JPH04221902A - カラーフィルタ層修正方法 - Google Patents
カラーフィルタ層修正方法Info
- Publication number
- JPH04221902A JPH04221902A JP2405584A JP40558490A JPH04221902A JP H04221902 A JPH04221902 A JP H04221902A JP 2405584 A JP2405584 A JP 2405584A JP 40558490 A JP40558490 A JP 40558490A JP H04221902 A JPH04221902 A JP H04221902A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- layer
- filter layer
- protective film
- top coat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示素子の製造にお
いてガラス基板上にカラーフィルタ層を形成する工程に
係り、特にカラーフィルタ層やトップコート層の表面に
できた突起を平坦にする修正方法に関する。
いてガラス基板上にカラーフィルタ層を形成する工程に
係り、特にカラーフィルタ層やトップコート層の表面に
できた突起を平坦にする修正方法に関する。
【０００２】液晶表示素子の製造においてカラーフィル
タ層やトップコート層の表面に突起があると、その上に
形成され液晶を旋回させる透明電極間の間隔が変わって
色むら発生の原因になる。しかしカラーフィルタ層やト
ップコート層を形成する樹脂は粘性が高く、樹脂の中に
塵埃などの異物が混入するとその部分が盛り上がり突起
ができる。そこでカラーフィルタ層やトップコート層の
表面を容易に平坦化できる方法の確立が要望されている
。
タ層やトップコート層の表面に突起があると、その上に
形成され液晶を旋回させる透明電極間の間隔が変わって
色むら発生の原因になる。しかしカラーフィルタ層やト
ップコート層を形成する樹脂は粘性が高く、樹脂の中に
塵埃などの異物が混入するとその部分が盛り上がり突起
ができる。そこでカラーフィルタ層やトップコート層の
表面を容易に平坦化できる方法の確立が要望されている
。
【０００３】
【従来の技術】図３は従来のカラーフィルタ層修正方法
を示す模式図、図４は従来のトップコート層修正方法を
示す模式図である。
を示す模式図、図４は従来のトップコート層修正方法を
示す模式図である。
【０００４】カラーフィルタ層の表面にできた突起を無
くす従来の修正方法は、図３（ａ） に示す如くガラス
基板１上に形成されたカラーフィルタ層２の表面から突
出している突起３に、例えばマイクロドリルやマイクロ
カッターなどの切除工具４を位置決めし、図３（ｂ）
に示す如くカラーフィルタ層２の表面がほぼ平坦になる
まで突起３を切除する。なお、図において３１はカラー
フィルタ層２に埋没または半埋没した異物、３２は切除
屑を示す。
くす従来の修正方法は、図３（ａ） に示す如くガラス
基板１上に形成されたカラーフィルタ層２の表面から突
出している突起３に、例えばマイクロドリルやマイクロ
カッターなどの切除工具４を位置決めし、図３（ｂ）
に示す如くカラーフィルタ層２の表面がほぼ平坦になる
まで突起３を切除する。なお、図において３１はカラー
フィルタ層２に埋没または半埋没した異物、３２は切除
屑を示す。
【０００５】またトップコート層の表面にできた突起を
無くす従来の修正方法は図４（ａ） に示す如く、カラ
ーフィルタ層２上に形成されたトップコート層５の表面
から突出している突起６に切除工具４を位置決めし、図
４（ｂ） に示す如くトップコート層５の表面が平坦に
なるまで突起６を切除する。なお、図において６１はト
ップコート層５に埋没または半埋没した異物、６２は切
除屑を示す。
無くす従来の修正方法は図４（ａ） に示す如く、カラ
ーフィルタ層２上に形成されたトップコート層５の表面
から突出している突起６に切除工具４を位置決めし、図
４（ｂ） に示す如くトップコート層５の表面が平坦に
なるまで突起６を切除する。なお、図において６１はト
ップコート層５に埋没または半埋没した異物、６２は切
除屑を示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、カラーフィル
タ層２やトップコート層５の正常な面を露出した状態で
