JPH04215868A - 液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法 - Google Patents

液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法

Info

Publication number
JPH04215868A
JPH04215868A JP3016185A JP1618591A JPH04215868A JP H04215868 A JPH04215868 A JP H04215868A JP 3016185 A JP3016185 A JP 3016185A JP 1618591 A JP1618591 A JP 1618591A JP H04215868 A JPH04215868 A JP H04215868A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
liquid
generating device
droplet
pressure chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3016185A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiji Yamamori
山森 清司
Hajime Oda
小田 元
Masayoshi Miura
眞芳 三浦
Kazufumi Ogawa
一文 小川
Sanemori Soga
眞守 曽我
Norihisa Mino
規央 美濃
Ikuo Akamine
育雄 赤嶺
Tsugio Kubo
次雄 久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP3016185A priority Critical patent/JPH04215868A/ja
Publication of JPH04215868A publication Critical patent/JPH04215868A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Central Air Conditioning (AREA)
  • Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Materials Applied To Surfaces To Minimize Adherence Of Mist Or Water (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は空調機器、所謂エアコン
等に組み込まれ、居住空間やオフィス空間の香り環境を
コントロールできるようにした香り発生装置等に適用さ
れる液滴発生装置、液滴吐出ノズルおよびその製造方法
に関するものである。 【0002】 【従来の技術】エアコン等に香り発生装置を組み込み、
香り環境をコントロールするようにした空気調和装置と
しては、例えば特開平1−127828号公報に開示さ
れた装置がある。 【0003】また、微量液体の吐出方法としては、ドロ
ップ・オン・デマインド型インクジェットヘッド等に使
用されているピエゾ駆動のインク液滴吐出装置がある。 【0004】次に、図23及び図24について、香り発
生装置に適用される従来の液滴発生装置を簡単に説明す
る。 【0005】図23は従来の香りの発生装置の全体を示
し、香りの発生装置は複数の香りを充填したボンベ50
を有し、制御回路53によってボンベ50の配管51途
中に設けた電気的に作動する噴霧量制御弁52を開閉し
、所望の香りの種類と噴霧量を制御する。 【0006】次に、図24はピエゾ駆動型のインク液滴
吐出ヘッドであり、振動板54に接着されたピエゾ板5
5の両面に電気信号56を印加すると、ピエゾ板55が
変位し、これと協動する振動板54の変位によって供給
通路57を介して供給された、圧力室58内のインクに
急激な圧力上昇を生じ、圧力室58の壁面野一部に設け
られたノズル59より微小インク液滴が吐出される。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】前述した従来の液滴発
生装置は、例えば所定の芳香液を吐出する香り発生装置
に適用した場合には、その対象空間をオフィスビルとし
ており、装置としてかなり大掛かりで、一般には香りの
集中管理を目的とするものである。このため装置も大型
で高価であり、また各個人の好みについても対応できな
いという課題を有していた。 【0008】また、ピエゾ振動子を用いた従来のインク
液滴吐出ヘッドは、例えば前述の香り吐出装置として利
用できるが、液滴発生部分の液体のメニスカスの保持が
悪く不用な液垂れが発生し、又気泡の吸入が発生し易い
傾向にある。また一旦気泡を吸入すると吐出不能となる
という課題を有していた。 【0009】更に気泡を吸入した場合に単に外部に排出
したのでは、排出された芳香液からの香りの漏出が意図
する所望の香り環境を阻害するという課題がある。 【0010】本発明の目的は、手軽な価格で小型化を図
るとともに、液滴発生部分に基本的に液垂れがなく気泡
が吸入されにくい構造を有する液滴発生装置、液滴吐出
ノズル及びそのノズルの製造方法を提供することにある
。 【0011】更に本発明の目的は、万が一にも気泡を吸
入した場合においても、周囲の香り環境に何ら悪影響を
与えることなく気泡を排出することの可能な液滴発生装
置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法を提供す
ることにある。 【0012】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の液滴発生装置は所定の液体を収納する収
納室を有する収納容器と、収納室内の液体の液面よりも
低い位置にある圧力室と、収納室と圧力室とを連絡し収
納室内の液体を圧力室に連絡するための液体供給通路と
、その表面に撥油性物質被膜が形成され圧力室から供給
された液体を外部に吐出する液滴吐出ノズルと、圧力室
内の液体に急激な圧力上昇を生じさせる圧力発生手段と
から成る。 【0013】本発明の更なる液滴発生装置は所定の液体
を収納する収納室を有する収納容器と、収納室内の液体
の液面よりも低い位置にある圧力室と、収納室と圧力室
とを連絡し収納室内の液体を圧力室に連絡するための液
