JPH04211267A - 有機系感光体およびその製造方法 - Google Patents

有機系感光体およびその製造方法

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JPH04211267A
JPH04211267A JP3032223A JP3222391A JPH04211267A JP H04211267 A JPH04211267 A JP H04211267A JP 3032223 A JP3032223 A JP 3032223A JP 3222391 A JP3222391 A JP 3222391A JP H04211267 A JPH04211267 A JP H04211267A
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photosensitive layer
film
organic photosensitive
layer
amorphous hydrocarbon
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Mochikiyo Osawa
大澤 以清
Shuji Iino
修司 飯野
Isao Doi
勲 土井
Kenji Masaki
賢治 正木
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Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は感光体、特に表面保護層
を有する有機系感光体およびその製造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】近年、有機光導電性材料を結着樹脂に配
合した有機系感光体が広く使用されている。有機系感光
体はセレンや硫化カドミウム等を用いた感光体と比べて
衛生上の問題がなく、また工業的生産性に優れていると
いう利点を有している。 【0003】しかし、有機系感光体は低硬度であり、繰
り返し使用における転写紙、クリーニング部材、現像剤
等との摩擦により感光体が削れたり、傷付き易いという
問題がある。 【0004】そこで、そのような問題を解消するために
有機系感光体の表面に、高硬度を有する表面保護層を形
成する技術が提案されている。 【0005】例えば、高硬度を有する表面保護層の材料
として非晶質炭化水素が知られており、特開昭63−9
7962号、特開平1−4754号、特開平1−861
58号等によって有機系感光体の表面に非晶質炭化水素
からなる表面保護層を形成する技術が提案されている。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】表面保護層は、理想的
には、有機系感光層を形成後すぐにその表面に形成する
ことが望ましいが、実際には、製造工程の簡略化、有機
系感光層製造装置と非晶質炭化水素膜製造装置との量産
性の違い等の装置上の問題等により、有機系感光層のみ
形成したものを一度に多量に製造し、次に非晶質炭化水
素膜形成工程に供せられるのが一般的であるため、その
間、有機系感光層は数日〜1ケ月程度保管される(この
保管期間を「しかかり時間」という)ことが多い。 【0007】有機系感光層表面は、時間経過とともに大
気中の酸素により表面が酸化されていく。このような酸
化被膜が形成された有機系感光層に非晶質炭化水素膜を
設けようとすると、酸化被膜面と非晶質炭化水素膜との
接着性が悪いために非晶質炭化水素膜の剥離が生じてし
まう。 【0008】また、一般に有機系感光層は、溶剤に樹脂
を溶解した樹脂溶液に、有機系感光材料を溶解または分
散させ、これを導電性基板に塗布・乾燥することによっ
て製造されるが、有機系感光層には乾燥工程において溶
剤が抜け出た細孔が存在しており、ある程度ポーラスな
構造を有していると考えられている。そして、上述した
ように製造後長期間保管されていると、有機系感光層中
の溶剤がさらに少なくなり、有機系感光層の細孔が非常
に多くなっていると考えられるが、この上に非晶質炭化
水素膜を設けた感光体を複写機等に使用すると、繰り返
し使用すると残留電位が上昇するという問題が生じてし
まう。 【0009】本願発明者らは、非晶質炭化水素膜の有機
系感光体への応用を研究した結果、有機系感光層上に形
成された酸化被膜に起因する非晶質炭化水素膜に剥離の
問題および残留電位の上昇の問題は、非晶質炭化水素膜
