JPH04216914A - レプリカおよびスタンパの製造方法 - Google Patents
レプリカおよびスタンパの製造方法Info
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- JPH04216914A JPH04216914A JP2411302A JP41130290A JPH04216914A JP H04216914 A JPH04216914 A JP H04216914A JP 2411302 A JP2411302 A JP 2411302A JP 41130290 A JP41130290 A JP 41130290A JP H04216914 A JPH04216914 A JP H04216914A
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- Japan
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- resin
- mold
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフォトポリマー（以下２
Ｐと称す）樹脂を用いてオリジナル型のレプリカを作成
する２Ｐレプリカの製造方法に関し、またこの２Ｐレプ
リカ上に金属層が設けられたスタンパの製造方法に関す
る。
Ｐと称す）樹脂を用いてオリジナル型のレプリカを作成
する２Ｐレプリカの製造方法に関し、またこの２Ｐレプ
リカ上に金属層が設けられたスタンパの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、光記録媒体用基板の製造方法とし
て、所望のパターンが形成されたオリジナル型から２Ｐ
樹脂を用いて２Ｐレプリカと呼ばれるオリジナル型の複
製（パターンは反転する）をとり、２Ｐレプリカのパタ
ーン上に電鋳によりニッケル等の層を設けてスタンパ原
盤とし、このスタンパ原盤を用いてコンプレッション法
、２Ｐ成形法、押し出し成形法などの成形法により、光
記録媒体用基板を作成するという方法が利用されている
。
て、所望のパターンが形成されたオリジナル型から２Ｐ
樹脂を用いて２Ｐレプリカと呼ばれるオリジナル型の複
製（パターンは反転する）をとり、２Ｐレプリカのパタ
ーン上に電鋳によりニッケル等の層を設けてスタンパ原
盤とし、このスタンパ原盤を用いてコンプレッション法
、２Ｐ成形法、押し出し成形法などの成形法により、光
記録媒体用基板を作成するという方法が利用されている
。
【０００３】２Ｐレプリカを製造するには、例えば図５
に示すように、まず表面に光記録媒体用基板と反対の凹
凸を持つオリジナル型１を固定板２に固定し、オリジナ
ル型１上に所定量の２Ｐ樹脂４を配する。その上にガラ
スや樹脂からなる基板３を重ね合わせ、２Ｐ樹脂をオリ
ジナル型と基板の間の全面にのばし、基板側から紫外線
を照射して２Ｐ樹脂を硬化させる。その後硬化した樹脂
を基板と共にオリジナル型から剥離することにより２Ｐ
レプリカ５を作成する。
に示すように、まず表面に光記録媒体用基板と反対の凹
凸を持つオリジナル型１を固定板２に固定し、オリジナ
ル型１上に所定量の２Ｐ樹脂４を配する。その上にガラ
スや樹脂からなる基板３を重ね合わせ、２Ｐ樹脂をオリ
ジナル型と基板の間の全面にのばし、基板側から紫外線
を照射して２Ｐ樹脂を硬化させる。その後硬化した樹脂
を基板と共にオリジナル型から剥離することにより２Ｐ
レプリカ５を作成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うに得られる２Ｐレプリカでは、図５（ｃ）に示される
ように外縁部に樹脂の突起が形成されてしまい、この部
分が欠けてゴミとなり、後の工程においてこのゴミが２
Ｐレプリカのパターン部に付着してとれなくなってしま
ったり、オリジナル型の端部に付着してオリジナル型の
突起となってしまうという問題があった。
うに得られる２Ｐレプリカでは、図５（ｃ）に示される
ように外縁部に樹脂の突起が形成されてしまい、この部
分が欠けてゴミとなり、後の工程においてこのゴミが２
Ｐレプリカのパターン部に付着してとれなくなってしま
ったり、オリジナル型の端部に付着してオリジナル型の