体供給通路と、その表面に撥油性物質被膜が形成され圧
力室から供給された液体を外部に吐出する液滴吐出ノズ
ルと、圧力室内の液体に急激な圧力上昇を生じさせる圧
力発生手段と、収納室と圧力室とを連絡し圧力室内に侵
入した気泡を収納室に移動させる気泡除去通路とから成
る。 【0014】また本発明の液滴吐出ノズルは、化学吸着
単分子膜で形成されている撥油性物質被膜を有する。 【0015】また本発明の液滴吐出ノズルの製造方法は
、成形加工の終了した所定の液体を吐出するためのノズ
ルを用意し、よく洗浄した後、一端にクロロシラン基(
SiClnX3−n基、n=1,2,3,Xは官能基)
を有し、他の一端に直鎖状フッ化炭素基を有するクロロ
シラン系界面活性剤を溶解した有機溶媒中に前記ノズル
を浸漬し、前記活性剤より成る化学吸着単分子膜をノズ
ル表面全体または一部に形成する工程を含む。 【0016】更に本発明の液滴吐出ノズルの製造方法は
、成形加工の終了した所定の液体を吐出するためのノズ
ルを用意し、よく洗浄した後、クロロシリル基を複数個
含む物質を混ぜた非水系溶媒に接触させて、前記ノズル
表面の水酸基と前記クロロシリル基とを反応させて前記
クロロシリル基を複数個含む物質を前記ノズル表面に析
出させる工程と、非水系有機溶媒を用いて前記ノズル表
面上に残った余分なクロロシリル基を複数個含む物質を
洗浄除去した後、水と反応させて、前記ノズル表面上に
シラノール基を複数個含む物質よりなる単分子膜を形成
する工程と、一端にクロロシラン基(SiClnX3−
n基、n=1,2,3,Xは官能基)を有し他の一端に
直鎖状フッ化炭素基を含むクロロシラン系界面活性剤を
ノズル表面上に化学吸着し単分子吸着膜を形成する工程
とを含む。 【0017】 【作用】前述した本発明の液滴発生装置の構成によると
、収納容器内の液体は供給通路を通って圧力室に供給さ
れる。このとき吐出ノズルの位置は収納容器内の液体の
液面より低位置にあるため、吐出ノズルに正の静圧が作
用するが、その表面には撥油性被膜が施されているので
、吐出ノズルからの液垂れはない。この状態において圧
力発生手段を作用させると、圧力室内の液体は急激な圧
力上昇を生じ、吐出ノズルより液体の液滴が吐出する。 【0018】またその後の圧力減少時においても、吐出
ノズルに生じる負圧と液体の正の静圧が相殺し気泡の吸
入は発生しない。 【0019】更に万が一圧力室内に気泡が吸入したとき
には、この気泡は気泡除去通路を通して収納容器内に移
動し、圧力室の気泡が除去される。 【0020】また本発明の液滴吐出ノズル及びその製造
方法によると、きわめて薄いナノメータレベルの膜厚の
フッ化炭素系単分子膜をノズル表面に形成するため、そ
の形成によりノズル径を変化させたりノズルを詰まらせ
ることがない。また、このフッ化炭素系単分子膜はフッ
素系樹脂膜等と同等の撥油性を有しているため、液垂れ
しない。また、ノズル表面と化学的に強固に結合してい
るため傷が付きにくく、振動によっても剥離しにくい。 【0021】 【実施例】以下、図1から図3を用いて本発明の実施例
を詳細に説明する。 【0022】なお、以下に詳述する実施例は、本発明の
液滴発生装置を香り発生装置に適用した例である。 【0023】図1は本発明の第1の実施例における香り
発生装置を示し、各々が着脱自在のカセット型香り発生
装置1は、内部に芳香液等の所定溶液が収納される収納
容器3と、前記芳香液の微小液滴を吐出するノズル4を
有する本体部5とから構成される。そしてこの香り発生
装置1は、図示していないエアコンの一部に取り付けら
れたリード電極取り出し用接点を兼ねたカセット用のホ
ルダー2と、図示していないピエゾ電極からのリード取
り出し用接点と底板を兼ねたPC板6とによって挟持さ
れ、ホルダー2のバネ圧によってエアコンに固定される
。 【0024】次に、図2は図1に示したカセット型香り
発生装置1要部を示し、前記香り発生装置1は、休止時
における香りの漏出を最小限におさえ、かつ、液の消費
に伴う容積変化、温度や気圧の変化による収納容器内の
圧力変化を芳香液の静圧のみにするため、その頂部に微
小な通気孔7を形成した金属製の収納容器3を有し、こ
の収納容器3に芳香液8、例えば花の香りを有する各種
エステルや、その混合液等が収納されている。 【0025】また、収納容器3の底部には芳香液8の微
小液滴を電気信号9に応じて吐出させるための駆動部と
して、金属性の本体部5が芳香液8の供給通路10を介
して接続してある。前記本体部5には前記供給通路10
を頂部に有する円錐状や角錐状等の圧力室11が形成さ
れており、その底部には金属性の振動板12が接合され
、その反対側の面にはピエゾ板13が接合されている。 【0026】そして、前記圧力室11の壁面の一部に前
記芳香液8の微小液滴を吐出するためのノズル4が設け
られており、このノズル4の空気に接する外側の面(ノ
ズル表面42)には、撥油性物質(撥液性物質)、特に
テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共
重合体(通称FEP)、テトラフルオロエチレン重合体
(通称PTFE)、またはテトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル(通称PFA)等の
フッ素系樹脂から形成されるコーティング被膜や化学吸
着単分子膜による撥油性被膜(撥液性被膜)14が施さ
れている。このノズル4の空気に接する側の面は前記本
体部5に形成された凹部15の底となるように配されこ
の凹部中に保護されるため、接触等により傷付けられる
ことはない。前記本体部5の底部には、ピエゾ板13か
らの電極を取り出すため、例えば片面銅張り積層板で形
成したリード電極板16の絶縁材側を本体部5に接着し
、ピエゾ板13の電極面からボンディングによって引き
出したリード線17の他端を前期リード電極板16の銅
泊側にボンディングしてある。 【0027】ここで化学吸着単分子膜について詳細に説
明する。FEP等のフッ素系樹脂のコーティングはスプ
レー等によるため非常に工数がかかるうえ、厚みのコン
トロールや耐久性の均一化が難しい処理方法である。そ
のためノズルのコストが高く、また、ノズル径にばらつ
きを生じたり、樹脂がノズル内に詰まるおそれがある。 さらには、ノズル径が50μm前後と小さいため樹脂塗
膜を非常に薄くしなければならず樹脂膜自体も柔らかい
ため傷付きやすく、ピエゾ振動子の動作によるノズル部
の振動により塗膜が剥がれることも考えられる。 【0028】しかしこれらのフッ素系樹脂に代え化学吸
