JPH04221902A - Method for correcting color filter layer - Google Patents

Method for correcting color filter layer

Info

Publication number
JPH04221902A
JPH04221902A JP2405584A JP40558490A JPH04221902A JP H04221902 A JPH04221902 A JP H04221902A JP 2405584 A JP2405584 A JP 2405584A JP 40558490 A JP40558490 A JP 40558490A JP H04221902 A JPH04221902 A JP H04221902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
layer
filter layer
protective film
top coat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2405584A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyoshi Ozaki
喜義 尾崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2405584A priority Critical patent/JPH04221902A/en
Publication of JPH04221902A publication Critical patent/JPH04221902A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the method for correcting color filter layers which can easily flatten the surfaces of the color filter layers and a top coat layer concerning the correction method for flattening the projections formed on the color filter layer and the top coat layer in the production of a liquid crystal display element. CONSTITUTION:The stage for forming the color filter layers 2 on a glass substrate 1 of the liquid crystal display element is constituted to form a protective film layer 7 consisting of an easily strippable resin having an excellent adhesive property on the color filter layers 2 as a means for removing the projections 3 formed by the foreign matter embedded or half embedded in the color filter layers 2 and to remove the projections 3 until the surfaces of the color filter layers 2 together with the protective film layer 7 are nearly flattened as well as to strip the remaining protective film layer 7 from the color filter layers 2.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は液晶表示素子の製造にお
いてガラス基板上にカラーフィルタ層を形成する工程に
係り、特にカラーフィルタ層やトップコート層の表面に
できた突起を平坦にする修正方法に関する。
[Industrial Application Field] The present invention relates to the process of forming a color filter layer on a glass substrate in the production of liquid crystal display devices, and in particular to a method for flattening protrusions formed on the surface of a color filter layer or a top coat layer. Regarding.

【0002】液晶表示素子の製造においてカラーフィル
タ層やトップコート層の表面に突起があると、その上に
形成され液晶を旋回させる透明電極間の間隔が変わって
色むら発生の原因になる。しかしカラーフィルタ層やト
ップコート層を形成する樹脂は粘性が高く、樹脂の中に
塵埃などの異物が混入するとその部分が盛り上がり突起
ができる。そこでカラーフィルタ層やトップコート層の
表面を容易に平坦化できる方法の確立が要望されている
[0002] When a protrusion is present on the surface of a color filter layer or a top coat layer in the manufacture of a liquid crystal display element, the distance between the transparent electrodes formed on the protrusion and which rotate the liquid crystal changes, causing color unevenness. However, the resin forming the color filter layer and the top coat layer has a high viscosity, and when foreign matter such as dust gets mixed into the resin, the part swells and protrusions are formed. Therefore, there is a need to establish a method that can easily flatten the surfaces of color filter layers and top coat layers.

【0003】0003

【従来の技術】図3は従来のカラーフィルタ層修正方法
を示す模式図、図4は従来のトップコート層修正方法を
示す模式図である。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a schematic diagram showing a conventional method for modifying a color filter layer, and FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional method for modifying a top coat layer.

【0004】カラーフィルタ層の表面にできた突起を無
くす従来の修正方法は、図3(a) に示す如くガラス
基板1上に形成されたカラーフィルタ層2の表面から突
出している突起3に、例えばマイクロドリルやマイクロ
カッターなどの切除工具4を位置決めし、図3(b) 
に示す如くカラーフィルタ層2の表面がほぼ平坦になる
まで突起3を切除する。なお、図において31はカラー
フィルタ層2に埋没または半埋没した異物、32は切除
屑を示す。
A conventional repair method for eliminating protrusions formed on the surface of a color filter layer involves removing protrusions 3 protruding from the surface of a color filter layer 2 formed on a glass substrate 1, as shown in FIG. 3(a). For example, positioning the cutting tool 4 such as a micro drill or a micro cutter, as shown in FIG. 3(b).
The protrusions 3 are removed until the surface of the color filter layer 2 becomes almost flat as shown in FIG. In the figure, 31 indicates a foreign object buried or semi-buried in the color filter layer 2, and 32 indicates a cutting debris.

