JPH04217331A - 電子部品搭載用基板及びその製造方法 - Google Patents

電子部品搭載用基板及びその製造方法

Info

Publication number
JPH04217331A
JPH04217331A JP2403299A JP40329990A JPH04217331A JP H04217331 A JPH04217331 A JP H04217331A JP 2403299 A JP2403299 A JP 2403299A JP 40329990 A JP40329990 A JP 40329990A JP H04217331 A JPH04217331 A JP H04217331A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base material
protective member
insulating base
opening
electronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2403299A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeki Mori
茂樹 森
Yoshihide Suzuki
芳英 鈴木
Takeuma Adachi
武馬 足立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP2403299A priority Critical patent/JPH04217331A/ja
Publication of JPH04217331A publication Critical patent/JPH04217331A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/731Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
    • H10W90/734Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/754Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品を搭載するため
の基板に関し、特に電子部品を収納する開口を有した保
護部材を備えた電子部品搭載用基板、及びその製造方法
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品を搭載するための基板としては
、近年種々なものが提案されてきている。その中でも、
導体回路や電子部品を搭載するためのダイパッドを有し
た絶縁基材に、剛性のある保護部材(板状のものが主流
である)を一体化するとともに、この保護部材に形成し
た開口から各ダイパッドを露出するようにして、保護部
材の各開口内に収納してダイパッド上に搭載した電子部
品を保護するようにした電子部品搭載用基板も提案され
てきている。このような基板は、絶縁基材が所謂リジッ
ドなものでもフレキシブルなものでも採用し得るもので
あり、電子部品を実装した後において各開口内に封止樹
脂の流入等を行うことによって、電子部品及び露出して
いる導体部や結線等も保護するようにするものである。
【0003】このような電子部品搭載用基板は、これを
構成する絶縁基材に対して保護部材を一体化しなければ
ならないが、その一体化は通常接着剤を使用して行われ
ている。そして、絶縁基材上には、ダイパッドを他の部
分に接続したり、あるいは電子部品の接続端子と接続さ
れて種々の引き回しを行うための導体回路が形成されて
いるから、この導体回路による段差を吸収しながら保護
部材を絶縁基材に一体化するために、両者をプレスによ
って圧着しているのが一般である。
【0004】ところで、一体化されるべき保護部材には
、前述したように、絶縁基材上のダイパッドを露出させ
るための開口が形成してあるため、上記の圧着プレスを
行う場合に、この開口を例えばゴム板等(プレスの型側
に一体化されている)によってプレス時に押めるように
しなければならない。その理由は、各開口を開口のまま
でプレスすると、ダイパッドを形成した絶縁基材が開口
内で盛り上がることになり、そのようなダイパッド上に
電子部品を実装することが困難となるからである。
【0005】しかしながら、圧着プレス機の型側にこの
ようなゴム板等を取り付けることは、この種の電子部品
搭載用基板においても多品種少量生産が必要とされてき
ている現状にあっては、非常に面倒でコストのかかる原
因ともなってきている。
【0006】そこで、本発明者等が、型にゴム板等を設
けないでプレスした場合に、何故ダイパッド部分が開口
内で盛り上がることになるのかを種々検討した結果、保
護部材を接着するための接着剤の偏在、あるいは押し出
し切れなかった空気等の気体の存在に気付いたのである
。つまり、開口以外の部分において、接着剤の偏在があ
ったり、あるいは気体の存在があったりすると、接着に
よる内部応力が生ずることになり、これによりダイパッ
ド部分が盛り上がると考えれられるのである。以上のこ
とは、絶縁基材が所謂フレキシブルなものである場合に
顕著に現れるものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な実状及び経緯に基づいてなされたもので、その解決し
