JPH04220615A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- JPH04220615A JPH04220615A JP2412630A JP41263090A JPH04220615A JP H04220615 A JPH04220615 A JP H04220615A JP 2412630 A JP2412630 A JP 2412630A JP 41263090 A JP41263090 A JP 41263090A JP H04220615 A JPH04220615 A JP H04220615A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0068—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration having means for controlling the degree of correction, e.g. using phase modulators, movable elements
Landscapes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、無限遠補正型の顕微鏡
対物レンズに関し、特に、物体面と対物レンズとの間に
カバ−ガラス等を含む場合に使用される無限遠補正型の
顕微鏡対物レンズに関する。
対物レンズに関し、特に、物体面と対物レンズとの間に
カバ−ガラス等を含む場合に使用される無限遠補正型の
顕微鏡対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に顕微鏡対物レンズは、観察に用い
るカバ−ガラスや窓ガラス等の厚さが一定であることを
前提にして設計されている。そのため、カバ−ガラス等
の厚さが大きく変化する場合、特にＮＡの大きい対物レ
ンズ程、そのレンズが本来有する性能の劣化が激しい。
るカバ−ガラスや窓ガラス等の厚さが一定であることを
前提にして設計されている。そのため、カバ−ガラス等
の厚さが大きく変化する場合、特にＮＡの大きい対物レ
ンズ程、そのレンズが本来有する性能の劣化が激しい。
【０００３】一方、近年、（１）厚いガラスを通して真
空あるいはガス雰囲気中の試料の観察、（２）コンパク
トディスク（ＣＤ）のピット面の観察、（３）水溶液中
の試料の観察、（４）液晶表示器のカバ−ガラスを通し
ての観察等の需要が高まってきた。
空あるいはガス雰囲気中の試料の観察、（２）コンパク
トディスク（ＣＤ）のピット面の観察、（３）水溶液中
の試料の観察、（４）液晶表示器のカバ−ガラスを通し
ての観察等の需要が高まってきた。
【０００４】従来より、カバ−ガラスの厚さの変化に応
じて対物レンズ内のレンズ間隔を変えて収差変動を補正
する、補正リング付き対物レンズが知られている。
じて対物レンズ内のレンズ間隔を変えて収差変動を補正
する、補正リング付き対物レンズが知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、作動距
離が極めて長い超長作動距離であり、視野が極めて広い
超広視野であり、且つガラスの厚さの広い範囲の変化に
対応できる対物レンズは、従来の補正リング付き対物レ
ンズにおいては見当たらない。例えば、特開昭６０−２
６００１６における対物レンズにおいては、作動距離が
焦点距離の２倍弱にすぎず、視野も直径１８ｍｍにすぎ
ず、対応できるガラスの厚さも２．５ｍｍどまりである
。
離が極めて長い超長作動距離であり、視野が極めて広い
超広視野であり、且つガラスの厚さの広い範囲の変化に
対応できる対物レンズは、従来の補正リング付き対物レ
ンズにおいては見当たらない。例えば、特開昭６０−２
６００１６における対物レンズにおいては、作動距離が
焦点距離の２倍弱にすぎず、視野も直径１８ｍｍにすぎ
ず、対応できるガラスの厚さも２．５ｍｍどまりである
。
【０００６】また、特開平１−３０７７１７は２群可動
タイプであるが、やはり作動距離が短く、操作性に難が
ある上、視野も直径２５ｍｍ、対応できるガラスの厚さ
も２ｍｍにしかすぎない。
タイプであるが、やはり作動距離が短く、操作性に難が
ある上、視野も直径２５ｍｍ、対応できるガラスの厚さ