着単分子による被膜を以下の手順で形成すれば、本発明
の液滴発生装置のノズルに用いるものとしてより好適な
撥油性被膜が得られる。 【0029】ノズル材として、ニッケル、ステンレスス
チール、アルミニウム等の金属、シリコン、酸化物セラ
ミック、感光性ガラス等で代表される材料を用いた吐出
用ノズルがあるが、代表例としてガラスノズルとニッケ
ルノズルを取り上げ順に説明する。 【0030】まず、図3に見られるようにノズル加工の
終了したガラス製ノズル板41を用意し、アセトン、ト
リクロルエタン等の有機溶媒で洗浄した後、直鎖状のフ
ッ化炭素基及びクロロシラン基を含む物質、例えば、C
F3(CF2)7(CH2)2SiCl3を1重量%程
度の濃度で非水系の溶媒(80重量%n−ヘキサデカン
(トルエン、キシレン、ジシクロヘキシルでもよい)、
12重量%四塩化炭素、8重量%クロロホルム)に溶か
した溶液を調整し、前記ノズル板を2時間程度浸漬する
と、ノズル板の表面はガラスの成分である酸化物が露出
しており(酸化物セラミックでも同様)、その酸化物表
面には水酸基が多数含まれているので、フッ化炭素基お
よびクロロシラン基を含む物質のSiCl基と前記水酸
基が反応し脱塩酸反応が生じる。これによりノズル表面
42全体において以下の化学式で示される結合が生成さ
れる。 【0031】 【化1】 【0032】すなわち図4に示されるようにフッ素を含
む単分子膜43がノズルの表面と化学結合した状態でお
よそ15Åの膜厚で形成できた。この単分子膜43は極
めて強固に化学結合しているので全く剥離することがな
かった。またノズルの材質はニッケル、ステンレススチ
ール、アルミニウム等の金属やシリコンでも、表面は自
然酸化膜で覆われているので当然水酸基が含まれており
、上述と同様の単分子膜を吸着時間を調整するのみで同
様の方法を用い形成できた。 【0033】このノズルを用い実使用を試みたが、前記
フッ素樹脂コーティングノズルに比べて芳香液に対する
撥液性(液垂れ防止効果等)には何等の遜色もなく、ま
た処理面をプラスチックス片や紙等で擦っても傷は全く
付かず剥離も発生しなかった。 【0034】次に、親水性ではあるが水酸基を含む割合
が少ないニッケル製ノズル板(ステンレススチール、ア
ルミニウム等の金属も同様)の場合、トリクロロシリル
基を複数個含む物質(例えば、SiCl4,SiHCl
3,SiH2Cl2,またはCl−(SiCl2O)n
−SiCl3(nは整数)。特に、SiCl4を用いれ
ば、分子が小さく水酸基に対する活性も大きいので、ノ
ズル表面を均一に親水化する効果が大きい)を混ぜた非
水系溶液(例えばクロロホルム溶媒に1重量%程度溶解
した溶液)に30分間程度浸漬すると、ノズル表面42
には親水性のOH基44が多少とも存在する(図5(a
))ので表面で脱塩酸反応が生じトリクロロシリル基を
複数個含む物質のクロロシラン単分子膜が形成される。 【0035】例えば、トリクロロシリル基を複数個含む
物質としてSiCl4を用いれば、ノズル表面には少量
の親水性のOH基が露出されているので、表面で脱塩酸
反応が生じ以下の化学式のように分子が−SiO−結合
を介して表面に固定される。 【0036】 【化2】 【0037】その後、非水系の溶媒、例えばクロロホル
ムで洗浄して、さらに水で洗浄し反応させると、基材と
反応していないSiCl4分子は除去され、ノズル表面
に以下の化学式等で示されるシラノール基を複数個含む
シロキサン単分子膜45が得られる(図5(b))。 【0038】 【化3】 【0039】なお、このときできた単分子膜45はノズ
ルとは−SiO−の化学結合を介して完全に結合されて
いるので剥離することは全く無い。また、得られた単分
子膜は表面にSiOH結合を数多く持つ。当初の水酸基
のおよそ3倍程度の数が生成される。 【0040】さらに、直鎖状のフッ化炭素基及びクロロ
シラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒、例えば、C
F3(CF2)7(CH2)2SiCl3を用い、1重
量%程度の濃度で溶かした80重量%n−ヘキサデカン
、12重量%四塩化炭素、8重量%クロロホルム溶液を
調整し、前期表面にSiOH結合を数多く持つ単分子膜
の形成されたノズル板を1時間程度浸漬すると、ノズル
表面に(化1)の結合が生成され、フッ素を含む単分子
膜46が下層のシロキサン単分子膜と化学結合した状態
で、ノズル表面全体にわたりおよそ15Åの膜厚で形成
できた(図5(c))。なお、単分子膜は剥離試験、磨
耗試験を行っても全く剥離することがなかった。さらに
また、上記実施例では、フッ化炭素系界面活性剤として
、CF3(CF2)7(CH2)2SiCl3を用いた
が、アルキル鎖部分にC=CやCC基を付加したり組み
込んでおけば、単分子膜形成後5メガラド程度の電子線
照射で架橋できるのでさらに単分子膜の硬度を向上させ
ることも可能である。 【0041】なお、フッ化炭素系界面活性剤として上記
のもの以外にもCF3CH2O(CH2)15SiCl
3,CF3(CH2)Si(CH3)2(CH2)15
SiCl3,F(CF2)8(CH2)2Si(CH3
)2(CH2)9SiCl3,CF3COO(CH2)
15SiCl3,CF3(CF2)5(CH2)2Si
Cl,CF3(CF2)7(CH2)2(CH3)Si
(CH2)9SiCl3,CF3(CF2)3(CH2
)2(CH3)2Si(CH2)9SiCl3やCF3
(CH2)2(CH3)2Si(CH2)15SiCl
3等が利用できた。さらに、芳香液吐出用ノズルは板状
のものに限定されるものではなく細管状ノズル等にも適
用できることは勿論である。 【0042】次に、以上のように構成された香り発生装
置1の動作について説明する。香り発生装置1が図示し
ていないエアコンの側に取り付けられているホルダー2
とPC板6間にセットされると、ノズル4部の位置が芳
香液8の液面より低いため、ノズル4開口部には正の静
圧hが作用するが、ノズル4表面にはFEP等の撥油性
コーティング14を施しているため、表面張力が25d
yne/cm前後(20〜35dyne/cm)と小さ
な芳香液であっても、ノズル4からの液垂れは発生せず
、ノズル4開口部に凸状のメニスカスを形成した状態が
保持される。 【0043】このような状態において、図示していない
リモコン等を介したエアコン内の駆動制御回路によって
電気信号9がホルダー2とPC板6を介してピエゾ板1