、表面から突出している突起３や６に切除工具４を位置
決めし切除する従来の方法は、切除によって生じた切除
屑３２や６２が正常な面に付着し新たな突起を発生する
原因となる。また洗浄等によって切除屑３２や６２を除
去する際に正常な面に傷を付けるという問題があった。
タ層２やトップコート層５の正常な面を露出した状態で
、表面から突出している突起３や６に切除工具４を位置
決めし切除する従来の方法は、切除によって生じた切除
屑３２や６２が正常な面に付着し新たな突起を発生する
原因となる。また洗浄等によって切除屑３２や６２を除
去する際に正常な面に傷を付けるという問題があった。
【０００７】本発明の目的はカラーフィルタ層やトップ
コート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ層
修正方法を提供することにある。
コート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ層
修正方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１は本発明になるカラ
ーフィルタ層修正方法を示す模式図である。なお全図を
通し同じ対象物は同一記号で表している。
ーフィルタ層修正方法を示す模式図である。なお全図を
通し同じ対象物は同一記号で表している。
【０００９】上記課題は液晶表示素子のガラス基板１上
にカラーフィルタ層２を形成する工程において、カラー
フィルタ層２に埋没または半埋没した異物による突起３
を除去する手段として、密着性に優れ且つ剥離が容易な
樹脂からなる保護膜層７をカラーフィルタ層２の上に形
成して、保護膜層７と共にカラーフィルタ層２の表面が
ほぼ平坦になるまで突起３を切除し、残った保護膜層７
をカラーフィルタ層２から剥離させる本発明のカラーフ
ィルタ層修正方法によって達成される。
にカラーフィルタ層２を形成する工程において、カラー
フィルタ層２に埋没または半埋没した異物による突起３
を除去する手段として、密着性に優れ且つ剥離が容易な
樹脂からなる保護膜層７をカラーフィルタ層２の上に形
成して、保護膜層７と共にカラーフィルタ層２の表面が
ほぼ平坦になるまで突起３を切除し、残った保護膜層７
をカラーフィルタ層２から剥離させる本発明のカラーフ
ィルタ層修正方法によって達成される。
【００１０】
【作用】図１において密着性に優れ且つ剥離が容易な樹
脂からなる保護膜層をカラーフィルタ層の上に形成して
、保護膜層と共にカラーフィルタ層の表面がほぼ平坦に
なるまで突起を切除し、残った保護膜層をカラーフィル
タ層から剥離させることによって、新たな突起を発生す
る原因となる切除によって生じた切除屑の正常な面への
付着が無くなる。またカラーフィルタ層から保護層を剥
離させる前に充分洗浄することが可能になり、洗浄等に
よって切除屑を除去する際に正常な面に傷を付けるとい
う問題が解決される。即ち、カラーフィルタ層やトップ
コート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ層
修正方法を実現することができる。
脂からなる保護膜層をカラーフィルタ層の上に形成して
、保護膜層と共にカラーフィルタ層の表面がほぼ平坦に
なるまで突起を切除し、残った保護膜層をカラーフィル
タ層から剥離させることによって、新たな突起を発生す
る原因となる切除によって生じた切除屑の正常な面への
付着が無くなる。またカラーフィルタ層から保護層を剥
離させる前に充分洗浄することが可能になり、洗浄等に
よって切除屑を除去する際に正常な面に傷を付けるとい
う問題が解決される。即ち、カラーフィルタ層やトップ
コート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ層
修正方法を実現することができる。
【００１１】
【実施例】以下添付図により本発明の実施例について説
明する。なお図２は本発明になるトップコート層修正方
法を示す模式図である。
明する。なお図２は本発明になるトップコート層修正方
法を示す模式図である。
【００１２】カラーフィルタ層の表面にできた突起を無
くす本発明の修正方法は、図１（ａ） に示す如くガラ
ス基板１上に形成されたカラーフィルタ層２を修正する
に際して、その上にフォトレジスト膜等の密着性に優れ
剥離が容易な樹脂からなる保護膜層７を形成し、カラー
フィルタ層２の表面から突出している突起３に切除工具
４を位置決めする。しかる後、図１（ｂ） に示す如く
