がシール部材を介して静止
シール部に押圧接触せしめられる。その結果、両通路は
一方のシール部と他方のシール部に固着したシール部材
との接触部分で遮断され、流出通路から流入通路への逆
流が阻止される。 ［００１４］
【実施例】以下、本発明の構成を図１及び図２に示す実
施例に基づいて具体的に説明する。 ［００１５］この実施例のライン逆止弁は、図１に示す
如く、弁本体１と弁本体１に内装されたダイヤフラム２
とダイヤフラム２に取付けたシール部材３とからなる。 弁本体１の両端部分には、同一直線上に位置する流入通
路１ａ及び流出通路１ｂが形成されている。また、弁本
体１の中央部分には、上流側壁面４と下流側壁面５とで
囲繞形成された弁作用空間６が設けられている。上流側
壁面４には、円形の逆圧保持部４ａ及びその外周側の円
環状部分たる静止シール部４ｂが形成されている。両部
４ａ、４ｂは、流入通路１ａに直交する一連の平滑面を
構成する。逆圧保持部４ａには、流入通路１ａが開ロア
されている。下流側壁面５には、逆圧保持部４ａ及び静
止シール部４ｂに夫々直対向する第１及び第２正圧保持
部５ａ、５ｂが形成されている。第１正圧保持部５ａは
頂部が逆圧保持部４ａの中心部に近接対向する円錐面と
されており、第２正圧保持部５ｂは流出通路１ｂに直交
する円環状の平滑面とされている。第２正圧保持部５ｂ
には、流出通路１ｂが開口８されている。 ［００１６］ダイヤフラム２は、金属薄板製の円形状の
本体部２ａとその外周部に溶着された金属製の円環状の
可動シール部２ｂとからなり、弁作用空間６内に中心部
を固定された状態で配置されている。すなわち、ダイヤ
フラム２は、本体部２ａの中心部を第１正圧保持部５ａ
の頂部に溶着固定することによって、可動シール部２ｂ
を静止シール部４ｂに直射向して軸線方向に揺動させる
べく変形しうるようになされている。この変形はダイヤ
フラム２の両面に作用する差圧によって生ずるが、差圧
が作用しない状態（以下「無負荷状態」という）では、
ダイヤフラム２は成形時の円形平板形態に保持される。 ところで、本体部２ａは応答性向上の面から可及的に薄
肉としておくことが望ましいが、このようにしたときに
も、ダイヤフラム２全体としての剛性は可動シール部２
ｂの存在により充分に確保される。なお、本体部２ａの
中心溶接部は筒状の立上り部とされていて、溶接部への
曲げ応力の集中を回避するように工夫しである。 ［００１７］シ一ル部材３は、成る程度以上の弾性を有
するゴム、プラスチック等からなる円環状のもので、可
動シール部２ｂに形成したアリ溝状の環状溝２０に圧入
保持されていて、ダイヤフラム２の本体部２ａの変形に
より静止シール部４ｂに離接せしめらるようになされて
いる。ところで、ダイヤフラム２が成形時の円形平板形
態に保持される無負荷状態においては、シール部材３は
静止シール部４ｂに接触しているが、押圧されてはおら
ず、静止シール部４ｂとダイヤフラム２の可動シール部
２ｂとの間をシールしない。したがって、シール部材３
は逆流発生時にのみ静止シール部４ｂに密着されるにす
ぎないから、シール部材３をゴム等で構成した場合にも
、シール部材３が静止シール部４ｂに貼り付くような虞
れがない。なお、シール部材３は、円環状に成形したも
のを環状溝２ｃに圧入嵌合させてもよいし、環状溝２Ｃ
に鋳込むようにしてもよい。また、シール部材３を可動
シール部２ｂに接着剤により固着するようにしてもよい
。但し、かかる手法は、揮発性溶剤の溶出が悪影響を及
ぼす場合には適用しない。更に、シール部材３の内方に
鋼線等により形成したリング体（図示省略）を埋設する
ようにしてもよい。 ［００１８１以上のように構成されたライン逆止弁にあ
っては、流入通路１ａに流体が流入すると、ダイヤフラ
ム２の本体部２ａがダイヤフラム両面に作用する圧力差
によって第１正圧保持部５ａ方向に変形せしめられて、
シール部材３が静止シール部４ｂから離間する。その結
果、両道路１ａ、ｌｂ間が連通されて、流体は流入通路
１ａから流出通路１ｂへと流動せしめられる（図１参照
）。シール部材３の静止シール部４ｂからの離間量は、
流量に応じたものとなる。 ［００１９］このとき、流入通路１ａへの流入量ないし
流入圧が小さく、ダイヤフラム両面に作用する圧力差が
僅かであっても、それが大面積であるダイヤフラム２の
略全面（固定されている中心部を除く全面）に作用する
こと及びシール部材３はスプリング力を有しないダイヤ
フラム２によって保持されていることから、シール部材
３の静止シール部４ｂからの離間動作が良好に行われる
。一方、大流量である場合や衝撃圧が発生した場合には