突起となってしまうという問題があった。
【０００５】このような問題を解決するためには、オリ
ジナル型及び基板端部に２Ｐ樹脂の剥離を容易にする剥
離剤を塗布したり、マスキング剤を利用して樹脂を硬化
させバリとなった樹脂を剥しとることが考えられるが、
剥されたバリは２Ｐレプリカやオリジナル型の型面に付
着し、欠陥となる可能性があり、やはり好ましくない。
ジナル型及び基板端部に２Ｐ樹脂の剥離を容易にする剥
離剤を塗布したり、マスキング剤を利用して樹脂を硬化
させバリとなった樹脂を剥しとることが考えられるが、
剥されたバリは２Ｐレプリカやオリジナル型の型面に付
着し、欠陥となる可能性があり、やはり好ましくない。
【０００６】本発明は上記問題点を解決し、２Ｐ樹脂の
はみ出しによるバリの発生を抑え、２Ｐレプリカを良好
に製造できる方法を提供し、高品質なスタンパを提供す
ることを目的とする。
はみ出しによるバリの発生を抑え、２Ｐレプリカを良好
に製造できる方法を提供し、高品質なスタンパを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、オリジナル型
のパターンを有する型面上にフォトポリマー樹脂を配す
る工程、該型面に基板を重ねて該型面にフォトポリマー
樹脂を広げる工程、フォトポリマー樹脂を硬化させる工
程、及び硬化したフォトポリマー樹脂と基板とを一体的
にオリジナル型から剥離する工程を有するオリジナル型
のレプリカを得るレプリカの製造方法であって、オリジ
ナル型の外周に、該型面と連続しかつ該型面と同一面を
形成する面を有するように離型性弾性部材を配する工程
を、前記フォトポリマー樹脂を配する工程の前に有する
ことを特徴とするレプリカの製造方法である。
のパターンを有する型面上にフォトポリマー樹脂を配す
る工程、該型面に基板を重ねて該型面にフォトポリマー
樹脂を広げる工程、フォトポリマー樹脂を硬化させる工
程、及び硬化したフォトポリマー樹脂と基板とを一体的
にオリジナル型から剥離する工程を有するオリジナル型
のレプリカを得るレプリカの製造方法であって、オリジ
ナル型の外周に、該型面と連続しかつ該型面と同一面を
形成する面を有するように離型性弾性部材を配する工程
を、前記フォトポリマー樹脂を配する工程の前に有する
ことを特徴とするレプリカの製造方法である。
【０００８】また本発明は上記のようにして得たレプリ
カのパターン面に金属層を設けるスタンパの製造方法で
ある。
カのパターン面に金属層を設けるスタンパの製造方法で
ある。
【０００９】離型性弾性部材としては、硬化後の２Ｐ樹
脂と該部材との離型性を有するものを用いることができ
る。硬化した２Ｐ樹脂はオリジナル型外周に形成された
離型性弾性部材と離型する。
脂と該部材との離型性を有するものを用いることができ
る。硬化した２Ｐ樹脂はオリジナル型外周に形成された
離型性弾性部材と離型する。
【００１０】オリジナル型とレプリカとを剥離するため
に、剥離しようとする方向に基板に対して弾性部材を介
して力を加えるが、この際弾性部材は変形する。この変
形時に破壊せず、力を除いたときに元の形に戻ることが
できるように、離型性弾性部材は１０ｋｇｆ／ｃｍ以上
の引き裂き強度を有することが好ましい。引き裂き強度
が高いと剥離時に離型性弾性部材を破壊することがなく
、該部材を繰り返し使用できるので好ましい。
に、剥離しようとする方向に基板に対して弾性部材を介
して力を加えるが、この際弾性部材は変形する。この変
形時に破壊せず、力を除いたときに元の形に戻ることが
できるように、離型性弾性部材は１０ｋｇｆ／ｃｍ以上
の引き裂き強度を有することが好ましい。引き裂き強度
が高いと剥離時に離型性弾性部材を破壊することがなく
、該部材を繰り返し使用できるので好ましい。
【００１１】離型性弾性部材としては例えばゴムコンパ
ウンドを特に制限なく使用できる。なかでもシリコーン
ＲＴＶゴムは離型性弾性部材として好ましい。なぜなら
ばシリコーンＲＴＶゴムは容易に成形加工でき、２Ｐ樹
脂との離型性に優れ、また引き裂き強度も十分（２０〜
２５ｋｇｆ／ｃｍ程度）であるからである。
ウンドを特に制限なく使用できる。なかでもシリコーン
ＲＴＶゴムは離型性弾性部材として好ましい。なぜなら
ばシリコーンＲＴＶゴムは容易に成形加工でき、２Ｐ樹
脂との離型性に優れ、また引き裂き強度も十分（２０〜
