JPH04222475A - 振動波モータの支持装置 - Google Patents
振動波モータの支持装置Info
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- JPH04222475A JPH04222475A JP2405834A JP40583490A JPH04222475A JP H04222475 A JPH04222475 A JP H04222475A JP 2405834 A JP2405834 A JP 2405834A JP 40583490 A JP40583490 A JP 40583490A JP H04222475 A JPH04222475 A JP H04222475A
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、振動体に発生させた進
行性振動波により振動体と該振動体に接触した部材を相
対運動させる振動波モータに係り、詳しくは振動体を固
定部材に対し振動を防げることなく支持固定する支持装
置に関するものである。
行性振動波により振動体と該振動体に接触した部材を相
対運動させる振動波モータに係り、詳しくは振動体を固
定部材に対し振動を防げることなく支持固定する支持装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】進行性振動波を利用した振動波モータは
最近実用化されつつあり、その原理的概要は下記のよう
なものである。
最近実用化されつつあり、その原理的概要は下記のよう
なものである。
【０００３】全周長が或る長さλの整数倍であるような
弾性材料製のリング状の振動体の片面に、周方向に配列
された二群の複数個の圧電素子（以下Ａ圧電素子群、Ｂ
圧電素子群と称す）を固着したものをステータとする。 これら圧電素子は各Ａ、Ｂ群内ではλ／２のピッチにて
且つ交互に逆の伸縮性となるように配列されており、ま
た両Ａ、Ｂ群間にはλ／４の奇数倍のずれがあるように
配置されている。圧電素子の両Ａ、Ｂ群には夫々電極膜
が施されている。いずれかの一群、例えばＡ群のみに交
流電圧を印加すれば、上記振動体には、該Ａ群の各圧電
素子の中央点およびそこからλ／２おきの点が腹の位置
、また該腹の位置間の中央点が節の位置であるような曲
げ振動である面外振動の定在波［（波長λ）、以下定在
波Ａと称す］が該振動板の全周に亘って発生する。そし
て、Ｂ群のみに交流電圧を印加すれば、同様に定在波（
以下定在波Ｂと称す）が生ずるが、その腹および節の位
置は前記定在波Ａに対してλ／４ずれたものとなる。 両Ａ、Ｂ群に、周波数が同じで且つ時間的位相差がπ／
４の交流電圧を同時に印加すると、両者の定在波の合成
の結果、振動体には周方向に進行する曲げ振動の進行波
（波長λ）が発生し、このとき、厚みを有する上記振動
体の他面上の各点は一種の楕円運動をする。よって、振
動体の該他面にロータとしてリング状移動体を加圧接触
させておけば、該移動体は振動体から周方向の摩擦力を
受け、回転駆動される。その回転方向は、両Ａ、Ｂ圧電
素子群に印加する交流電圧の位相差を正負に切変えるこ
とにより、反転できる。以上がこの種の振動波モータの
原理的概要である。
弾性材料製のリング状の振動体の片面に、周方向に配列
された二群の複数個の圧電素子（以下Ａ圧電素子群、Ｂ
圧電素子群と称す）を固着したものをステータとする。 これら圧電素子は各Ａ、Ｂ群内ではλ／２のピッチにて
且つ交互に逆の伸縮性となるように配列されており、ま
た両Ａ、Ｂ群間にはλ／４の奇数倍のずれがあるように
配置されている。圧電素子の両Ａ、Ｂ群には夫々電極膜
が施されている。いずれかの一群、例えばＡ群のみに交
流電圧を印加すれば、上記振動体には、該Ａ群の各圧電
素子の中央点およびそこからλ／２おきの点が腹の位置
、また該腹の位置間の中央点が節の位置であるような曲
げ振動である面外振動の定在波［（波長λ）、以下定在
波Ａと称す］が該振動板の全周に亘って発生する。そし
て、Ｂ群のみに交流電圧を印加すれば、同様に定在波（
以下定在波Ｂと称す）が生ずるが、その腹および節の位
置は前記定在波Ａに対してλ／４ずれたものとなる。 両Ａ、Ｂ群に、周波数が同じで且つ時間的位相差がπ／
４の交流電圧を同時に印加すると、両者の定在波の合成
の結果、振動体には周方向に進行する曲げ振動の進行波
（波長λ）が発生し、このとき、厚みを有する上記振動
体の他面上の各点は一種の楕円運動をする。よって、振
動体の該他面にロータとしてリング状移動体を加圧接触
させておけば、該移動体は振動体から周方向の摩擦力を