3に印加されると、ピエゾ板13、及びこれと協動する
振動板12の変位によって圧力室11に急激な圧力上昇
を生じる。これによってノズル4からは電気信号9に応
じた微小な芳香液滴が空中に吐出され、図示していない
液滴受けまたは加熱板等に付着、蒸発することにより香
りを発生させる。芳香液8の圧力室への供給は芳香液8
の静圧と振動板12とピエゾ板13が元の位置に復帰す
る作用によって供給通路10よりなされるが、振動板1
2の復帰時に生じる負圧と芳香液8の静圧が相殺するた
め、ノズル4部のメニスカスに作用する圧力は極めて小
さい。このため、メニスカスの復帰が早く、気泡の吸入
や不要な吐出は起こらない。 【0044】次に、図6は本発明の第2の実施例を示し
、同構造は図2に示したものと基本的な構成、作用及び
動作は同様であるので、重複を避けるため、詳細な説明
は省略する。図2に示す実施例の構成との差異は、ノズ
ル4が振動板12の中央部に設けられて真下を向いてお
り、振動板12と、これに接合するピエゾ板13の中央
部には、ノズル4の直径よりも大きな直径の孔が形成さ
れた簡便な構成となっている点にある。 【0045】また、ノズル4に対向して、ピエゾ板13
を保護する目的でプロテクタ18が本体部5に取り付け
られており、かつ、プロテクタ18の外側にはフラット
ケーブル19が貼られ、本体側に設けられたPC板6と
電気的接触をとるようになっている。 【0046】次に、図7を参照しながら本発明の第3実
施例について説明する。この実施例においても第1実施
例と同様に液滴発生装置を香り発生装置に適用したもの
であり、基本的には同様の構成を有する。すなわちこの
香り発生装置1は休止時における香りの漏出を最小限に
おさえ、かつ、液の消費に伴う容積変化、温度や気圧の
変化による収納容器内の圧力変化を芳香液の静圧のみに
するため、その頂部に微小な通気孔7を形成した金属製
の収納容器3を有し、この収納容器3に芳香液8、例え
ば果物や花の香りを有する各種エステルや、その混合液
等が収納されている。 【0047】また、収納容器3の底部には芳香液8の微
小液滴を電気信号9に応じて吐出させるための駆動部と
して、金属製の本体部5が第1、第2の供給通路10a
、10bを介して接続され、前記本体部5には円錐状や
角錐状等の圧力室11が形成されている。 【0048】つまり本実施例の構成上の差異は前記圧力
室11の頂部に第1の供給通路10aが形成され、また
底部には第2の供給通路10bが形成されていることに
ある。 【0049】そして前記底部に金属製の振動板12が接
合され、その反対側の面にはピエゾ板13が接合され、
前記圧力室11の壁面の凹部15の底に、前記芳香液8
の微小液滴を吐出するためのノズル4が設けられており
、このノズル4の空気に接する側の面にはFEP、化学
吸着単分子等の撥油性物質被膜が形成されている点やリ
ード電極板16、リード線17の構成等は第1実施例と
同様である。 【0050】次に、以上のように構成された香り発生装
置1の動作について説明する。香り発生装置1が図示し
ていないエアコン側に取り付けられているホルダー2と
PC板6間にセットされると、ノズル4部の位置が芳香
液8の液面より低いため、ノズル4開口部には正の静圧
が作用するが、ノズル4表面にはFEP等の撥油性コー
ティング14を施しているため、表面張力が25dyn
e/cm前後の芳香液であっても、ノズル4からの液垂
れは発生せず、ノズル4開口部に凸状のメニスカスを形
成した状態が保持される。 【0051】このような状態において、図示していない
リモコン等を介したエアコン内の駆動制御回路によって
電気信号9がホルダー2とPC板6を介してピエゾ板1
3に印加されると、ピエゾ板13、及びこれと協動する
振動板12の変位によって圧力室11に急激な圧力上昇
を生じる。これによって、ノズル4からは電気信号9に
応じた微小な芳香液滴が空中に吐出され、図示していな
い液滴受けまたは加熱板等に付着、蒸発することにより
香りを発生させる。本実施例においては、芳香液8の圧
力室への供給は芳香液8の静圧と振動板12とピエゾ板
13が元の位置に復帰する作用によって第1、第2の供
給通路10a、10bよりなされることに差異がある。 しかしながら、振動板12の復帰時に生じる負圧と芳香
液8の静圧が同様に相殺するため、ノズル4部のメニス
カスに作用する圧力は極めて小さいため、メニスカスの
復帰が早く、気泡の吸入や不要な芳香液の吐出は起こら
ない。 【0052】また、何等かの原因で気泡を吸入した場合
でも気泡は圧力室11の頂部に集まり、第1の供給通路
10aを通って収納容器3側に容易に移動する。この場
合、第1の供給通路10aの大きさが小さいと、気泡が
通過する際に、この第1の供給通路10aが一時的に気
泡が塞がれるが、他方の第2の供給通路10bより芳香
液8が供給されるので、圧力室11内の圧力変化(負圧
)は生じず、気泡はスムーズに収納容器3側に移動し除
去される。 【0053】図8は本発明の第4の実施例によるカセッ
ト型香り発生装置を示すが、本実施例の構成は、図7に
示した第3実施例のものと基本的に構成、作用及び動作
については同様であるので重複を避けるため、詳細な説
明は省略する。また構成上の差異は第2実施例の第1実
施例への差異と同様であり、ノズル4が振動板12の中
央部に設けられて真下を向いており、振動板12と、こ
れに接合するピエゾ板13の中央部には、ノズル4の直
径よりも大きな直径の孔が形成された簡便な構造となっ
ており、第2実施例と同様にフラットケーブル19が貼
られたプロテクタ18が本体部5に取り付けられている
ことによりピエゾ板13を確実に保護することができる
。 【0054】以下図9から図15を用いて本発明の第5
から第8実施例について詳細に説明する。      
                         
                         
        【0055】なお、以下に詳述する実施例は、本発明の
液滴発生装置を香り発生装置に適用した例を示す。 【0056】図9は本発明の第5の実施例における香り
発生装置の全体であり、各々が着脱自在のカセット型香
り発生装置1は内部に芳香液が収納される収納容器3と
、前記芳香液の微小液滴を吐出するノズル4を有する本
体部5とから構成される。そして、この香り発生装置1
は、図示していないエアコンの一部に取り付けられた、
リード電極取り出し用接点を兼ねたカセット用のホルダ
ー2と、図示していないピエゾ電極からのリード取り出