【0005】またトップコート層の表面にできた突起を
無くす従来の修正方法は図4(a) に示す如く、カラ
ーフィルタ層2上に形成されたトップコート層5の表面
から突出している突起6に切除工具4を位置決めし、図
4(b) に示す如くトップコート層5の表面が平坦に
なるまで突起6を切除する。なお、図において61はト
ップコート層5に埋没または半埋没した異物、62は切
除屑を示す。
[0005] Furthermore, a conventional repair method for eliminating protrusions formed on the surface of the top coat layer is as shown in FIG. 4(a). The cutting tool 4 is positioned to cut out the projections 6 until the surface of the top coat layer 5 becomes flat as shown in FIG. 4(b). In the figure, 61 indicates a foreign object buried or semi-buried in the top coat layer 5, and 62 indicates a cutting debris.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、カラーフィル
タ層2やトップコート層5の正常な面を露出した状態で
、表面から突出している突起3や6に切除工具4を位置
決めし切除する従来の方法は、切除によって生じた切除
屑32や62が正常な面に付着し新たな突起を発生する
原因となる。また洗浄等によって切除屑32や62を除
去する際に正常な面に傷を付けるという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional method involves positioning the cutting tool 4 on the protrusions 3 and 6 protruding from the surface with the normal surfaces of the color filter layer 2 and top coat layer 5 exposed. This method causes the resection debris 32 and 62 generated by the resection to adhere to the normal surface and generate new protrusions. Further, there is a problem in that normal surfaces are damaged when removing the cutting debris 32 and 62 by cleaning or the like.

【0007】本発明の目的はカラーフィルタ層やトップ
コート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ層
修正方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method for modifying a color filter layer that can easily flatten the surface of a color filter layer or a top coat layer.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】図1は本発明になるカラ
ーフィルタ層修正方法を示す模式図である。なお全図を
通し同じ対象物は同一記号で表している。
[Means for Solving the Problems] FIG. 1 is a schematic diagram showing a color filter layer repair method according to the present invention. The same objects are represented by the same symbols throughout the figures.

【0009】上記課題は液晶表示素子のガラス基板1上
にカラーフィルタ層2を形成する工程において、カラー
フィルタ層2に埋没または半埋没した異物による突起3
を除去する手段として、密着性に優れ且つ剥離が容易な
樹脂からなる保護膜層7をカラーフィルタ層2の上に形
成して、保護膜層7と共にカラーフィルタ層2の表面が
ほぼ平坦になるまで突起3を切除し、残った保護膜層7
をカラーフィルタ層2から剥離させる本発明のカラーフ
ィルタ層修正方法によって達成される。
The above-mentioned problem is that in the step of forming a color filter layer 2 on a glass substrate 1 of a liquid crystal display element, projections 3 caused by foreign substances buried or semi-buried in the color filter layer 2 are formed.
As a means for removing this, a protective film layer 7 made of a resin with excellent adhesion and easy peeling is formed on the color filter layer 2, so that the surface of the color filter layer 2 together with the protective film layer 7 becomes almost flat. The protrusion 3 is removed until the remaining protective film layer 7 is removed.
This is achieved by the color filter layer repair method of the present invention, in which the color filter layer 2 is peeled off from the color filter layer 2.