受け、回転駆動される。その回転方向は、両Ａ、Ｂ圧電
素子群に印加する交流電圧の位相差を正負に切変えるこ
とにより、反転できる。以上がこの種の振動波モータの
原理的概要である。
【０００４】一方、進行性振動波モータの支持は、振動
体内に変位しない点、即ち振動の節がないため、振動体
の固定が難しく、振動体をフェルト等の柔軟な部材を介
して固定部材に固定している。
体内に変位しない点、即ち振動の節がないため、振動体
の固定が難しく、振動体をフェルト等の柔軟な部材を介
して固定部材に固定している。
【０００５】また、特開昭６０−９６１８３号のように
、振動体に補助振動子を設け支持する構造も提案されて
いる。
、振動体に補助振動子を設け支持する構造も提案されて
いる。
【０００６】また、特開平２−８４０７９号のように、
振動体をλ／２＋ｎλ（ｎは零を含む整数）に相当する
間隔をもった跨体で結合し、その中点で固定支持する構
造も提案されている。
振動体をλ／２＋ｎλ（ｎは零を含む整数）に相当する
間隔をもった跨体で結合し、その中点で固定支持する構
造も提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとしている課題】しかし、上記従来
のようにフェルト等を使用する支持構造では、振動体の
正確な位置決めができず、また経年変化等により振動絶
縁効果が劣化する等の欠点があるうえ、更にロータの加
圧力に対する支持はできるが、駆動力の反力を支えるこ
とはほとんどできないため、駆動反対力に対しては特開
昭６２−２１３５８５号に開示されるような別の部材を
必要とした。
のようにフェルト等を使用する支持構造では、振動体の
正確な位置決めができず、また経年変化等により振動絶
縁効果が劣化する等の欠点があるうえ、更にロータの加
圧力に対する支持はできるが、駆動力の反力を支えるこ
とはほとんどできないため、駆動反対力に対しては特開
昭６２−２１３５８５号に開示されるような別の部材を
必要とした。
【０００８】また、特開昭６０−９６１３８号に示され
るような補助振動子を用いる支持構造は、補助振動子が
、振動体の進行波の進行方向に対し直角方向に一定の長
さを必要とするため、大きな空間を占め、モータ全体の
容積が大きくなるという欠点があった。
るような補助振動子を用いる支持構造は、補助振動子が
、振動体の進行波の進行方向に対し直角方向に一定の長
さを必要とするため、大きな空間を占め、モータ全体の
容積が大きくなるという欠点があった。
【０００９】また、特開平２−８４０７９号に示される
ような、振動体をλ／２＋ｎλに相当する間隔をもった
跨体で結合し、その中点で固定支持する構造は、振動体
との結合軸が進行波によるねじれ応力を吸収するように
細長い形状や複雑な形状にする必要があった。更に、跨
体の桿部は剛体運動に近い運動をさせる必要があるが、
その場合駆動周波数が通常２０ＫＨＺ 以上と高い（可
聴域をはずす）ために、実際上、桿部の寸法が巨大なも
のとなってしまうという欠点があった。
ような、振動体をλ／２＋ｎλに相当する間隔をもった
跨体で結合し、その中点で固定支持する構造は、振動体
との結合軸が進行波によるねじれ応力を吸収するように
細長い形状や複雑な形状にする必要があった。更に、跨
体の桿部は剛体運動に近い運動をさせる必要があるが、
その場合駆動周波数が通常２０ＫＨＺ 以上と高い（可
聴域をはずす）ために、実際上、桿部の寸法が巨大なも
のとなってしまうという欠点があった。
【００１０】本発明の目的は、上記した従来の問題点を
解決し、振動体を固定部材に対して簡単な構造で大型化
することなく支持でき、しかも振動体の振動を妨げるこ
となく支持できる振動波モータの支持装置を提供するも
のである。
解決し、振動体を固定部材に対して簡単な構造で大型化
することなく支持でき、しかも振動体の振動を妨げるこ
となく支持できる振動波モータの支持装置を提供するも
のである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の目的を実現する
ための構成は、振動体に接合された電気−機械エネルギ
ー変換素子に交流電界を印加することにより、該振動体
に進行性振動波を発生させ、以て該振動体と該振動体に
加圧接触した接触部材とを相対移動させる振動波モータ
における該振動体または該接触部材を１または複数箇所
で支持する振動波モータの支持装置において、該振動体
または該接触部材に一端が結合し、進行性振動波の進行
方向に略直交する方向に延びる第１の支持部材と、該第