ようとする課題は、ダイパッドを露出させるための開口
内における絶縁基材の盛り上がりである。
【0008】そして、本発明の目的とするところは、ダ
イパッド及びこれを支持している絶縁基材の開口内での
盛り上がりを確実に防止することができて、ダイパッド
に対する電子部品の実装を確実に行うことのできる電子
部品搭載用基板及びその製造方法を提供することにある
。特に、請求項1に係る発明の目的とするところは、簡
単な構成によって接着剤の偏在や気体の存在を無くすこ
とのできる電子部品搭載用基板を提供することであり、
また請求項2に係る発明の目的とするところは、プレス
機側において何等の加工をしなくても、上記のような効
果を有する電子部品搭載用基板を製造できる方法を提供
することである。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用】以上の課題を解
決するために、まず請求項1に係る発明の採った手段は
、実施例において使用する符号を付して説明すると、

0010】「電子部品40を搭載するためのダイパッド
11を有する絶縁基材10と、ダイパッド11を露出さ
せる開口30を有した保護部材20とを一体化して構成
した電子部品搭載用基板100において、保護部材20
として、各開口30とは別であってこれより小さく、当
該保護部材20を絶縁基材10に対して一体化するため
の接着剤21等を逃がすための貫通孔23を複数形成し
たものを採用したことを特徴とする電子部品搭載用基板
100」である。
【0011】すなわち、この請求項1に係る電子部品搭
載用基板100は、ダイパッド11や導体回路12等を
形成した絶縁基材10に対して、電子部品40を収納す
る開口30を有した保護部材20を一体化したものであ
り、その一体化するに際して保護部材20側の接着剤2
1や空気等を逃がすための複数の貫通孔23を形成して
おき、これら各貫通孔23を通して余剰の接着剤21及
び空気等の気体を絶縁基材10と保護部材20間から逃
すようにしたものである。
【0012】以上のように構成したこの電子部品搭載用
基板100においては、図1及び図2に示すように、各
貫通孔23は、保護部材20に形成した開口30よりも
小さなものであるから、これら各貫通孔23の存在によ
って保護部材20自体の剛性はそれほど小さくならない
ものである。逆に言えば、この保護部材20自体におい
て必要な開口30以外の複数の貫通孔23が形成されて
いたとしても、保護部材20として必要とされる剛性は
十分確保されているのである。
【0013】また、絶縁基材10に対して保護部材20
をその接着剤21により一体化するに際して、絶縁基材
10と保護部材20間に空気等の不要な気体が存在して
いたとしても、これがその近傍に位置する各貫通孔23
から外部に逃れ出るため、当該電子部品搭載用基板10
0の絶縁基材10及び保護部材20間には不要な気体は
殆ど存在していないのである。同様に、絶縁基材10と
保護部材20間に両者を接着するための接着剤21が偏
在していたとしても、絶縁基材10と保護部材20とを
圧着プレス機によって圧着することにより、両者間に存
在していた言わば余剰の接着剤21はその近傍に位置す
る貫通孔23内に入るから、この余剰の接着剤21が絶
縁基材10と保護部材20間に残留することはないので
ある。
【0014】従って、絶縁基材10と保護部材20とは
圧着されてしまって電子部品搭載用基板100となった
場合においては、余剰の接着剤21の存在あるいは気体
の存在によって接着剤21の不足が生ずることはないの
であり、接着剤21は絶縁基材10と保護部材20間に
おいて略均等に存在することになる。このため、接着剤
21の偏在による内部応力はこの電子部品搭載用基板1
00においては存在しないのであり、絶縁基材10が所
謂フィルム基材等の可撓性材料を使用した場合であって
も、各開口30内にてダイパッド11あるいはこれを支
持している絶縁基材10が盛り上がるようなことはない
のである。
【0015】次に、請求項2に係る発明の採った手段に
ついて説明すると、この手段は、実施例において使用す
る符号を付して説明すると、
【0016】「電子部品40を搭載するためのダイパッ
ド11を有する絶縁基材10と、ダイパッド11を露出
させる開口30を有した保護部材20とを一体化して構
成する電子部品搭載用基板100を、次の各工程を含ん
で製造する方法。 (1)保護部材20の裏面側に接着剤21及びこれを保
護する離型材22を形成する工程; (2)保護部材20の各開口30となる部分の周囲に、
連結部31を残して切断長孔32を形成することにより
、連結部31にて保護部材20の他の部分とつながった
開口片33を形成する工程; (3)離型材22をその端部から剥離することにより、
各開口片33の裏面にのみ小離型材34を残す工程;(
4)以上の保護部材20を絶縁基材10の各ダイパッド
11が形成されている側に、これらの各ダイパッド11
と各開口片33との位置決めをして一体化する工程;(
5)その後、各開口片33を除去して、各開口30内に
前記各ダイパッド11を露出させる工程」である。
【0017】すなわち、この請求項2に係る製造方法は
、請求項1に係る電子部品搭載用基板100のような保