、ダイヤフラム２の本体部２ａ及び可動シール部２ｂが
第１及び第２正圧保持部５ａ、５ｂに衝合係止されて、
それ以上の変形が阻止されることから、ダイヤフラム２
に過大な負荷が作用することがない。すなわち、ダイヤ
フラム２は、流量ないし流体圧が一定範囲内にある場合
にはシール部材３と静止シール部４ｂとの間に流量に応
じた間隙を形成すべく変形するが、流量ないし流体圧が
上記範囲を超えた場合には、必要以上に変形されないよ
うになっているのである。 ［００２０１また、流体が逆流したときには、ダイヤフ
ラム２の本体部２ａがダイヤフラム両面に作用する圧力
差によって逆圧保持部４ａ方向に変形せしめられて、シ
ール部材３が静止シール部４ｂに押圧接触する。その結
果、ダイヤフラム２の外周部と静止シール部４ｂとの間
がシール部材３により遮蔽シールされて、両道路１ａ。 ｌｂ間の連通が遮断され、流出通路１ｂから流入通路１
ａへの逆流が阻止される（図２参照）。 ［００２１１このとき、ダイヤフラム両面に作用する圧
力差が僅かであっても、その受圧面積が大きいことから
、シール部材３によるシール力が充分に確保され、良好
なシール機能が発揮される。一方、ダイヤフラム２に作
用する逆圧が過大であったり衝撃圧である場合には、ダ
イヤフラム２の本体部２ａが逆圧保持部４ａに衝合係止
されて、それ以上の変形が阻止されることから、ダイヤ
フラム２に過大な負荷が作用することがない。したがっ
て、耐圧性能が頗る向上する。 ［００２２］ところで、両道路１ａ、ｌｂを連通する弁
作用空間６はダイヤフラム２の変形を許容するに必要な
撞く僅かな空間で足りること及び弁作用空間６にはシー
ル部材３を備えたダイヤフラム２が配設されているにす
ぎないことから、弁作用空間６にガス溜り等の流体滞留
部が殆ど生じない。 ［００２３］なお、本発明のライン逆止弁は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱し
ない範囲で適宜に改良、変更することができる。例えば
、図３に示す如く、ダイヤフラム２の中心部を壁面４．
５に固定し、その外周部に可動シール部２ｂを設けるよ
うにしてもよい。 ［００２４］すなわち、図３に示すライン逆止弁におい
ては、ダイヤフラム本体２ａが環状に形成されており、
その中心部に環状の可動シール部たるシールリング２ｂ
を溶着してあり、静止シール部４ｂにシール部材３を固
着しである。また、流入通路１ａは、上流側壁面４にお
ける静止シール部４ｂの外側領域に開ロアされている。 ［００２５］尚、図３において、９はシール部材３の中
に埋設されたステンレス鋼等のリングであり、当該リン
グ９を入れてシール部材３を成形することにより、シー
ル部材３の抜は止めを行うことができる。 ［００２６］
施例に基づいて具体的に説明する。 ［００１５］この実施例のライン逆止弁は、図１に示す
如く、弁本体１と弁本体１に内装されたダイヤフラム２
とダイヤフラム２に取付けたシール部材３とからなる。 弁本体１の両端部分には、同一直線上に位置する流入通
路１ａ及び流出通路１ｂが形成されている。また、弁本
体１の中央部分には、上流側壁面４と下流側壁面５とで
囲繞形成された弁作用空間６が設けられている。上流側
壁面４には、円形の逆圧保持部４ａ及びその外周側の円
環状部分たる静止シール部４ｂが形成されている。両部
４ａ、４ｂは、流入通路１ａに直交する一連の平滑面を
構成する。逆圧保持部４ａには、流入通路１ａが開ロア
されている。下流側壁面５には、逆圧保持部４ａ及び静
止シール部４ｂに夫々直対向する第１及び第２正圧保持
部５ａ、５ｂが形成されている。第１正圧保持部５ａは
頂部が逆圧保持部４ａの中心部に近接対向する円錐面と
されており、第２正圧保持部５ｂは流出通路１ｂに直交
する円環状の平滑面とされている。第２正圧保持部５ｂ
には、流出通路１ｂが開口８されている。 ［００１６］ダイヤフラム２は、金属薄板製の円形状の
本体部２ａとその外周部に溶着された金属製の円環状の
可動シール部２ｂとからなり、弁作用空間６内に中心部
を固定された状態で配置されている。すなわち、ダイヤ
フラム２は、本体部２ａの中心部を第１正圧保持部５ａ
の頂部に溶着固定することによって、可動シール部２ｂ
を静止シール部４ｂに直射向して軸線方向に揺動させる
べく変形しうるようになされている。この変形はダイヤ
フラム２の両面に作用する差圧によって生ずるが、差圧
が作用しない状態（以下「無負荷状態」という）では、
ダイヤフラム２は成形時の円形平板形態に保持される。 ところで、本体部２ａは応答性向上の面から可及的に薄
