JPH042148A - ウェハキャリア - Google Patents
ウェハキャリアInfo
- Publication number
- JPH042148A JPH042148A JP2103385A JP10338590A JPH042148A JP H042148 A JPH042148 A JP H042148A JP 2103385 A JP2103385 A JP 2103385A JP 10338590 A JP10338590 A JP 10338590A JP H042148 A JPH042148 A JP H042148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- stopper
- housing body
- wafer carrier
- stopper means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 61
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
半導体のウェハ収容容器の搬送時において、ウェハの抜
け出し防止手段が請じられているウェハキャリアに関す
る。
け出し防止手段が請じられているウェハキャリアに関す
る。
［従来の技術Ｊ
従来のウェハキャリアはウェハ抜け出し防止手段がない
か、もしくは有っても機構が複雑である事と、ストッパ
ー手段が手操作であった。
か、もしくは有っても機構が複雑である事と、ストッパ
ー手段が手操作であった。
［発明が解決しようとする課題］
ウェハの搬送にはウェハをウェハキャリアに格納して搬
送するが、従来のウェハキャリアはウェハの出入りを自
在にするため、ハウジング本体の出入口が解放されてい
る。そのためウェハキャリアをウェハ出入口側に傾ける
事により、収容されたウェハが抜け出してしまい、ウェ
ハの割れや傷を発生させていた。
送するが、従来のウェハキャリアはウェハの出入りを自
在にするため、ハウジング本体の出入口が解放されてい
る。そのためウェハキャリアをウェハ出入口側に傾ける
事により、収容されたウェハが抜け出してしまい、ウェ
ハの割れや傷を発生させていた。
又、ストッパー手段を有している従来のウェハキャリア
では、ストッパー手段が分離された別部品となっていて
、操作が手作業で面倒であったり、部品の紛失等が発生
していた。
では、ストッパー手段が分離された別部品となっていて
、操作が手作業で面倒であったり、部品の紛失等が発生
していた。
さらにはハウジング本体組み込みのストツバ−手段の操
作が手動となり面倒な事と、操作のし忘れによりウェハ
出入口の未解放状態での装置装着によるトラブル、搬送
時の解放しっばなしによるウェハの抜け出し等の問題が
ある。本発明ではストッパー手段の操作の面倒さや、部
品紛失等の問題がなく、更にストッパー手段の操作し忘
れによる装置装着時のトラブルや、搬送時のウェハ族は
出しを防止する事ができるウェハキャリアを提供する。
作が手動となり面倒な事と、操作のし忘れによりウェハ
出入口の未解放状態での装置装着によるトラブル、搬送
時の解放しっばなしによるウェハの抜け出し等の問題が
ある。本発明ではストッパー手段の操作の面倒さや、部
品紛失等の問題がなく、更にストッパー手段の操作し忘
れによる装置装着時のトラブルや、搬送時のウェハ族は
出しを防止する事ができるウェハキャリアを提供する。
［課題を解決するための手段］
ウェハキャリアを装置装着時にハウジング本体下端から
張り出したストッパー手段の軸部が上方へ突き上げられ
、ウェハキャリア出入口は解放状態となり、ウェハ搬送
時にはストッパー手段が下方に戻る事により、ストッパ
ー手段軸部に設けられたストッパー板がウェハ出入口を
遮り、ウェハキャリアがウェハ出入口側に傾けてもウェ
ハが抜き出ない機構を設ける事により課題を解決した。
張り出したストッパー手段の軸部が上方へ突き上げられ
、ウェハキャリア出入口は解放状態となり、ウェハ搬送
時にはストッパー手段が下方に戻る事により、ストッパ
ー手段軸部に設けられたストッパー板がウェハ出入口を
遮り、ウェハキャリアがウェハ出入口側に傾けてもウェ
ハが抜き出ない機構を設ける事により課題を解決した。
［実施例コ
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は装置ステージ９に装着されたウェハキャリア１の全
体図で、ウェハ４がハウジング本体２の側板２ａ、２ｂ
に設けられたウェハ収容溝５に収容されている。モして
ウェハキャリア１のウェハ出入口６側の任意の場所に、
第２図のようなストッパー軸１１と一体となったストッ
パー板１２とストッパー溝１３により構成されるストッ
パー手段１０が組み込まれている。そしてこの状態でス
トッパー手段１０はストッパー軸１１がステージ９によ
りハウジング本体２に設けられたウェハ収容溝５のピッ
チ分上方に押し上げられるため、第３図に示すようにス
トッパー軸１１とストッパー板１２が上方に押し上げら
れウェハ収容溝５とストッパー溝１３が合致し、ウェハ
収容溝５がウェハ出入口６方向に対して解放状態になり
、ウェハ４の出し入れが自由に行える。つぎにウェハキ
ャリア１搬送時にはウェハキャリア１がステージ９がら
離れる事により、ストッパー手段１０が自重により下方
向に移動し、ストッパー板最下部１４がウェハ収容溝最
下部８に当たるまで下がり、第四図に示すようにストッ
パー板１２が第一図で示すウェハ収容溝５と重なる位置
になり、ウェハ収容溝５のウェハ出入−ロ６側を塞ぐた
めウェハ４はウェハキャリア１をウェハ出入口６側へ傾
けても、第四図に示すストッパー板１２に当たって抜き
出なくなる。
図は装置ステージ９に装着されたウェハキャリア１の全
体図で、ウェハ４がハウジング本体２の側板２ａ、２ｂ
に設けられたウェハ収容溝５に収容されている。モして
ウェハキャリア１のウェハ出入口６側の任意の場所に、
第２図のようなストッパー軸１１と一体となったストッ
パー板１２とストッパー溝１３により構成されるストッ
パー手段１０が組み込まれている。そしてこの状態でス
トッパー手段１０はストッパー軸１１がステージ９によ
りハウジング本体２に設けられたウェハ収容溝５のピッ
チ分上方に押し上げられるため、第３図に示すようにス
トッパー軸１１とストッパー板１２が上方に押し上げら
れウェハ収容溝５とストッパー溝１３が合致し、ウェハ
収容溝５がウェハ出入口６方向に対して解放状態になり