護部材20に開口30を有する電子部品搭載用基板を製
造するのに適したものであり、ダイパッド11を露出さ
せるための各開口30の形成と、絶縁基材10と保護部
材20との一体化を効率良く行おうとするものである。
【0018】そのためには、まず(1)保護部材20の
裏面側に接着剤21及びこれを保護する離型材22を形
成しなければならない。この(1)の工程は通常一般的
に行われている方法で十分であり、場合によっては接着
剤21及びその離型材22を有した保護部材20を単に
購入するのみでもよい。
【0019】次に、以上のようにした保護部材20に対
して、図3及び図4にて示すように、(2)保護部材2
0の各開口30となる部分の周囲に、連結部31を残し
て切断長孔32を形成することにより、連結部31にて
保護部材20の他の部分とつながった開口片33を形成
するのである。この段階では、保護部材20における各
開口30は完全に開放されていないが、このことが絶縁
基材10に対してこの保護部材20を一体化するに際し
て後述のように重要になるのである。この工程における
切断長孔32の形成は、例えば回転しているドリルを各
開口30の外形に合わせて移動させることにより、容易
に行えるものである。勿論、この工程において、各貫通
孔23を形成するのである。
【0020】以上のようにした保護部材20に対しては
、図5に示すように、(3)離型材22をその端部から
剥離することにより、各開口片33の裏面にのみ小離型
材34を残すのである。この離型材22の剥離は、その
各連結部31とは反対側(図3でいうと、図示左下側)
の部分から行なうとよい。この(3)の工程を経ること
によって、図6に示すように、各開口片33においての
み小離型材34が残るのである。
【0021】そして、圧着プレス機等を使用することに
より、(4)以上の保護部材20を絶縁基材10の各ダ
イパッド11が形成されている側に、これらの各ダイパ
ッド11と各開口片33との位置決めをして一体化する
のである。この場合、保護部材20の各開口30となる
部分には未だ開口片33が存在していて、この保護部材
20は全体としてみれば略平滑なままの状態にあるから
、圧着プレス機の型側に各開口30に応じた加工を施し
ておく必要はなく、全く一般的なものをそのまま使用で
きるものである。つまり保護部材20を押圧する型面は
完全な平面であってもよいものであり、従来におけるよ
うな各開口30に対応するゴム板等を設けておく必要は
全くないのである。また、接着剤21を使用した絶縁基
材10と保護部材20との一体化に際しては、開口片3
3側には小離型材34が残ったままであるから、この開
口片33が絶縁基材10に接着されることがないことは
勿論である。
【0022】最後に、図7に示すように、(5)その後
、各開口片33を除去して、各開口30内に前記各ダイ
パッド11を露出させることにより、電子部品搭載用基
板100が完成されるのである。この開口片33の除去
は、この開口片33が絶縁基材10側に接着されている
ものではないから、例えば図7に示したような吸着パッ
ド35を使用してこの開口片33を引き起こせば、開口
片33の連結部31が折れるから容易に行えるものであ
る。あるいは、各開口片33の周囲には切断長孔32が
存在しているのであるから、この切断長孔32内に除去
用治具を差し込んでこの開口片33を引き起こすことに
より、各開口片33の除去は容易に行われるのである。
【0023】
【実施例】次に、各請求項に係る発明を、図に示した実
施例に従って説明する。
【0024】まず、請求項1に係る電子部品搭載用基板
100であるが、この電子部品搭載用基板100の基本
的構成は、図1及び図2に示したように、ダイパッド1
1や導体回路12を有した絶縁基材10に対して、貫通
孔23及び開口30を有した保護部材20を接着剤21
によって一体化することにある。本実施例における絶縁
基材10は、厚さ75μmの所謂フィルム状の基材を採
用したものであり、図1に示したように、その周囲等に
スプロケット穴等を予め形成したものである。この絶縁
基材10に対しては、図2に示したように、接着剤13
を介して貼付した銅箔等をエッチングすることにより、
多数の導体回路12及びこれと部分的に接続されたダイ
パッド11が形成されるものである。このダイパッド1
1上には、図2の仮想線にて示すように電子部品40が
搭載されるものであり、この電子部品40の周囲は必要
により封止樹脂41による封止がなされるものである。
【0025】なお、本実施例においては、絶縁基材10
として可撓性を有するフィルム基材を採用したが、ガラ
スエポキシ基材のような所謂リジッドな材料のものを採
用して実施してもよいものである。また、本実施例にあ
っては、各導体回路12の表面を、図2に示したように
、ソルダーレジスト14によって保護するようにしてい
る。
【0026】保護部材20は、本実施例においては、ガ
ラスエポキシ(材料)からなる厚さ1.0mmのものを
採用して構成してある。絶縁基材10に対して一体化す
る前の保護部材20に対しては、その一方の面に接着剤
21を形成しておいてからこれを離型材22によって保
護するようにしている。そして、図3にて示したように
、後に各開口30となる部分の周囲に、当該保護部材2
0とこれに設けた接着剤21及び離型材22を貫通する
状態で切断長孔32を形成しておく。この場合重要なこ