１の支持部材の他端部に結合し、進行性振動波の進行方
向に沿って延びて他端が固定部に結合する第２の支持部
材とを備え、該第１又は該第２の支持部材は振動波モー
タ側とのねじれ変位に追従して振動する長さに設定され
、該第２の支持部材は進行波の振幅に追従して振動する
長さに設定されていることを特徴とする。
ための構成は、振動体に接合された電気−機械エネルギ
ー変換素子に交流電界を印加することにより、該振動体
に進行性振動波を発生させ、以て該振動体と該振動体に
加圧接触した接触部材とを相対移動させる振動波モータ
における該振動体または該接触部材を１または複数箇所
で支持する振動波モータの支持装置において、該振動体
または該接触部材に一端が結合し、進行性振動波の進行
方向に略直交する方向に延びる第１の支持部材と、該第
１の支持部材の他端部に結合し、進行性振動波の進行方
向に沿って延びて他端が固定部に結合する第２の支持部
材とを備え、該第１又は該第２の支持部材は振動波モー
タ側とのねじれ変位に追従して振動する長さに設定され
、該第２の支持部材は進行波の振幅に追従して振動する
長さに設定されていることを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記した構成の振動波モータの支持装置は、第
１の支持部材が例えば結合している振動体のねじれ変位
に追従するように振動し、また第２の支持部材が振動体
の振幅に追従するように振動する。したがって、第２の
支持部材を長くしなくても、進行波の振動数に合わせて
その長さを設定でき、また片端固定の振動系とすること
によって固定部へ振動を伝えることがない。
１の支持部材が例えば結合している振動体のねじれ変位
に追従するように振動し、また第２の支持部材が振動体
の振幅に追従するように振動する。したがって、第２の
支持部材を長くしなくても、進行波の振動数に合わせて
その長さを設定でき、また片端固定の振動系とすること
によって固定部へ振動を伝えることがない。
【００１３】
【実施例】図１は本発明による振動波モータの支持装置
の第１の実施例を示す概略斜視図、図２はその詳細を示
す斜視図である。
の第１の実施例を示す概略斜視図、図２はその詳細を示
す斜視図である。
【００１４】本実施例の支持装置２０は、図２に示すよ
うに、円環形状に形成された波長λの進行波で振動する
振動体１を３箇所で支持するようにしており、振動体１
の外周部に夫々設けられている。
うに、円環形状に形成された波長λの進行波で振動する
振動体１を３箇所で支持するようにしており、振動体１
の外周部に夫々設けられている。
【００１５】振動体１は、不図示の移動体と接触する側
に複数の突起を形成することにより、例えば振動の中立
軸の位置を下げ、強い駆動力を得るようにしており、こ
れらの突起形成面と反対面に圧電素子１’が接着剤によ
り接合されている。そして、この圧電素子１’に区画さ
れて形成されている２相の圧電素子群に交流電圧を印加
することにより、振動体１に波長λの面外モードの進行
波を周方向に沿って発生させている。２は周方向から振
動体１を支持する第１の支持部材で、本実施例において
は有効長さｌ１ の棒状弾性体である。３は第２の支持
部材で、棒状の弾性体２と結合しており、進行波の進行
方向と略平行に延びた有効長さｌ２ の弾性体からなる
延出部を介して固定部４に固定されている。本実施例の
動作は、この第１及び第２の支持部材２、３の弾性変形
を利用して、進行波に悪影響を与えないよう支持するも
のである。以下、第１、第２の支持部材という表現で機
能分離して説明する。なお、原理詳細は以下で説明する
。
に複数の突起を形成することにより、例えば振動の中立
軸の位置を下げ、強い駆動力を得るようにしており、こ
れらの突起形成面と反対面に圧電素子１’が接着剤によ
り接合されている。そして、この圧電素子１’に区画さ
れて形成されている２相の圧電素子群に交流電圧を印加
することにより、振動体１に波長λの面外モードの進行
波を周方向に沿って発生させている。２は周方向から振
動体１を支持する第１の支持部材で、本実施例において
は有効長さｌ１ の棒状弾性体である。３は第２の支持
部材で、棒状の弾性体２と結合しており、進行波の進行
方向と略平行に延びた有効長さｌ２ の弾性体からなる
延出部を介して固定部４に固定されている。本実施例の
動作は、この第１及び第２の支持部材２、３の弾性変形
を利用して、進行波に悪影響を与えないよう支持するも
のである。以下、第１、第２の支持部材という表現で機
能分離して説明する。なお、原理詳細は以下で説明する
。
【００１６】このように第１、第２の支持部材が別体構