【0010】0010

【作用】図1において密着性に優れ且つ剥離が容易な樹
脂からなる保護膜層をカラーフィルタ層の上に形成して
、保護膜層と共にカラーフィルタ層の表面がほぼ平坦に
なるまで突起を切除し、残った保護膜層をカラーフィル
タ層から剥離させることによって、新たな突起を発生す
る原因となる切除によって生じた切除屑の正常な面への
付着が無くなる。またカラーフィルタ層から保護層を剥
離させる前に充分洗浄することが可能になり、洗浄等に
よって切除屑を除去する際に正常な面に傷を付けるとい
う問題が解決される。即ち、カラーフィルタ層やトップ
コート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ層
修正方法を実現することができる。
[Operation] In Fig. 1, a protective film layer made of resin with excellent adhesion and easy peeling is formed on the color filter layer, and the protrusions are removed together with the protective film layer until the surface of the color filter layer becomes almost flat. However, by peeling off the remaining protective film layer from the color filter layer, adhesion of cut debris generated by cutting to the normal surface, which causes new protrusions, is eliminated. Furthermore, it becomes possible to thoroughly clean the protective layer before peeling it off from the color filter layer, and the problem of damaging the normal surface when removing the cut debris by cleaning or the like is solved. That is, it is possible to realize a color filter layer repair method that can easily flatten the surface of a color filter layer or a top coat layer.

【0011】[0011]

【実施例】以下添付図により本発明の実施例について説
明する。なお図2は本発明になるトップコート層修正方
法を示す模式図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Note that FIG. 2 is a schematic diagram showing a top coat layer repair method according to the present invention.

【0012】カラーフィルタ層の表面にできた突起を無
くす本発明の修正方法は、図1(a) に示す如くガラ
ス基板1上に形成されたカラーフィルタ層2を修正する
に際して、その上にフォトレジスト膜等の密着性に優れ
剥離が容易な樹脂からなる保護膜層7を形成し、カラー
フィルタ層2の表面から突出している突起3に切除工具
4を位置決めする。しかる後、図1(b) に示す如く
保護膜層7と共にカラーフィルタ層2の表面がほぼ平坦
になるまで突起3を切除する。切除によって生じた切除
屑32の大半は図示の如く突起3のあった位置の近傍に
付着するが、表面を充分洗浄して図1(c) に示す如
く残った保護膜層7をカラーフィルタ層2から剥離させ
ることによって、カラーフィルタ層2の正常な面に傷つ
けることなく切除屑を除去することができる。
The repair method of the present invention for eliminating protrusions formed on the surface of a color filter layer is a method of repairing a color filter layer 2 formed on a glass substrate 1 as shown in FIG. A protective film layer 7 made of a resin such as a resist film with excellent adhesion and easy peeling is formed, and a cutting tool 4 is positioned on the protrusion 3 protruding from the surface of the color filter layer 2. Thereafter, as shown in FIG. 1(b), the protrusions 3 are removed until the surface of the color filter layer 2 together with the protective film layer 7 becomes substantially flat. Most of the cut debris 32 generated by the cutting adheres to the vicinity of the position where the protrusion 3 was as shown in the figure, but the surface is thoroughly cleaned and the remaining protective film layer 7 is replaced with a color filter layer as shown in FIG. 1(c). By peeling it off from the color filter layer 2, the cutting debris can be removed without damaging the normal surface of the color filter layer 2.

【0013】本発明になる修正方法はトップコート層の
表面にできた突起の除去にも有効である。トップコート
層の表面にできた突起を無くす本発明の修正方法は図2
(a) に示す如く、カラーフィルタ層2上に形成され
たトップコート層5を修正するに際して、その上にフォ
トレジスト膜等の密着性に優れ剥離が容易な樹脂からな
る保護膜層7を形成し、トップコート層5の表面から突
出している突起6に切除工具4を位置決めする。しかる
後、図2(b) に示す如く保護膜層7と共にトップコ
ート層5の表面がほぼ平坦になるまで突起6を切除する
。切除によって生じた切除屑62の大半は図示の如く突
起6のあった位置の近傍に付着するが、表面を充分洗浄
して図2(c) に示す如く残った保護膜層7をトップ
コート層5から剥離させることによって、トップコート
層5の正常な面に傷つけることなく切除屑62を除去す
ることができる。
The repair method according to the present invention is also effective for removing protrusions formed on the surface of the top coat layer. The correction method of the present invention for eliminating protrusions formed on the surface of the top coat layer is shown in Figure 2.
As shown in (a), when modifying the top coat layer 5 formed on the color filter layer 2, a protective film layer 7 made of a resin with excellent adhesion and easy peeling, such as a photoresist film, is formed thereon. Then, the cutting tool 4 is positioned on the protrusion 6 protruding from the surface of the top coat layer 5. Thereafter, as shown in FIG. 2(b), the protrusions 6 are removed until the surface of the top coat layer 5 together with the protective film layer 7 becomes substantially flat. Most of the cutting debris 62 generated by the cutting adheres to the vicinity of the position where the protrusion 6 was as shown in the figure, but the surface is thoroughly cleaned and the remaining protective film layer 7 is coated with a top coat layer as shown in FIG. 2(c). By peeling it off from the top coat layer 5, the cutting debris 62 can be removed without damaging the normal surface of the top coat layer 5.

