JPH03120638A - 情報記録ディスクの製造方法 - Google Patents
情報記録ディスクの製造方法Info
- Publication number
- JPH03120638A JPH03120638A JP25771389A JP25771389A JPH03120638A JP H03120638 A JPH03120638 A JP H03120638A JP 25771389 A JP25771389 A JP 25771389A JP 25771389 A JP25771389 A JP 25771389A JP H03120638 A JPH03120638 A JP H03120638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- information
- information recording
- phase change
- change material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ＣＤやＣＤ−ＲＯＭのように、ディスク表面に凹凸のパ
ターンを形成することによって情報を記録する再生専用
の情報記録ディスクの製造方法に関し、 製造工程を簡略化して、短時間に情報記録ディスクを製
造することを可能にし、しかも、レジストの塗布・現像
工程及び鍍金工程を不要にして製造工程の管理が容易に
なるようにする情報記録ディスクの製造方法を提供する
ことを目的とし、相変化材料よりなるディスクに、記録
すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、この光照
射された前記の相変化材料よりなるディスクを選択的に
エツチングして製造した前記の記録すべき情報に対応す
る凹凸のパターンを有する情報記憶ディスク用原盤を、
金属薄膜を表面に有し軟化しているプラスチック円板上
に押圧する工程をもって構成される。
ターンを形成することによって情報を記録する再生専用
の情報記録ディスクの製造方法に関し、 製造工程を簡略化して、短時間に情報記録ディスクを製
造することを可能にし、しかも、レジストの塗布・現像
工程及び鍍金工程を不要にして製造工程の管理が容易に
なるようにする情報記録ディスクの製造方法を提供する
ことを目的とし、相変化材料よりなるディスクに、記録
すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、この光照
射された前記の相変化材料よりなるディスクを選択的に
エツチングして製造した前記の記録すべき情報に対応す
る凹凸のパターンを有する情報記憶ディスク用原盤を、
金属薄膜を表面に有し軟化しているプラスチック円板上
に押圧する工程をもって構成される。
本発明は、ＣＤやＣＤ−ＲＯＭのように、ディスク表面
に凹凸のパターン牽形成することによって情報を記録す
る再生専用の情報記録ディスクの製造方法に関する。
に凹凸のパターン牽形成することによって情報を記録す
る再生専用の情報記録ディスクの製造方法に関する。
ガラス円板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成し
、これに、記録すべき情報に対応して強度変調されたレ
ーザビームを照射して現像し、例えばポジ型レジストを
使用している場合には、レーザビームを照射された領域
のレジスト膜を除去して、記録すべき情報に対応する凹
凸のパターンをガラス円板上に形成する。
、これに、記録すべき情報に対応して強度変調されたレ
ーザビームを照射して現像し、例えばポジ型レジストを
使用している場合には、レーザビームを照射された領域
のレジスト膜を除去して、記録すべき情報に対応する凹
凸のパターンをガラス円板上に形成する。
次いで、全面にニッケル、コバルト等の薄膜を蒸着した
後、この薄膜を一方の電極として電気メツキをなし、３
００ｎ厚程度の金属膜を形成する。この金属膜をガラス
円板上から剥離すると、記録すべき情報に対応する凹凸
のパターンが形成された情報記録ディスク用原盤が形成
される。
後、この薄膜を一方の電極として電気メツキをなし、３
００ｎ厚程度の金属膜を形成する。この金属膜をガラス
円板上から剥離すると、記録すべき情報に対応する凹凸
のパターンが形成された情報記録ディスク用原盤が形成
される。
この情報記録ディスク用原盤を射出成形機の金型に装着
し、ポリカーボネート等の流動状態のプラスチックを射
出して、プラスチック円板を形成すると、プラスチック
円板の表面に、情報記録ディスク用原盤に形成されてい
る凹凸のパターンが転写される０反射率を高めるため、
プラスチック円板上にアルミニウム、金等の薄膜を、蒸
着法、スパッタ法等を使用して形成し、その上に紫外線
硬化樹脂を塗布して硬化し、保護膜を形成する。
し、ポリカーボネート等の流動状態のプラスチックを射
出して、プラスチック円板を形成すると、プラスチック
円板の表面に、情報記録ディスク用原盤に形成されてい