とは、この切断長孔32によって各開口30を完全に囲
むのではなく、この切断長孔32の一部に不連続部、す
なわち切断長孔32によって囲まれた開口片33が連結
部31によって保護部材20側に接続された状態にする
ことである。このように、開口片33が保護部材20と
接続されていることにより、後のプレス工程において有
利であるだけでなく、この開口片33の裏面にのみ小離
型材34を残しておくことができるのである。
【0027】接着剤21等を設けたこの保護部材20に
切断長孔32を形成するに際しては、電子部品40を収
納するための各開口30より小さな貫通孔23を複数形
成するのである。各貫通孔23の大きさ及び数は、例え
ば図1に示したような状態を代表例とするものであり、
その他にも種々の形態が考えられることは言うまでもな
い。
【0028】つまり、以上のように切断長孔32を形成
した保護部材20について、これを絶縁基材10に一体
化するに際して、図5に示すように、離型材22を剥離
するのであるが、この剥離によって、図6に示すように
、開口片33の裏面にのみ小離型材34が残るのである
。従って、このようにした保護部材20を、その開口片
33が絶縁基材10側の各ダイパッド11に対応するよ
うに位置決めして、圧着プレス機によって絶縁基材10
に圧着すれば、各開口片33以外の部分において接着剤
21による接着がなされるのである。換言すれば、一体
化直後の保護部材20においては、各開口片33の部分
においてのみ接着が行われていないことになるのである
【0029】以上のように、絶縁基材10に対して保護
部材20を一体化すれば、この保護部材20には多数の
貫通孔23が形成してあるから、これら各貫通孔23を
通して余剰の接着剤21あるいは不要な気体が両者間に
存在しないように排出されるのである。
【0030】そこで、図7に示したように、絶縁基材1
0に接着されていない各開口片33を引き起こすことに
より連結部31が折れるから、各開口片33は容易に除
去されるのである。この開口片33の除去は、図7に示
した吸着パッド35やあるいは図示しない治具等によっ
て行われるものである。これにより、各開口片33が除
去された部分は、電子部品40を収納するための開口3
0となり、これら各開口30からはダイパッド11が露
出することになるのである。
【0031】
【発明の効果】以上詳述した通り、まず請求項1に係る
電子部品搭載用基板100においては、
【0032】「
電子部品40を搭載するためのダイパッド11を有する
絶縁基材10と、ダイパッド11を露出させる開口30
を有した保護部材20とを一体化して構成した電子部品
搭載用基板100において、保護部材20として、各開
口30とは別であってこれより小さく、当該保護部材2
0を絶縁基材10に対して一体化するための接着剤21
等を逃がすための貫通孔23を複数形成したものを採用
した」としたことにその構成上の特徴があり、ダイパッ
ド及びこれを支持している絶縁基材の開口内での盛り上
がりを確実に防止することができて、ダイパッドに対す
る電子部品の実装を確実に行うことのできる電子部品搭
載用基板を提供することができるのである。
【0033】特に、この請求項1に係る電子部品搭載用
基板100によれば、その各貫通孔23によって接着剤
21の偏在や気体の残存を防止することができて、性質
の異なる絶縁基材10と保護部材20とを接着剤21に
よって一体化したとしても、両者間に内部応力が残るよ
うなことを無くすことができるのであり、これにより当
該電子部品搭載用基板100においては、部分的に盛り
上がったり、湾曲したりすることは全くなく、電子部品
40を確実に実装できるものとして極めて有用なものと
することができるのである。
【0034】また、請求項2に係る発明によれば、請求
項1に係る電子部品搭載用基板100を極めて簡単かつ
容易に製造することができることは当然として、圧着プ
レス機側において何等の特別な加工をしなくても、電子
部品搭載用基板100を確実に製造することができるも
のである。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の電子部品搭載用基板を示す平面図で
ある。
【図2】図1のII−II線に沿ってみた断面図である
【図3】接着剤21及び離型材を設けて切断長孔を形成
した保護部材の裏面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿ってみた断面図である
【図5】保護部材の離型材を剥離している状態を示す斜
視図である。
【図6】図5のVI−VI線部の拡大断面図である。
【図7】絶縁基材に保護部材を一体化した後に各開口片
を除去している状態を示す断面図である。
【符号の説明】
100  電子部品搭載用基板 10  絶縁基材 11  ダイパッド 12  導体回路 20  保護部材 21  接着剤 22  離型材 23  貫通孔 30  開口 31  連結部 32  切断長孔 33  開口片 34  小離型材 40  電子部品

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  電子部品を搭載するためのダイパッド
    を有する絶縁基材と、前記ダイパッドを露出させる開口
    を有した保護部材とを一体化して構成した電子部品搭載