【0014】このように密着性に優れ且つ剥離が容易な
樹脂からなる保護膜層をカラーフィルタ層の上に形成し
て、保護膜層と共にカラーフィルタ層の表面がほぼ平坦
になるまで突起を切除し、残った保護膜層をカラーフィ
ルタ層から剥離させることによって、新たな突起を発生
する原因となる切除によって生じた切除屑の正常な面へ
の付着が無くなる。またカラーフィルタ層から保護層を
剥離させる前に充分洗浄することが可能になり、洗浄等
によって切除屑を除去する際に正常な面に傷を付けると
いう問題が解決される。即ち、カラーフィルタ層やトッ
プコート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ
層修正方法を実現することができる。
[0014] A protective film layer made of resin with excellent adhesion and easy peeling is formed on the color filter layer, and the protrusions are removed together with the protective film layer until the surface of the color filter layer becomes almost flat. However, by peeling off the remaining protective film layer from the color filter layer, adhesion of cut debris generated by cutting to the normal surface, which causes new protrusions, is eliminated. Furthermore, it becomes possible to thoroughly clean the protective layer before peeling it off from the color filter layer, and the problem of damaging the normal surface when removing the cut debris by cleaning or the like is solved. That is, it is possible to realize a color filter layer repair method that can easily flatten the surface of a color filter layer or a top coat layer.

【0015】[0015]

【発明の効果】上述の如く本発明によればカラーフィル
タ層やトップコート層の表面を、容易に平坦化できるカ
ラーフィルタ層修正方法を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a color filter layer repair method that can easily flatten the surface of a color filter layer or a top coat layer.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】  本発明になるカラーフィルタ層修正方法を
示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a color filter layer repair method according to the present invention.

【図2】  本発明になるトップコート層修正方法を示
す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a top coat layer repair method according to the present invention.

【図3】  従来のカラーフィルタ層修正方法を示す模
式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a conventional color filter layer correction method.

【図4】  従来のトップコート層修正方法を示す模式
図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional top coat layer correction method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1      ガラス基板          2  
    カラーフィルタ層 3      突起                
4      切除工具5      トップコート層
      6      突起7      保護膜
層            31、61  異物32、
62  切除屑
1 Glass substrate 2
Color filter layer 3 protrusion
4 Removal tool 5 Top coat layer 6 Protrusion 7 Protective film layer 31, 61 Foreign matter 32,
62 Resection debris