造であるよりは、一体化した方が簡単な構造になる。図
３はそれを表わす第２の実施例である。図４が支持部材
と振動体の接合を表わす断面図、図５は支持部材の平面
図である。
造であるよりは、一体化した方が簡単な構造になる。図
３はそれを表わす第２の実施例である。図４が支持部材
と振動体の接合を表わす断面図、図５は支持部材の平面
図である。
【００１７】まず、図５のように、支持部材は板材をプ
レス加工等で作成し、図中破線で示す部分を折り曲げる
事により形成される。支持部材２１は同様な円弧形状の
もの３組で構成され、ベース１１で一体的に結合される
。１３は第１の支持部材で、図２に示す第１の支持部材
２に相当し、１４は第２の支持部材で、図２に示す第２
の支持部材３に相当する。１１、１５は固定部である。 そして、台形断面の振動体１の外周部に、第１の支持部
材１３の先端部に折曲形成された支持部材結合部１２が
接合される。この接合方法は、接着又はスポット溶接、
レーザ溶接等による。
レス加工等で作成し、図中破線で示す部分を折り曲げる
事により形成される。支持部材２１は同様な円弧形状の
もの３組で構成され、ベース１１で一体的に結合される
。１３は第１の支持部材で、図２に示す第１の支持部材
２に相当し、１４は第２の支持部材で、図２に示す第２
の支持部材３に相当する。１１、１５は固定部である。 そして、台形断面の振動体１の外周部に、第１の支持部
材１３の先端部に折曲形成された支持部材結合部１２が
接合される。この接合方法は、接着又はスポット溶接、
レーザ溶接等による。
【００１８】この支持部材の進行波による振動は、断面
形状が一定で、厚さに対して長さｌが十分長いと、曲げ
の振動方程式に従う。それを両端の境界条件で解くと、
一般に次の数１に示す如く表わされるのは周知の通りで
ある。
形状が一定で、厚さに対して長さｌが十分長いと、曲げ
の振動方程式に従う。それを両端の境界条件で解くと、
一般に次の数１に示す如く表わされるのは周知の通りで
ある。
【００１９】
【数１】
【００２０】ここで、Ｅ：梁の縦弾性係数、Ｉ：梁の断
面二次モーメント、Ａ：梁の断面積、Ｐ：梁の密度、ω
：振動数（梁が各振動モードで共振する振動数）、β：
境界条件によって決まる定数である。
面二次モーメント、Ａ：梁の断面積、Ｐ：梁の密度、ω
：振動数（梁が各振動モードで共振する振動数）、β：
境界条件によって決まる定数である。
【００２１】図６は、代表的な梁の振動モードと、定数
βの関係を表わした図である。但し、この場合一端を固
定端（変位が０、たわみ角が０）とし、残りの一端の境
界条件によって、（ａ）が自由端（曲げモーメントが０
、せん断力が０）、（ｂ）が腹端（たわみ角が０、せん
断力が０）、（ｃ）が節端（変位が０、曲げモーメント
が０）である。
βの関係を表わした図である。但し、この場合一端を固
定端（変位が０、たわみ角が０）とし、残りの一端の境
界条件によって、（ａ）が自由端（曲げモーメントが０
、せん断力が０）、（ｂ）が腹端（たわみ角が０、せん
断力が０）、（ｃ）が節端（変位が０、曲げモーメント
が０）である。
【００２２】それぞれのモードの低次数から順番に（ａ
−１）、（ａ−２）、（ａ−３）…と表わしている。
−１）、（ａ−２）、（ａ−３）…と表わしている。
【００２３】図７、図８、図９は第２の支持部材１４の
振動（変位）と進行波の関係を示した図である。
振動（変位）と進行波の関係を示した図である。
【００２４】まず、図７は第２の支持部材１４が振動体
１との結合部で腹端となる場合で、図６中（ｂ−１）の
最低次モードを表わしている。振動体１の進行波は正弦
波形状の線で示しており、その代表例として０°位相（
一点鎖線３１）９０°位相（点線３２）、１８０°位相
（２点鎖線３３）、２７０°位相（破線３４）を表わし
ている。第２の支持部材の一端は固定端３９（図３乃至
図５の固定部１１又は１５に相当）として示される。
１との結合部で腹端となる場合で、図６中（ｂ−１）の
最低次モードを表わしている。振動体１の進行波は正弦
波形状の線で示しており、その代表例として０°位相（
一点鎖線３１）９０°位相（点線３２）、１８０°位相
（２点鎖線３３）、２７０°位相（破線３４）を表わし
ている。第２の支持部材の一端は固定端３９（図３乃至
図５の固定部１１又は１５に相当）として示される。
【００２５】３５−ａ、３６−ａ、３７−ａ、３８−ａ
は０°〜２７０°位相での振動体１との結合部１２を表
わし、３５−ｂ、３６−ｂ、３７−ｂ、３８−ｂは０°
〜２７０°位相での第２の支持部材１４の振動モードを
