JPS6096183A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ

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JPS6096183A
JPS6096183A JP58200371A JP20037183A JPS6096183A JP S6096183 A JPS6096183 A JP S6096183A JP 58200371 A JP58200371 A JP 58200371A JP 20037183 A JP20037183 A JP 20037183A JP S6096183 A JPS6096183 A JP S6096183A
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JP
Japan
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surface wave
ring
wave motor
vibrating body
vibrator
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JP58200371A
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JPH0510912B2 (ja
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Hitoshi Mukojima
仁 向島
Akira Hiramatsu
平松 明
Hiroyasu Murakami
村上 博泰
Makoto Katsuma
勝間 真
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Canon Inc
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Canon Inc
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は進行性表面波により駆動する沃面波モータの構
造、特に表面波モータのリング状振動体の支持構造に関
するものである。
表面波モータは1亀歪素子に周波電圧を印加したときに
生ずる振動運動を回転運動又は−次元運動に変換するも
ので、従来の電磁モータに比べて巻線を必要としないた
め、構造が簡単で小型になシ、低速回転時にも高トルク
が得られるとい5利点があり一近年注目されている。
第1図〜第2図は従来の表面波モータの駆動原理を示す
もので、第1図は上記のモータの表面波の発生状態を示
している。金属の振動体1に接着された電歪素子2a、
2bは、説明の便宜上偏動体1の上下両側に配置されて
いるが、電歪素子2a。
2bは振動体1の片側、適度にはなれた所に空間的にλ
/4の位相ずれを満足するように配置されている。
振動体1を電歪素子2a、2bの一方の電極とし)電歪
素子28には、交流電源3 a カらV−Vosin 
ωt。
電歪素子2bには90°位相器6bを通してλ/4位相
のずれたV−=Vosin (ωt±π/′2)の交流
電圧を印加する。前記式における(+) 、 (−)は
移動体5を動かす方向によって位相器3bで切換えられ
る。
いま(−)側に切換えてあり電歪素子3blCはV−V
osin(ωを一π/2)の電圧が印加されるとする0
電歪素子6aだけが単独で電圧V+−Vosinωt 
により振動した場合は同図(a)に示すような定在波に
よる振動が起り、電歪素子6bだけが単独で電圧V−V
osin(ωを一π/2)によシ振動した場合は同図(
b)に示すよ5な定在波による振動が起る。上記位相の
ずれた2つの交流電圧を同時に各々の電歪素子3a。
6bに印加すると振動波は進行性になる。(イ)は時間
t −2nπ7ん、(ロ)はt−π2々ω+2nψ、(
ハ)はt−π2ん+2nπ、ん、に)はt−3π/2ω
+2nπ2んの時のもので振動波の波面はX方向に進行
する。
このような進行性の振動数は縦波と横波を伴なっており
、第2図に示すように振動体1の頂点Aについて着目す
ると、縦振幅Uと横振幅Wで反時計方向の回転楕円運動
fしている振動体1の表面には移動体5が加圧接触して
おシ振動面の頂点にだけ接触することになるから、頂点
に於ける質点A。
AI・・−の楕円運動の縦振幅Uの成分に駆動され、移
動体1は矢印N方向に移動する。
90位相器により+90°位相をずらせば振1JJJ波
は−X方向に進行し、移動体1はN方向と逆向きに移動
する。
質点Aの頂点に於ける速度はV−2πfucfは振動周
