JPH11121585A - ウェハ搬送装置 - Google Patents

ウェハ搬送装置

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JPH11121585A
JPH11121585A JP9285291A JP28529197A JPH11121585A JP H11121585 A JPH11121585 A JP H11121585A JP 9285291 A JP9285291 A JP 9285291A JP 28529197 A JP28529197 A JP 28529197A JP H11121585 A JPH11121585 A JP H11121585A
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JP
Japan
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wafer
cassette
push
peripheral edge
base
Prior art date
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Withdrawn
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JP9285291A
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Tomoo Kato
智生 加藤
Keiji Kimura
桂司 木村
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Priority to US09/319,633 priority patent/US6309166B1/en
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
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    • H—ELECTRICITY
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    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、ウェハ搬送時のウェハ破損を確実に
防止できるウェハ搬送装置を提供する。 【解決手段】ウェハカセット４内のスロット溝６にウェ
ハ３周縁を挿入して収容するようにしたもので、ウェハ
カセット４のウェハを出入れするウェハ出入れ部と反対
側面の押し操作穴部４０１に対応してウェハ押出し機構
７を設け、このウェハ押出し機構７において、モータ７
０２の回転により円板状カム７０３を介してサブベース
７０５を直動ガイド７０４に沿って直線移動すること
で、サブベース７０５に植設された複数の押しピン７０
７、７０８、７０９がウェハ３周縁に押し当てられ、ウ
ェハ３をウェハ出入れ部側に所定量押し出す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハカセットよ
りウェハを取出し搬送するウェハ搬送装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハカセットよりウェハを取出
し搬送するウェハ搬送装置には、図７に示すように、エ
レベータ機構部１により上下動可能にしたカセット台２
上に多数のウェハ３を積層方向に収容したウェハカセッ
ト４を載置していて、搬送開始の際に、エレベータ機構
部１によりカセット台２を所定位置まで降下させ、図示
しないセンサによりウェハカセット４内の搬送するウェ
ハ３を検出し、搬送ウェハ３を検出したならば、エレベ
ータ機構部１によりカセット台２を所定距離だけ上昇さ
せて搬送アーム５を搬送ウェハ３の下側に挿入し、さら
に、エレベータ機構部１によりカセット台２を所定距離
だけ降下させて、搬送アーム５によりウェハ３を吸着し
て、ウェハカセット４よりウェハ３を抜き取り、次の処
理工程に供給するようにしたものがある。
【０００３】ところで、このようなウェハ搬送装置に用
いられるウェハカセット４は、図８（ａ）に示すよう
に、その内部側壁に沿って複数のスロット溝６を形成し
ていて、これらスロット溝６にウェハ３周縁を挿入する
ことによりウェハ３を水平状態でウェハカセット４内に
収容するようにしている。
【０００４】この場合、スロット溝６は、断面を台形状
にしていて、ウェハ３との接触面積を少しでも小さくな
るようにしているが、ウェハ３が円板状であることか
ら、ウェハカセット４にウェハ３を収容したときにウェ