示している。図７に示すモードの場合、３６−ａ（３８
−ａ）で示す結合部が進行波３２（３４）に追従した変
形にならないので、進行波が支持部材のねじり力により
阻害される。そのためには、第１の支持部材１３のねじ
り変形で、このねじりを緩和しなければならない。つま
り第１の支持部材１３のねじり剛性を下げる必要がある
。
は０°〜２７０°位相での振動体１との結合部１２を表
わし、３５−ｂ、３６−ｂ、３７−ｂ、３８−ｂは０°
〜２７０°位相での第２の支持部材１４の振動モードを
示している。図７に示すモードの場合、３６−ａ（３８
−ａ）で示す結合部が進行波３２（３４）に追従した変
形にならないので、進行波が支持部材のねじり力により
阻害される。そのためには、第１の支持部材１３のねじ
り変形で、このねじりを緩和しなければならない。つま
り第１の支持部材１３のねじり剛性を下げる必要がある
。
【００２６】次に、図８は第２の支持部材１４が振動体
１との結合部で節端となる場合で、図６中（ｃ−１）の
最低次モードを表わしている。進行波の０°〜２７０°
位相での各部は図７と同様で、同一番号（記号）に’（
ダッシュ）記号を付けて示している。図８に示すモード
の場合、結合部では進行波のねじり力に追従する。
１との結合部で節端となる場合で、図６中（ｃ−１）の
最低次モードを表わしている。進行波の０°〜２７０°
位相での各部は図７と同様で、同一番号（記号）に’（
ダッシュ）記号を付けて示している。図８に示すモード
の場合、結合部では進行波のねじり力に追従する。
【００２７】しかし、結合部での変位が０であるために
、３１’、３２’、３３’、３４’の進行波が上下方向
に変動してしまう。従って、振動体１に加圧接触する移
動体（不図示）に上下方向の振動が加わり、接触部の滑
りによりモータ効率が低下したり、騒音の発生といった
問題が生じてくる。
、３１’、３２’、３３’、３４’の進行波が上下方向
に変動してしまう。従って、振動体１に加圧接触する移
動体（不図示）に上下方向の振動が加わり、接触部の滑
りによりモータ効率が低下したり、騒音の発生といった
問題が生じてくる。
【００２８】図９は第２の支持部材１４が振動体１との
結合部で腹端と節端の中間的な変形をする場合である。 図６中（ｂ−１）と（ｃ−１）の中間で、それぞれのモ
ードの影響度はβ（ｌ）によって決まる。上図同様、同
一番号（記号）に”（２ダッシュ）記号を付けて示して
いる。図９の場合、結合部で進行波のねじりにも、変位
にも追従でき、理想的な支持が可能となる。つまり、図
７のように第１の支持部材１３にねじり変形を発生させ
るようねじり剛性を下げさせるといった必要がなくなる
。その結果、第１の支持部材をコンパクトにする事がで
きる。
結合部で腹端と節端の中間的な変形をする場合である。 図６中（ｂ−１）と（ｃ−１）の中間で、それぞれのモ
ードの影響度はβ（ｌ）によって決まる。上図同様、同
一番号（記号）に”（２ダッシュ）記号を付けて示して
いる。図９の場合、結合部で進行波のねじりにも、変位
にも追従でき、理想的な支持が可能となる。つまり、図
７のように第１の支持部材１３にねじり変形を発生させ
るようねじり剛性を下げさせるといった必要がなくなる
。その結果、第１の支持部材をコンパクトにする事がで
きる。
【００２９】以上の例は、最低次モードで示しているが
、高次モードにおいても同様の原理が成り立つ事は明ら
かである。
、高次モードにおいても同様の原理が成り立つ事は明ら
かである。
【００３０】また、不図示の移動体と振動体とを加圧接
触させるために、主に第２の支持部材の静的弾性変形を
利用することが可能である。その場合は、以上述べた動
的弾性変形と独立にするため、静的バネ定数Ｋ０ を主
に第２の支持部材の幅ｂで調整することが望ましい。
触させるために、主に第２の支持部材の静的弾性変形を
利用することが可能である。その場合は、以上述べた動
的弾性変形と独立にするため、静的バネ定数Ｋ０ を主
に第２の支持部材の幅ｂで調整することが望ましい。
【００３１】図１０は第３の実施例の一部拡大図、図１
１が支持部材と振動体の接合を表わす断面図、図１２は
支持部材の平面図である。
１が支持部材と振動体の接合を表わす断面図、図１２は
支持部材の平面図である。
【００３２】図１２のように、支持部材は板材をプレス
加工等で作成し図中破線で示す部分を折り曲げて形成す
る。支持部材４７は同様な円弧形状のもの３組で構成さ
れ、ベース４６で一体的に結合される。４２は第１の支
持部材、４３は第２の支持部材で、４４、４６は固定部
、４４は補強用の折り曲げ部である。