    用基板において、前記保護部材として、前記各開口とは
    別であってこれより小さく、当該保護部材を前記絶縁基
    材に対して一体化するための接着剤等を逃がすための貫
    通孔を複数形成したものを採用したことを特徴とする電
    子部品搭載用基板。
  2. 【請求項2】  電子部品を搭載するためのダイパッド
    を有する絶縁基材と、前記ダイパッドを露出させる開口
    を有した保護部材とを一体化して構成する電子部品搭載
    用基板を、次の各工程を含んで製造する方法。 (1)前記保護部材の裏面側に接着剤及びこれを保護す
    る離型材を形成する工程; (2)前記保護部材の各開口となる部分の周囲に、連結
    部を残して切断長孔を形成することにより、前記連結部
    にて前記保護部材の他の部分とつながった開口片を形成
    する工程; (3)前記離型材をその端部から剥離することにより、
    前記各開口片の裏面にのみ小離型材を残す工程;(4)
    以上の保護部材を前記絶縁基材の前記各ダイパッドが形
    成されている側に、これらの各ダイパッドと前記各開口
    片との位置決めをして一体化する工程;(5)その後、
    前記各開口片を除去して、前記各開口内に前記各ダイパ
    ッドを露出させる工程。
JP2403299A 1990-12-18 1990-12-18 電子部品搭載用基板及びその製造方法 Pending JPH04217331A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2403299A JPH04217331A (ja) 1990-12-18 1990-12-18 電子部品搭載用基板及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2403299A JPH04217331A (ja) 1990-12-18 1990-12-18 電子部品搭載用基板及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04217331A true JPH04217331A (ja) 1992-08-07

Family

ID=18513046

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2403299A Pending JPH04217331A (ja) 1990-12-18 1990-12-18 電子部品搭載用基板及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04217331A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100437437B1 (ko) 반도체 패키지의 제조법 및 반도체 패키지
KR20010051241A (ko) 모듈 기판 및 이의 제조방법
US20030075357A1 (en) Structure of a ball-grid array package substrate and processes for producing thereof
US6306752B1 (en) Connection component and method of making same
KR100386810B1 (ko) 모듈 기판의 제조방법
JPH04217331A (ja) 電子部品搭載用基板及びその製造方法
JPH10116861A (ja) キャリアテープ、及びキャリアテープ製造方法
JP3009783B2 (ja) プリント配線基板の製造方法
JPS62216250A (ja) プリント基板型pgaパツケ−ジの製造方法
JPH06112363A (ja) 半導体パッケージ
JP3455686B2 (ja) 半導体パッケージの製造方法
JP4643055B2 (ja) Tabテープキャリアの製造方法
JPH07122856A (ja) フレクスリジッド多層板とその製法
KR101109234B1 (ko) 인쇄회로기판 제조용 캐리어와 그 제조방법 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 제조방법
JP3050253B2 (ja) 多層電子部品搭載用基板の製造方法
JP3233161B2 (ja) フレキシブルプリント回路基板およびその製造方法
JP2704292B2 (ja) 電子部品塔載用基板の製造方法
JPH01187995A (ja) 電子部品搭載用連続基板とその製造方法
JP4332994B2 (ja) 実装用電子部品及びその製造方法
JP2003110204A (ja) プリアセンブルド基板
JP4079099B2 (ja) 両面配線フィルムキャリアおよびその製造方法
JPH1051149A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP3818253B2 (ja) 半導体装置用テープキャリアの製造方法
JPH1013027A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP2002343818A (ja) Bga型配線基板及びその製造方法並びに半導体装置の製造方法