る凹凸のパターンが転写される０反射率を高めるため、
プラスチック円板上にアルミニウム、金等の薄膜を、蒸
着法、スパッタ法等を使用して形成し、その上に紫外線
硬化樹脂を塗布して硬化し、保護膜を形成する。
従来技術に係る情報記録ディスクの製造方法は、製造工
程数が多く製造工程が複雑である。また、製造過程にお
いてレジストや鍍金液等の液体を使用する必要があるた
め、製造工程の管理が難しい。
程数が多く製造工程が複雑である。また、製造過程にお
いてレジストや鍍金液等の液体を使用する必要があるた
め、製造工程の管理が難しい。
特に、鍍金液の管理には特別の配慮が必要である。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、製造
工程を簡略化して、短時間に情報記録ディスクを製造す
ることを可能にし、しかも、レジストの塗布・現像工程
及び鍍金工程を不要にして製造工程の管理が容易になる
ようにする情報記録ディスクの製造方法を提供すること
にある。
工程を簡略化して、短時間に情報記録ディスクを製造す
ることを可能にし、しかも、レジストの塗布・現像工程
及び鍍金工程を不要にして製造工程の管理が容易になる
ようにする情報記録ディスクの製造方法を提供すること
にある。
上記の目的は、相変化材料よりなるディスク（２）に、
記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、この
光照射された前記の相変化材料よりなるディスク（２）
を選択的にエツチングして製造した前記の記録すべき情
報に対応する凹凸のパターンを有する情報記憶ディスク
用原盤（５）を、金属薄１ｌＫ（７）を表面に有し、軟
化しているプラスチック円板（６）上に押圧する工程を
有する情報記録ディスクの製造方法によって達成される
。
記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、この
光照射された前記の相変化材料よりなるディスク（２）
を選択的にエツチングして製造した前記の記録すべき情
報に対応する凹凸のパターンを有する情報記憶ディスク
用原盤（５）を、金属薄１ｌＫ（７）を表面に有し、軟
化しているプラスチック円板（６）上に押圧する工程を
有する情報記録ディスクの製造方法によって達成される
。
報記録ディスク用原盤５が形成される。
表面にアルミニウム等の金属薄膜７が形成されているプ
ラスチック円板６を加熱軟化させ、その円板６にこの情
報記録ディスク用原盤５を押圧すれば、プラスチック円
板６とその上に形成されている金属薄膜７とに、記録す
べき情報に対応する凹凸のパターンが形成され、情報記
録ディスクが完成する。
ラスチック円板６を加熱軟化させ、その円板６にこの情
報記録ディスク用原盤５を押圧すれば、プラスチック円
板６とその上に形成されている金属薄膜７とに、記録す
べき情報に対応する凹凸のパターンが形成され、情報記
録ディスクが完成する。
Ｃ作用〕
ガラス等の円板１上にインジニウムアンチモン合金等の
相変化材料の薄膜２を形成し、これに記録すべき情報に
対応して強度変調されたレーザビーム４を照射すると、
光照射された領域の相変化材料の結晶構造が変化してエ
ツチングレートが低下する。その結果、レーザビームを
照射された相変化材料の薄膜セをエツチングすると、光
照射されなかった領域の相変化材料の薄膜が選択的にエ
ツチング除去され、ガラス等の円板１上に記録すべき情
報に対応する凹凸のパターンを有する情〔実施例〕 以下、図面を参照しつ一１本発明の一実施例に係る情報
記録ディスクの製造方法について説明する。
相変化材料の薄膜２を形成し、これに記録すべき情報に
対応して強度変調されたレーザビーム４を照射すると、
光照射された領域の相変化材料の結晶構造が変化してエ
ツチングレートが低下する。その結果、レーザビームを
照射された相変化材料の薄膜セをエツチングすると、光
照射されなかった領域の相変化材料の薄膜が選択的にエ
ツチング除去され、ガラス等の円板１上に記録すべき情
報に対応する凹凸のパターンを有する情〔実施例〕 以下、図面を参照しつ一１本発明の一実施例に係る情報
記録ディスクの製造方法について説明する。
第２図参照
外径１３０■、厚さ１．２−のガラス円板１上に、イン
ジニウム３５％とアンチモン６５％とを含有するインジ
ニウムアンチモン合金の薄膜２をスパッタ蒸着法等を使
用して一１１０ｎｍ厚に形成した後、インジニウムアン
チモン合金の薄膜２の表面に塵が付着しないようにカバ
ー膜３をもって保護する。
ジニウム３５％とアンチモン６５％とを含有するインジ
ニウムアンチモン合金の薄膜２をスパッタ蒸着法等を使
用して一１１０ｎｍ厚に形成した後、インジニウムアン
チモン合金の薄膜２の表面に塵が付着しないようにカバ
ー膜３をもって保護する。
上記の円板ｌを周速１．４ｍ／ｓをもって回転し、記録
すべき情報に対応して強度変調された波長７８０ｎ−の
レーザビーム４をガラス円板１上に形成されたインジニ
ウムアンチモン合金のＥｌｌ！２上に照射する。このと