波数)となり、移動体5の移動速度はこれに依存すると
共に、加圧接触による摩擦駆動がなされるため横振幅W
にも依存する。
即ち、移動体5の移動速rxF!、質点Aの楕円運動の
大きさに比例し、その楕円運動の大きさは電歪素子に印
加される電圧に比例する。
したがって、高回転数を得ようとすれば、高電圧を必要
と、高い起動効率を得ることは困難であった。
また振動体1はその振動をさまたげないように支持する
のが難しく、従来フェルト等の材質を介して支持されて
いる。しかし正確な位置決めが難しいとか経年変化によ
る材質の劣化等々、モータ実装に関して、問題点が少な
からずあった。
本発明は上述従来例の欠点を除去し、表面波モータの効
率の高い支持装置を提供することを目的としているもの
である。
以下図面を用いて本発明を説明する。
第6図は本発明の原理図を示すものである。
実際リング状振動子16の振動は、さまざまな振動モー
ドが発生しており、また進行波を生じている為1振動の
節点が存在しない。リング状振動子13を補助振動子1
2で支持し、該補助振動子12の振動状態をリング状振
動子16と補助振動子の接合部12aKで、腹になるよ
うに設定すれば、リング状振動子16の振動はさまたげ
られない。その場合補助振動子12のリング状振動子と
の接合端12aと反対の支持端12bでは固定端となる
図中破綜は振動状態の一例を示す。
補助振動子12の振動は、厚さに対して長さlが十分長
(、断面形状が一定とすると、次の曲げ振υ a 但し3c:梁の軸線上の座標で、支持端を原点とする。
y:中立軸より振動の変位方向の座標 E:梁の縦弾性係数 l:梁の断面二次モーメント A:梁の断面積 ρ:梁の密度 (1)式を境界条件 1)支持端12b :x−0,固定端 変位零 :y−0 たわみ角零 、q−。
dx 2)リングとの接合端 :X−ぎ、腹 たわみ角零 ・旦!−〇 ° dx ay せんWl力零 ・可、−〇 にて解くと ω:振動数 β : 2.365.5.498,8.639 (1,
2,3次の振動)梁の断面形状、材質、リング状振動子
16の共振周波数が定まると、(2)式より補助振動子
12の畏さlが決定される。
第4図に表面波モータに適応した一例を示す。
補助振動子12は4個であるが数は任意に選択できる。
上記の原理によれば、リング状振動子16に進行波を発
生させても、リング状振動子13の振動はそ・コニなわ
れない。
第5図に表面波モータに適応した他の例を示す。
補助振動子12の形状が第4図の実施例と異なるがこれ
は、表面波モータの実施形態に合わせて選択すれば良い
。図中それぞれlで示す補助振動子12の長さは(2式
によって与えられる。
第4図、第5図の図中破線はリング状振動子16゜補助
振動子12の振動状態の一例を示す。
第6図は本発明をステイルカメ2、シネカメラ−ヒテオ
カメラ等の各種カメラ類のレンズの絞りユニットに適用
したものを示している。
同図ではユニットの各要素を分解した状態を表わしてい
る。
台20の中心円筒部20aK電歪素子22と接着された
リング状振動体26、移動体である回転体24の各中心
穴部が順に適度なスキマをもってはめ込まれる。その上
に絞シ羽根25が配置され、羽根25の円孔25b1長
穴25aと台21の突起21b1回転体24の突起24
aがそれぞれ係合し、スラストベアリング26がスペー
サー27で位置決めされ、抑え板28によって抑えられ
る。
台21と抑え板28はビス29で固定される。その際リ
ング状振動子23は、リング状振動体26と一体的に設
けられた補助振動子23aの支持端25cとスペーサー
60にて、台21と適度なスキマをもって一体的に支持
され、ビス29の段部29aで正確に台21に対して位
置決めされる。
台21には円弧状の(し歯電極31aが外周に設けられ
、回転体24から突出するプラン31bと取付けられ回
転体24に設けられた突起24bによって開閉される。
回転体24はベアリング26と抑え板2日の間に鉢ある
不図示のバネによって、リング状振動子26によって適
度に圧力がかけられている。
的に設け、支持するという簡単な構造でありなが゛らリ
ング状振動子の振動状態をさまたげないで保持すること
が可能となり、さらに、材質劣化に伴う耐久性の問題も
解決することが可能となった。
また、補助振動子の一端をビス等でしっかりと固定する
ことも可能となり、リング状振動子を正確に位置決めで
き、維持も容易になる等の効果もあるO
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図祉表面波モータの原理図、第3図は本発
明の原理図、 第4図、第5図は本発明による表面波モータの概念図、 第6図は表面波モータにより駆動される絞りのユニット
図、

