JPH04215312A - 縦水晶振動子 - Google Patents
縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPH04215312A JPH04215312A JP40227590A JP40227590A JPH04215312A JP H04215312 A JPH04215312 A JP H04215312A JP 40227590 A JP40227590 A JP 40227590A JP 40227590 A JP40227590 A JP 40227590A JP H04215312 A JPH04215312 A JP H04215312A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating
- crystal resonator
- parts
- vibrating arms
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動部と支持部をエッチ
ング法によって、一体に形成した縦水晶振動子の形状に
関する。特に、小型化、低消費電力化の要求の強いＩＣ
カード、ポケットベルや移動無線等の携帯機器の基準信
号源として最適な新形状の縦水晶振動子に関する。
ング法によって、一体に形成した縦水晶振動子の形状に
関する。特に、小型化、低消費電力化の要求の強いＩＣ
カード、ポケットベルや移動無線等の携帯機器の基準信
号源として最適な新形状の縦水晶振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動部と支持部をエッチング法によって
、一体に形成された従来の縦水晶振動子は、振動腕が１
本であるために、等価直列抵抗Ｒ１ を小さくできなか
った。
、一体に形成された従来の縦水晶振動子は、振動腕が１
本であるために、等価直列抵抗Ｒ１ を小さくできなか
った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の縦水晶振動子は
、振動腕が１本であるために、質量が小さく、水晶の異
方性から生じるエッチング加工による形状の非対称性は
振動に悪影響を与える。そのために、振動子の支持によ
る振動モレが大きく、Ｒ１ 上昇が生じるなど、極めて
重要な課題が残されていた。又、Ｒ１ が約３００Ωと
比較的大きく、低消費電力化を図るためには、さらに小
さいＲ１ が望まれていた。
、振動腕が１本であるために、質量が小さく、水晶の異
方性から生じるエッチング加工による形状の非対称性は
振動に悪影響を与える。そのために、振動子の支持によ
る振動モレが大きく、Ｒ１ 上昇が生じるなど、極めて
重要な課題が残されていた。又、Ｒ１ が約３００Ωと
比較的大きく、低消費電力化を図るためには、さらに小
さいＲ１ が望まれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】それ故、本発明は以下の
方法で従来の課題を解決するものである。すなわち、２
本の振動腕と支持部をエッチング法によって、一体に形
成した縦水晶振動子で、当該２本の振動腕は互いに歪の
小さくなる部分で接続され、各振動腕の中央部にはブリ
ッジ部を介してフレームに接続され、当該両フレームは
端部で接続一体となるように振動子を構成することによ
り、本発明の目的を達成している。
方法で従来の課題を解決するものである。すなわち、２
本の振動腕と支持部をエッチング法によって、一体に形
成した縦水晶振動子で、当該２本の振動腕は互いに歪の
小さくなる部分で接続され、各振動腕の中央部にはブリ
ッジ部を介してフレームに接続され、当該両フレームは
端部で接続一体となるように振動子を構成することによ
り、本発明の目的を達成している。
【０００５】
【作用】このように、本発明は２本の振動腕と支持部か
ら構成されている。振動腕２本は当然１本より重く、保
有するポテンシャルエネルギーも大きくなる。それ故、
等価直列抵抗Ｒ１ の小さい縦水晶振動子が得られる。
ら構成されている。振動腕２本は当然１本より重く、保
有するポテンシャルエネルギーも大きくなる。それ故、
等価直列抵抗Ｒ１ の小さい縦水晶振動子が得られる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は本発明の縦水晶振動子形状の一実施例を示
す平面図である。振動子１は振動部２とブリッジ部４を
介して接続されている支持部３から構成されている。更
に、振動部２は２本の振動腕２′を歪のほとんど起こら
ない位置、すなわち接続部８によって接続され穴９を形
成する構造を成している。一方、支持部は振動腕２′の
ほぼ中央部に設けたブリッジ部４と接続され、屈曲振動
をする屈曲部５のフレーム６とマウント部７から構成さ
れている。又、２本の振動腕２′は同方向に振動するよ
うに、励振電極（図示されてない）は配置されている。 その結果、振動の共振時には、１本の振動腕と比較して
、等価インダクタンスが約半分、等価容量が約２倍、そ
して、等価直列抵抗Ｒ１ は約半分となる。一例として
、１本の振動腕のとき周波数ｆ≒４５０ＫＨｚでは、Ｒ
１ ＝３８０Ωであった。本発明の２本の振動腕にする
ことによって、Ｒ１ ＝１９５Ωと非常に小さくするこ
とができた。図２は本発明の縦水晶振動子形状の他の実
施例を示す平面図である。振動子１は振動部２と支持部
３から構成されていて、振動部２は図１の振動子と同様
に、２本の振動腕２′と接続部８からなる構造をしてい
る。又、支持部３は振動部２の振動エネルギーを振動部
内部に更に閉じ込める構造をなし、ブリッジ部４と接続
される屈曲部５と穴９を作るようにその両端を介して接
続されるフレーム６とマウント部７から構成されている
。このように構成することにより、Ｒ１ の低減と同時
に振動エネルギーを振動部内部に閉じ込めることが、さ
らにできるので、振動漏れのない、優れた縦水晶振動子
が得られる。又、本発明の振動子は複雑な形状をしてい
るが、化学的エッチング法によって、容易に形成できる
。
べる。図１は本発明の縦水晶振動子形状の一実施例を示
す平面図である。振動子１は振動部２とブリッジ部４を
介して接続されている支持部３から構成されている。更
に、振動部２は２本の振動腕２′を歪のほとんど起こら
ない位置、すなわち接続部８によって接続され穴９を形
成する構造を成している。一方、支持部は振動腕２′の
ほぼ中央部に設けたブリッジ部４と接続され、屈曲振動
をする屈曲部５のフレーム６とマウント部７から構成さ
れている。又、２本の振動腕２′は同方向に振動するよ
うに、励振電極（図示されてない）は配置されている。 その結果、振動の共振時には、１本の振動腕と比較して
、等価インダクタンスが約半分、等価容量が約２倍、そ
して、等価直列抵抗Ｒ１ は約半分となる。一例として
、１本の振動腕のとき周波数ｆ≒４５０ＫＨｚでは、Ｒ
１ ＝３８０Ωであった。本発明の２本の振動腕にする
ことによって、Ｒ１ ＝１９５Ωと非常に小さくするこ