きのレーザの照射電力は、円板表面においてピーク値８
ｍＷが適切である。なお、カバー膜３はインジニウムア
ンチモン合金の薄［２の表面に直接接触するように設け
てもよ（、あるいは、第２図に図示するように、空隙９
を介して設けてもよいが、空隙９を介して設けた方が、
照射電力は少な（てすむ。
すべき情報に対応して強度変調された波長７８０ｎ−の
レーザビーム４をガラス円板１上に形成されたインジニ
ウムアンチモン合金のＥｌｌ！２上に照射する。このと
きのレーザの照射電力は、円板表面においてピーク値８
ｍＷが適切である。なお、カバー膜３はインジニウムア
ンチモン合金の薄［２の表面に直接接触するように設け
てもよ（、あるいは、第２図に図示するように、空隙９
を介して設けてもよいが、空隙９を介して設けた方が、
照射電力は少な（てすむ。
第３図参照
カバー膜３を除去し、インジニウムアンチモン合金の薄
膜２の形成されたガラス円板１をスパッタエツチング装
置に装入し、圧力が３ｍＴｏｒｒとなるようにアルゴン
ガスを導入しながらエツチングをする。なお、アルゴン
ガスにヘリウムまたはネオンを添加しても、エツチング
効率が僅かに変わるだけで、特に大きな変化はないこと
が確認されている。エツチング電力を２００Ｗとし、６
０秒間エツチングをなして、第３図に示すように、ガラ
ス円板１上にインジニウムアンチモン合金よりなる凹凸
のパターン２１が形成された情報記録ディスク用原盤５
を形成する。
膜２の形成されたガラス円板１をスパッタエツチング装
置に装入し、圧力が３ｍＴｏｒｒとなるようにアルゴン
ガスを導入しながらエツチングをする。なお、アルゴン
ガスにヘリウムまたはネオンを添加しても、エツチング
効率が僅かに変わるだけで、特に大きな変化はないこと
が確認されている。エツチング電力を２００Ｗとし、６
０秒間エツチングをなして、第３図に示すように、ガラ
ス円板１上にインジニウムアンチモン合金よりなる凹凸
のパターン２１が形成された情報記録ディスク用原盤５
を形成する。
第４図参照
一方、平坦なポリカーボネートよりなり、直径が１２０
腫であり、厚さが１．２園であるプラスチック円板６を
射出成形法を使用して製造し、このプラスチック円板６
の表面に、スパッタリング法を使用して厚さが１１００
ｎであるアルミニウム薄膜７を形成する。
腫であり、厚さが１．２園であるプラスチック円板６を
射出成形法を使用して製造し、このプラスチック円板６
の表面に、スパッタリング法を使用して厚さが１１００
ｎであるアルミニウム薄膜７を形成する。
第１図参照
前記の情報記録ディスク用原！１５を、凹凸のパターン
２１が形成されている面を上にして金型８の下半部に装
着して１９０℃に加熱し、この上に前記のアルミニウム
薄膜７が形成されているプラスチック円板６を、アルミ
ニウムＦＩＩＭ７が形成されている面が情報記録ディス
ク用原盤５の凹凸のパターン２１が形成されている面と
接触するように載置し、約５０Ｋｇ／ｄの圧力を印加し
て１０秒間加圧する。
２１が形成されている面を上にして金型８の下半部に装
着して１９０℃に加熱し、この上に前記のアルミニウム
薄膜７が形成されているプラスチック円板６を、アルミ
ニウムＦＩＩＭ７が形成されている面が情報記録ディス
ク用原盤５の凹凸のパターン２１が形成されている面と
接触するように載置し、約５０Ｋｇ／ｄの圧力を印加し
て１０秒間加圧する。
第５図参照
プラスチック円板６を金型８から取り出すと、第５図に
示すように、表面にアルミニウム薄ｌＮ１７の形成され
たプラスチック円板６に、情報記録ディスク用原盤の凹
凸のパターンが良好に転写されることが確認されている
。紫外線硬化樹脂を全面にスピンコードして硬化して情
報記録ディスクを完成し、この情報記録ディスクをＣＤ
プレーヤにかけて記録されている信号（音楽）を再生す
ると、極めて良好に再生することができることが確認さ
れている。
示すように、表面にアルミニウム薄ｌＮ１７の形成され
たプラスチック円板６に、情報記録ディスク用原盤の凹
凸のパターンが良好に転写されることが確認されている
。紫外線硬化樹脂を全面にスピンコードして硬化して情
報記録ディスクを完成し、この情報記録ディスクをＣＤ
プレーヤにかけて記録されている信号（音楽）を再生す
ると、極めて良好に再生することができることが確認さ
れている。
なお、実施例においては、相変化材料としてインジニウ
ムアンチモンを使用する場合について説明したが、イン
ジニウムアンチモン以外にも、下記に列記する材料を使
用した場合にも、同一の効果が得られることが実験によ
り確認されている。
ムアンチモンを使用する場合について説明したが、イン
ジニウムアンチモン以外にも、下記に列記する材料を使
用した場合にも、同一の効果が得られることが実験によ
り確認されている。
Ｔｅ−Ｇｅ。
Ｔｅ−３ｓ。
Ｔｅ−Ｇｅ−３ｅ。
Ｑ ｅ −Ｓ ｅ ５
ｓｂ−ｓ。
Ｉｎ−３ｂ−Ｇｅ。
Ｉｎ−３ｂ−３ｎ。
Ｔｅ０ｘＧｅＳｎ。
Ｉｎ−Ｂ１５
Ｔｅ−Ｇｅ−３ｂ。
Ｔｅ−３ｅ−３ｂ。