し用接点と底板を兼ねたPC板6とによって挟持され、
ホルダー2のバネ圧によってエアコンに固定される。 【0057】次に、図10において、金属製の収納容器
3には芳香液8、例えば果物や花の香りを有する各種エ
ステルやそれらの混合液等が収納されており、収納容器
3の底部には芳香液8の微小液滴を電気信号9に応じて
吐出さるための駆動部として、金属製の本体部5が接続
されている。 【0058】前記本体部5には上部が錘状になった圧力
室11が形成されており、前記圧力室11には前記収納
容器3の底部から芳香液8を供給する供給通路10によ
って連通している。また、前記圧力室11の頂部に形成
された気泡除去通路20を介して前記収納容器3と連通
できる。 【0059】また前記収納容器3の頂部に設けた通気孔
7から前記芳香液8及び前記気泡除去通路20を通して
圧力室11まで達するロッド22が設けられ、その先端
には2重円錐形状の閉止部材23が形成されている。そ
して、前記頂部にはコイルバネ21が取り付けられてお
り、ロッド22を常時上方に付勢している。これにより
、前記閉止部材23が前記気泡除去通路20で係止され
、通常状態において気泡除去通路20を閉止する。 【0060】前記圧力室11の底部には、金属製の振動
板12が接合され、その反対側の面にはピエゾ板13が
接合される。 【0061】また、前記圧力室11の壁面の一部に前記
芳香液8の微小液滴を吐出するためのノズル4が設けら
れ、このノズル4の空気に接する側の面には、第1から
第4実施例と同様に撥油性物室から形成される被膜が付
加されている。このノズル4面は前記本体部5に形成さ
れた凹部15の底となるように配され、ノズル4面を外
力から保護するようになっている。またリード電極板1
6、リード線17の構成等は第1および第3実施例と同
様である。 【0062】次に、以上のように構成された香り発生装
置1の動作について説明する。香り発生装置1が図示し
ていないエアコン側に取り付けられているホルダー2と
PC板6間にセットされると、ノズル4の位置が芳香液
8の液面より低いためノズル4開口部には正の静圧が作
用するが、ノズル4表面には前記撥油性被膜14を施し
ているため、表面張力が25dyne/cm前後の芳香
液であっても、ノズル4からの液垂れは発生せず、ノズ
ル4開口部に凸状のメニスカスを形成した安定な状態が
同様に保持される。 【0063】このような状態において、図示していない
リモコン等を介した駆動制御回路によって電気信号9が
ホルダー2とPC板6を介してピエゾ板13の両電極面
に印加されると、ピエゾ板13及びこれと協動する振動
板12の変位によって圧力室11内に急激な圧力上昇を
生じる。これによってノズル4からは電気信号9に応じ
た微小な芳香液滴が空中に吐出され、そのまま空気中で
蒸発するか、図示していない液受けや加熱板等に不着後
蒸発して香りを発生させる。 【0064】芳香液8の圧力室への供給は芳香液8の静
圧と振動板12とピエゾ板13が元の位置に復帰する作
用によって供給通路10よりなされるが、振動板12の
復帰時に生じる負圧と芳香液8の静圧が相殺するためノ
ズル4部のメニスカスに作用する圧力は同様に極めて小
さい。このため、メニスカスの復帰が速く、気泡の吸入
や不要な吐出は起こらない。 【0065】なお、前記収納容器3の頂部に開けられか
つ前記ロッド22が挿入されている孔の径は、前記ロッ
ド22径よりも僅かに大きく、前記ロッド22が滑る程
度の隙間となっている。この小さな隙間は香り発生装置
1の休止時における香りの漏出を最小限におさえ、かつ
、芳香液8の消費に伴う容積変化、温度や気圧による収
納容器3内の圧力変化を芳香液8の静圧のみにするため
の通気孔7として機能する。 【0066】つぎに、図11に示すように、なんらかの
原因で圧力室11に気泡24が吸入した場合、気泡24
は芳香液8より軽いため圧力室11内を上昇し、閉止部
材23で閉止された気泡除去通路20近傍に溜まるので
、ロッド22の頭部を指等で下に押すと、ロッド22は
コイルバネ21に抗して下降し、図12のようにその先
端に設けられた閉止部材23は圧力室11内に下降する
。すると、圧力室11の頂部に形成された気泡除去通路
20が大きく開放され、気泡24は浮力により容易に気
泡除去通路20を通過して収納容器3側に移動し、圧力
室11から除去される。その後、ロッド22を押さえて
いた指をはなすと、ロッド22はコイルバネ21の付勢
作用で元の位置に戻り、同時にロッド22の先端に設け
られた閉止部材23が気泡除去通路20を閉止し、図1
0に示した元の正常な状態に復帰する。 【0067】次に、図13は本発明の第6実施例を示し
、この香り発生装置は球状の閉止部材23に直接供給通
路10を形成した構成である。そして、図14は閉止部
材23を円錐を重ね合わせた本発明の第7実施例であり
、この閉止部材23に直接供給通路10を形成した香り
発生装置の部分断面である。また、図15は本発明の第
8実施例による香り発生装置であり、この香り発生装置
においては、ロッド22に上向きの付勢力を与えるコイ
ルバネ21を収納容器3内に設けたものの断面を示す。 【0068】即ち、第6から第8実施例の構成、動作及
び作用等は、基本的に前記図10から図12において説
明したものと同様であるので、重複を避けるためここで
の説明は省略する。 【0069】以下、図16から図22を用いて本発明の
さらなる実施例を詳細に説明する。図16に示すように
、本発明の第9実施例では金属製の収納容器3内には芳
香液8、例えば果物や花の香りを有する各種エステルや
、それらの混合液等が収納されており、収納容器3の底
部には芳香液8の微小液滴を電気信号9に応じて吐出さ
せるエンジン部である、金属製の本体部5が接合される
。 【0070】前記本体部5には上部が円錐状やドーム状
になった圧力室11が形成され、前記圧力室11は供給
通路10を介して前記収納容器3の底部に連通している
。また、前記圧力室11はその頂部に形成された気泡除
去通路20を介して前記収納容器3と連通できるが、同
気泡除去通路20は前記収納容器3内に収納された球状
の閉止部材23によって通常は閉止されている。 【0071】前記圧力室11の底部には金属製の振動板
12が接合され、その反対側の面にはピエゾ板13が接
合される。 【0072】また、前記圧力室11の壁面の凹部15の
底には、前記芳香液8の微小液滴を吐出するためのノズ
ル4が設けられ、このノズル4面には、第1実施例から
第8実施例と同様に撥油性物質から形成される被膜14