の形成前に有機系感光層表面を溶剤によって洗浄し、有
機系感光層表面の酸化被膜を除去するとともに、有機系
感光層中の溶剤含有量を2500ppm以上に調整する
ことによって改善されることを見い出した。これは、有
機系感光層が上述したようにポーラスな構造を有してい
ること、そしてこの上に非晶質炭化水素膜を形成するこ
と、非晶質炭化水素自体その製法上ポーラスな膜であり
、さらにオゾン等の活性ガスを非常に吸着しやすい性質
を有しているため、非晶質炭化水素膜に吸着した活性ガ
スが有機系感光層の細孔から侵入し、電荷輸送材料や電
荷発生材料を劣化(電荷輸送材料のキャリアモビリティ
あるいは電荷発生材料の量子効率の低下)させ、感光体
の残留電位を上昇させることから、有機系感光層表面の
酸化被膜を溶剤で除去する際に、有機系感光層に250
0ppm以上の溶剤を含有させ、有機系感光層の細孔を
溶剤でふさぐことにより、活性ガスによる電荷輸送材料
または電荷発生材料の劣化を防止し、接着性および残留
電位上昇の問題を解決するものである。 【0010】ところが、上記感光体においては、初期表
面電位(V0 )が低下するという問題が生じる。これ
は、非晶質炭化水素膜が上述したようにポーラスな構造
を有しており、かつダングリングボンドを多く有してい
るため、オゾン、NOx等の活性ガスを非常に吸着し易
い性質を有しているため、吸着した活性ガスが感光層中
の溶剤を酸化することによって溶剤の電気抵抗が低下す
るため、感光層の初期表面電位(V0 )が低下すると
いう問題が生じるものと推測される。 【0011】本発明は上述した問題を解決するものであ
り、有機系感光層上に非晶質炭化水素よりなる表面保護
層を設けた感光体において、有機系感光層と非晶質炭化
水素膜との接着性の問題、繰り返し使用時の残留電位の
上昇の問題および初期表面電位が低下するという問題等
の問題を解決し、優れた静電特性を有する有機系感光体
およびその製造方法を提供することを目的とする。 【0012】 【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために次の構成を有するものである。 【0013】(1)導電性基板上に、2500ppm以
上の溶剤を含有する有機系感光層が形成され、前記有機
系感光層上に、波長450nmにおける光吸収係数が4
00〜5000cm−1の非晶質炭化水素よりなる表面
保護層が形成されてなる有機系感光体。 【0014】(2)導電性基板上に、2500ppm以
上の溶剤を含有する有機系感光層を形成する工程、およ
びこの有機系感光層上に設けられ、プラズマCVD法を
用いて下記式[数1]を満足する条件下で非晶質炭化水
素よりなる表面保護層を形成する工程からなることを特
徴とする有機系感光体の製造方法。 【0015】 【数1】     0.005≦供給電力/(原料ガス導入量×圧
力)≦0.15[供給電力(W)、原料ガス導入量(s
ccm)、圧力(Torr)]。 【0016】本願発明者等は非晶質炭化水素膜の特性に
ついてさらに探求したところ、非晶質炭化水素膜の特性
は、波長450nmにおける光吸収係数(以下α450
nm と略す)によって大きく変化し、α450nm 
を400〜5000(cm−1)とすることによって、
上述した初期表面電位低下の問題をも改善できることを
見出した。 【0017】これは非晶質炭化水素膜は前述したように
ポーラスな膜であるが、非晶質炭化水素膜における光吸
収係数(α450nm )は非晶質炭化水素膜の孔の開
き方と対応していると考えられ、空孔の多い膜は、空孔
での光散乱あるいは空孔に露出しているダングリングボ
ンドでの光の吸収によって吸収係数が大きくなり、逆に
光吸収係数の小さい膜は空孔の少ない膜となっているの
で、α450nm を400〜5000(cm−1)に
することにより非晶質炭化水素膜の空孔を少なくし、有
機系感光層に活性ガスが侵入するのを防止することによ
って、感光体の初期表面電位低下の問題が解決されたも
のと推測される。 また、α450nm を400〜5000(cm−1)
程度の低い光吸収係数を有する非晶質炭化水素膜は、そ
の内部応力が低いので製膜時に内部応力の緩和に起因す
る非晶質炭化水素膜表面の粗面化の問題も発生しない。 【0018】本発明において、有機系感光層の構成は、
光導電性材料を結着剤に配合した単層型構成の感光層、
電荷発生層および電荷輸送層を順次積層した構成の感光
層、または電荷輸送層および電荷発生層を順次積層した
