JPH04220609A - スポットサイズ変換部の形成方法 - Google Patents
スポットサイズ変換部の形成方法Info
- Publication number
- JPH04220609A JPH04220609A JP2412743A JP41274390A JPH04220609A JP H04220609 A JPH04220609 A JP H04220609A JP 2412743 A JP2412743 A JP 2412743A JP 41274390 A JP41274390 A JP 41274390A JP H04220609 A JPH04220609 A JP H04220609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- spot size
- optical waveguide
- enlarged
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスポットサイズ変換部に
ついて製作性・再現性のよい形成方法を提供するもので
ある。
ついて製作性・再現性のよい形成方法を提供するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術とその課題】一般に、半導体光変調器など
の半導体光素子における導体光のスポットサイズと単一
モード光ファイバのスポットサイズとは、数倍程度異な
っている。したがって、半導体光素子とこの光ファイバ
とをそのまま直接結合させた場合には、結合損失が生じ
てしまう。
の半導体光素子における導体光のスポットサイズと単一
モード光ファイバのスポットサイズとは、数倍程度異な
っている。したがって、半導体光素子とこの光ファイバ
とをそのまま直接結合させた場合には、結合損失が生じ
てしまう。
【０００３】この結合損失を少なくするために光ファイ
バ端部付近のコアのスポットサイズを拡大させたものが
ある。すなわち、図４に示すように、コア拡大光ファイ
バ［柳、白石、川上他：熱拡散によるコア拡大ファイバ
の伝搬特性：１９９０年度電子情報通信学会秋期全国大
会Ｃ−１７２］においては、光導体路部付近のコア径が
広くなっているとともに、端部付近のコアの屈折率は他
の部分のコア１のものに比べて低くなっている。従って
、端部付近のコア拡大部３のスポットサイズは従来形の
単一モード光ファイバのスポットサイズと比較して大き
くなっている。
バ端部付近のコアのスポットサイズを拡大させたものが
ある。すなわち、図４に示すように、コア拡大光ファイ
バ［柳、白石、川上他：熱拡散によるコア拡大ファイバ
の伝搬特性：１９９０年度電子情報通信学会秋期全国大
会Ｃ−１７２］においては、光導体路部付近のコア径が
広くなっているとともに、端部付近のコアの屈折率は他
の部分のコア１のものに比べて低くなっている。従って
、端部付近のコア拡大部３のスポットサイズは従来形の
単一モード光ファイバのスポットサイズと比較して大き
くなっている。
【０００４】このコア拡大形光ファイバの製造法として
は、図５に示すように従来、熱拡散炉４を用いて光ファ
イバ５を加熱する方法が使用されてきた。即ち、熱拡散
炉４の中に光ファイバ５を入れ、ヒータ６にて高温で保
持しておくことによりコア１の屈折率をクラッド２の屈
折率よりも高くしている物質がクラッド内に拡散される
。その結果、コア径が拡大されるとともにコアの屈折率
が低くなり、導波光のスポットサイズを拡大できること
になる。この光ファイバを途中で切断することにより、
端部にコア拡大部３を形成した光ファイバを製造するこ
とができる。
は、図５に示すように従来、熱拡散炉４を用いて光ファ
イバ５を加熱する方法が使用されてきた。即ち、熱拡散
炉４の中に光ファイバ５を入れ、ヒータ６にて高温で保
持しておくことによりコア１の屈折率をクラッド２の屈
折率よりも高くしている物質がクラッド内に拡散される
。その結果、コア径が拡大されるとともにコアの屈折率
が低くなり、導波光のスポットサイズを拡大できること
になる。この光ファイバを途中で切断することにより、
端部にコア拡大部３を形成した光ファイバを製造するこ
とができる。
【０００５】ところが、この方法では光ファイバ全体を
ある長さにわたって熱拡散炉に入れて加熱するため、コ
アを拡大すべき、光ファイバのごく一部分のみを加熱す
ることは、困難である。しかも、加熱面積が大きく局部
加熱ができないので、石英系光導波路での光出射端部や
光入射端部のみを加熱し、その端部のみのコアを拡大す
ることも実際上不可能であり、この従来の製造法では石
英系光導波路の光入射あるいは光出射端部のみのコアを
拡大することはできなかった。
ある長さにわたって熱拡散炉に入れて加熱するため、コ
アを拡大すべき、光ファイバのごく一部分のみを加熱す
ることは、困難である。しかも、加熱面積が大きく局部
加熱ができないので、石英系光導波路での光出射端部や
光入射端部のみを加熱し、その端部のみのコアを拡大す
ることも実際上不可能であり、この従来の製造法では石
英系光導波路の光入射あるいは光出射端部のみのコアを
拡大することはできなかった。
【０００６】本発明は光導波路や光ファイバのごく一部
のみを加熱しコア拡大形光ファイバやコア拡大形光導波
路を形成する方法の提供を目的とするものでる。
のみを加熱しコア拡大形光ファイバやコア拡大形光導波
路を形成する方法の提供を目的とするものでる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、光導波路の端部付近のコア径をこの端部付近以
外の部分のコア径よりも拡大してコア拡大部を形成する
と共に、このコア拡大部のコア屈折率を上記端部付近以
外の部分のコア屈折率よりも低くし、上記コア拡大部で
のスポットサイズを大きくするスポットサイズ変換部の
形成方法において、上記コア拡大部の形成に当っては光
導波路の一部をレーザにより加熱することを特徴とする
。
発明は、光導波路の端部付近のコア径をこの端部付近以
外の部分のコア径よりも拡大してコア拡大部を形成する
と共に、このコア拡大部のコア屈折率を上記端部付近以
外の部分のコア屈折率よりも低くし、上記コア拡大部で
のスポットサイズを大きくするスポットサイズ変換部の
形成方法において、上記コア拡大部の形成に当っては光
導波路の一部をレーザにより加熱することを特徴とする
。
【０００８】
【作用】炭酸ガス（ＣＯ２ ）レーザのような高出力レ
ーザを用いることにより光導波路や光ファイバのごく一
部のみを加熱できる。
ーザを用いることにより光導波路や光ファイバのごく一
部のみを加熱できる。
【０００９】図１は石英系光導波路に本発明を適用した
場合の実施例を示す。図１はＣＯ２ レーザ７を用い、
基板８上に形成された石英系光導波路の導波路端部を加
熱している。本実施例では高出力の例えばＣＯ２ レー