ハ３がウェハカセット４から脱落しないように、図８
（ｂ）に示すように、スロット溝６をウェハ３の外周を
沿うような円弧状または台形状にしてウェハカセット４
の後方に回り込む、回り込み部６０１を形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
ウェハカセット４に収容されているウェハ３を持ち運ぶ
場合、ウェハ３の安全および防塵のためカセットケース
に収納した状態で持ち運ぶが、このとき、カセットケー
ス内では、ウェハカセット４前面が上になるように、つ
まりウェハ３を立てた状態で持ち運びされるため、ウェ
ハ３が薄く研磨されている場合、ウェハ３周縁がスロッ
ト溝６のウェハカセット４後方への回り込み部６０１に
食い込んでしまうことがある。
【０００６】これまで、ウェハ３の厚みの標準は、約
０．６mm程度であり、ウェハカセット４に収容した状態
で、スロット溝６にウェハ３周縁が食い込むことはほと
んどなかったが、最近、ウェハ３の厚みを０．１mm程度
まで薄く裏面を研磨することが多くなってきており、ス
ロット溝６にウェハ３周縁が食い込んでしまうことが多
々ある。
【０００７】このため、このようなスロット溝６にウェ
ハ３周縁が食い込んだ状態のウェハカセット４を、上述
したウェハ搬送装置のカセット台２上にセットして、ウ
ェハ搬送を行うと、ウェハカセット４のスロット溝６に
ウェハ３周縁が食い込んだままにあるので、このウェハ
３を取り出そうと搬送アーム５でウェハ３を持ち上げよ
うとすると、ウェハ３が強制的に曲げられ、ウェハ破損
を生じるという問題がある。
【０００８】一方、ウェハ３は、工場間などの長距離を
移動する場合、図示しない輸送用の専用カセットケース
に入れて輸送するようにしているが、このような輸送用
カセットケースは、ウェハ３が破損しないように、さら
に幅の狭いスロット溝を形成し、このスロット溝にウェ
ハ３周縁を挿入することで、輸送時のウェハ３のゆれを
防止して、ウェハ３の安全性を保つようにしている。
【０００９】ところが、輸送の後に、このような輸送用
カセットケースのままウェハ搬送を実行しようとする
と、カセットケース内のウェハ３の水平状態が保持され
ていないため、吸着エラーが生じることがあるととも
に、スロット溝の幅が狭いため、ウェハ搬送時にウェハ
３を僅かに持ち上げるだけでウェハ３周縁がスロット溝
に干渉し、ウェハ破損を招くこともある。このため、輸
送用カセットケースの場合は、上述した搬送用のウェハ
カセットに移し替えるなどしなければならず、この移し
替えの際に、ウェハ３にゴミが付着したり、作業ミスに
よりウェハを破損してしまうなどの問題があった。本発
明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ウェハ搬送時
のウェハ破損を確実に防止できるウェハ搬送装置を提供
することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
スロット溝にウェハ周縁を挿入して収容するウェハカセ
ット内の搬送されるウェハを出入れするウェハ出入れ部
と反対側に前記ウェハを前記ウェハ出入れ部側に所定量
押し出すためのウェハ押出し手段を設けるようにしてい
る。
【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、ウェハ押出し手段は、駆動手段と、この駆動手段
により直線駆動されるとともに、前記ウェハカセット内
の搬送されるウェハ周縁に押し当てられ、該ウェハを前
記ウェハ出入れ部側に所定量押し出す移動手段を有して
いる。
【００１２】請求項３記載の発明は、請求項１記載にお
いて、ウェハ押出し手段は、手動操作により直線駆動さ
れるとともに、前記ウェハカセット内の全てのウェハ周
縁に押し当てられ、これらウェハを前記ウェハ出入れ部
側に一括して所定量押し出す移動手段を有している。
【００１３】この結果、請求項１記載の発明によれば、
ウェハ周縁のウェハカセットのスロット溝への食い込み
などを解除して、ウェハを正しい姿勢でウェハ出入れ部
側に押し出すことができる。
【００１４】請求項２記載の発明によれば、駆動手段を
駆動することで、自動的にウェハ周縁のウェハカセット
のスロット溝への食い込みなどを解除して、ウェハ出入
れ部側に押し出すことができるので、かようなウェハ押
出し手段をウェハ搬送工程中に組み込むことで、ウェハ
搬送の際にウェハ破損のない安定した作業を実現でき
る。
【００１５】請求項３記載の発明によれば、手動操作に
より移動手段を移動することで、ウェハカセット内の全
てのウェハをウェハ出入れ部側に一括して押し出すこと
ができるので、構成が簡単でコスト的に有利にできると