構成の感光層のいずれであってもよい。 【0019】有機系感光層の溶剤含有量は2500〜2
0000ppmの範囲に調整する。溶剤含有量が200
00ppmより多いと感光層が柔らかくなりすぎて非晶
質炭化水素膜が割れ易くなる。 【0020】導電性支持体は少なくとも最表面が導電性
を示す素材であればよく、形状も円筒形、可橈性ベルト
状、平板状等任意の形態をとることができる。 【0021】本発明の表面保護層は、非晶質炭化水素よ
り形成され、その光吸収係数α450nm は400〜
5000cm−1、好ましくは1000〜4000cm
−1である。α450nm が5000cm−1より大
きくなると、感光体の静電特性が不安定(初期表面電位
の低下)となり、400cm−1より小さいと、非晶質
炭化水素膜が低硬度となって耐久性が乏しくなる。 【0022】表面保護層の膜厚は、0.01〜5μm、
好ましくは0.04〜1μm、より好ましくは0.08
〜0.5μmである。0.01μmより薄いと、膜強度
が低下し、傷、膜削れ等の問題が発生する。5μmより
厚いと、透光性低下による感度の低下、残留電位の上昇
、成膜性の悪化、膜接着性の悪化等の問題が生じる。 【0023】本発明において、表面保護層が可視光の透
過率が80%以上であることが望ましい。 【0024】すなわち、I=I0 exp (−αd)
より、IがI0 の80%以上となるためには、αd≦
0.223である必要があり、一般に複写機用感光体で
用いられる波長(450〜780nm)に対して、非晶
質炭化水素膜は450nmにおける吸収が最も高いこと
から、表面保護層の光吸収係数と膜厚が下記式[数2]
を満足することが好ましい。 【0025】 【数2】α450 ×d≦2230 [α450 は450nmにおける吸収係数(cm−1
)、dは表面保護層の膜厚(μm)である。]。 【0026】非晶質炭化水素膜中に含有される水素原子
の量は特に制限はないが、表面保護層の構造およびグロ
ー放電という製造面から必然的に制約され、その量は概
ね5〜60atomic%となる。 【0027】非晶質炭化水素膜中に含有される炭素原子
、水素原子の量は、有機元素分析、オージェ分析、SI
MS分析等の手段により知ることができる。 【0028】本発明の表面保護層は気相状態の少なくと
も炭素原子および水素原子を含む分子を減圧下で放電し
、発生したプラズマ雰囲気中に含まれる活性中性種ある
いは荷電種を基板上に拡散、電気力あるいは磁気力等に
より誘導し、基板上での再結合反応により固相として堆
積させる、いわゆるプラズマ反応(以下P−CVD反応
またはプラズマCVD法と称す)することにより非晶質
炭化水素膜として形成することができる。 【0029】上記各分子は常温常圧において必ずしも気
相である必要はなく、加熱あるいは減圧等により溶融、
蒸発、昇華等を経て気化し得るものであれば、液相でも
固相でも使用可能である。 【0030】少なくとも炭素原子および水素原子を含め
分子としては炭化水素、例えば飽和炭化水素、不飽和炭
化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素等を用いるこ
とができる。 【0031】非晶質炭化水素膜の吸収係数は成膜時の条
件、例えば、圧力、放電周波数、電力、原料ガス種、ガ
ス流量等により制御することができる。 【0032】非晶質炭化水素膜の形成時、その原料ガス
を高いエネルギーで分解すると、生成された非晶質炭化
水素膜中に未結合手(ダングリングボンド)が多くでき
るため吸収係数が大きくなってしまう。 【0033】非晶質炭化水素膜の吸収係数を小さくする
ためには、原料ガス1分子当りに供給される分解エネル
ギーを低くし、膜生成のみに必要なエネルギーを供給す
ることによって、余計な未結合手を生成しないようにす
る。ただし、エネルギーが低すぎると、非晶質炭化水素
膜生成に必要な分子間の結合が不十分となり、膜の硬度
低下および耐摩耗性の低下を招くので注意が必要である
。 【0034】従って、非晶質炭化水素膜の吸収係数を小
さくするには、ガス流量を大きくする、原料ガスに炭素
数の多い炭化水素を用いる、放電周波数を大きくする、
基板温度を低くする、放電時間を短くする等の手法によ
って適宜制御することができる。これらの制御手法は、
単独で行なってもよいし併用してもよく、非晶質炭化水
素のα450nm が400〜5000cm−1になる
ように製造すれば良い。 【0035】特に、本発明においては、下記式[数1]