Ｇｅ−３゜
５ｅ−Ｓｂ。
Ｉｎ−３ｂ−Ｔｅ。
Ｇａ−３ｂ。
Ｔｅ、−Ｇｅ−３ｎ。
Ｐｂ−５ｎ。
Ｂ玉−Ｔｅ。
また、プラスチック円板６に形成する金属薄膜７の材料
として、アルミニウムに代えて、金を使用しても同一の
効果が得られることが実験により確認されている。
として、アルミニウムに代えて、金を使用しても同一の
効果が得られることが実験により確認されている。
以上説明せるとおり、本発明に係る情報記録ディスクの
製造方法においては、相変化材料よりなるディスクに、
記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、光照
射された領域を除く領域の相変化材料を選択的にエツチ
ング除去して、記録すべき情報に対応する凹凸のパター
ンを有する情報記録ディスク用原盤を作成し、これを、
表面に金属薄膜が形成され、加熱軟化されているプラス
チック円板上に押圧して情報記録ディスクを作成するこ
と−されているので、大掛かりな射出成形装置を使用す
る必要がなく、また、プラスチック円板上に凹凸のパタ
ーンを転写した後で、その上に反射率を高めるための金
属薄膜を形成する必要がなく、さらには、レジスト塗布
・現像工程及び鍍金工程が不要であるため、製造工程が
大幅に簡略化され、また、製造工程管理も容易になって
、得られる経済的利益が大きい。
製造方法においては、相変化材料よりなるディスクに、
記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、光照
射された領域を除く領域の相変化材料を選択的にエツチ
ング除去して、記録すべき情報に対応する凹凸のパター
ンを有する情報記録ディスク用原盤を作成し、これを、
表面に金属薄膜が形成され、加熱軟化されているプラス
チック円板上に押圧して情報記録ディスクを作成するこ
と−されているので、大掛かりな射出成形装置を使用す
る必要がなく、また、プラスチック円板上に凹凸のパタ
ーンを転写した後で、その上に反射率を高めるための金
属薄膜を形成する必要がなく、さらには、レジスト塗布
・現像工程及び鍍金工程が不要であるため、製造工程が
大幅に簡略化され、また、製造工程管理も容易になって
、得られる経済的利益が大きい。
なお、相変化材料よりなる薄膜の形成されているディス
クと、金属薄膜の形成されているブランクプラスチック
円板とを予め多数用意しておき、情報記録ディスクを製
造する際には、予め用意されている相変化材料よりなる
薄膜が形成されているディスクに、記録すべき情報に対
応して凹凸のパターンを形成して情報記録ディスク用原
盤を作成し、これを予め用意されているブランクプラス
チック円板上に押圧すればよいので、多数の品種を短時
間に製造するために極めて有効である。
クと、金属薄膜の形成されているブランクプラスチック
円板とを予め多数用意しておき、情報記録ディスクを製
造する際には、予め用意されている相変化材料よりなる
薄膜が形成されているディスクに、記録すべき情報に対
応して凹凸のパターンを形成して情報記録ディスク用原
盤を作成し、これを予め用意されているブランクプラス
チック円板上に押圧すればよいので、多数の品種を短時
間に製造するために極めて有効である。
第１図は、本発明の一実施例に係る情報記録ディスクの
製造方法において、情報記録ディスク用原盤をプラスチ
ック円板に押圧している状態を示す断面図である。 第２図は、相変化材料にレーザビームを照射している状
態を示す断面図である。 第３図は、情報記録ディスク用原盤の断面図である。 第４図は、プラスチック円板の断面図である。 第５図は、本発明の一実施例に係る情報記録ディスクの
製造方法を実施して製造した情報記録ディスクの断面図
である。 １・・・ガラス円板、 ２・・・相変化材料（インジニウムアンチモン合金）の
ｉｓ、 凹凸のパターン、 カバー膜、 レーザビーム、 情報記録ディスク用原盤、 プラスチック円板、 金属薄膜、 金型、 空隙。
製造方法において、情報記録ディスク用原盤をプラスチ
ック円板に押圧している状態を示す断面図である。 第２図は、相変化材料にレーザビームを照射している状
態を示す断面図である。 第３図は、情報記録ディスク用原盤の断面図である。 第４図は、プラスチック円板の断面図である。 第５図は、本発明の一実施例に係る情報記録ディスクの
製造方法を実施して製造した情報記録ディスクの断面図
である。 １・・・ガラス円板、 ２・・・相変化材料（インジニウムアンチモン合金）の
ｉｓ、 凹凸のパターン、 カバー膜、 レーザビーム、 情報記録ディスク用原盤、 プラスチック円板、 金属薄膜、 金型、 空隙。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 相変化材料よりなるディスク（２）に、記録すべき情報
に対応して選択的に光照射をなし、該光照射された前記
相変化材料よりなるディスク（２）を選択的にエッチン
グして製造した前記記録すべき情報に対応する凹凸のパ
ターンを有する情報記憶ディスク用原盤（５）を、金属