加工等で作成し図中破線で示す部分を折り曲げて形成す
る。支持部材４７は同様な円弧形状のもの３組で構成さ
れ、ベース４６で一体的に結合される。４２は第１の支
持部材、４３は第２の支持部材で、４４、４６は固定部
、４４は補強用の折り曲げ部である。
【００３３】台形断面の振動体４０には、支持部材取付
り用の溝４０−ａを設けており、支持部材の結合部４１
が嵌合して接合される。
り用の溝４０−ａを設けており、支持部材の結合部４１
が嵌合して接合される。
【００３４】本実施例の場合、第１の支持部材４２はス
ラスト方向に延びた形状で、進行波の進行方向と略垂直
となる。
ラスト方向に延びた形状で、進行波の進行方向と略垂直
となる。
【００３５】以上の構成において、第２の実施例と同様
な原理でｌ１ 、ｌ２ 等の各寸法が決定される。
な原理でｌ１ 、ｌ２ 等の各寸法が決定される。
【００３６】尚以上に示した実施例においては、３組の
支持部材により振動体を支持しているがその原理で示す
ように、数、方向、その組合せは任意である。また、振
動体の支持部材との結合部は、本実施例に限らず、穴、
溝、突起、フランジ等の形状であってもよい。更に、そ
の接合位置も、振動体の外周側の中立軸近くに限らず、
内周側や非中立軸の底面（圧電素子面を含む）、突起部
、溝底面部でも同様の効果がある。
支持部材により振動体を支持しているがその原理で示す
ように、数、方向、その組合せは任意である。また、振
動体の支持部材との結合部は、本実施例に限らず、穴、
溝、突起、フランジ等の形状であってもよい。更に、そ
の接合位置も、振動体の外周側の中立軸近くに限らず、
内周側や非中立軸の底面（圧電素子面を含む）、突起部
、溝底面部でも同様の効果がある。
【００３７】また、リング形のモータに限らず、リニア
形の振動波モータでも同様である。以上の各実施例は、
振動体を支持するようにしているが、振動体に加圧接触
する不図示の移動体にも振動体の進行波が伝ぱんする。 従って、移動体と該移動体に取付けられる出力軸（不図
示）との結合部も、上記の各実施例と同様の支持構造と
する事ができる。
形の振動波モータでも同様である。以上の各実施例は、
振動体を支持するようにしているが、振動体に加圧接触
する不図示の移動体にも振動体の進行波が伝ぱんする。 従って、移動体と該移動体に取付けられる出力軸（不図
示）との結合部も、上記の各実施例と同様の支持構造と
する事ができる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、進行波の進行方向
と略垂直方向の第１の支持部材と略平行な第２の支持部
材によって、振動エネルギを損なうことなく、確実に支
持することができ、モータ効率を上げることができる。 また、支持構造が大きくならず、モータ全体をコンパク
トにできる。
と略垂直方向の第１の支持部材と略平行な第２の支持部
材によって、振動エネルギを損なうことなく、確実に支
持することができ、モータ効率を上げることができる。 また、支持構造が大きくならず、モータ全体をコンパク
トにできる。
【図１】本発明による振動波モータの支持装置の第１の
実施例を示す該略図。
実施例を示す該略図。
【図２】図１の一部拡大図。
【図３】第２の実施例の支持装置の一部拡大図。
【図４】図３の断面図。
【図５】図３の平面図。
【図６】梁の振動モードとβの関係を表わした図。
【図７】支持部材の振動（変位）と進行波の関係を示し
た図。
た図。
【図８】支持部材の振動（変位）と進行波の関係を示し
た図。
た図。
【図９】支持部材の振動（変位）と進行波の関係を示し
た図。
た図。
【図１０】第３の実施例の支持装置の一部拡大斜視図。
【図１１】図１０の断面図。
【図１２】図１０の支持部材の平面図。
【符号の説明】
１，４０：振動体
１’：圧電素子
２，１３，４２：第１の支持部材
３，１４，４３：第２の支持部材
Claims (4)
- 【請求項１】 振動体に接合された電気−機械エネル
ギー変換素子に交流電界を印加することにより、該振動
体に進行性振動波を発生させ、以て該振動体と該振動体
に加圧接触した接触部材とを相対移動させる振動波モー
タにおける該振動体または該接触部材を１または複数箇
所で支持する振動波モータの支持装置において、該振動
体または該接触部材に一端が結合し、進行性振動波の進
行方向に略直交する方向に延びる第１の支持部材と、該
第１の支持部材の他端部に結合し、進行性振動波の進行
方向に沿って延びて他端が固定部に結合する第２の支持
部材とを備え、該第１又は該第２の支持部材は振動波モ
ータ側とのねじれ変位に追従して振動する長さに設定さ