ともに、タクトタイムを短くできる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）この場合、ウェハ搬送装置の全体
図は、上述した図７と同様であり、ここでは、同図を援
用するものとする。
【００１７】このように構成したウェハ搬送装置に、図
１（ａ）（ｂ）に示すようなウェハ押出し機構を組み合
わせている。この場合、エレベータ機構部１により上下
動可能にしたカセット台２上に載置されるウェハカセッ
ト４は、内部側壁に複数のスロット溝６を形成し、これ
らスロット溝６にウェハ３周縁を挿入することによりウ
ェハ３を水平状態でウェハカセット４内に収容するよう
にしている。また、このスロット溝６は、ウェハ３が円
板状であることから、ウェハカセット４にウェハ３を収
容したときにウェハ３がウェハカセット４から脱落しな
いように、スロット溝６をウェハ３の外周を沿うような
円弧状または台形状にしてウェハカセット４の後方に回
り込む、回り込み部６０１を形成している、このような
ウェハカセット４は、搬送するウェハ３の出入れするウ
ェハ出入れ部と反対側、つまりウェハカセット４後面に
押し操作穴部４０１を有し、この押し操作穴部４０１に
対向してウェハ押出し機構７を配置している。
【００１８】このウェハ押出し機構７は、図２（ａ）
（ｂ）に示すようにベース７０１にモータ７０２を設
け、このモータ７０２の回転軸７０２１をベース７０１
を貫通してベース７０１の反対側に突出し、この回転軸
７０２１に円板状カム７０３を偏心させて設けている。
ベース７０１には、直動ガイド７０４を介してサブベー
ス７０５を設け、このサブベース７０５に設けたカムフ
ォロア７０６を円板状カム７０３周縁に当接させて、モ
ータ７０２により円板状カム７０３を回転することによ
り、サブベース７０５を直動ガイド７０４に沿った方向
に駆動可能にしている。
【００１９】この場合、サブベース７０５には、ベース
７０１との間にバネ７０６１を設け、サブベース７０５
のカムフォロア７０６が、常に円板状カム７０３周縁に
当接するようにしている。また、直動ガイド７０４に沿
ったサブベース７０５の移動方向は、ウェハカセット４
のウェハ３を真っ直ぐに押し出しできるウェハカセット
４前面に対して直交する方向になっている。
【００２０】サブベース７０５の前方位置には、複数
（図示例では３本）の押しピン７０７、７０８、７０９
をウェハ３の周縁に接する位置関係で植設している。こ
の場合、押しピン７０７と７０９は、ウェハ３のオリフ
ラより広い間隔で配置され、オリフラが、これら押しピ
ン７０７と７０９の間に存在する場合、オリフラを跨い
でウェハ３周縁に当接可能で、また、押しピン７０８
は、ウェハ３のオリフラが、押しピン７０７と７０９の
間に存在しない場合、押しピン７０７、７０９とともに
ウェハ３周縁に当接可能になっており、これら押しピン
７０７、７０８、７０９によりウェハ３のオリフラ位置
がウェハカセット４内でどこにあっても、同じ移動量だ
けウェハ３を押し出しできるようにしている。
【００２１】ここで、押しピン７０７は、図３に示すよ
うにサブベース７０５に固定ボルト７０７１で固定され
た軸７０７２にベアリング７０７３を介して樹脂性の押
しピン本体７０７４を回転可能に設けていて、押しピン
本体７０７４でウェハ３を押したときに、押しピン本体
７０７４を回転によりウェハ３端が押しピン本体７０７
４に食い込まないようにしている。他の押しピン７０
８、７０９についても押しピン７０７と同様に構成して
いる。
【００２２】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。この場合、エレベータ機構部１により上
下動可能にしたカセット台２上にウェハカセット４を載
置し、図示しないスイッチを投入してウェハ搬送開始を
指示すると、図４に示すフローが実行される。
【００２３】まず、ステップ４０１で、エレベータ機構
部１によりカセット台２が搬送開始位置まで下降する。
そして、ステップ４０２で、図示しないセンサによりウ
ェハカセット４内の搬送ウェハ３を検出する。ここで、
搬送ウェハ３を検出されない場合は、ステップ４０３
で、ウェハカセット４を、さらに降下させて搬送ウェハ
３が検出されるまで同じ動作を繰り返す。
【００２４】そして、ステップ４０２で、搬送ウェハ３
を検出すると、ステップ４０４で、エレベータ機構部１
によりカセット台２を一定量Ｕだけ上昇する。この状態
から、ウェハ押出し機構７を起動するが、起動前のウェ
ハ押出し機構７は、押しピン７０７、７０８、７０９が
ウェハカセット４内のウェハ３に干渉しないように、図
１（ａ）に示すようにウェハカセット４後面の押し操作
穴部４０１から離間した位置に待機している。
