JPH04214117A - ガス流量制御装置 - Google Patents

ガス流量制御装置

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Publication number
JPH04214117A
JPH04214117A JP40145090A JP40145090A JPH04214117A JP H04214117 A JPH04214117 A JP H04214117A JP 40145090 A JP40145090 A JP 40145090A JP 40145090 A JP40145090 A JP 40145090A JP H04214117 A JPH04214117 A JP H04214117A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
valve
rate control
gas
shutoff valve
Prior art date
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Pending
Application number
JP40145090A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoto Tashiro
田代　直登
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NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガス流量制御装置に関し
、特にしゃ断弁とマスフローコントローラーを備えたガ
ス流量制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガス流量制御装置は、図２の一部
断面にした正面図に示すように、マスフローコントロー
ラー３と、しゃ断弁１と、この双方を接続する接続管６
とを有している。次にその動作について説明する。ガス
流出側はガスを使用する装置に接続されており、しゃ断
弁１内の弁体２を開け、マスフローコントローラー３内
の流量制御用弁体４が必要に応じた量だけ開閉動作する
事により、ガス流入側からガス流出側への流量が制御さ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のガス流量制
御装置では、しゃ断弁弁体２と流量制御用弁体４との間
のガス溜り５の容積が大きい為、図３のように、しゃ断
弁１が開いた瞬間に、ガス溜り５に溜っていた流量制御
の効かないガスが急激に放出され、微量な流量制御の安
定性が悪化するという問題点があった。尚、図３におい
ては、マスフローコントローラーの流量制御量を０とし
て示した。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のガス流量制御装
置は、しゃ断弁とマスフローコントローラーとの接続に
接続管を使用せず、マスフローコントローラーにしゃ断
弁を直接接続して、一体化した。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の一実施例のガス流量制御装置を示す一
部断面図にした正面図である。本実施例は、しゃ断弁弁
体２と流量制御用弁体４とを接近させて取り付けること
によって、しゃ断弁１とマスフローコントローラー３を
一体化し、しゃ断弁弁体２と流量制御用弁体４との間の
ガス溜り５の容積を小さくした。各弁の動作タイミング
については従来のガス流量制御装置と同等である。
【０００６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、マスフロ
ーコントローラーとしゃ断弁との間のガス溜りの容積を
小さくしたので、しゃ断弁が開いた瞬間の急激なガスの
流出が微小に抑えられ、流量制御の安定性が増すという
効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のガス流量制御装置を示す一
部断面にした正面図である。
【図２】従来のガス流量制御装置を示す一部断面図にし
た正面図である。
【図３】従来のしゃ断弁の開閉によるガス流量の変化を
示すグラフである。
【符号の説明】
１　　　　しゃ断弁 ２　　　　しゃ断弁弁体 ３　　　　マスフローコントローラー ４　　　　流量制御用弁体 ５　　　　ガス溜り ６　　　　接続管

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　ガスを使用する装置への流れを開閉す
    るしゃ断弁と、流量を制御するマスフローコントローラ
    ーとを有するガス流量制御装置において、前記しゃ断弁
    とマスフローコントローラーとを一体化した事を特徴と
    するガス流量制御装置。
JP40145090A 1990-12-12 1990-12-12 ガス流量制御装置 Pending JPH04214117A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06318116A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Nec Corp ガス流量制御装置
WO2004017150A1 (en) * 2002-08-14 2004-02-26 Young-Chul Chang Time based flow controller for incompressible fluid and method for controlling flow rate of incompressible fluid using it

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6325411A (ja) * 1986-01-29 1988-02-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス器具のガス供給制御装置

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970729