を満足する条件で非晶質炭化水素を製造することにより
α450nm が400〜5000cm−1である非晶
質炭化水素膜を良好に製造することができる。 【0036】 【数1】     0.005≦供給電力/(原料ガス導入量×圧
力)≦0.15[供給電力(W)、原料ガス導入量(s
ccm)、圧力(Torr)]。 【0037】式[数1]において、供給電力/(原料ガ
ス導入量×圧力)の値(以下この値をA値と略称する。 )が0.005より小さいと製造された非晶質炭化水素
膜の硬度が低くなり耐久性が乏しくなる。0.15より
大きいと非晶質炭化水素膜の吸収係数が大きくなりやす
い。 【0038】 【作用】本発明においては、有機系感光層に2500p
pm以上の溶剤を含有させ、有機系感光層の細孔を溶剤
でふさぐことにより、活性ガスによる電荷輸送材料また
は電荷発生材料の劣化を防止したので、接着性の低下お
よび残留電位上昇の問題がなく、更に、前記有機系感光
層上に、波長450nmにおける光吸収係数が400〜
5000cm−1の非晶質炭化水素よりなる表面保護層
を形成することにより、感光体の初期表面電位低下のな
い有機系感光体が得られる。 【0039】 【実施例】(1)感光層の作製 ■  有機系感光層aの作製 ジスアゾ顔料クロロジアンブル−(CDB)1重量部、
ポリエステル樹脂(東洋紡績株式会社製V−200)1
重量部、及びシクロヘキサノン100重量部の混合液を
サンドグラインダーにて13時間分散した。この分散液
を直径80mm×長さ330mmの円筒状アルミニウム
基板上にディッピングにて塗布し、乾燥して膜厚0.3
μmの電荷発生層を形成した。 【0040】別に、4−ジエチルアミノベンズアルデヒ
ド−ジフェニルヒドラゾン(DEH)1重量部、及びポ
リカーボネート(帝人化成社製K−1300)1重量部
をテトラヒドロフラン(THF)6重量部に溶解し、こ
の溶液を前記電荷発生層上に塗布、乾燥(100℃、4
5分間)し、乾燥後膜厚15μmの電荷輸送層を形成し
、有機系感光層aを得た。 【0041】有機系感光層aの溶剤含有量は、1520
ppm であった。 【0042】感光層中の溶剤含有量は、残留する溶剤を
抽出しガスクロマトグラフィーを用いることによって定
量することができる。具体的には、感光体を一定量正確
に秤量し、これをアセトン、メチルエチルケトン、テト
ラヒドロフラン、エタノール等の溶剤に浸漬させ、超音
波等を用いて残留する溶剤を抽出する。そして、これに
内部標準物質としてベンゼン、トルエン、キシレン、ヘ
キサン等を加え、ガスクロマトグラフィーを用いて内部
標準法によって定量する。 【0043】■  有機系感光層bの作製特殊α型銅フ
タロシアニン(東洋インキ株式会社製)25重量部、ア
クリルメラミン熱硬化型樹脂(大日本インキ株式会社製
A−405とスーパーベッカミンJ820の混合物)5
0重量部、4−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフ
ェニルヒドラゾン25重量部及び有機溶剤(キシレン7
重量部とブタノール3重量部の混合物)500重量部の
混合液をボールミルで10時間粉砕分散した。この分散
液を直径80mm×長さ330mmの円筒状アルミニウ
ム基板上にディッピングにて塗布し、乾燥(常温)焼き
付け(150℃で1時間)を行い、膜厚15μmの有機
系感光層bを得た。 【0044】溶剤含有量は、1140ppm であった
。 【0045】■  有機系感光層cの作製下記式[化1
]に示されるジスアゾ化合物2重量部、ポリエステル樹
脂(東洋紡績株式会社製V−500)1重量部、及びメ
チルエチルケトン100重量部をボールミルにて、24
時間混合分散した。この分散液を直径80mm×長さ3
30mmの円筒状アルミニウム基板上にディッピングに
て塗布し、乾燥して膜厚3000オングストロームの電
荷発生層を得た。 【0046】 【化1】 【0047】次いで、この電荷発生層の上に、下記式[
化2]に示されるヒドラゾン化合物10重量部、及びポ
リカーボネート樹脂(帝人化成社製K−1300)10
重量部をテトラヒドロフラン80重量部中に溶解した液
を塗布し、乾燥(80℃1時間)して膜厚20μmの電
荷輸送層を形成し、有機系感光層cを得た。 【0048】 【化2】 【0049】溶剤含有量は、1900ppm であった
。 【0050】■  有機系感光層dの作製下記式[化3
]に示されるジスアゾ化合物2重量部、ポリエステル樹