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)リング状振動体に複数の電歪素子を位相差的に接
    合し、又は、複数に位相差的に分極処理された電歪素子
    を接合し、該電歪素子に周波電圧を印加して、該振動体
    に進行性表面波を発生させ、その進行性表面波により、
    前記振動体に加圧接触させた移動体を摩も各駆動する表
    面波モータにおいて、Inn記動動体一体的に設けられ
    た補助振動体を備えることを特徴とする、表面波モータ
    。 (2、特許請求の範囲第(1)項記載の表面波モータに
    おいて、補助撮動体は、リング状振動体と一体的に設け
    られた、一つまたは複数の棒状振動体であることを特徴
    とする表面波モータ0
JP58200371A 1983-10-26 1983-10-26 振動波モータ Granted JPS6096183A (ja)

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JP58200371A JPS6096183A (ja) 1983-10-26 1983-10-26 振動波モータ
US06/774,166 US4634915A (en) 1983-10-26 1985-09-09 Mount for surface wave motor

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JPS6096183A true JPS6096183A (ja) 1985-05-29
JPH0510912B2 JPH0510912B2 (ja) 1993-02-12

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62147974A (ja) * 1985-12-20 1987-07-01 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 超音波モ−タ−
JPS62193569A (ja) * 1986-02-18 1987-08-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ
JPS62254667A (ja) * 1986-04-28 1987-11-06 Murata Mfg Co Ltd 円筒型圧電振動子の支持構造
US4918351A (en) * 1987-03-27 1990-04-17 Olympus Optical Co. Vibration wave motor
US5017823A (en) * 1988-09-19 1991-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driven actuator
US5066884A (en) * 1989-02-10 1991-11-19 Nikon Corporation Ultrasonic motor having high drive efficiency
US5264753A (en) * 1990-12-25 1993-11-23 Canon Kabushiki Kaisha Supporting device for vibration wave driven motor

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0662587A (ja) * 1992-08-04 1994-03-04 Nikon Corp 超音波モータ
JPS62262675A (ja) * 1986-05-09 1987-11-14 Canon Inc 振動波駆動装置
JPS63129860A (ja) * 1986-11-19 1988-06-02 Canon Inc 電磁駆動モ−タ
US5159253A (en) * 1987-02-24 1992-10-27 Canon Kabushiki Kaisha Control device for a vibration wave motor
US5140231A (en) * 1987-10-20 1992-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Drive circuit for vibratory-wave motor
JP2622128B2 (ja) * 1987-10-20 1997-06-18 キヤノン株式会社 振動波モーター装置
US4831306A (en) * 1988-05-04 1989-05-16 Micro-Pulse Research And Development Piezoelectric motor having a pivotally mounted annular shaped housing
DE69030827T2 (de) * 1989-02-14 1998-01-15 Canon Kk Vibrationswellenmotor
JP2669916B2 (ja) * 1990-02-02 1997-10-29 キヤノン株式会社 振動波モータ
JPH0421374A (ja) * 1990-05-15 1992-01-24 Canon Inc 振動波モータ及びプリンタ
US5319278A (en) * 1992-06-05 1994-06-07 Nec Corporation Longitudinal-torsional resonance ultrasonic motor with improved support structure
FR2695767B1 (fr) * 1992-09-17 1994-10-21 Mecanique Appliquee Lab Moteur piézo-électrique rotatif présentant une liaison stator-boîtier améliorée.
FR2847738B1 (fr) * 2002-11-25 2005-01-28 Sagem Moteur deux axes a plots

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5996881A (ja) * 1982-11-22 1984-06-04 Toshio Sashita 平板型超音波モータ装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH581405A5 (ja) * 1974-03-29 1976-10-29 Suisse Horlogerie
SE436675B (sv) * 1975-08-12 1985-01-14 Ki Politekhnichsky I Im 50 Let Elektrisk motor driven genom piezoelektriska krafter
US4210837A (en) * 1979-03-08 1980-07-01 Misikov Vitaly M Piezoelectrically driven torsional vibration motor
AT384912B (de) * 1982-04-16 1988-01-25 Ki Polt I Piezoelektrischer motor
AT382262B (de) * 1982-04-16 1987-02-10 Ki Polt I Piezoelektrischer motor
US4513219A (en) * 1982-11-25 1985-04-23 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5996881A (ja) * 1982-11-22 1984-06-04 Toshio Sashita 平板型超音波モータ装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62147974A (ja) * 1985-12-20 1987-07-01 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 超音波モ−タ−
JPS62193569A (ja) * 1986-02-18 1987-08-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ
JPS62254667A (ja) * 1986-04-28 1987-11-06 Murata Mfg Co Ltd 円筒型圧電振動子の支持構造
US4918351A (en) * 1987-03-27 1990-04-17 Olympus Optical Co. Vibration wave motor
US5017823A (en) * 1988-09-19 1991-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driven actuator
US5066884A (en) * 1989-02-10 1991-11-19 Nikon Corporation Ultrasonic motor having high drive efficiency
US5264753A (en) * 1990-12-25 1993-11-23 Canon Kabushiki Kaisha Supporting device for vibration wave driven motor

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Publication number Publication date
US4634915A (en) 1987-01-06
JPH0510912B2 (ja) 1993-02-12

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