が付加される。リード電極板16およびリード線17の
構成は、第1実施例等と同様である。 【0073】次に、以上の構成でつくられた香り発生装
置1の動作について説明する。香り発生装置1が図示し
ていないエアコン側についているホルダー2とPC板6
間にセットされると、ノズル4の位置が芳香液8の液面
より低いため、ノズル4開口部には正の静圧が作用する
が、ノズル4表面には前記撥油性被膜14が施してある
ため、表面張力が25dyne/cm前後の芳香液であ
っても、ノズル4からの液垂れは発生せず、ノズル4開
口部に凸状のメニスカスの安定状態が保持される。 【0074】因みに、香りの成分であるエステルに対し
ての撥油性被膜14の接触角は60度前後もあり、ノズ
ル径が50ミクロンメータでのメニスカス保持力は計算
値では170mmAg以上である。これは、170mm
Ag以下の静圧では、ノズルからの液垂れは発生しない
ことを意味している。 【0075】図示していないリモコン等を介した駆動制
御回路から電気信号9が、ホルダー2とPC板6を介し
てピエゾ板13の両電極面に印加されると、ピエゾ板1
3と振動板12の変位によって圧力室11内に急激な圧
力上昇が生じ、これによってノズル4からは電気信号9
に応じた微小な芳香液滴が空中に吐出され、そのまま空
気中で蒸発するか、図示していない液受けや加熱板等に
不着後蒸発して香りを発生させる。 【0076】芳香液8の圧力室への供給は、芳香液8の
静圧と振動板12とピエゾ板13が元の位置に復帰する
作用によって供給通路10よりなされるが、振動板12
の復帰時に生じる負圧と芳香液8の静圧が相殺するため
、ノズル4部のメニスカスに作用する圧力は極めて小さ
い。このため、メニスカスの復帰が速く、気泡の吸入や
不要な吐出は起こらない。 【0077】なお、前記収納容器3の頂部に開けられた
通気孔7は、香り発生装置1の休止時における香りの漏
出を最小限におさえ、かつ、芳香液8の消費に伴う容積
変化、温度変化や気圧変化があっても、収納容器3内の
圧力状態を芳香液8の静圧のみに保つ。 【0078】図17および図18に示すように、なんら
かの原因で圧力室11に気泡24が吸入された場合、気
泡24は芳香液8より軽いため、圧力室11内を上昇し
、閉止部材23で閉止された気泡除去通路20近傍に溜
まる。したがって、香り発生装置1の頭部を指で摘んで
手前に引いて傾斜させると、球状の閉止部材23は気泡
除去通路20から外れて収納容器3内の壁面に移動する
。すると、圧力室11の頂部に形成された気泡除去通路
20が大きく開放されるから、気泡24は浮力により容
易に気泡除去通路20を通過して収納容器3側に移動し
、圧力室11から除去される。 【0079】その後、香り発生装置1の頭部を元のホル
ダー2部に押し込むと、閉止部材23は転がって移動し
、気泡除去通路20が閉止されるので、図16に示した
元の正常な状態に復帰する。 【0080】次に、図19は前記供給通路10が前記気
泡除去通路20の壁面に形成された溝と前記球状の閉止
部材23とが接触する本発明の第10実施例であり、図
20から理解されるように、気泡除去通路20の壁面に
は供給通路10となる溝が切られる。また、図21は前
記供給通路10が前記気泡除去通路20の壁面に設けら
れた突起と前記球状の閉止部材23と接触することによ
って生ずる隙間で形成される本発明の第11実施例であ
り、図22から理解されるように、この実施例では、気
泡除去通路20の壁面に小さな突起25が形成される。 【0081】図19から図22の各実施例の基本的な構
成、動作および作用は、前記図16から図18について
説明したものと同様であるので、重複を避けるため、説
明は省略する。 【0082】なお、香り発生装置の構成材料、特に芳香
液の収納容器3は、金属の他、プラスチックス、ガラス
、セラミック等の透明材料を使用することによって、芳
香液8の残量を目で確認することができる。また、型成
形によりコストダウンも可能となる。勿論、前述の香り
発生装置はカセット式なので芳香液の種類を数多く揃え
ることにより各人の好みにあった香りを選択することも
できる。 【0083】なお、本発明は、前記香り発生装置のみに
限定されるものではなく、高速反応性を要求されるイン
クジェット記録装置等の液滴発生装置としても使用でき
ることは改めて指摘するまでもない。 【0084】 【発明の効果】以上のように本発明の液滴発生装置によ
れば、小型化を図ることができ、また安価に構成するこ
とができる。また液滴発生部分における気泡の吸入を防
止することができる。 【0085】また本発明の液滴発生装置によると、収納
容器内の液面位置より低位置に撥油性コーティングした
ノズルを設け、かつ、収納容器内に収納した移動自在な
閉止部材により、万が一気泡が混入した場合でも圧力室
の頂部に設けた気泡除去通路から、所望のときの非常に
簡単な操作で気泡の除去が可能であり、信頼性の高いピ
エゾ駆動型の液滴発生装置を提供できる。 【0086】さらに本発明の化学吸着単分子膜を形成さ
れた液滴吐出ノズルおよびその製造方法によれば、簡便
な工程で膜厚の均一化と結合力の強い被膜を実現し、ノ
ズルの詰まりや吐出力の変化を防止し耐久性、耐磨耗性
をも向上させることができる。 【0087】そして本発明の液滴発生装置を特に芳香液
を用いた香り発生装置として適用する場合には、カセッ
ト式なので芳香液の種類を多く揃えることによって、家
庭やオフィスでの各部屋を各人の好みにあった香り空間
を選択、演出することも可能で精神の安定と高揚を図る
ことができ、オフィスワークの効率を向上させることが
できる。また本発明の液滴発生装置からなる香り発生装
置は熱交換器と送風機を備えた空気調和装置に着脱自在
に取り付けることにより、居住空間等の香り環境を制御
できる。 【0088】なお、本発明は前記香り発生装置のみに限
定利用されるものではなく、高速応答性を要求されるイ
ンクジェット記録装置等の液滴発生装置としても使用で
きることは勿論である。 【0089】また以上の実施例ではノズル表面の全体に
単分子膜を形成したが、ニーズに応じ所望の部分のみ形
成することも可能である。         
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用し
た場合である第1実施例の斜視図
【図2】本発明の第1実施例の装置の断面図
【図3】本
発明の吐出ノズルを形成するための代表例である円板状
ノズル材の斜視図