、ウェハ４の出し入れが自由に行える。つぎにウェハキ
ャリア１搬送時にはウェハキャリア１がステージ９がら
離れる事により、ストッパー手段１０が自重により下方
向に移動し、ストッパー板最下部１４がウェハ収容溝最
下部８に当たるまで下がり、第四図に示すようにストッ
パー板１２が第一図で示すウェハ収容溝５と重なる位置
になり、ウェハ収容溝５のウェハ出入−ロ６側を塞ぐた
めウェハ４はウェハキャリア１をウェハ出入口６側へ傾
けても、第四図に示すストッパー板１２に当たって抜き
出なくなる。
［発明の効果］
本発明のウェハキャリアはストッパー手段をハウジング
本体に組み込んだ事により、ウェハの出入り作業中にス
トッパー手段が他の物にまぎれて紛失する事はない。ス
トッパー手段がストッパー軸の上下動だけで出来るため
手動による操作が不要で操作の容易化が図れ、更に操作
ミスが発生しないためウェハ出し入れやウェハ族は出し
のトラブルを確実に防止する事が出来る。
本体に組み込んだ事により、ウェハの出入り作業中にス
トッパー手段が他の物にまぎれて紛失する事はない。ス
トッパー手段がストッパー軸の上下動だけで出来るため
手動による操作が不要で操作の容易化が図れ、更に操作
ミスが発生しないためウェハ出し入れやウェハ族は出し
のトラブルを確実に防止する事が出来る。
第１図はウェハハンドリング装置のステージにおかれた
ウェハの装着されている本発明の実施例の斜視図。第２
図は第１図のストッパー手段の構成図。第３図は第１図
のストッパー手段とストッパー手段が組み込まれたハウ
ジング本体のステージに置かれた状態での断面図。第４
図は第１図のストッパー手段とストッパー手段が組み込
まれたハウジング本体の搬送状態での断面図。 １・・ウェハキャリア、２・°ハウジング本体、 ３ａ
、 ３ｂ ・ ・側板、 ４ ・ ・ウェハ、５・・ウ
ェハ収容溝、６・・ウェハ出入口、７・・ウェハ収容溝
最下部、８・・装置ステージ、９・・ストッパー手段、
１０・・ストッパー軸、１１・・ストッパー板、１２・
ストッパー溝、１３・・ストッパー板最下部以 上
ウェハの装着されている本発明の実施例の斜視図。第２
図は第１図のストッパー手段の構成図。第３図は第１図
のストッパー手段とストッパー手段が組み込まれたハウ
ジング本体のステージに置かれた状態での断面図。第４
図は第１図のストッパー手段とストッパー手段が組み込
まれたハウジング本体の搬送状態での断面図。 １・・ウェハキャリア、２・°ハウジング本体、 ３ａ
、 ３ｂ ・ ・側板、 ４ ・ ・ウェハ、５・・ウ
ェハ収容溝、６・・ウェハ出入口、７・・ウェハ収容溝
最下部、８・・装置ステージ、９・・ストッパー手段、
１０・・ストッパー軸、１１・・ストッパー板、１２・
ストッパー溝、１３・・ストッパー板最下部以 上
Claims (1)
- ウェハを出し入れ自在に収容するハウジング本体と、こ
のハウジング本体に収容されたウェハのウェハ出入口か
らの抜け出しを防止するストッパー手段とを備えて成る
ウェハキャリアにおいて、前記ストッパー手段は、ハウ
ジング本体の上下両端部に上下動自在に設けられた軸部
と、この軸からハウジング本体に設けられたウェハ格納
溝のピッチに合わせ横方向に延出されたストッパー部を
有し、前記軸部はハウジング本体の下端部から前記ハウ
ジング本体に設けられたウェハ格納溝のピッチ分突き出
している事を特徴とするウェハキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2103385A JPH042148A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | ウェハキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2103385A JPH042148A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | ウェハキャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042148A true JPH042148A (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=14352613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2103385A Pending JPH042148A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | ウェハキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042148A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4948948A (en) * | 1989-05-23 | 1990-08-14 | Claude Lesage | Water heater with multiple heating elements having different power |
| US8343405B2 (en) | 2005-10-20 | 2013-01-01 | Montblanc-Simplo Gmbh | Method for producing a transparent body that incorporates an object |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP2103385A patent/JPH042148A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4948948A (en) * | 1989-05-23 | 1990-08-14 | Claude Lesage | Water heater with multiple heating elements having different power |
| US8343405B2 (en) | 2005-10-20 | 2013-01-01 | Montblanc-Simplo Gmbh | Method for producing a transparent body that incorporates an object |
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