保護膜層７と共にカラーフィルタ層２の表面がほぼ平坦
になるまで突起３を切除する。切除によって生じた切除
屑３２の大半は図示の如く突起３のあった位置の近傍に
付着するが、表面を充分洗浄して図１（ｃ） に示す如
く残った保護膜層７をカラーフィルタ層２から剥離させ
ることによって、カラーフィルタ層２の正常な面に傷つ
けることなく切除屑を除去することができる。
くす本発明の修正方法は、図１（ａ） に示す如くガラ
ス基板１上に形成されたカラーフィルタ層２を修正する
に際して、その上にフォトレジスト膜等の密着性に優れ
剥離が容易な樹脂からなる保護膜層７を形成し、カラー
フィルタ層２の表面から突出している突起３に切除工具
４を位置決めする。しかる後、図１（ｂ） に示す如く
保護膜層７と共にカラーフィルタ層２の表面がほぼ平坦
になるまで突起３を切除する。切除によって生じた切除
屑３２の大半は図示の如く突起３のあった位置の近傍に
付着するが、表面を充分洗浄して図１（ｃ） に示す如
く残った保護膜層７をカラーフィルタ層２から剥離させ
ることによって、カラーフィルタ層２の正常な面に傷つ
けることなく切除屑を除去することができる。
【００１３】本発明になる修正方法はトップコート層の
表面にできた突起の除去にも有効である。トップコート
層の表面にできた突起を無くす本発明の修正方法は図２
（ａ） に示す如く、カラーフィルタ層２上に形成され
たトップコート層５を修正するに際して、その上にフォ
トレジスト膜等の密着性に優れ剥離が容易な樹脂からな
る保護膜層７を形成し、トップコート層５の表面から突
出している突起６に切除工具４を位置決めする。しかる
後、図２（ｂ） に示す如く保護膜層７と共にトップコ
ート層５の表面がほぼ平坦になるまで突起６を切除する
。切除によって生じた切除屑６２の大半は図示の如く突
起６のあった位置の近傍に付着するが、表面を充分洗浄
して図２（ｃ） に示す如く残った保護膜層７をトップ
コート層５から剥離させることによって、トップコート
層５の正常な面に傷つけることなく切除屑６２を除去す
ることができる。
表面にできた突起の除去にも有効である。トップコート
層の表面にできた突起を無くす本発明の修正方法は図２
（ａ） に示す如く、カラーフィルタ層２上に形成され
たトップコート層５を修正するに際して、その上にフォ
トレジスト膜等の密着性に優れ剥離が容易な樹脂からな
る保護膜層７を形成し、トップコート層５の表面から突
出している突起６に切除工具４を位置決めする。しかる
後、図２（ｂ） に示す如く保護膜層７と共にトップコ
ート層５の表面がほぼ平坦になるまで突起６を切除する
。切除によって生じた切除屑６２の大半は図示の如く突
起６のあった位置の近傍に付着するが、表面を充分洗浄
して図２（ｃ） に示す如く残った保護膜層７をトップ
コート層５から剥離させることによって、トップコート
層５の正常な面に傷つけることなく切除屑６２を除去す
ることができる。
【００１４】このように密着性に優れ且つ剥離が容易な
樹脂からなる保護膜層をカラーフィルタ層の上に形成し
て、保護膜層と共にカラーフィルタ層の表面がほぼ平坦
になるまで突起を切除し、残った保護膜層をカラーフィ
ルタ層から剥離させることによって、新たな突起を発生
する原因となる切除によって生じた切除屑の正常な面へ
の付着が無くなる。またカラーフィルタ層から保護層を
剥離させる前に充分洗浄することが可能になり、洗浄等
によって切除屑を除去する際に正常な面に傷を付けると
いう問題が解決される。即ち、カラーフィルタ層やトッ
プコート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ
層修正方法を実現することができる。
樹脂からなる保護膜層をカラーフィルタ層の上に形成し
て、保護膜層と共にカラーフィルタ層の表面がほぼ平坦
になるまで突起を切除し、残った保護膜層をカラーフィ
ルタ層から剥離させることによって、新たな突起を発生
する原因となる切除によって生じた切除屑の正常な面へ
の付着が無くなる。またカラーフィルタ層から保護層を
剥離させる前に充分洗浄することが可能になり、洗浄等
によって切除屑を除去する際に正常な面に傷を付けると
いう問題が解決される。即ち、カラーフィルタ層やトッ
プコート層の表面を容易に平坦化できるカラーフィルタ
層修正方法を実現することができる。
【００１５】
【発明の効果】上述の如く本発明によればカラーフィル
タ層やトップコート層の表面を、容易に平坦化できるカ