肉としておくことが望ましいが、このようにしたときに
も、ダイヤフラム２全体としての剛性は可動シール部２
ｂの存在により充分に確保される。なお、本体部２ａの
中心溶接部は筒状の立上り部とされていて、溶接部への
曲げ応力の集中を回避するように工夫しである。 ［００１７］シ一ル部材３は、成る程度以上の弾性を有
するゴム、プラスチック等からなる円環状のもので、可
動シール部２ｂに形成したアリ溝状の環状溝２０に圧入
保持されていて、ダイヤフラム２の本体部２ａの変形に
より静止シール部４ｂに離接せしめらるようになされて
いる。ところで、ダイヤフラム２が成形時の円形平板形
態に保持される無負荷状態においては、シール部材３は
静止シール部４ｂに接触しているが、押圧されてはおら
ず、静止シール部４ｂとダイヤフラム２の可動シール部
２ｂとの間をシールしない。したがって、シール部材３
は逆流発生時にのみ静止シール部４ｂに密着されるにす
ぎないから、シール部材３をゴム等で構成した場合にも
、シール部材３が静止シール部４ｂに貼り付くような虞
れがない。なお、シール部材３は、円環状に成形したも
のを環状溝２ｃに圧入嵌合させてもよいし、環状溝２Ｃ
に鋳込むようにしてもよい。また、シール部材３を可動
シール部２ｂに接着剤により固着するようにしてもよい
。但し、かかる手法は、揮発性溶剤の溶出が悪影響を及
ぼす場合には適用しない。更に、シール部材３の内方に
鋼線等により形成したリング体（図示省略）を埋設する
ようにしてもよい。 ［００１８１以上のように構成されたライン逆止弁にあ
っては、流入通路１ａに流体が流入すると、ダイヤフラ
ム２の本体部２ａがダイヤフラム両面に作用する圧力差
によって第１正圧保持部５ａ方向に変形せしめられて、
シール部材３が静止シール部４ｂから離間する。その結
果、両道路１ａ、ｌｂ間が連通されて、流体は流入通路
１ａから流出通路１ｂへと流動せしめられる（図１参照
）。シール部材３の静止シール部４ｂからの離間量は、
流量に応じたものとなる。 ［００１９］このとき、流入通路１ａへの流入量ないし
流入圧が小さく、ダイヤフラム両面に作用する圧力差が
僅かであっても、それが大面積であるダイヤフラム２の
略全面（固定されている中心部を除く全面）に作用する
こと及びシール部材３はスプリング力を有しないダイヤ
フラム２によって保持されていることから、シール部材
３の静止シール部４ｂからの離間動作が良好に行われる
。一方、大流量である場合や衝撃圧が発生した場合には
、ダイヤフラム２の本体部２ａ及び可動シール部２ｂが
第１及び第２正圧保持部５ａ、５ｂに衝合係止されて、
それ以上の変形が阻止されることから、ダイヤフラム２
に過大な負荷が作用することがない。すなわち、ダイヤ
フラム２は、流量ないし流体圧が一定範囲内にある場合
にはシール部材３と静止シール部４ｂとの間に流量に応
じた間隙を形成すべく変形するが、流量ないし流体圧が
上記範囲を超えた場合には、必要以上に変形されないよ
うになっているのである。 ［００２０１また、流体が逆流したときには、ダイヤフ
ラム２の本体部２ａがダイヤフラム両面に作用する圧力
差によって逆圧保持部４ａ方向に変形せしめられて、シ
ール部材３が静止シール部４ｂに押圧接触する。その結
果、ダイヤフラム２の外周部と静止シール部４ｂとの間
がシール部材３により遮蔽シールされて、両道路１ａ。 ｌｂ間の連通が遮断され、流出通路１ｂから流入通路１
ａへの逆流が阻止される（図２参照）。 ［００２１１このとき、ダイヤフラム両面に作用する圧
力差が僅かであっても、その受圧面積が大きいことから
、シール部材３によるシール力が充分に確保され、良好
なシール機能が発揮される。一方、ダイヤフラム２に作
用する逆圧が過大であったり衝撃圧である場合には、ダ
イヤフラム２の本体部２ａが逆圧保持部４ａに衝合係止
されて、それ以上の変形が阻止されることから、ダイヤ
フラム２に過大な負荷が作用することがない。したがっ
て、耐圧性能が頗る向上する。 ［００２２］ところで、両道路１ａ、ｌｂを連通する弁
作用空間６はダイヤフラム２の変形を許容するに必要な
撞く僅かな空間で足りること及び弁作用空間６にはシー
ル部材３を備えたダイヤフラム２が配設されているにす
ぎないことから、弁作用空間６にガス溜り等の流体滞留
部が殆ど生じない。 ［００２３］なお、本発明のライン逆止弁は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱し
ない範囲で適宜に改良、変更することができる。例えば
、図３に示す如く、ダイヤフラム２の中心部を壁面４．