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  液晶表示素子のガラス基板(1) 上
にカラーフィルタ層(2) を形成する工程において、
該カラーフィルタ層(2) に埋没または半埋没した異
物による突起(3) を除去する手段として、密着性に
優れ且つ剥離が容易な樹脂からなる保護膜層(7) を
該カラーフィルタ層(2) の上に形成して、該保護膜
層(7) と共に該カラーフィルタ層(2) の表面が
ほぼ平坦になるまで該突起(3) を切除し、残った該
保護膜層(7) を該カラーフィルタ層(2) から剥
離させることを特徴とするカラーフィルタ層修正方法。
Claim 1: In the step of forming a color filter layer (2) on a glass substrate (1) of a liquid crystal display element,
As a means for removing protrusions (3) caused by foreign matter buried or semi-buried in the color filter layer (2), a protective film layer (7) made of a resin with excellent adhesion and easy peeling is applied to the color filter layer (2). ), the protrusions (3) are removed together with the protective film layer (7) until the surface of the color filter layer (2) becomes almost flat, and the remaining protective film layer (7) is removed. A color filter layer repair method characterized by peeling off the color filter layer (2).
【請求項2】  前記カラーフィルタ層(2) の上に
更にトップコート層(5) を形成する工程において、
該トップコート層(5) に埋没または半埋没した異物
による突起(6) を除去する手段として、密着性に優
れ且つ剥離が容易な樹脂からなる保護膜層(7) を該
トップコート層(5) の上に形成して、該保護膜層(
7) と共に該トップコート層(5) の表面がほぼ平
坦になるまで該突起(6) を切除し、残った該保護膜
層(7) を該トップコート層(5) から剥離させる
ことを特徴とするカラーフィルタ層修正方法。
2. In the step of further forming a top coat layer (5) on the color filter layer (2),
As a means of removing protrusions (6) caused by foreign matter buried or semi-buried in the top coat layer (5), a protective film layer (7) made of a resin with excellent adhesion and easy peeling is applied to the top coat layer (5). ) is formed on the protective film layer (
7) At the same time, the projections (6) are removed until the surface of the top coat layer (5) becomes almost flat, and the remaining protective film layer (7) is peeled off from the top coat layer (5). A color filter layer correction method.
JP2405584A 1990-12-25 1990-12-25 Method for correcting color filter layer Pending JPH04221902A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2405584A JPH04221902A (en) 1990-12-25 1990-12-25 Method for correcting color filter layer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2405584A JPH04221902A (en) 1990-12-25 1990-12-25 Method for correcting color filter layer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04221902A true JPH04221902A (en) 1992-08-12

Family

ID=18515191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2405584A Pending JPH04221902A (en) 1990-12-25 1990-12-25 Method for correcting color filter layer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04221902A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012176566A1 (en) * 2011-06-20 2012-12-27 Ntn株式会社 Defect correction device and defect correction method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012176566A1 (en) * 2011-06-20 2012-12-27 Ntn株式会社 Defect correction device and defect correction method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2010079688A1 (en) Glass laminate and manufacturing method therefor
US5116704A (en) Barrier rib forming method of PDP
JPH04221902A (en) Method for correcting color filter layer
US20060040079A1 (en) Method of die coating with a die coater
JPH01135574A (en) Cleaning of substrate for forming vapor deposition membrane
JPH01283515A (en) Manufacture of liquid crystal display device with color filter
JPH11154734A (en) Formation of thin film capacitor
JPS6169032A (en) Production for liquid crystal display element
JP3721721B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
JPH0220046A (en) Enamel board and manufacture thereof
JP3462916B2 (en) Liquid crystal panel manufacturing method
JPH05232689A (en) Pellicle bonding method, pellicle and mask
CN110865494B (en) Liquid crystal display and preparation method thereof
JPH05289313A (en) Glass mask
JP3033632B2 (en) Method for manufacturing color filter and liquid crystal display element
JPH07333626A (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
JP3749060B2 (en) Glass substrate processing method and display device using the glass substrate
JPS58215628A (en) Forming method of orientation control film of liquid crystal display element
JP3408862B2 (en) Photomask manufacturing method
JP2002358024A (en) Display device manufacturing method and liquid crystal display device
JPS6029747A (en) Mask base plate for electronic device
JPH03206421A (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
JPH04333824A (en) Production of liquid crystal display panel
JPH0383062A (en) Device for removing transparent organic thin film of pellicle cover
JP4055854B2 (en) Manufacturing method of large pellicle membrane

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20000328