JPH04217265A - 電子写真感光体蒸着用蒸発源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子写真感光体を蒸着
法により製造する場合、感光材料の原因による突起物生
成を防止するための蒸着源に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子写真感光体を製造する場合、
蒸着源にＳｅ等の感光材料を被蒸着物として投入し、蒸
着する方法が採用されている。蒸着源として、感光材料
の蒸気が直接外側に出る所に開口部を有するものを使用
した場合には、被蒸着物を加熱した場合に被蒸着物の突
沸が起こり、その突沸により、感光体上に粗大粒子が付
着して突起物を形成すると言う問題があった。この突起
物は、画像欠陥となるため、従来、その様な突起物の生
成を防止する為に種々の改良が加えられている。

【０００３】図３は、それらの例を示すもので、それぞ
れ蒸着源の断面図である。例えば、図３（ａ）において
は、蒸発源ボート７が、規制された蒸気出口部７１を有
する構造になっており、被蒸着物５がその中に仕込まれ
ている。なお、６は感光体用基体である。この蒸発源で
は、突沸が起った場合に、蒸気出口部７１が規制されて
いるために、突起物の生成が制御されるが、突起物の生
成を完全には防止することができない。図３（ｂ）は、
それを改良したものであって、蒸気出口部７１近傍にヒ
ーター８を設けたものである。この蒸発源においては、
蒸着操作当初は、良好な結果が得られるが、被蒸着物の
仕込みが困難であり、ヒーターを破損する場合がある。 また、蒸発源の清掃が不十分となり、それによる突起物
の形成が引き起こされると言う問題がある。また、図３
（ｃ）は、蒸発源ボード７の外側に、複数本のヒーター
８を設け、被蒸着物５に間接的に、かつ、均一に熱を付
与することによって突沸の発生を制御するものである。 なお、９はカバーである。この蒸発源においては、被蒸
着物の仕込み作業及び蒸発源ボード内の清掃が困難で負
荷が大きくなり、また、残渣が多いことにより突起物が
発生し易くなり、しかも、被蒸着物の蒸着効率（付着量
／仕込み量）が低いと言う２次障害も発生する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の技術
における上記のような問題点に鑑みてなされたものであ
る。したがって、本発明の目的は、被蒸着物の突沸等に
起因する突起物の生成を防止する蒸着源を提供すること
にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の電子写真感光体
蒸着用蒸着源は、蒸発部、出口部、及び蒸発部と出口部
との間を連通する連通部とよりなり、該連通部によって
出口部が蒸発部の真上以外の位置に開口したことを特徴
とする。

【０００６】本発明の電子写真感光体蒸着用蒸発源にお
いては、連通部の断面積は、出口部の開口面積よりも狭
いのが望ましい。その場合には、連通部の長さを短縮す
ることができる。また、蒸発部の上部には、被蒸着物の
投入口を密閉可能に設けることが好ましい。

【０００７】

【作用】本発明の電子写真感光体蒸着用蒸発源は、上記
のように蒸発部と出口部との間が、連通部によって連通
されているので、蒸発部において発生した被蒸着物蒸気
は、連通部を通って出口部から基体に達する。そしてそ
の場合、出口部の開口は、蒸着部の真上に位置していな
いので、蒸発部における突沸によって形成された粗大粒
子が感光体用基体に付着することがない。

【０００８】

【実施例】本発明の実施例を図面によって説明する。図
１及び図２は、本発明の電子写真感光体蒸着用蒸発源の
一実施例で、図１は断面図、図２は斜視図である。図中
、１は蒸着源であって、蒸発部２と開口３１を有する出
口部３と連通部４とより構成され、そして出口部３は、
連通部４と連通して蒸発部の側面よりも離れた位置に開
口している。また、蒸着源１には、蒸発部の上方に被蒸
着物５を投入するための蓋１１を有する投入口１２が設
けられている。