ラーフィルタ層修正方法を提供することができる。
タ層やトップコート層の表面を、容易に平坦化できるカ
ラーフィルタ層修正方法を提供することができる。
【図１】 本発明になるカラーフィルタ層修正方法を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図２】 本発明になるトップコート層修正方法を示
す模式図である。
す模式図である。
【図３】 従来のカラーフィルタ層修正方法を示す模
式図である。
式図である。
【図４】 従来のトップコート層修正方法を示す模式
図である。
図である。
１ ガラス基板 ２
カラーフィルタ層 ３ 突起
４ 切除工具５ トップコート層
６ 突起７ 保護膜
層 ３１、６１ 異物３２、
６２ 切除屑
カラーフィルタ層 ３ 突起
４ 切除工具５ トップコート層
６ 突起７ 保護膜
層 ３１、６１ 異物３２、
６２ 切除屑
Claims (2)
- 【請求項１】 液晶表示素子のガラス基板（１） 上
にカラーフィルタ層（２） を形成する工程において、
該カラーフィルタ層（２） に埋没または半埋没した異
物による突起（３） を除去する手段として、密着性に
優れ且つ剥離が容易な樹脂からなる保護膜層（７） を
該カラーフィルタ層（２） の上に形成して、該保護膜
層（７） と共に該カラーフィルタ層（２） の表面が
ほぼ平坦になるまで該突起（３） を切除し、残った該
保護膜層（７） を該カラーフィルタ層（２） から剥
離させることを特徴とするカラーフィルタ層修正方法。 - 【請求項２】 前記カラーフィルタ層（２） の上に
更にトップコート層（５） を形成する工程において、
該トップコート層（５） に埋没または半埋没した異物
による突起（６） を除去する手段として、密着性に優
れ且つ剥離が容易な樹脂からなる保護膜層（７） を該
トップコート層（５） の上に形成して、該保護膜層（
７） と共に該トップコート層（５） の表面がほぼ平
坦になるまで該突起（６） を切除し、残った該保護膜
層（７） を該トップコート層（５） から剥離させる
ことを特徴とするカラーフィルタ層修正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405584A JPH04221902A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | カラーフィルタ層修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405584A JPH04221902A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | カラーフィルタ層修正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04221902A true JPH04221902A (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=18515191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2405584A Pending JPH04221902A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | カラーフィルタ層修正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04221902A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012176566A1 (ja) * | 2011-06-20 | 2012-12-27 | Ntn株式会社 | 欠陥修正装置および欠陥修正方法 |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP2405584A patent/JPH04221902A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012176566A1 (ja) * | 2011-06-20 | 2012-12-27 | Ntn株式会社 | 欠陥修正装置および欠陥修正方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000328 |