２５ｋｇｆ／ｃｍ程度）であるからである。
【００１２】オリジナル型の外周に離型性弾性部材を配
する方法としては、特に制限はないが、例えばオリジナ
ル型の周囲に囲みを作り、その中に該部材を流し込んで
硬化させ、オリジナル型に該部材を密着させて成形すれ
ば良い。
する方法としては、特に制限はないが、例えばオリジナ
ル型の周囲に囲みを作り、その中に該部材を流し込んで
硬化させ、オリジナル型に該部材を密着させて成形すれ
ば良い。
【００１３】本発明で用いるオリジナル型、２Ｐ樹脂や
基板には従来から２Ｐレプリカの製造に用いられている
ものを特に制限なく用いることができる。また２Ｐ樹脂
をオリジナル型のパターンを有する面上に配し、のばし
広げる方法や樹脂を硬化させる方法についても特に制限
なく公知の技術を適用できる。
基板には従来から２Ｐレプリカの製造に用いられている
ものを特に制限なく用いることができる。また２Ｐ樹脂
をオリジナル型のパターンを有する面上に配し、のばし
広げる方法や樹脂を硬化させる方法についても特に制限
なく公知の技術を適用できる。
【００１４】このようにして得た２Ｐレプリカからスタ
ンパを得るには公知の方法を適宜採用すれば良い。例え
ばレプリカの表面に導電化膜を形成し、その上に電鋳法
により金属膜を形成し、研磨した後、導電化膜及び金属
膜を一体としてレプリカから剥離すればスタンパーを製
造できる。導電化膜は真空中での金属の蒸着やスパッタ
リング等で成膜出来る。この金属としては例えば銀やニ
ッケルが用いられる。より詳しい例を挙げれば、レプリ
カのトラッキング用溝や情報用ピット等の凹凸パターン
の上に、スパッタリングによりニッケル膜を５００〜１
０００オングストローム成膜し、このレプリカをホルダ
ーで保持して２０〜３０ｒｐｍで回転させながらスルフ
ァミン酸ニッケル電鋳液中で通電して導電化膜上にニッ
ケル金属を析出させ、その後２Ｐレプリカからニッケル
金属層を剥離すればスタンパが得られる。
ンパを得るには公知の方法を適宜採用すれば良い。例え
ばレプリカの表面に導電化膜を形成し、その上に電鋳法
により金属膜を形成し、研磨した後、導電化膜及び金属
膜を一体としてレプリカから剥離すればスタンパーを製
造できる。導電化膜は真空中での金属の蒸着やスパッタ
リング等で成膜出来る。この金属としては例えば銀やニ
ッケルが用いられる。より詳しい例を挙げれば、レプリ
カのトラッキング用溝や情報用ピット等の凹凸パターン
の上に、スパッタリングによりニッケル膜を５００〜１
０００オングストローム成膜し、このレプリカをホルダ
ーで保持して２０〜３０ｒｐｍで回転させながらスルフ
ァミン酸ニッケル電鋳液中で通電して導電化膜上にニッ
ケル金属を析出させ、その後２Ｐレプリカからニッケル
金属層を剥離すればスタンパが得られる。
【００１５】本発明によれば表面にバリや突起のない２
Ｐレプリカを製造でき、従って高品質なスタンパを得る
ことができる。その結果このスタンパで成形して製造し
た光記録媒体等の製品も高品質なものとなる。
Ｐレプリカを製造でき、従って高品質なスタンパを得る
ことができる。その結果このスタンパで成形して製造し
た光記録媒体等の製品も高品質なものとなる。
【００１６】図１を参照して本発明の一態様について説
明する。
明する。
【００１７】図１（ａ）に示すように、型面成形枠８に
、固定板２で補強されたオリジナル型１を、その型面１
１が図中下になるようにして設置する。オリジナル型の
型面と型面成形枠８の内面とは当接するようにする。 またこのとき固定板を図中上から押さえることによりオ
リジナル型を固定してもよい。
、固定板２で補強されたオリジナル型１を、その型面１
１が図中下になるようにして設置する。オリジナル型の
型面と型面成形枠８の内面とは当接するようにする。 またこのとき固定板を図中上から押さえることによりオ
リジナル型を固定してもよい。
【００１８】次にオリジナル型と型面成形枠との間に離
型性弾性部材６をシリンジ等により注入し、成形補助板
７を設置した後、離型性弾性部材を硬化させる。そして
成形補助板、型面成形枠、及び余分な離型性弾性部材を
取り去ると、図１（ｂ）に示すような、オリジナル型の
外周に型面１１と連続しかつ型面１１と同一面を形成す
る面１２を有する離型性弾性部材を成形できる。