も２ｍｍにしかすぎない。
【０００７】そのため、従来の対物レンズは、カバ−ガ
ラス等の厚さ変化によるレンズの諸収差の悪化を完全に
は補正することができず、短い作動距離で狭い視野であ
り、狭い範囲のガラスの厚さの変化にしか適用出来ない
という問題点があった。
ラス等の厚さ変化によるレンズの諸収差の悪化を完全に
は補正することができず、短い作動距離で狭い視野であ
り、狭い範囲のガラスの厚さの変化にしか適用出来ない
という問題点があった。
【０００８】本出願は、かかる問題点を解決し、物体面
と対物レンズの間にカバ−ガラスや窓ガラス等が配置さ
れてそれらの厚さが大きく変化した場合でも極めて良好
な性能が広い視野全域で保証される、無限遠補正型の顕
微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
と対物レンズの間にカバ−ガラスや窓ガラス等が配置さ
れてそれらの厚さが大きく変化した場合でも極めて良好
な性能が広い視野全域で保証される、無限遠補正型の顕
微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、物体側より遠
い側から近い側に向かって順に第１群、第２群、第３群
及び第４群のレンズ群からなる顕微鏡対物レンズであっ
て、前記第１群は負レンズ（Ｌ１ ）と正レンズ（Ｌ２
）との接合レンズであって全体として負の屈折力を持
ち、前記第２群は負レンズ（Ｌ３ ）と正レンズ（Ｌ４
）との接合レンズであって、全体として負の屈折力を
持つ物体側に凸面を向けたメニスカスレンズであり、且
つ光軸に沿って移動可能な群であり、前記第３群は像面
側に比べ物体側により強い凸面を向けた正レンズ（Ｌ５
）を含み、且つ光軸に沿って移動可能な群であり、前
記第４群は複数の凹レンズと複数の凸レンズを含み、物
体側に最も近い側は物体側に凹面を向けた正メニスカス
レンズ成分であって、全体として正の屈折力を持つ群で
あり、前記第４群と物体面の間に配置された透明平行平
面板の厚さの変化に応じて、隣合う２個のレンズ群であ
る前記第２群と前記第３群を光軸に沿って同時に同方向
へ移動させて収差補正を行うことによって、前記課題を
解決する。
い側から近い側に向かって順に第１群、第２群、第３群
及び第４群のレンズ群からなる顕微鏡対物レンズであっ
て、前記第１群は負レンズ（Ｌ１ ）と正レンズ（Ｌ２
）との接合レンズであって全体として負の屈折力を持
ち、前記第２群は負レンズ（Ｌ３ ）と正レンズ（Ｌ４
）との接合レンズであって、全体として負の屈折力を
持つ物体側に凸面を向けたメニスカスレンズであり、且
つ光軸に沿って移動可能な群であり、前記第３群は像面
側に比べ物体側により強い凸面を向けた正レンズ（Ｌ５
）を含み、且つ光軸に沿って移動可能な群であり、前
記第４群は複数の凹レンズと複数の凸レンズを含み、物
体側に最も近い側は物体側に凹面を向けた正メニスカス
レンズ成分であって、全体として正の屈折力を持つ群で
あり、前記第４群と物体面の間に配置された透明平行平
面板の厚さの変化に応じて、隣合う２個のレンズ群であ
る前記第２群と前記第３群を光軸に沿って同時に同方向
へ移動させて収差補正を行うことによって、前記課題を
解決する。
【００１０】 また、顕微鏡対物レンズの全体の焦点
距離をＦ、第１群の焦点距離をＦ１ 、第２群の焦点距
離をＦ２ 、第３群の焦点距離をＦ３ 、前記第１群中
のレンズＬ１ の硝材のアッベ数をν１ 、レンズＬ２
の硝材のアッベ数をν２ 、前記第２群中のレンズＬ
３ の硝材のアッベ数をν３ 、ｄ線の屈折率をｎ３
、レンズＬ４ の硝材のアッベ数をν４ 、ｄ線の屈折
率をｎ４ 、前記第２群の移動量をｌ２ 、第３群の移
動量をｌ３ とするとき、（１）式、１．５Ｆ＜｜Ｆ１
｜＜３Ｆ、（２）式、ν１ −ν２ ＞２０、（３）
式、ｎ３ −ｎ４ ＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２
０、（４）式、０．５＜｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３
／Ｆ３ ｜＜２ を満たすことによって前記課題を解決する。
距離をＦ、第１群の焦点距離をＦ１ 、第２群の焦点距
離をＦ２ 、第３群の焦点距離をＦ３ 、前記第１群中