脂(東洋紡績株式会社製V−500)1重量部、及びメ
チルエチルケトン100重量部をボールミルにて、24
時間混合分散した。この分散液を直径80mm×長さ3
30mmの円筒状アルミニウム基板上にディッピングに
て塗布し、乾燥して膜厚2500オングストロームの電
荷発生層を得た。 【0051】 【化3】 【0052】次いで、下記式[化4]に示されるスチリ
ル化合物10重量部、及びポリアリレート樹脂(ユニチ
カ社製U−4000)10重量部をテトラヒドロフラン
85重量部中に溶解した。得られた塗布液を前記電荷輸
送層の上に塗布し、乾燥(80℃30分間)して膜厚が
20μmの電荷輸送層を形成し、有機系感光層dを得た
。 【0053】 【化4】 【0054】溶剤含有量は、2120ppm であった
。 【0055】■  有機系感光層eの作製下記式[化5
]に示すジスアゾ化合物2重量部、ポリエステル樹脂(
東洋紡績株式会社製V−500)1重量部、及びメチル
エチルケトン100重量部をボールミルにて、24時間
混合分散した。この分散液を直径80mm×長さ330
mmの円筒状アルミニウム基板上にディッピングにて塗
布し、乾燥して膜厚3000オングストロームの電荷発
生層を得た。 【0056】 【化5】 【0057】次いで、下記式[化6]に示すスチリル化
合物10重量部、及びメチルメタクリレート樹脂(三菱
レーヨン株式会社製BR−85)10重量部をテトラヒ
ドロフラン80重量部に溶解した。得られた液を前記電
荷輸送層の上に塗布後乾燥(70℃30分間)して膜厚
が20μmの電荷輸送層を形成し、有機系感光層eを得
た。 【0058】 【化6】 【0059】溶剤含有量は、2380ppm であった
。 【0060】■  有機系感光層fの作製チタニルフタ
ロシアニン(TiOPc)を抵抗加熱法を用いてボート
温度400〜500℃、真空度10−4〜10−6To
rrのもとで真空蒸着し、厚さ2500オングストロー
ムのTiOPc蒸着膜を、電荷発生層として形成した。 【0061】次いで、下記式[化7]に示すp,p−ビ
スジエチルアミノテトラフェニルブタジエン1重量部、
及びポリカーボネート(帝人化成社製K−1300)1
重量部をTHF6重量部に溶解し、この溶液を前記電荷
発生層の上に塗布し乾燥(100℃30分間)して膜厚
15μmの電荷輸送層を形成し、有機系感光層fを得た
。 【0062】 【化7】 【0063】溶剤含有量は、1670ppm であった
。なお、これらの感光層のうち、感光層bは(+)帯電
用、他は(−)帯電用である。また、感光層fは長波長
露光用、他は通常露光用である。 【0064】(2)表面保護層の作成 実施例1 溶剤含有量が1520ppm である有機系感光層aを
、フロンR113に1分間浸漬し表面を洗浄後、常温乾
燥したものを、特開昭63−97962号公報に示され
る装置の真空槽内にセットした。 【0065】洗浄後の有機系感光層中に含有される残留
溶剤量はプラズマ反応開始直前状態で4200ppm 
であった。 【0066】次いで、水素ガス600sccm、ブタジ
エンガス600sccmを真空槽内に導入し、圧力を2
Torrに設定した。 【0067】圧力が一定になったところで、周波数80
KHzの電源を用いて50Wの電力を投入した。 【0068】前述のA値は0.0208であり、また、
感光層の温度は50℃とした。 【0069】230秒間成膜を行ない、膜厚0.1μm
の非晶質炭化水素膜を表面保護層として有する感光体を
得た。 【0070】α450nm は2000[1/cm]、
d・α450nm の値は200であった。 【0071】この感光体について残留電位評価および表
面電位評価を行った。 【0072】また、膜硬度は9Hであった。結果を表1
および表2に示した。 【0073】なお、α450nm の測定は以下の方法
で行った。 【0074】透明なガラス基板(例えばコーニング社製
#7059)上に、非晶質炭化水素膜を載置し、可視紫
外光度計(例えば、日本分光工業株式会社製  UVI
DEC−610型)で可視光透過スペクトルを測定する
。 【0075】図1は、その典型的なスペクトルを示した
ものであるが、a,bは450nm光に対する透過率が
高く、即ち、α450nm (450nm光に対する吸
収係数)が低い非晶質炭化水素膜の例であり、cはα4
50nm が高い非晶質炭化水素膜の例である。 【0076】ガラス基板には一部マスキングを施し、着
膜しない部分を設け、着膜部との段差を表面粗さ計(例