型性弾性部材６をシリンジ等により注入し、成形補助板
７を設置した後、離型性弾性部材を硬化させる。そして
成形補助板、型面成形枠、及び余分な離型性弾性部材を
取り去ると、図１（ｂ）に示すような、オリジナル型の
外周に型面１１と連続しかつ型面１１と同一面を形成す
る面１２を有する離型性弾性部材を成形できる。
【００１９】このオリジナル型面１１上に２Ｐ樹脂を適
量載せ、図２に示すように、その上に基板３を重ね合わ
せてオリジナル型全面に２Ｐ樹脂を広げる。このとき基
板端部から樹脂が多量にはみ出す場合にはそれを拭き取
っても良いが、樹脂量を適正な量にしておくことにより
、過剰な樹脂のはみ出しを防ぐことができる。
量載せ、図２に示すように、その上に基板３を重ね合わ
せてオリジナル型全面に２Ｐ樹脂を広げる。このとき基
板端部から樹脂が多量にはみ出す場合にはそれを拭き取
っても良いが、樹脂量を適正な量にしておくことにより
、過剰な樹脂のはみ出しを防ぐことができる。
【００２０】このとき少なくとも一部においてオリジナ
ル型１の外縁より基板３の外縁が外にあるようにすると
よい。その部分で基板とオリジナル型とを容易に剥離で
きる。またこの部分のうちの少なくとも一部において基
板３の外縁より離型性弾性部材６の面１２の外縁が外に
あるようにしておくと剥離をより容易に行うことが出来
て好ましい。基板と離型性弾性樹脂との重なりは特に制
限はなく剥離が容易に行い得る程度にすれば良く、例え
ば幅５ｍｍ以上２０ｍｍ以下程度とすれば良い。
ル型１の外縁より基板３の外縁が外にあるようにすると
よい。その部分で基板とオリジナル型とを容易に剥離で
きる。またこの部分のうちの少なくとも一部において基
板３の外縁より離型性弾性部材６の面１２の外縁が外に
あるようにしておくと剥離をより容易に行うことが出来
て好ましい。基板と離型性弾性樹脂との重なりは特に制
限はなく剥離が容易に行い得る程度にすれば良く、例え
ば幅５ｍｍ以上２０ｍｍ以下程度とすれば良い。
【００２１】次に基板側から紫外光１０を照射して２Ｐ
樹脂を硬化させ、オリジナル型と基板を剥離して、２Ｐ
レプリカ５を得る。剥離の際には例えば図３に示すよう
な剥離治具９を２Ｐレプリカ５と離型性弾性体の間に挿
入し固定板２をテコの支点にして剥離治具の爪部分を上
に持ち上げ、２Ｐレプリカとオリジナル型とを機械的に
剥離すると簡便で好ましい。
樹脂を硬化させ、オリジナル型と基板を剥離して、２Ｐ
レプリカ５を得る。剥離の際には例えば図３に示すよう
な剥離治具９を２Ｐレプリカ５と離型性弾性体の間に挿
入し固定板２をテコの支点にして剥離治具の爪部分を上
に持ち上げ、２Ｐレプリカとオリジナル型とを機械的に
剥離すると簡便で好ましい。
【００２２】
【実施例】実施例１
５インチ（１２７ｍｍ）角、厚さ５ｍｍのオリジナル型
を、６インチ（１５２．４ｍｍ）角、厚さ１０ｍｍ、ガ
ラス製の固定板で補強し、オリジナル型外周にシリコー
ンＲＴＶゴム（東芝シリコーン株式会社製、ＴＳＥ−３
４５３）を配して成形し、常温、２４時間で硬化させた
。次にオリジナル型面上に２Ｐ樹脂（日本化薬社製、Ｉ
ＮＣ１１８）をディスペンスし、ガラスの基板を重ねて
樹脂をスプレッドした後紫外光により硬化させ、図３に
示した剥離治具でオリジナル型とパターンが転写された
２Ｐ樹脂層を有する基板とを剥離して、２Ｐレプリカを
得た。
を、６インチ（１５２．４ｍｍ）角、厚さ１０ｍｍ、ガ
ラス製の固定板で補強し、オリジナル型外周にシリコー
ンＲＴＶゴム（東芝シリコーン株式会社製、ＴＳＥ−３
４５３）を配して成形し、常温、２４時間で硬化させた
。次にオリジナル型面上に２Ｐ樹脂（日本化薬社製、Ｉ
ＮＣ１１８）をディスペンスし、ガラスの基板を重ねて
樹脂をスプレッドした後紫外光により硬化させ、図３に
示した剥離治具でオリジナル型とパターンが転写された
２Ｐ樹脂層を有する基板とを剥離して、２Ｐレプリカを
得た。
【００２３】剥離は容易に行うことができ、また２Ｐ樹
脂のはみ出しや突起などのバリはなく、２Ｐレプリカも
オリジナル型も良好な状態が保たれていた。
脂のはみ出しや突起などのバリはなく、２Ｐレプリカも
オリジナル型も良好な状態が保たれていた。
【００２４】実施例２
５インチ（１２７ｍｍ）角、厚さ５ｍｍのオリジナル型
に、６インチ（１５２．４ｍｍ）角、厚さ１０ｍｍ、ガ