ザを用いるため、従来用いられてきた熱拡散炉と異なっ
て、光導波路の光入射端部あるいは光出射端部など、光
導波路の一部のみのコア９やクラッド１０の加熱が可能
となった。
場合の実施例を示す。図１はＣＯ２ レーザ７を用い、
基板８上に形成された石英系光導波路の導波路端部を加
熱している。本実施例では高出力の例えばＣＯ２ レー
ザを用いるため、従来用いられてきた熱拡散炉と異なっ
て、光導波路の光入射端部あるいは光出射端部など、光
導波路の一部のみのコア９やクラッド１０の加熱が可能
となった。
【００１０】図２には、照射時間を一定とした場合にお
けるＣＯ２ レーザの光出力（Ｐ）とコア拡大部のスポ
ットサイズとの関係を表す。図からわかるように、ＣＯ
２ レーザの照射パワーが高いほどコア拡大部のコア径
は大きくなり、コアの屈折率は低くなる。従って、図３
に示すようにＣＯ２レーザ７の照射パワーを高くすると
、コア拡大部の導波光のスポットサイズを大きくするこ
とができる。また、こうした加熱用高出力レーザは、光
出力、加熱時間、加熱位置などをコンピュータにより正
確に制御することが容易であるので、コア拡大部のテー
パ形状を含め、精度よく大量出産できるという利点もあ
る。更に、石英系光導波路の先端を溶融し、光導波路の
コア拡大部の先端にレンズを形成ことも可能である。
けるＣＯ２ レーザの光出力（Ｐ）とコア拡大部のスポ
ットサイズとの関係を表す。図からわかるように、ＣＯ
２ レーザの照射パワーが高いほどコア拡大部のコア径
は大きくなり、コアの屈折率は低くなる。従って、図３
に示すようにＣＯ２レーザ７の照射パワーを高くすると
、コア拡大部の導波光のスポットサイズを大きくするこ
とができる。また、こうした加熱用高出力レーザは、光
出力、加熱時間、加熱位置などをコンピュータにより正
確に制御することが容易であるので、コア拡大部のテー
パ形状を含め、精度よく大量出産できるという利点もあ
る。更に、石英系光導波路の先端を溶融し、光導波路の
コア拡大部の先端にレンズを形成ことも可能である。
【００１１】以上、光導波路として石英系の光導波路を
例にとって説明してきたが、本発明は光ファイバにも適
用できることは言うまでもない。
例にとって説明してきたが、本発明は光ファイバにも適
用できることは言うまでもない。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では微細加
工に適している高出力レーザにより光導波路や光ファイ
バを加熱することによりコアの拡大と屈折率の低減を行
うので、光導波路や光ファイバの端部のみの加工が可能
となった。
工に適している高出力レーザにより光導波路や光ファイ
バを加熱することによりコアの拡大と屈折率の低減を行
うので、光導波路や光ファイバの端部のみの加工が可能
となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の説明図である。
【図２】レーザ照射パワーとコア径、コア屈折率との特
性図である。
性図である。
【図３】レーザ照射パワーとスポットサイズとの特性図
である。
である。
【図４】コア拡大形光ファイバの構造図である。
【図５】熱拡散炉による加熱状態の説明図である。
７ ＣＯ２ レーザ
８ 基板
９ コア
１０ クラッド
Claims (1)
- 【請求項１】 光導波路の端部付近のコア径をこの端
部付近以外の部分のコア径よりも拡大してコア拡大部を
形成すると共に、このコア拡大部のコア屈折率を上記端
部付近以外の部分のコア屈折率よりも低くし、上記コア
拡大部でのスポットサイズを大きくするスポットサイズ
変換部の形成方法において、上記コア拡大部の形成に当
っては光導波路の一部をレーザにより加熱することを特
徴とするスポットサイズ変換部の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412743A JPH04220609A (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | スポットサイズ変換部の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412743A JPH04220609A (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | スポットサイズ変換部の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220609A true JPH04220609A (ja) | 1992-08-11 |
Family
ID=18521521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2412743A Pending JPH04220609A (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | スポットサイズ変換部の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04220609A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6442315B1 (en) | 1997-11-18 | 2002-08-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical waveguide chip and method of formation thereof |
| KR100418255B1 (ko) * | 2002-03-19 | 2004-02-14 | 학교법인 성균관대학 | 고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 이의 제작방법 |
-
1990
- 1990-12-21 JP JP2412743A patent/JPH04220609A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6442315B1 (en) | 1997-11-18 | 2002-08-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical waveguide chip and method of formation thereof |
| KR100418255B1 (ko) * | 2002-03-19 | 2004-02-14 | 학교법인 성균관대학 | 고 결합효율을 위한 코어가 확장된 도파로 및 이의 제작방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000321 |