えば、東京精密社製  サーフコム550A)で測定し
、膜厚を求める。 【0077】次式[数3]を用いてαを求める。 【0078】 【数3】 αλ=−(1/D)・loge (Iλ/I0 λ)(
式中αλは波長λにおける吸収係数、Dは膜厚、Iλ/
I0 λは波長λにおける透過率を示す。)αとして4
50nm光における値を選択したのは、次の理由による
。 【0079】通常の感光体は、比視感度域(450〜6
50nm)或いはLED、半導体レーザー感度域(68
0、780nm)で用いられ、従って、非晶質炭化水素
膜は、少なくとも、その範囲の波長の光を透過する必要
がある。逆にこれら以外の波長での透過特性は、求めた
ところで意味がない。 【0080】そこで有用な波長域で最もαの変化を測定
しやすい450nmを選んだ。 【0081】残留電位の測定には図2の如き試験機を用
いた。 【0082】帯電器4によりCHG出力を調整し、第1
表面電位計2でのモニター値を常に−500±20Vに
保った。但し、感光層bについては、+500±20V
に保った。 【0083】除電ランプ5にはハロゲンランプを用い、
色温度2800°Kで点灯し、フィルター6を用い、3
0[lux sec ]の光量が感光体に照射されるよ
うにした。但し、感光層fについては、色温度2200
°Kとした。 【0084】感光体1の形状はφ80×l330mmで
あり、周速13cm/sec で回転させた。 【0085】そして、第2表面電位計3でのモニター値
により、残留電位を観測した。 【0086】残留電位の評価は下記の通りである。 【0087】感光体1回転目の残留電位(Vr)に対し
5000回転目の残留電位(Vr´)がどの程度上昇し
たかで、○△×を付けた。 【0088】 |Vr′−Vr|≦50              
    ○50<|Vr′−Vr|≦100     
     △100<|Vr′−Vr|       
         ×表面電位低下の測定には図3の如
き試験機を用いた。まず、オーバーコート層のない感光
体に対して、帯電器14を調整し、表面電位計12での
モニター値を常に−500±20Vに保った。但し、感
光層bについては、+500±20Vに保った。 【0089】除電ランプ15にはハロゲンランプを用い
、色温度2800°Kで点灯し、フィルター16を用い
、30[lux sec ]の光量が感光体に照射され
るようにした。但し、感光層fについては、色温度22
00°Kとした。 【0090】感光体11の形状は直径80×長さ330
mmであり、周速13cm/sec で回転させた。 【0091】電流計13でモニター値を記録しておき、
次にオーバーコート層を形成した感光体を前記の値にな
るように帯電器14の出力を調整した。すなわち、前記
オーバーコート層のない感光体と同量の電荷がのるよう
にするためである。 【0092】表面電位低下の評価は下記のとおりである
。 【0093】オーバーコート前の表面電位(V0 )に
対しオーバーコート後の表面電位(V0 ´)がどの程
度低下したかで、○△×を付けた。 【0094】 |V0 ′−V0 |≦50            
      ○50<|V0 ′−V0 |≦100 
         △100<|V0 ′−V0 | 
               ×表面硬度の測定はα
450nm の測定の場合と同様に、ガラス基板上にa
−C膜を設け(但し膜厚は1000オングストロームと
する)、JIS−K−5400規格の鉛筆引っかき試験
を行なった。 【0095】評価は下記のとおりである。 【0096】 また、実施例2〜16、比較例1〜6については、有機
系感光層および表面保護層の製造条件を表1および表2
に示す条件とする以外は実施例1と同様にして感光体を
作製した。 【0097】また、それぞれの感光体について実施例1
と同じ評価を行ない結果を表1および表2に示した。 【0098】尚、表1、表2において“ex”は実施例
、“ce”は比較例を意味するものである。 【0099】 【表1】 ex    有機系    高溶剤  溶  剤   
 原  料  ガ  ス    総流量  電力  圧
力ce    感光層    化処理  存在量   
                 番号 (溶剤pp
m)  法注1)  (ppm)   ガスsccm 
 ガスsccm  [sccm]   [W]  To
rrce1   a(1520)   1分間   4