のレンズＬ１ の硝材のアッベ数をν１ 、レンズＬ２
の硝材のアッベ数をν２ 、前記第２群中のレンズＬ
３ の硝材のアッベ数をν３ 、ｄ線の屈折率をｎ３
、レンズＬ４ の硝材のアッベ数をν４ 、ｄ線の屈折
率をｎ４ 、前記第２群の移動量をｌ２ 、第３群の移
動量をｌ３ とするとき、（１）式、１．５Ｆ＜｜Ｆ１
｜＜３Ｆ、（２）式、ν１ −ν２ ＞２０、（３）
式、ｎ３ −ｎ４ ＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２
０、（４）式、０．５＜｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３
／Ｆ３ ｜＜２ を満たすことによって前記課題を解決する。
【００１１】
【作用】物体面と対物レンズの間に平行平面板ガラスが
あり、それが基準の厚さより厚くなったとすると、ここ
で正の球面収差が発生する。今、平行平面板ガラスの厚
くなった分だけ空気換算して作動距離を変化させてやれ
ば、対物レンズ中での軸上、軸外の光線高はあまり変化
しないで平行平面板ガラスで発生した収差だけが残る。
あり、それが基準の厚さより厚くなったとすると、ここ
で正の球面収差が発生する。今、平行平面板ガラスの厚
くなった分だけ空気換算して作動距離を変化させてやれ
ば、対物レンズ中での軸上、軸外の光線高はあまり変化
しないで平行平面板ガラスで発生した収差だけが残る。
【００１２】今第２群を物体より遠い側へ移動させてや
れば、軸上光線の光線高が低くなって第２群中のｒ７
面で発生している正の球面収差は減少して、平行平面板
ガラスの増加分を打ち消す。
れば、軸上光線の光線高が低くなって第２群中のｒ７
面で発生している正の球面収差は減少して、平行平面板
ガラスの増加分を打ち消す。
【００１３】しかしながら軸外光束の上限の光線、下限
の光線は、第２群の移動だけでは十分には補正され得ず
、特に本発明のように超広視野（視野数３０）では視野
周辺で大きなコマ状の収差を発生する。
の光線は、第２群の移動だけでは十分には補正され得ず
、特に本発明のように超広視野（視野数３０）では視野
周辺で大きなコマ状の収差を発生する。
【００１４】本発明では、第２群及び第３群を平行平面
板ガラスの変化に伴い、同時に同方向へ異なった量だけ
動かし、具体的には動かす方向は厚くなる時は第２群、
第３群を物体側より遠い方へ、薄くなる時は物体側へ移
動している。第２群と第３群を動かした時軸上光束と軸
外光束が通る光線高と入射角の違いによりそれぞれの群
で発生する軸上収差と軸外収差のずれを利用して、軸上
の球面収差のみならず軸外の横収差までほぼ完全に補正
している。
板ガラスの変化に伴い、同時に同方向へ異なった量だけ
動かし、具体的には動かす方向は厚くなる時は第２群、
第３群を物体側より遠い方へ、薄くなる時は物体側へ移
動している。第２群と第３群を動かした時軸上光束と軸
外光束が通る光線高と入射角の違いによりそれぞれの群
で発生する軸上収差と軸外収差のずれを利用して、軸上
の球面収差のみならず軸外の横収差までほぼ完全に補正
している。
【００１５】次に各条件式を説明する。
【００１６】（１）式、１．５Ｆ＜｜Ｆ１ ｜＜３Ｆは
、超長作動距離を実現するための条件式である。本発明
では、対物レンズの最も物体側の面の頂点から物体面ま
での空気に換算した距離が、焦点距離の約３．９倍以上
という超長作動距離を５０×、ＮＡ０．５という仕様で
ありながら実現している。（１）式の上限を越えると前
記の超長作動距離が得る事が難しく、又下限を越えると
この群のパワ−が強くなりすぎ高次収差が発生し、他の
群でこの高次収差を補正することが出来ない。
、超長作動距離を実現するための条件式である。本発明
では、対物レンズの最も物体側の面の頂点から物体面ま
での空気に換算した距離が、焦点距離の約３．９倍以上
という超長作動距離を５０×、ＮＡ０．５という仕様で
ありながら実現している。（１）式の上限を越えると前
記の超長作動距離が得る事が難しく、又下限を越えると
この群のパワ−が強くなりすぎ高次収差が発生し、他の
群でこの高次収差を補正することが出来ない。
【００１７】（２）式、ν１ −ν２ ＞２０は、第１
群のレンズＬ１ 、Ｌ２ の分散を規定する式である。 この式の下限を越えると、レンズＬ１ 、Ｌ２ のパワ