ラスの固定板を、ＵＶ接着剤（東芝シリコーン株式会社
製、ＸＥ１７−３０５３）で接着して補強した。このオ
リジナル型外周にシリコーンＲＴＶゴム（東芝シリコー
ン株式会社製、ＴＳＥ−３４５３）を配して図４（ａ）
のように成形し、常温、２４時間で硬化させた。次にオ
リジナル型面上に２Ｐ樹脂（日本化薬社製、ＩＮＣ１１
８）を０．５ｇディスペンスし、５．５インチ（１３９
．７ｍｍ）のガラスの基板を重ねて樹脂をスプレッドし
、１６０Ｗの紫外光を５秒間照射して硬化させ、Ｌ型剥
離治具９で、オリジナル型と、パターンが転写された２
Ｐ樹脂層を有する基板とを図４（ｂ）に示したように剥
離して、２Ｐレプリカを得た。剥離は容易に行うことが
でき、また２Ｐ樹脂のはみ出しや突起などのバリはなく
、２Ｐレプリカもオリジナル型も良好な状態が保たれて
いた。
に、６インチ（１５２．４ｍｍ）角、厚さ１０ｍｍ、ガ
ラスの固定板を、ＵＶ接着剤（東芝シリコーン株式会社
製、ＸＥ１７−３０５３）で接着して補強した。このオ
リジナル型外周にシリコーンＲＴＶゴム（東芝シリコー
ン株式会社製、ＴＳＥ−３４５３）を配して図４（ａ）
のように成形し、常温、２４時間で硬化させた。次にオ
リジナル型面上に２Ｐ樹脂（日本化薬社製、ＩＮＣ１１
８）を０．５ｇディスペンスし、５．５インチ（１３９
．７ｍｍ）のガラスの基板を重ねて樹脂をスプレッドし
、１６０Ｗの紫外光を５秒間照射して硬化させ、Ｌ型剥
離治具９で、オリジナル型と、パターンが転写された２
Ｐ樹脂層を有する基板とを図４（ｂ）に示したように剥
離して、２Ｐレプリカを得た。剥離は容易に行うことが
でき、また２Ｐ樹脂のはみ出しや突起などのバリはなく
、２Ｐレプリカもオリジナル型も良好な状態が保たれて
いた。
【００２５】ここでは、離型性弾性部材の一部に、Ｌ型
剥離治具を挿入できるスペースを予め作っておき、そこ
にＬ型剥離治具を挿入して、テコの要領で基板を持ち上
げることができ、剥離時に２Ｐ樹脂面に治具９が直接接
触しないため、２Ｐ樹脂面を傷つける虞が全くないので
好ましい。
剥離治具を挿入できるスペースを予め作っておき、そこ
にＬ型剥離治具を挿入して、テコの要領で基板を持ち上
げることができ、剥離時に２Ｐ樹脂面に治具９が直接接
触しないため、２Ｐ樹脂面を傷つける虞が全くないので
好ましい。
【００２６】
【発明の効果】本発明のようにオリジナル型外周に離型
性弾性部材を配することにより、次のような効果が得ら
れる。１．２Ｐ樹脂のはみ出しによる突起やバリの発生
を防ぐことができる。２．離型性弾性部材を介して機械
的な方法により２Ｐレプリカとオリジナル型を剥離する
ことができ、剥離時に発生する欠陥を少なくすることが
できる。３．２Ｐレプリカとオリジナル型との剥離性が
良好になり、小さな力で剥離することが可能である。こ
れはバリがないために剥離が容易になるためであり、ま
た剥離面の２Ｐ樹脂の一部が剥離作業前にすでに剥がれ
ているためと考えられる。
性弾性部材を配することにより、次のような効果が得ら
れる。１．２Ｐ樹脂のはみ出しによる突起やバリの発生
を防ぐことができる。２．離型性弾性部材を介して機械
的な方法により２Ｐレプリカとオリジナル型を剥離する
ことができ、剥離時に発生する欠陥を少なくすることが
できる。３．２Ｐレプリカとオリジナル型との剥離性が
良好になり、小さな力で剥離することが可能である。こ
れはバリがないために剥離が容易になるためであり、ま
た剥離面の２Ｐ樹脂の一部が剥離作業前にすでに剥がれ
ているためと考えられる。
【図１】本発明の離型性弾性部材を形成する工程の例を
説明するための模式図である。
説明するための模式図である。
【図２】本発明の２Ｐ成形工程の例を説明するための模
式図である。
式図である。
【図３】本発明の剥離工程の例を説明するための模式図
である。
である。
【図４】本発明の剥離工程の例を説明するための模式図
である。
である。
【図５】従来の２Ｐレプリカの製造方法を説明するため
の模式図である。
の模式図である。
１ オリジナル型
２ 固定板
３ 基板
４ ２Ｐ樹脂
５ ２Ｐレプリカ
６ 離型性弾性部材
７ 成形補助板
８ 型面成形枠
９ 剥離治具
１０ 紫外光
１１ 型面
Claims (4)
- 【請求項１】 オリジナル型のパターンを有する型面
上にフォトポリマー樹脂を配する工程、該型面に基板を