200   水素1000  注2)BD800   
1800   40     5ex2     〃 
       〃      〃    水素 800
  注2)BD800   1600   40   
  5ex3     〃        〃    
  〃    水素 800  注2)BD600  
 1400   50     4ex4     〃
        〃      〃    水素 60
0  注2)BD600   1200   50  
   3ex1     〃        〃   
   〃    水素 600  注2)BD600 
  1200   50     2ex5     
〃        〃      〃    水素 4
00  注2)BD300   700    50 
    2ex6     〃        〃  
    〃    水素 400  注2)BD150
   550    60     1ex7    
 〃        〃      〃    水素 
350  注2)BD 50   400    60
     1ce2     〃        〃 
     〃    水素 300  注2)BD 5
0   350    70     1ce3   
b(1140)   無処理   1140   水素
 300  注2)BD 50   350    7
0     1ce4   e(2380)   5分
間  10000   ce1と同じex8     
〃        〃      〃    ex2と
同じex9     〃        〃     
 〃    ex4と同じex10    〃    
    〃      〃    ex6と同じex1
1    〃        〃      〃   
 ex7と同じce5     〃        〃
      〃    ce2と同じ        
                  ex12  b
(1140)   20秒間   3400   水素
 800  注3)  350  1150   12
0    1.2ex13  c(1900)   3
分間   6200   水素 800  注4)  
400  1200   100    1.4ex1
4  d(2120)   4分間   7100  
 水素 800  注5)  600  1400  
  50    1.6ex15  e(2380) 
  5分間  10000   水素 900  注6
)  400  1300    40    1.8
ex16  f(1670)   2分間   510
0   He 700  注2)BD300  100
0    30     2ce6   a(1520
)   無処理   1520   水素 300  
注2)BD 50   350    70    0
.8   注1)はフロンR113(CFCl 2 ) 2 
に浸漬後常温乾燥、注2)BDはブタジエン、注3)は
エチレン、注4)はプロパン、注5)はアセチレン、注
6)はプロピレン。 【0100】 【表2】 ex    A  値  Freq.   Ts  成
膜  膜厚  係数    d×  残留電  Vo 
 硬度ce                    
    時間    d  α450   α450 
位上昇  低下番号           [Hz] 
 (℃) [sec] [um]  [/cm]   
      評  価  評価  評価ce1   0
.0044   80K    50   180  
 0.1    350     35    ○  
    ○    ×ex2   0.005    
80K    50   190   0.1    
400     40    ○      ○   
 △ex3   0.0089   80K    5
0   200   0.1    600     
60    ○      ○    △ex4   
0.0139   80K    50   210 
  0.1   1000    100    ○ 
     ○    ○ex1   0.0208  
 80K    50   230   0.1   
2000    200    ○      ○  
  ○ex5   0.0357   80K    
50   240   0.1   3000    
300    ○      ○    ○ex6  