−を強くしなければ色収差が補正できなくなり、色収差
を補正すると高次の球面収差、コマ収差が発生し、他の
群でこれを補正する事が困難である。（３）式、ｎ３
−ｎ４ ＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２０は、第２
群に含まれるレンズＬ３ 、Ｌ４ の屈折率とアッベ数
を規定するものである。
群のレンズＬ１ 、Ｌ２ の分散を規定する式である。 この式の下限を越えると、レンズＬ１ 、Ｌ２ のパワ
−を強くしなければ色収差が補正できなくなり、色収差
を補正すると高次の球面収差、コマ収差が発生し、他の
群でこれを補正する事が困難である。（３）式、ｎ３
−ｎ４ ＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２０は、第２
群に含まれるレンズＬ３ 、Ｌ４ の屈折率とアッベ数
を規定するものである。
【００１８】第２群では、ｒ７ で３次の正の球面収差
を発生させるため、ｎ３ とｎ４ の屈折率の差を０．
１以上としたが、この下限値０．１を越えると、ｒ７
の曲率半径をきつくしなければならず、３次の正の球面
収差を発生させた時高次の球面収差を発生させてしまい
、この高次の球面収差を他の群で補正することが出来な
い。又アッベ数をこの条件をはずれて規定すると、レン
ズＬ３ 、Ｌ４ のパワ−がゆるくなりすぎ、第２群自
身の色消をした時、ｒ７ に適度の正の球面収差を発生
させることが出来なくなる。
を発生させるため、ｎ３ とｎ４ の屈折率の差を０．
１以上としたが、この下限値０．１を越えると、ｒ７
の曲率半径をきつくしなければならず、３次の正の球面
収差を発生させた時高次の球面収差を発生させてしまい
、この高次の球面収差を他の群で補正することが出来な
い。又アッベ数をこの条件をはずれて規定すると、レン
ズＬ３ 、Ｌ４ のパワ−がゆるくなりすぎ、第２群自
身の色消をした時、ｒ７ に適度の正の球面収差を発生
させることが出来なくなる。
【００１９】（４）式、０．５＜｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／
｜ｌ３ ／Ｆ３ ｜＜２は、第２群、第３群の移動量と
焦点距離の関係を表わすものである。
｜ｌ３ ／Ｆ３ ｜＜２は、第２群、第３群の移動量と
焦点距離の関係を表わすものである。
【００１９】上限を越えると、例えば平行平面板ガラス
が厚くなり、軸上球面収差を補正する位置まで第２群、
第３群が移動した時、軸外光束の横収差の変動が軸上球
面収差より大きくなり内向性のコマ状の収差を発生する
。又下限を越えると逆に軸外光束の動きが小さく、球面
収差が補正された時、依然として軸外光束は外向性のコ
マ状の収差を発生したままである。従って、（４）式を
満足しなければ広い視野を得ることが出来ない。
が厚くなり、軸上球面収差を補正する位置まで第２群、
第３群が移動した時、軸外光束の横収差の変動が軸上球
面収差より大きくなり内向性のコマ状の収差を発生する
。又下限を越えると逆に軸外光束の動きが小さく、球面
収差が補正された時、依然として軸外光束は外向性のコ
マ状の収差を発生したままである。従って、（４）式を
満足しなければ広い視野を得ることが出来ない。
【００２０】
【実施例】添付する図面を参照して本発明の好適な実施
例を説明する。
例を説明する。
【００２１】実施例のレンズの構成図である。図１にお
いて、第１群は１枚の負レンズであるＬ１ と１枚の正
メニスカスレンズであるＬ２ との接合レンズから構成
され、全体として負の屈折力を持つ。第２群は負レンズ
Ｌ３ と正レンズＬ４ との接合レンズから構成されて
おり、全体として負の屈折力を持つ物体側に凸面を向け
たメニスカスレンズである。また、第２群は光軸に沿っ
て移動可能である。第３群は像側に比べて物体側により
強い凸面を向けた１枚の正レンズＬ５ から構成されて
いる。第３群もまた光軸に沿って移動可能である。第４
群は順に負レンズＬ６ と正レンズＬ７ との接合レン
ズと、正レンズＬ８ 、負レンズＬ９ 及び正レンズＬ
１０の３枚の接合レンズと、負レンズＬ１１と正レンズ
Ｌ１２との接合レンズと、物体側より遠い側に凸面を向
けた正メニスカスレンズＬ１３、Ｌ１４から構成され、
全体として正の屈折力を持つ。