重ねて該型面にフォトポリマー樹脂を広げる工程、フォ
トポリマー樹脂を硬化させる工程、及び硬化したフォト
ポリマー樹脂と基板とを一体的にオリジナル型から剥離
する工程を有するオリジナル型のレプリカを得るレプリ
カの製造方法であって、オリジナル型の外周に、該型面
と連続しかつ該型面と同一面を形成する面を有するよう
に離型性弾性部材を配する工程を、前記フォトポリマー
樹脂を配する工程の前に有することを特徴とするレプリ
カの製造方法。 - 【請求項２】 前記離型性弾性部材として引き裂き強
度が１０ｋｇｆ／ｃｍ以上のシリコーンＲＴＶゴムを用
いる請求項１の方法。 - 【請求項３】 前記離型性弾性部材の外周部に剥離治
具を差し込むためのスペースを設け、このスペースに剥
離治具を差し込んでレプリカを機械的に剥離する請求項
１の方法。 - 【請求項４】 請求項１に従って得たレプリカのパタ
ーンを有する面に金属層を設けてスタンパ原盤を得るス
タンパの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2411302A JPH04216914A (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | レプリカおよびスタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2411302A JPH04216914A (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | レプリカおよびスタンパの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04216914A true JPH04216914A (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=18520320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2411302A Pending JPH04216914A (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | レプリカおよびスタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04216914A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003096331A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Tdk Corporation | Method and device for separating stamper, and multi-layered recording medium |
| WO2003096333A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Tdk Corporation | Multi-layer recording medium forming method and device, and multi-layer recording medium |
| JP2015104481A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 凸版印刷株式会社 | 針状体の製造方法及び製造装置 |
| JP2019519108A (ja) * | 2016-07-08 | 2019-07-04 | ギガレーン カンパニー リミテッドＧｉｇａｌａｎｅ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | ナノインプリント用レプリカモールド、その製造方法およびナノインプリント用レプリカモールド製造装置 |
-
1990
- 1990-12-18 JP JP2411302A patent/JPH04216914A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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