５に固定し、その外周部に可動シール部２ｂを設けるよ
うにしてもよい。 ［００２４］すなわち、図３に示すライン逆止弁におい
ては、ダイヤフラム本体２ａが環状に形成されており、
その中心部に環状の可動シール部たるシールリング２ｂ
を溶着してあり、静止シール部４ｂにシール部材３を固
着しである。また、流入通路１ａは、上流側壁面４にお
ける静止シール部４ｂの外側領域に開ロアされている。 ［００２５］尚、図３において、９はシール部材３の中
に埋設されたステンレス鋼等のリングであり、当該リン
グ９を入れてシール部材３を成形することにより、シー
ル部材３の抜は止めを行うことができる。 ［００２６］
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のライン逆止弁は、シール部材の径と差圧の受圧部面積
とを機能的に分離し、可動シール部を作動させるための
流体圧の受圧面積を大きくしているため、スプリングを
使用しないことと相俟って、精度、応答性に極めて優れ
、チャタリング現象を生じることなく、常に良好な逆止
弁機能を発揮しうるちのである。 ［００２７］また、ダイヤフラムは成る程度の柔軟性を
有しているため、シール部に所謂片当りが生じても、自
動的に修正され、可動シール部はシール部材へ密着する
。更に、過大な正方向流体圧がかかった場合には、ダイ
ヤフラムは第１正圧保持部で保持され、また過大な逆圧
がかかった場合には、可動シール部がシール部材を押し
込んで上流側壁面へ接当するため、ダイヤフラムの変形
やシール部材の損傷が殆ど生じない。 ［００２８］加えて、摩耗粉が発生せず、且つガス溜り
等の流体滞留部が殆ど生じないから、高クリーン度が要
求される半導体等の製造装置における流体輸送ラインや
真空機器における真空ラインにも好適に使用できるもの
である。 ［００２９］ｔ、かも、スプリング力の調整等を一切必
要とせず、内部構造もシンプルであるから、組立性、取
扱性に極めて優れるものであり、構造上、取付方向によ
り性能が変化するようなこともない。
のライン逆止弁は、シール部材の径と差圧の受圧部面積
とを機能的に分離し、可動シール部を作動させるための
流体圧の受圧面積を大きくしているため、スプリングを
使用しないことと相俟って、精度、応答性に極めて優れ
、チャタリング現象を生じることなく、常に良好な逆止
弁機能を発揮しうるちのである。 ［００２７］また、ダイヤフラムは成る程度の柔軟性を
有しているため、シール部に所謂片当りが生じても、自
動的に修正され、可動シール部はシール部材へ密着する
。更に、過大な正方向流体圧がかかった場合には、ダイ
ヤフラムは第１正圧保持部で保持され、また過大な逆圧
がかかった場合には、可動シール部がシール部材を押し
込んで上流側壁面へ接当するため、ダイヤフラムの変形
やシール部材の損傷が殆ど生じない。 ［００２８］加えて、摩耗粉が発生せず、且つガス溜り
等の流体滞留部が殆ど生じないから、高クリーン度が要
求される半導体等の製造装置における流体輸送ラインや
真空機器における真空ラインにも好適に使用できるもの
である。 ［００２９］ｔ、かも、スプリング力の調整等を一切必
要とせず、内部構造もシンプルであるから、組立性、取
扱性に極めて優れるものであり、構造上、取付方向によ
り性能が変化するようなこともない。
【図１】本発明に係るライン逆止弁の一実施例を示した
もので、第１図は流入通路から流出通路への流動許容状
態を示す縦断側面図である。
もので、第１図は流入通路から流出通路への流動許容状
態を示す縦断側面図である。
【図２】同逆止弁における流出通路から流入通路への逆
流阻止状態を示す縦断側面図である。
流阻止状態を示す縦断側面図である。
【図３】他の実施例を示す縦断側面図である。
１ 弁本体
１ａ 流人通路
１ｂ 流出通路
２ ダイヤフラム
２ｂ 可動シール部
３ シール部材
４ 上流側壁面
４ｂ 静止シール部
５ 下流側壁面
６ 弁作用空間
７ 流入通路の開口部
８ 流出通路の開口部
９ リング体
【図１】
【図３】
Claims (2)
- 【請求項１】弁本体内に形成された閉塞空間であって、
流入通路を開口せる上流側壁面と流出通路を開口せる下
流側壁面とで囲繞形成された弁作用空間と、上流側壁面
に形成された環状の静止シール部と、中心部が上流側壁
面又は下流側壁面に固定され、外周部に静止シール部に
直対向する環状の可動シール部を有するダイヤフラムと
、静止シール部又は可動シール部に固着された環状のシ
ール部材とを具備し、流入通路が上流側壁面における静