薄膜（７）を表面に有し、軟化しているプラスチック円
板（６）上に押圧する 工程を有することを特徴とする情報記録ディスクの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25771389A JPH03120638A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 情報記録ディスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25771389A JPH03120638A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 情報記録ディスクの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120638A true JPH03120638A (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=17310077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25771389A Pending JPH03120638A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 情報記録ディスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03120638A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043212A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
| WO2006043209A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP25771389A patent/JPH03120638A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043212A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
| WO2006043209A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5835742A (ja) | 情報記録媒体円盤の製作に用いられるスタンパの製作法 | |
| JPS6126952A (ja) | 情報記録担体の製造法 | |
| JPS5916332B2 (ja) | 原盤複製用成形型 | |
| JPS63251924A (ja) | 情報記録用円板および情報記録方法 | |
| JPH03120638A (ja) | 情報記録ディスクの製造方法 | |
| JPH0337842A (ja) | 情報記録媒体用スタンパーの製造方法 | |
| JPH0482036A (ja) | 光ディスクの製造方法および該製造方法に用いる製造装置 | |
| JPH0254447A (ja) | 光学的記録媒体用基板の製造方法 | |
| JPH0660441A (ja) | 光ディスク用スタンパの製造方法 | |
| JPS6262450A (ja) | スタンパの製法 | |
| JPH03127342A (ja) | 情報記録ディスク用原盤 | |
| US6692246B1 (en) | Apparatus for uninterrupted multi-layer disc manufacturing | |
| JPH05339774A (ja) | スタンパ製造方法 | |
| JPH0482035A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPS6055534A (ja) | 光学記録媒体の製造方法 | |
| JPS6218635A (ja) | 光記録媒体の複製方法 | |
| JPH0316720A (ja) | 光記録媒体用基板の製造方法 | |
| JP3018470B2 (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JPH04157637A (ja) | プラスチック・スタンパーの製造方法 | |
| JPS63275053A (ja) | スタンパ−の製造方法 | |
| JPS61214249A (ja) | 光デイスク用レプリカの作製方法 | |
| JPS61273760A (ja) | 光磁気デイスクの製造方法 | |
| JPH02123536A (ja) | 光ディスク用スタンパの製造方法 | |
| JPH08124222A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPS615454A (ja) | 音盤，記録盤の複製方法 |