【図4】本発明の吐出ノズルのノズル表面を分子レベル
まで拡大した断面概念図
【図5】本発明の吐出ノズルのノズル表面を分子レベル
まで拡大した断面工程概念図
【図6】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用し
た第2実施例の断面図
【図7】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用し
た第3実施例の断面図
【図8】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用し
た第4実施例の断面図
【図9】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用し
た第5実施例の斜視図
【図10】本発明の第5実施例の装置の断面図
【図11
】圧力室に気泡が入った状態を示す第5実施例の装置の
部分断面図
【図12】圧力室から気泡を除去する際の状態を示す第
5実施例の装置の断面図
【図13】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用
した第6実施例の断面図
【図14】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用
した第7実施例の拡大部分断面図
【図15】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用
した第8実施例の断面図
【図16】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用
した第9実施例の断面図
【図17】圧力室に気泡が入った状態を示す第9実施例
の装置の部分断面図
【図18】圧力室から気泡を除去する際の状態を示す第
9実施例の装置の断面図
【図19】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用
した第10実施例の拡大部分断面図
【図20】本発明の第10実施例の装置の要部平面図

図21】本発明の液滴発生装置を香り発生装置に適用し
た第11実施例の拡大部分断面図
【図22】本発明の第11実施例の装置の要部平面図

図23】従来の香り発生装置の全体図
【図24】従来の
インクジェットヘッドの断面図
【符号の説明】
1  香り発生装置 2  ホルダー 3  収納容器 4  ノズル 5  本体部 6  PC板 7  通気孔 8  芳香液 9  電気信号 10  供給通路 11  圧力室 12  振動板 13  ピエゾ板 14  撥油性被膜 15  凹部 16  リード電極板 17  リード線 18  プロテクタ 19  フラットケーブル 20  気泡除去通路 21  コイルバネ 22  ロッド 23  閉止部材 24  気泡 25  突起 41  ノズル板 50  ボンベ 51  配管

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所定の液体を収納する収納室を有する収納
    容器と、前記収納室内の液体の液面よりも低い位置にあ
    る圧力室と、前記収納室と圧力室とを連絡し収納室内の
    液体を前記圧力室に連絡するための液体供給通路と、そ
    の表面に撥油性物質被膜が形成され前記圧力室から供給
    された液体を外部に吐出する液滴吐出ノズルと、前記圧
    力室内の液体に急激な圧力上昇を生じさせる圧力発生手
    段とを備える液滴発生装置。
  2. 【請求項2】収納室と圧力室とを連絡し前記圧力室内に
    侵入した気泡を収納室に移動させる気泡除去通路を備え
    る請求項1記載の液滴発生装置。
  3. 【請求項3】液体供給通路と気泡除去通路が実質的に共
    通である請求項1または2記載の液滴発生装置。
  4. 【請求項4】気泡を移動する場合に気泡除去通路を開放
    し、気泡を移動しない場合には前記気泡除去通路を閉鎖
    する閉止部材を備える請求項2または3記載の液滴発生
    装置。
  5. 【請求項5】撥油性物質被膜がテトラフルオロエチレン
    −ヘキサフルオロプイレン共重合体で形成されている請
    求項1記載の液滴発生装置。
  6. 【請求項6】撥油性物質被膜がフッ素を含む化学吸着単
    分子膜で形成されている請求項1記載の液滴発生装置。
  7. 【請求項7】フッ素を含む化学吸着単分子膜がその表面
    に形成された所定の液体を吐出するための液滴吐出ノズ
    ル。
  8. 【請求項8】液滴吐出ノズル表面に形成されたフッ素を
    含む化学吸着単分子膜が、シロキサン系単分子膜を介し
    て表面に形成される請求項7記載の液滴吐出ノズル。
  9. 【請求項9】金属製、セラミック製、ガラス製、シリコ
    ン製で代表される請求項7または8記載の液滴吐出ノズ
    ル。
  10. 【請求項10】成形加工の終了した所定の液体を吐出す
    るためのノズルを用意し、よく洗浄した後、一端にクロ
    ロシラン基(SiClnX3−n基、n=1,2,3,
    Xは官能基)を有し、他の一端に直鎖状フッ化炭素基を
    有するクロロシラン系界面活性剤を溶解した有機溶媒中
    に前記ノズルを浸漬し、前記活性剤より成る化学吸着単
    分子膜をノズル表面全体または一部に形成する工程を含
    む液滴吐出ノズルの製造方法。
  11. 【請求項11】成形加工の終了した所定の液体を吐出す
    るためのノズルを用意し、よく洗浄した後、クロロシリ
    ル基を複数個含む物質を混ぜた非水系溶媒に接触させて
    、前記ノズル表面の水酸基と前記クロロシリル基とを反
    応させて前記クロロシリル基を複数個含む物質を前記ノ
    ズル表面に析出させる工程と、非水系有機溶媒を用いて
    前記ノズル表面上に残った余分なクロロシリル基を複数
    個含む物質を洗浄除去した後、水と反応させて、前記ノ
    ズル表面上にシラノール基を複数個含む物質よりなる単
    分子膜を形成する工程と、一端にクロロシラン基(Si
    ClnX3−n基、n=1,2,3,Xは官能基)を有
    し他の一端に直鎖状フッ化炭素基を含むクロロシラン系
    界面活性剤をノズル表面上に化学吸着し単分子吸着膜を
    形成する工程とを含む液滴吐出ノズルの製造方法。
  12. 【請求項12】クロロシリル基を複数個含む物質として