【００２５】そして、ステップ４０５で、ウェハ押出し
機構７を起動し、モータ７０２を回転し、回転軸７０２
１に偏心させて設けた円板状カム７０３を回転すると、
カムフォロア７０６を介してサブベース７０５がバネ７
０６１の引っ張り力に抗し直動ガイド７０４に沿ってウ
ェハカセット４後面の押し操作穴部４０１方向に直線移
動され、図１（ｂ）に示すように、サブベース７０５上
の押しピン７０７、７０８、７０９がウェハ３周縁に押
し当てられる。これにより、仮に、ウェハ３の周縁がウ
ェハカセット４のスロット溝６に食い込まれていても、
スロット溝６から解除され、ウェハ３は、ウェハ出入れ
部側に押し出すことができる。
【００２６】この場合、押しピン７０７と７０９は、ウ
ェハ３のオリフラが、これら押しピン７０７と７０９の
間に存在する場合、オリフラを跨いでウェハ３周縁に当
接し、また、押しピン７０８は、ウェハ３のオリフラ
が、押しピン７０７と７０９の間に存在しない場合、押
しピン７０７、７０９とともにウェハ３周縁に当接する
ようになり、ウェハ３のオリフラ位置がウェハカセット
４内でどこにあっても、これら押しピン７０７、７０
８、７０９により同じ量だけウェハ３を押し出しするこ
とができる。
【００２７】その後、ステップ４０６で、さらにモータ
７０２を回転し、回転軸７０２１を介して円板状カム７
０３を回転すると、カムフォロア７０６を介してサブベ
ース７０５がバネ７０６１の引っ張り力にしたがって直
動ガイド７０４に沿ってウェハカセット４の押し操作穴
部４０１より離間する方向に直線移動され、図１（ａ）
に示すように、サブベース７０５上の押しピン７０７、
７０８、７０９は、ウェハ３から離れた待機位置に戻さ
れる。
【００２８】この状態から、ステップ４０７で、搬送ア
ーム５を搬送ウェハ３の下側に挿入し、ステップ４０８
で、エレベータ機構部１によりカセット台２を所定距離
だけ下げ、ステップ４０９で、搬送アーム５によるウェ
ハ３を吸着する。
【００２９】そして、ステップ４１０で、搬送アーム５
によりウェハカセット４よりウェハ３を抜き出し、ステ
ップ４１１で、装置の用途に応じた処理を実行する。処
理の終了後、ステップ４１２で、ウェハ３の取り出し時
と同じ位置に搬送アーム５を挿入するとともに、搬送ア
ーム５による吸着を解除する。
【００３０】そして、ステップ４１３で、搬送アーム５
がウェハ３を吸着するために下げた移動量Ｄだけカセッ
ト台２を上げて、ウェハ３をウェハカセット４のスロッ
ト溝６中に受け渡し、ステップ４１４で、搬送アーム５
を待機位置に移動して、１枚のウェハ３の搬送処理を終
了し、以下、ステップ４１５で、ウェハカセット４内の
全てのウェハについて処理終了を判断するまで、上述し
たと同様な処理を繰り返すようになる。
【００３１】従って、このようにすれば、ウェハカセッ
ト４内のスロット溝６にウェハ３周縁を挿入して収容す
るようにしたもので、ウェハカセット４のウェハを出入
れするウェハ出入れ部と反対側面の押し操作穴部４０１
に対応してウェハ押出し機構７を設け、このウェハ押出
し機構７において、モータ７０２の回転により円板状カ
ム７０３を介してサブベース７０５を直動ガイド７０４
に沿って直線移動することで、サブベース７０５に植設
された複数の押しピン７０７、７０８、７０９がウェハ
３周縁に押し当てられ、ウェハ３をウェハ出入れ部側に
所定量押し出すようにしたので、仮に、ウェハ３の周縁
がウェハカセット４のスロット溝６に食い込まれていて
も、スロット溝６から解除され、ウェハ３をウェハ出入
れ部側に押し出すことができ、これにより、ウェハ３周
縁がスロット溝６に食い込んだままになっていることに
原因するウェハ破損を確実に防止することができる。
【００３２】また、モータ７０２を駆動すると、自動的
にウェハ３周縁のウェハカセット４のスロット溝６への
食い込みなどを解除して、ウェハ出入れ部側に押し出す
ことができるので、このようなウェハ押出し機構７をウ
ェハ搬送工程中に組み込むことにより、ウェハ搬送の際
にウェハ破損のない安定した作業を実現できる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、ウェハ３
のオリフラ位置がウェハカセット４内でどこにあって
も、同じ量だけウェハ３を押し出しできるように３本の
押しピン７０７、７０８、７０９をウェハ３の周縁に接
する位置関係で配置したが、工程によっては、ウェハカ
セット４内のウェハ３のオリフラ位置が整列していた
り、８インチウェハのようにオリフラでなくノッチの場
合が存在する。
【００３３】そこで、この第２の実施の形態では、この
ような場合に最適なウェハ搬送装置を示している。図５