いて、第１群は１枚の負レンズであるＬ１ と１枚の正
メニスカスレンズであるＬ２ との接合レンズから構成
され、全体として負の屈折力を持つ。第２群は負レンズ
Ｌ３ と正レンズＬ４ との接合レンズから構成されて
おり、全体として負の屈折力を持つ物体側に凸面を向け
たメニスカスレンズである。また、第２群は光軸に沿っ
て移動可能である。第３群は像側に比べて物体側により
強い凸面を向けた１枚の正レンズＬ５ から構成されて
いる。第３群もまた光軸に沿って移動可能である。第４
群は順に負レンズＬ６ と正レンズＬ７ との接合レン
ズと、正レンズＬ８ 、負レンズＬ９ 及び正レンズＬ
１０の３枚の接合レンズと、負レンズＬ１１と正レンズ
Ｌ１２との接合レンズと、物体側より遠い側に凸面を向
けた正メニスカスレンズＬ１３、Ｌ１４から構成され、
全体として正の屈折力を持つ。
【００２２】また、図１において、隣合った２個のレン
ズ群である第２群と第３群は、第４群と物体面の間に配
置された透明平行平面板Ｐの厚さの変化に応じて、光軸
に沿って同時に同方向へ異なった距離だけ移動させるこ
とによって収差補正されるようになっている。
ズ群である第２群と第３群は、第４群と物体面の間に配
置された透明平行平面板Ｐの厚さの変化に応じて、光軸
に沿って同時に同方向へ異なった距離だけ移動させるこ
とによって収差補正されるようになっている。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１に、倍率５０×、Ｎ．Ａ．＝０．５、
焦点距離ｆｄ ＝４ｍｍ（透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝
ｄ２３が３．５ｍｍの時）である場合の本発明の実施例
の諸元を示す。図１を参照して、ｒ１ 、ｒ２ ・・・
は各レンズ面の曲率半径（単位ｍｍ）であり、ｄ１
、ｄ２・・・は各レンズ面間の距離（単位ｍｍ）であり
、ｎ１、ｎ２ ・・・ 及びν１ 、ν２・・・はレン
ズＬ１ 、Ｌ２・・・の各々屈折率、アッベ数である。
焦点距離ｆｄ ＝４ｍｍ（透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝
ｄ２３が３．５ｍｍの時）である場合の本発明の実施例
の諸元を示す。図１を参照して、ｒ１ 、ｒ２ ・・・
は各レンズ面の曲率半径（単位ｍｍ）であり、ｄ１
、ｄ２・・・は各レンズ面間の距離（単位ｍｍ）であり
、ｎ１、ｎ２ ・・・ 及びν１ 、ν２・・・はレン
ズＬ１ 、Ｌ２・・・の各々屈折率、アッベ数である。
【００２５】
【表２】
【００２６】また、表２に、第４群と物体面の間に配置
された透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝ｄ２３が２ｍｍ、３
．５ｍｍ及び５ｍｍの時の可動のレンズ面間隔ｄ３ 、
ｄ６ 及びｄ８ の値を各々示す。ここで、ｎＰ 及び
νは各々平行平面板Ｐの材質の屈折率及びアッベ数であ
る。また、Ｌ．Ｂ．はレンズバックであり、レンズＬ１
４の物体面側の頂点から物体面までの空気中に換算した
距離である。 透明平行平面板Ｐの厚さｔが２ｍｍ〜５ｍｍに渡って、
作動距離が１５ｍｍ 、即ち焦点距離の３．９倍以上
確保されることが認められる。表１に示される諸元は、
顕微鏡対物レンズの全体の焦点距離をＦ、第１群の焦点
距離をＦ１ 、第２群の焦点距離をＦ２ 、第３群の焦
点距離をＦ３ 、前記第１群中のレンズＬ１ の硝材の
アッベ数をν１ 、レンズＬ２ の硝材のアッベ数をν
２ 、前記第２群中のレンズＬ３ の硝材のアッベ数を
ν３ 、ｄ線の屈折率をｎ３ 、レンズＬ４ の硝材の
アッベ数をν４ 、ｄ線の屈折率をｎ４ 、前記第２群
の移動量をｌ２ 、第３群の移動量をｌ３ とするとき
、 ｜Ｆ１ ｜＝２．１５Ｆ、 ν１ −ν２ ＝２４．１、 ｎ３ −ｎ４ ＝０．２２２７７、 ｜ν３ −ν４ ｜＝６．４、 ｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３ ／Ｆ３ ｜＝１．１８で
あり、（１）式、１．５Ｆ＜｜Ｆ１ ｜＜３Ｆ、（２）
式、ν１ −ν２ ＞２０、（３）式、ｎ３ −ｎ４
＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２０、（４）式、０．