れ、該第２の支持部材は進行波の振幅に追従して振動す
る長さに設定されていることを特徴とする振動波モータ
の支持構造。 - 【請求項２】 請求項１において、振動体又は接触部
材の少なくとも一方との第１の支持部材の結合部を、進
行性振動波によって発生する振巾又はねじりに追従する
ようにしたことを特徴とする振動波モータの支持装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、第１の支持
部材と第２の支持部材を一体的に構成したことを特徴と
する振動波モータの支持装置。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３において、振動波
モータの振動体と接触部材とに加圧力を発生する主な手
段を、第２の支持部材の静的な弾性変形を利用したこと
を特徴とする振動波モータの支持装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405834A JPH04222475A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 振動波モータの支持装置 |
| DE69129327T DE69129327T2 (de) | 1990-12-25 | 1991-12-20 | Tragevorrichtung für vibrationswellenbetriebenen Motor |
| US07/810,904 US5264753A (en) | 1990-12-25 | 1991-12-20 | Supporting device for vibration wave driven motor |
| EP91311841A EP0493941B1 (en) | 1990-12-25 | 1991-12-20 | A supporting device for vibration wave driven motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405834A JPH04222475A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 振動波モータの支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04222475A true JPH04222475A (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=18515443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2405834A Pending JPH04222475A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 振動波モータの支持装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5264753A (ja) |
| EP (1) | EP0493941B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04222475A (ja) |
| DE (1) | DE69129327T2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0421374A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Canon Inc | 振動波モータ及びプリンタ |
| JPH05252764A (ja) * | 1992-03-05 | 1993-09-28 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| US5319278A (en) * | 1992-06-05 | 1994-06-07 | Nec Corporation | Longitudinal-torsional resonance ultrasonic motor with improved support structure |
| FR2695767B1 (fr) * | 1992-09-17 | 1994-10-21 | Mecanique Appliquee Lab | Moteur piézo-électrique rotatif présentant une liaison stator-boîtier améliorée. |