は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもの
で、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００３４】この場合、ウェハカセット４後面の押し操
作穴部４０１に対向して設けられるウェハ押出し機構７
は、ベース７０１に直動ガイド７０４を介して移動可能
に設けられるサブベース７０５に１本の押しピン７１０
を配置している。この押しピン７１０は、ウェハカセッ
ト４のウェハ３を真っ直ぐに押し出しできるようにウェ
ハカセット４内のウェハ３周縁に当接可能になってい
て、押しピン７１０がウェハ３のオリフラに当接する場
合は、ウェハ３を３´の位置まで、オリフラに当接しな
い場合は、ウェハ３を３´´の位置まで押し出しできる
ようになっている。
【００３５】このように構成しても、ウェハカセット４
内の搬送ウェハ３を検出し、エレベータ機構部１により
カセット台２を一定量だけ上昇した状態で、ウェハ押出
し機構７を起動し、モータ７０２を回転し、回転軸７０
２１に偏心させて設けた円板状カム７０３を回転する
と、カムフォロア７０６を介してサブベース７０５がバ
ネ７０６１の引っ張り力に抗し直動ガイド７０４に沿っ
てウェハカセット４後面の操作穴部４０１方向に直線移
動され、図示すように、サブベース７０５上の押しピン
７１０がウェハ３周縁に押し当てられる。これにより、
仮に、ウェハ３の周縁がウェハカセット４のスロット溝
６に食い込まれていても、スロット溝６から解除され、
ウェハ３は、ウェハ出入れ部側に押し出すことができ
る。
【００３６】この場合、押しピン７１０がウェハ３のオ
リフラに当接する場合、ウェハ３は、３´の位置まで押
し出され、オリフラに当接しない場合、ウェハ３は、３
´´の位置まで押し出されることになる。
【００３７】従って、このようにしても、第１の実施の
形態と同様な効果を期待でき、さらに第１の実施の形態
に比べ、加工箇所、部品点数を少なくでき、コスト的に
も有利にできる。 （第３の実施の形態）第１および第２の実施の形態で
は、ウェハカセット４内のウェハ３を１枚ずつ押し出す
ようにしているが、他の検査装置においては、エレベー
タ機構部１を設けず、搬送アーム５がエレベータ機構部
１を兼ねて上下動を行い、ウェハ３を抜き出す場合もあ
る。
【００３８】そこで、この第３の実施の形態では、この
ような装置に最適なウェハ搬送装置を示している。図６
（ａ）（ｂ）は、本発明の第３の実施の形態の概略構成
を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付してい
る。
【００３９】この場合、ウェハカセット４後面の押し操
作穴部４０１に対向して設けられるウェハ押出し機構８
は、ベース８０１にコラム８０２を直立して設けてい
る。そして、このコラム８０２の上下位置にそれぞれ直
動ガイド８０３、８０３を設け、これら直動ガイド８０
３、８０３を介してサブベース８０４をウェハカセット
４後面の押し操作穴部４０１に対して進退自在に設けて
いる。
【００４０】サブベース８０４のウェハカセット４後面
に対応する端部には、ウェハ押しピン８０５を設けてい
る。このウェハ押しピン８０５は、サブベース８０４の
ウェハカセット４後面の押し操作穴部４０１方向への前
進によりウェハカセット４内の全て一括でウェハ３を真
っ直ぐに押し出しできるウェハカセット４前面に対して
直交する方向に移動するようになっている。
【００４１】この場合、直動ガイド８０３、８０３によ
るサブベース８０４を介したウェハ押しピン８０５の移
動範囲は、ウェハ３のオリフラ位置がウェハカセット４
内のどの位置にあっても確実に押し出しできるような充
分なストロークが確保されており、図示しないストッパ
によりウェハ３を押し出し過ぎないようになっている。
【００４２】サブベース８０４とコラム８０２の間に
は、バネ８０６を設けている。このバネ８０６は、常時
サブベース８０４をウェハカセット４後面の押し操作穴
部４０１より開離した待機位置に後退させるためのもの
である。また、バネ８０６によりサブベース８０４が引
っ張られている時には、図示しないストッパにより、サ
ブベース８０４および直動ガイド８０３が抜け落ちない
ようにもなっている。
【００４３】なお、８０７は、サブベース８０４に取り
付けられ、サブベース８０４をウェハカセット４後面の
押し操作穴部４０１方向へ前進移動させるためのハンド
ルである。
【００４４】このような構成において、ウェハカセット
４がカセット台２に設置いた状態から、オペレータがハ
ンドル８０７を押し操作して、サブベース８０４をバネ
８０６の引っ張り力に抗してウェハカセット４後面の押
し操作穴部４０１方向へ前進させると、ウェハ押しピン