とができた。図２は本発明の縦水晶振動子形状の他の実
施例を示す平面図である。振動子１は振動部２と支持部
３から構成されていて、振動部２は図１の振動子と同様
に、２本の振動腕２′と接続部８からなる構造をしてい
る。又、支持部３は振動部２の振動エネルギーを振動部
内部に更に閉じ込める構造をなし、ブリッジ部４と接続
される屈曲部５と穴９を作るようにその両端を介して接
続されるフレーム６とマウント部７から構成されている
。このように構成することにより、Ｒ１ の低減と同時
に振動エネルギーを振動部内部に閉じ込めることが、さ
らにできるので、振動漏れのない、優れた縦水晶振動子
が得られる。又、本発明の振動子は複雑な形状をしてい
るが、化学的エッチング法によって、容易に形成できる
。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の振動子は振
動部と支持部から成り、かつ、エッチング法によって一
体に形成される新形状の縦水晶振動子を提案することに
より、次の著しい効果を有する。■ 振動腕を２本設
けることにより、等価直列抵抗Ｒ１ を１本の時より約
半分に小さくすることができる。
動部と支持部から成り、かつ、エッチング法によって一
体に形成される新形状の縦水晶振動子を提案することに
より、次の著しい効果を有する。■ 振動腕を２本設
けることにより、等価直列抵抗Ｒ１ を１本の時より約
半分に小さくすることができる。
【０００８】■ 本振動子は振動部と支持部をエッチ
ング法によって、一体に形成されるので、小型化、薄型
化ができる。■ 支持部の形状を改善することにより
、振動漏れのない縦水晶振動子が得られる。それ故、マ
ウント部でリード線等に支持、固定してもＲ１ の小さ
い振動子が得られる。
ング法によって、一体に形成されるので、小型化、薄型
化ができる。■ 支持部の形状を改善することにより
、振動漏れのない縦水晶振動子が得られる。それ故、マ
ウント部でリード線等に支持、固定してもＲ１ の小さ
い振動子が得られる。
【０００９】■ 片側でリード線等にマウントするの
で、製造が容易、安価にできる。
で、製造が容易、安価にできる。
【図１】本発明の縦水晶振動子形状の一実施例の平面図
である。
である。
【図２】本発明の縦水晶振動子形状の他の実施例の平面
図である。
図である。
１ 振動子
２ 振動部
２′ 振動腕
３ 支持部
４ ブリッジ部
５ 屈曲部
６ フレーム
７ マウント部
８ 接続部
９ 穴
Claims (1)
- 【請求項１】 ２本の振動腕と支持部をエッチング法
によって、一体に形成した縦水晶振動子で、当該２本の
振動腕は互いに歪の小さくなる部分で接続され、各振動
腕の中央部にはブリッジ部を介してフレームに接続され
、当該両フレームは端部で接続一体となっていることを
特徴とする縦水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40227590A JPH04215312A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 縦水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40227590A JPH04215312A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 縦水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215312A true JPH04215312A (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=18512096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40227590A Pending JPH04215312A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04215312A (ja) |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP40227590A patent/JPH04215312A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6545394B2 (en) | Lame mode quartz crystal resonator | |
| JPH0522070A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPS63260310A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| KR970070958A (ko) | 진동 자이로스코프 | |
| JPH0279511A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH04242312A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH0279510A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH0124368B2 (ja) | ||
| JP5130502B2 (ja) | 圧電振動子と圧電発振器 | |
| JPH0310511A (ja) | 音叉型屈曲水晶振動子 | |
| JPH04217109A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JP2709315B2 (ja) | 両端自由型屈曲水晶振動子 | |
| JPH0310509A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH03195111A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH04242311A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JPH0374851B2 (ja) | ||
| JPH04213910A (ja) | 輪郭すべり水晶振動子 | |
| JPS6017948Y2 (ja) | 音又形水晶振動子用ホルダ− | |
| JPH02186815A (ja) | 短辺水晶振動子 | |
| JP2003069373A (ja) | ラーメモード水晶振動子 | |
| JPH03191607A (ja) | 厚みすべり水晶振動子 | |
| JPH0310510A (ja) | 屈曲水晶振動子 | |
| JPH03192810A (ja) | Ｈ型屈曲水晶振動子 | |
| JPH0310508A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPS596071Y2 (ja) | 圧電ブザ−発音体 |