    SiCl4,SiHCl3,SiH2Cl2,またはC
    l−(SiCl2O)n−SiCl3(nは整数)を用
    いる請求項11記載の液滴吐出ノズルの製造方法。
  13. 【請求項13】一端にクロロシラン基を有し他の一端に
    直鎖状フッ化炭素基を含むクロロシラン系界面活性剤と
    してCF3−(CF2)n−R−SiXpCl3−p(
    nは0または整数、Rはアルキル基やC=C,CCまた
    はシリコンや酸素原子を含む置換基を表すが、なくとも
    よい、XはHまたはアルキル基等の置換基、pは0,1
    、または2の整数)を用いる請求項10または11記載
    の液滴吐出ノズルの製造方法。
  14. 【請求項14】所定の液体は芳香液である請求項1記載
    の液滴発生装置。
  15. 【請求項15】所定の液体は芳香液である請求項7記載
    の液滴吐出ノズル。
  16. 【請求項16】所定の液体は芳香液である請求項10ま
    たは11記載の液滴吐出ノズルの製造方法。
JP3016185A 1990-11-27 1991-02-07 液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法 Pending JPH04215868A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3016185A JPH04215868A (ja) 1990-11-27 1991-02-07 液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2-328690 1990-11-27
JP32869090 1990-11-27
JP2-328682 1990-11-27
JP2-337951 1990-11-30
JP2-337949 1990-11-30
JP3016185A JPH04215868A (ja) 1990-11-27 1991-02-07 液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04215868A true JPH04215868A (ja) 1992-08-06

Family

ID=26352458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3016185A Pending JPH04215868A (ja) 1990-11-27 1991-02-07 液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04215868A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1447348A4 (en) * 2000-11-16 2005-11-02 Zakrytoe Aktsionernoe Obschest DEVICE FOR FLAVORING A GAS MEDIUM
KR102788658B1 (ko) * 2023-10-26 2025-04-01 마리에뜨 주식회사 조명이 구비된 발향 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1447348A4 (en) * 2000-11-16 2005-11-02 Zakrytoe Aktsionernoe Obschest DEVICE FOR FLAVORING A GAS MEDIUM
KR102788658B1 (ko) * 2023-10-26 2025-04-01 마리에뜨 주식회사 조명이 구비된 발향 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6401388B2 (ja) 流体組成物を放出するための微小流体放出システム
JP7212011B2 (ja) マイクロ流体送達カートリッジ、及びカートリッジをマイクロ流体送達システムと接続する方法
US20230285992A1 (en) Microfluidic delivery cartridge for use with a microfluidic delivery device
CA3055216C (en) Microfluidic delivery device and method for dispensing a fluid composition upward into the air
US11305301B2 (en) Microfluidic delivery device for dispensing and redirecting a fluid composition in the air
JP2018537263A (ja) マイクロ流体送達システム、及び外側カバーを有するカートリッジ
WO2018191045A1 (en) Microfluidic delivery device and method of jetting a fluid composition with the same
US20150367364A1 (en) Microfluidic delivery system and method
JPH04215868A (ja) 液滴発生装置、液滴吐出ノズル及びそのノズルの製造方法
TWI295634B (en) Nozzle plate producing method, nozzle plate, liquid droplet ejecting head and liquid droplet ejecting apparatus
JP2970155B2 (ja) 香り発生装置
JPH05317401A (ja) 香り発生器
JPH05156A (ja) 液滴発生装置
JPH05260A (ja) 液滴発生装置
JPH04266762A (ja) 香り発生装置
JPH05259A (ja) 液滴発生装置
JPH05317400A (ja) 香り発生器
US9968700B2 (en) Microfluidic delivery system and method
JPH054059A (ja) 液滴発生装置
JP2970153B2 (ja) 香り発生装置
JPH053908A (ja) 香り発生装置
JPH05161702A (ja) 香り発生装置
JPH04266761A (ja) 液滴発生装置
JPH04267157A (ja) インクジェット記録装置用吐出ノズル及びその製造方法