| DE19757528C2 (de) * | 1997-12-23 | 2000-08-10 | Bosch Gmbh Robert | Lagerung für einen Schwingungsantrieb |
| TW571505B (en) * | 2001-08-09 | 2004-01-11 | Asulab Sa | Piezoelectric motor |
| US7332029B2 (en) * | 2002-01-18 | 2008-02-19 | Neuro Probe Incorporated | Crystal forming apparatus and method for using same |
| CN106165288B (zh) * | 2014-04-02 | 2019-05-21 | Pcb电机公司 | 定子和电机 |
| JP6995660B2 (ja) * | 2018-02-15 | 2022-01-14 | キヤノン株式会社 | 振動波モータを備えた駆動装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2127184A5 (ja) * | 1971-02-26 | 1972-10-13 | Cepe | |
| CH581405A5 (ja) * | 1974-03-29 | 1976-10-29 | Suisse Horlogerie | |
| US4025806A (en) * | 1975-07-14 | 1977-05-24 | Societe Suisse Pour L'industrie Horlogere Management Services S.A. | Suspension and package for piezo-electric resonators |
| US4410827A (en) * | 1980-04-24 | 1983-10-18 | Kabushiki Kaisha Suwa Seikosha | Mode coupled notched tuning fork type quartz crystal resonator |
| JPS6096183A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-29 | Canon Inc | 振動波モータ |
| US4649311A (en) * | 1984-04-02 | 1987-03-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
| JPS62213585A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-19 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS63136983A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JP2612050B2 (ja) * | 1988-09-19 | 1997-05-21 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP2405834A patent/JPH04222475A/ja active Pending
-
1991
- 1991-12-20 EP EP91311841A patent/EP0493941B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-20 US US07/810,904 patent/US5264753A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-20 DE DE69129327T patent/DE69129327T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69129327D1 (de) | 1998-06-04 |
| DE69129327T2 (de) | 1998-09-03 |
| EP0493941B1 (en) | 1998-04-29 |
| US5264753A (en) | 1993-11-23 |
| EP0493941A1 (en) | 1992-07-08 |
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