５＜｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３ ／Ｆ３ ｜＜２ を満たしている。
された透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝ｄ２３が２ｍｍ、３
．５ｍｍ及び５ｍｍの時の可動のレンズ面間隔ｄ３ 、
ｄ６ 及びｄ８ の値を各々示す。ここで、ｎＰ 及び
νは各々平行平面板Ｐの材質の屈折率及びアッベ数であ
る。また、Ｌ．Ｂ．はレンズバックであり、レンズＬ１
４の物体面側の頂点から物体面までの空気中に換算した
距離である。 透明平行平面板Ｐの厚さｔが２ｍｍ〜５ｍｍに渡って、
作動距離が１５ｍｍ 、即ち焦点距離の３．９倍以上
確保されることが認められる。表１に示される諸元は、
顕微鏡対物レンズの全体の焦点距離をＦ、第１群の焦点
距離をＦ１ 、第２群の焦点距離をＦ２ 、第３群の焦
点距離をＦ３ 、前記第１群中のレンズＬ１ の硝材の
アッベ数をν１ 、レンズＬ２ の硝材のアッベ数をν
２ 、前記第２群中のレンズＬ３ の硝材のアッベ数を
ν３ 、ｄ線の屈折率をｎ３ 、レンズＬ４ の硝材の
アッベ数をν４ 、ｄ線の屈折率をｎ４ 、前記第２群
の移動量をｌ２ 、第３群の移動量をｌ３ とするとき
、 ｜Ｆ１ ｜＝２．１５Ｆ、 ν１ −ν２ ＝２４．１、 ｎ３ −ｎ４ ＝０．２２２７７、 ｜ν３ −ν４ ｜＝６．４、 ｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３ ／Ｆ３ ｜＝１．１８で
あり、（１）式、１．５Ｆ＜｜Ｆ１ ｜＜３Ｆ、（２）
式、ν１ −ν２ ＞２０、（３）式、ｎ３ −ｎ４
＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２０、（４）式、０．
５＜｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３ ／Ｆ３ ｜＜２ を満たしている。
【００２７】次に、第４群と物体面の間に配置された透
明平行平面板Ｐの厚さｔを変化させた場合のＮＡ＝０．
５における本実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差を
図２、図３及び図４に示す。ここでＹ｀は、焦点距離２
００ｍｍの結像レンズによって結像されるときの像高（
単位ｍｍ）をいう。図２は透明平行平面板Ｐの厚さｔが
２ｍｍの場合の諸収差を示す。図２において、（ａ）は
各波長ｃ線、ｄ線、Ｆ線、ｇ線の球面収差を、（ｂ）は
ｄ線の非点収差を、（ｃ）はｄ線の歪曲収差を、（ｄ）
はｄ線の横収差を各々示す。各収差が極めて良好に補正
されていることが認められる。
明平行平面板Ｐの厚さｔを変化させた場合のＮＡ＝０．
５における本実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差を
図２、図３及び図４に示す。ここでＹ｀は、焦点距離２
００ｍｍの結像レンズによって結像されるときの像高（
単位ｍｍ）をいう。図２は透明平行平面板Ｐの厚さｔが
２ｍｍの場合の諸収差を示す。図２において、（ａ）は
各波長ｃ線、ｄ線、Ｆ線、ｇ線の球面収差を、（ｂ）は
ｄ線の非点収差を、（ｃ）はｄ線の歪曲収差を、（ｄ）
はｄ線の横収差を各々示す。各収差が極めて良好に補正
されていることが認められる。
【００２８】同様に、図３は透明平行平面板Ｐの厚さｔ
が３．５ｍｍの場合の諸収差であり、図４は透明平行平
面板Ｐの厚さｔが５ｍｍの場合の諸収差である。ｔ＝３
．５ｍｍにおいてもｔ＝５ｍｍいおいても、ｔ＝２ｍｍ
の場合と同様に諸収差が良好に補正されていることが認
められる。以上、本発明について好適な実施例を挙げて
説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々
の改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない
。例えば、第１レンズ群乃至第４レンズ群の、レンズの
枚数の変更、凸レンズや凹レンズやそれらの接合レンズ
の配列関係の変更等は、本発明の要旨を逸脱しない限り
本発明の範囲に含まれる。
が３．５ｍｍの場合の諸収差であり、図４は透明平行平