【００９】この電子写真感光体蒸着用蒸発源によって蒸
着を行う場合、被蒸着物５を投入口１２から投入し、適
宜の手段によって加熱して蒸発部２において溶解させ、
被蒸着物の蒸気を発生させる。蒸気は連通部を通り、出
口部３の開口３１から放出され、開口３１の上に配置さ
れた感光体用基体６に付着して蒸着層を形成する。本発
明の電子写真感光体蒸着用蒸発源において、蒸発部２、
出口部３及び連通部４は、熱良導体、例えば、ＳＵＳ３
１６等の材質で作製するのが好ましい。また、投入口１
２は、内部の清掃を容易にし、かつ被蒸着物の投入を容
易にするように、幅広に形成するのが好ましい。

【００１０】次に、上記の電子写真感光体蒸着用蒸発源
を用いて電子写真感光体を作製する場合について、具体
的に説明する。

【００１１】例１ 図１及び図２に示す構造を有し、長さ１９００ｍｍのス
テンレス鋼製の蒸発源の蒸発部に、Ｓｅ５０ｇ　を仕込
み、真空中、蒸発源温度４００　℃で蒸着を行い、円筒
状アルミニウム基体上に膜厚６０μｍのＳｅ蒸着膜を形
成した。なお、円筒状アルミニウム基体と出口部との距
離は２５ｍｍに設定した。

【００１２】例２ 円筒状アルミニウム基体と出口部との距離を１５ｍｍと
し、蒸発源温度を４１０　℃とした以外は、例１と同様
にして膜厚６０μｍのＳｅ蒸着膜を形成した。

【００１３】比較例１ 図３（ａ）に示される構造のステンレス鋼製蒸発源を使
用した以外は、例１と同様にして蒸着膜を形成した。

【００１４】比較例２ 図３（ｃ）に示される構造のステンレス鋼製蒸発源を使
用した以外は、例１と同様にして蒸着膜を形成した。

【００１５】上記例１、２及び比較例１、２によって形
成されたＳｅ蒸着膜を有する電子写真感光体について、
表面突起個数、蒸着効率（付着量／仕込み量×１００　
）について評価を実施した。その結果を後記表１に示す
。また、常温常湿（２０℃、５０％ＲＨ）の環境下での
表面電位、感度について評価を行ったところ、例１及び
２においては、問題はなかったが、比較例１及び２の場
合は、経時によってバラツキが生じた。

【００１６】

【００１７】なお、本発明の電子写真感光体蒸着用蒸発
源は、Ｓｅ蒸着膜を有する電子写真感光体のみならず、
有機電子写真感光体の蒸着にも応用可能であり、更にラ
イト背面鏡、レンズ、ブラウン管等の蒸着にも採用する
ことができる。

【００１８】

【発明の効果】本発明の電子写真感光体蒸着用蒸発源は
、上記の構成を有するから、被蒸着物の突沸による突起
物やムラの発生を防止することができる。また、被蒸着
物の仕込みや内部の清掃も容易に実施することができる
。また、本発明の電子写真感光体蒸着用蒸発源は、被蒸
着物の突沸による突起物の発生を防止することができる
ので、蒸発源と感光体基体との距離を短縮化することが
でき、したがって、蒸着効率を向上させること、及び蒸
着源加熱温度を上昇させ、蒸着時間を短縮化することが
可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の電子写真感光体蒸着用発生源の断
面図である。

【図２】　　本発明の電子写真感光体蒸着用発生源の斜
視図である。

【図３】　　従来の電子写真感光体蒸着用発生源の断面
図である。

【符号の説明】

１．．．．蒸着源、１１．．．．蓋、１２．．．．投入
口、２．．．．蒸発部、３．．．．出口部、３１．．．
．開口、４．．．．連通部、５．．．．被蒸着物、６．
．．．感光体用基体、７．．．．蒸発源ボート、７１．
．．．蒸気出口部、８．．．．ヒーター、９．．．．カ
バー。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　蒸発部、出口部、及び蒸発部と出口部
   との間を連通する連通部とよりなり、該連通部によって
   出口部が蒸発部の真上以外の位置に開口したことを特徴
   とする電子写真感光体蒸着用蒸発源。
2. 【請求項２】　　連通部の断面積が出口部の開口面積よ
   りも狭い請求項１記載の電子写真感光体蒸着用蒸発源。
3. 【請求項３】　　蒸発部上部に、被蒸着物の投入口を密
   閉可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の電子写
   真感光体蒸着用蒸発源。