８０５は、サブベース８０４の前進とともに、ウェハカ
セット４内の全てのウェハ３周縁を同時に押し当てられ
る。これにより、仮に、ウェハカセット４のスロット溝
６に食い込んでいるウェハ３が存在していても、これら
ウェハ３もスロット溝６から解除され、ウェハ出入れ部
側に押し出すことができる。
【００４５】また、この状態から、ハンドル８０７の押
し操作を解除すると、バネ８０６によりサブベース８０
４は、ウェハカセット４後面の押し操作穴部４０１より
開離した待機位置に後退される。
【００４６】従って、このようにすれば、ウェハ押出し
機構８は、オペレータによるハンドル８０７の押し操作
によりウェハ押しピン８０５を前進移動させるようにし
たので、ウェハ押出し機構８の全体構成をさらに簡単に
でき、コスト的に有利にでき、さらに、ウェハ押しピン
８０５を前進移動によりウェハカセット４内の全てのウ
ェハ３を一括して押し出しできるので、タクトタイムを
短くすることもできる。
【００４７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によればウェ
ハ周縁のウェハカセットのスロット溝への食い込みなど
を解除して、ウェハを正しい姿勢でウェハ出入れ部側に
押し出すことができるので、ウェハ周縁がスロット溝に
食い込んだままになっていたり、ウェハが水平状態に保
持されていないことに原因するウェハ破損を確実に防止
することができる。
【００４８】また、駆動手段を駆動すると、自動的にウ
ェハ周縁のウェハカセットのスロット溝への食い込みな
どを解除して、ウェハ出入れ部側に押し出すことができ
るので、このようなウェハ押出し手段をウェハ搬送工程
中に組み込むことにより、ウェハ搬送の際にウェハ破損
のない安定した作業を実現できる。
【００４９】さらに、手動操作により移動手段を移動す
ることで、ウェハカセット内の全てのウェハをウェハ出
入れ部側に一括して押し出すことができるので、構成が
簡単でコスト的に有利にできるとともに、タクトタイム
を短くできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。
【図２】第１の実施の形態に用いられるウェハ押出し機
構の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態のウェハ押出し機構に用いら
れる押しピンの概略構成を示す図。
【図４】第１の実施の形態の動作を説明するためのフロ
ーチャート。
【図５】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。
【図６】本発明の第３の実施の形態の概略構成を示す
図。
【図７】従来のウェハ搬送装置の全体を示す図。
【図８】ウェハカセットのスロット溝とウェハの関係を
説明するための図。
【符号の説明】
１…エレベータ機構部、 ２…カセット台、 ３…ウェハ、 ４…ウェハカセット、 ４０１…押し操作穴部、 ５…搬送アーム、 ６…スロット溝、 ６０１…回り込み部、 ７…ウェハ押出し機構、 ７０１…ベース、 ７０２…モータ、 ７０２１…回転軸、 ７０３…カム、 ７０４…直動ガイド、 ７０５…サブベース、 ７０６…カムフォロア、 ７０６１…バネ、 ７０７、７０８、７０９、７１０…押しピン、 ８…ウェハ押出し機構、 ８０１…ベース、 ８０２…コラム、 ８０３…直動ガイド、 ８０４…サブベース、 ８０５…ウェハ押しピン、 ８０６…バネ、 ８０７…ハンドル。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 スロット溝にウェハ周縁を挿入して収容
    するウェハカセット内の搬送されるウェハを出入れする
    ウェハ出入れ部と反対側に前記ウェハを前記ウェハ出入
    れ部側に所定量押し出すためのウェハ押出し手段を設け
    たことを特徴とするウェハ搬送装置。
  2. 【請求項２】 ウェハ押出し手段は、 駆動手段と、この駆動手段により直線駆動されるととも
    に、前記ウェハカセット内の搬送されるウェハ周縁に押
    し当てられ、該ウェハを前記ウェハ出入れ部側に所定量
    押し出す移動手段を有することを特徴とする請求項１記
    載のウェハ搬送装置。
  3. 【請求項３】 ウェハ押出し手段は、 手動操作により直線駆動されるとともに、前記ウェハカ
    セット内の全てのウェハ周縁に押し当てられ、これらウ
    ェハを前記ウェハ出入れ部側に一括して所定量押し出す
    移動手段を有することを特徴とする請求項１記載のウェ
    ハ搬送装置。
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