面板Ｐの厚さｔが５ｍｍの場合の諸収差である。ｔ＝３
．５ｍｍにおいてもｔ＝５ｍｍいおいても、ｔ＝２ｍｍ
の場合と同様に諸収差が良好に補正されていることが認
められる。以上、本発明について好適な実施例を挙げて
説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々
の改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない
。例えば、第１レンズ群乃至第４レンズ群の、レンズの
枚数の変更、凸レンズや凹レンズやそれらの接合レンズ
の配列関係の変更等は、本発明の要旨を逸脱しない限り
本発明の範囲に含まれる。
【００２９】
【発明の効果】以上の通り本発明によれば、上記のよう
な構成にしたので、物体面と対物レンズの間にカバ−ガ
ラスや窓ガラス等が配置されてそれらの厚さが大きく変
化した場合でも極めて良好な性能が広い視野全域で保証
される、無限遠補正型の顕微鏡対物レンズを提供するこ
とができる。
な構成にしたので、物体面と対物レンズの間にカバ−ガ
ラスや窓ガラス等が配置されてそれらの厚さが大きく変
化した場合でも極めて良好な性能が広い視野全域で保証
される、無限遠補正型の顕微鏡対物レンズを提供するこ
とができる。
【図１】本発明の実施例のレンズ構成図である。
【図２】本発明の実施例の透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝
２ｍｍの場合の諸収差を示す図である。
２ｍｍの場合の諸収差を示す図である。
【図３】本発明の実施例の透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝
３．５ｍｍの場合の諸収差を示す図である。
３．５ｍｍの場合の諸収差を示す図である。
【図４】本発明の実施例の透明平行平面板Ｐの厚さｔ＝
５ｍｍの場合の諸収差を示す図である。
５ｍｍの場合の諸収差を示す図である。
Ｌｉ ・・・・・ レンズ
ｄｉ ・・・・・ レンズの厚さあるいは隣接レンズ間
の距離Ｗ．Ｄ ・・ 作動距離 Ｐ ・・・・・・ 平行平面板
の距離Ｗ．Ｄ ・・ 作動距離 Ｐ ・・・・・・ 平行平面板
Claims (2)
- 【請求項１】物体側より遠い側から近い側に向かって順
に第１群、第２群、第３群及び第４群のレンズ群からな
る顕微鏡対物レンズであって、前記第１群は負レンズ（
Ｌ１ ）と正レンズ（Ｌ２ ）との接合レンズであって
全体として負の屈折力を持ち、前記第２群は負レンズ（
Ｌ３ ）と正レンズ（Ｌ４ ）との接合レンズであって
、全体として負の屈折力を持つ物体側に凸面を向けたメ
ニスカスレンズであり、且つ光軸に沿って移動可能な群
であり、前記第３群は、像面側に比べ物体側により強い
凸面を向けた正レンズ（Ｌ５ ）を含み、且つ光軸に沿
って移動可能な群であり、前記第４群は、複数の凹レン
ズと複数の凸レンズを含み、物体側に最も近い側は物体
側に凹面を向けた正メニスカスレンズ面であって、全体
として正の屈折力を持つ群であり、前記第４群と物体面
の間に配置された透明平行平面板の厚さの変化に応じて
、隣合う２個のレンズ群である前記第２群と前記第３群
を光軸に沿って同時に同方向へ移動させることによって
収差補正を行なうことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項２】請求項１に記載の顕微鏡対物レンズにおい
て、全体の焦点距離をＦ、第１群の焦点距離をＦ１ 、
第２群の焦点距離をＦ２ 、第３群の焦点距離をＦ３
、前記第１群中のレンズＬ１ の硝材のアッベ数をν１
、レンズＬ２ の硝材のアッベ数をν２ 、前記第２
群中のレンズＬ３ の硝材のアッベ数をν３、ｄ線の屈
折率をｎ３ 、レンズＬ４ の硝材のアッベ数をν４
、ｄ線の屈折率をｎ４ 、前記第２群の移動量をｌ２
、第３群の移動量をｌ３ とするとき、 （１）式、１．５Ｆ＜｜Ｆ１ ｜＜３Ｆ、 （２
）式、ν１ −ν２ ＞２０、 （３）式、ｎ３ −
ｎ４ ＞０．１、｜ν３ −ν４ ｜＜２０、 （４
）式、０．５＜｜ｌ２ ／Ｆ２ ｜／｜ｌ３ ／Ｆ３
｜＜２を満たすことを特徴とする請求項１に記載の顕微
鏡対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412630A JP2505651B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 顕微鏡対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412630A JP2505651B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220615A true JPH04220615A (ja) | 1992-08-11 |
| JP2505651B2 JP2505651B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=18521447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2412630A Expired - Fee Related JP2505651B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 顕微鏡対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505651B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739958A (en) * | 1994-10-17 | 1998-04-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope objective lens system with correction ring |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56142508A (en) * | 1980-04-05 | 1981-11-06 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Objective lens of microscope |
| JPS57148717A (en) * | 1981-03-12 | 1982-09-14 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Objective lens of microscope |
| JPS60260016A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 顕微鏡対物レンズ |
-
1990
- 1990-12-21 JP JP2412630A patent/JP2505651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56142508A (en) * | 1980-04-05 | 1981-11-06 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Objective lens of microscope |
| JPS57148717A (en) * | 1981-03-12 | 1982-09-14 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Objective lens of microscope |
| JPS60260016A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 顕微鏡対物レンズ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739958A (en) * | 1994-10-17 | 1998-04-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope objective lens system with correction ring |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2505651B2 (ja) | 1996-06-12 |
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