止シール部の内側領域に開口されていることを特徴とす
るライン逆止弁。 - 【請求項２】弁本体内に形成された閉塞空間であって、
流入通路を開口せる上流側壁面と流出通路を開口せる下
流側壁面とで囲繞形成された弁作用空間と、上流側壁面
に形成された環状の静止シール部と、外周部を上流側壁
面又は下流側壁面に固定すると共に、中心部に静止シー
ル部に直対向する環状の可動シール部を有する環状のダ
イヤフラムと、静止シール部又は可動シール部に固着さ
れた環状のシール部材とを具備し、流入通路が上流側壁
面における静止シール部の外側領域に開口されているこ
とを特徴とするライン逆止弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409953A JP2668167B2 (ja) | 1990-08-09 | 1990-12-10 | ライン逆止弁 |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8477290 | 1990-08-09 | ||
| JP2-84772 | 1990-08-09 | ||
| JP2409953A JP2668167B2 (ja) | 1990-08-09 | 1990-12-10 | ライン逆止弁 |
| CA 2057216 CA2057216C (en) | 1990-08-09 | 1991-12-06 | Line check valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04210170A true JPH04210170A (ja) | 1992-07-31 |
| JP2668167B2 JP2668167B2 (ja) | 1997-10-27 |
Family
ID=27168989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2409953A Expired - Lifetime JP2668167B2 (ja) | 1990-08-09 | 1990-12-10 | ライン逆止弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2668167B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003090447A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Mikuni Adec Corp | 流体制御弁、及び接着品の製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5724367U (ja) * | 1980-07-11 | 1982-02-08 | ||
| JPS62172869U (ja) * | 1986-04-22 | 1987-11-02 | ||
| JPH0267170U (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-21 |
-
1990
- 1990-12-10 JP JP2409953A patent/JP2668167B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5724367U (ja) * | 1980-07-11 | 1982-02-08 | ||
| JPS62172869U (ja) * | 1986-04-22 | 1987-11-02 | ||
| JPH0267170U (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-21 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003090447A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Mikuni Adec Corp | 流体制御弁、及び接着品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2668167B2 (ja) | 1997-10-27 |
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Legal Events
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