 0.1091   80K    50   260
   0.1   4000    400    ○
      ○    ○ex7   0.15   
  80K    50   280   0.1  
 5000    500    ○      △ 
   ○ce2   0.2      80K   
 50   300   0.1   6000   
 600    ○      ×    ○ce3 
  0.2      80K    50   30
0   0.1   6000    600    
×      ○    ○ce4   ce1と同じ
                         
           ○      ○    ×e
x8   ex2と同じ              
                      ○  
    ○    △ex9   ex4と同じ   
                         
        ○      ○    ○ex10
  ex6と同じ                 
                   ○     
 ○    ○ex11  ex7と同じ      
                         
     ○      △    ○ce5   c
e2と同じ                    
                ○      × 
   ○ex12  0.087    50K   
 30  1800   0.75  2900   
2175    ○      ○    ○ex13
  0.0595   80K    30  115
0   0.75  2200   1100    
○      ○    ○ex14  0.0223
  200K    50   220   0.1 
  2200    220    ○      ○
    ○ex15  0.0171    *   
 50   420   0.2   1300   
 260    ○      ○    ○ex16
  0.015    80K    30   20
0   0.1   1100    110    
○      ○    ○ce6   0.25  
   80K    50   320   0.1 
 10000   1000    ×      ○
    ○(備考:*は13.56M)   【0101】 【発明の効果】本発明は、有機系感光層上に非晶質炭化
水素よりなる表面保護層を設けた感光体において、有機
系感光層と非晶質炭化水素膜との接着性が良好で、繰り
返し使用時の残留電位の上昇がなく、また、初期表面電
位の低下のない優れた静電特性を有する有機系感光体な
らびにその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】非晶質炭化水素膜の可視光透過スペクトルを示
すチャートである。
【図2】残留電位測定試験機の略図である。
【図3】表面電位の低下を測定する試験機の略図である
【符号の説明】
1…感光体、2…第1表面電位計、3…第2表面電位計
、4…帯電器、5…除電ランプ、6…フィルター、11
…感光体、12…表面電位計、13…電流計、14…帯
電器、15…除電ランプ、16…フィルター。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  導電性基板上に、2500ppm以上
    の溶剤を含有する有機系感光層が形成され、前記有機系
    感光層上に、波長450nmにおける光吸収係数が40
    0〜5000cm−1の非晶質炭化水素よりなる表面保
    護層が形成されてなる有機系感光体。
  2. 【請求項2】  導電性基板上に、2500ppm以上
    の溶剤を含有する有機系感光層を形成する工程、および
    この有機系感光層上に設けられ、プラズマCVD法を用
    いて下記式[数1]を満足する条件下で非晶質炭化水素
    よりなる表面保護層を形成する工程からなることを特徴
    とする有機系感光体の製造方法。 【数1】     0.005≦供給電力/(原料ガス導入量×圧
    力)≦0.15[供給電力(W)、原料ガス導入量(s
    ccm)、圧力(Torr)]
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