JPH04223400A - Ｉｃデバイスの移し替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣデバイス（集積回
路素子）を傾斜シュートから受け取って、水平状態に受
け渡たり、また水平状態で受け取って、傾斜シュートに
受け渡したりするためのＩＣデバイスの移し替え装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣデバイスの電気的特性を試験，測定
したり、外観検査を行ったりするためのテスト装置は、
テストの対象となるＩＣデバイスを供給するローダ部と
、テスト機構部と、テスト結果に基づいてＩＣデバイス
を分類分けして収納するアンローダ部とから大略構成さ
れる。テスト機構部は、試験，検査を行うテスト手段と
、ＩＣデバイスをこのテスト手段に装架したり、取り出
したりするデバイスハンドリング手段とから構成される
。

【０００３】ここで、テストすべきＩＣデバイスをこの
テスト装置に搬入したり、テスト済みのＩＣデバイスを
搬出したりする作業の効率化を図るために、ＩＣデバイ
スの収納用治具としてマガジンが広く用いられている。 このマガジンは多数のデバイスを１列に整列させて収納
するスティック状の部材からなり、デバイスの取り出し
及び収納は、その一端側における開口部から行うように
なっている。従って、デバイスを収納したマガジンをロ
ーダ部に設置すると共に、空のマガジンをアンローダ部
に設置しておき、ローダ部のマガジンからデバイスを１
個ずつ分離して取り出して、テスト機構部に送り込んで
所定のテストを行った後に、アンローダ部に設置されて
いるマガジンに再収納させるようにしている。

【０００４】マガジンにおけるデバイスの挿脱動作を、
プッシャその他の強制的な送り手段を用いて行うと、構
造が複雑になることから、デバイスの自重滑走により行
うように構成するのが一般的である。例えば、ローダ部
にはデバイスを滑走させるために、所定角度傾斜させて
設けた傾斜シュートを設置すると共に、マガジン傾動機
構を設け、このマガジン傾動機構によってマガジンを水
平状態から傾斜シュートと同じ角度傾斜させて、この傾
斜に沿ってデバイスを自重で滑走させるようにしてテス
ト機構部に搬入するようにしている。また、テスト終了
後のデバイスを傾斜状態に設けたアンローダ部に送り込
まれることになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ここで、テスト機構部
において、デバイスをこの傾斜シュートと同じ角度で傾
斜した状態でテストが行われる場合においては、この滑
走途中でデバイスを所定の位置に位置決めして、テスト
手段に装架すればよい。然るに、デバイスの位置決めの
容易さ，正確さを図るためには、デバイスは水平な状態
で位置決めするのが好ましい。また、テストの種類によ
っては、デバイスを水平状態にしてテスト手段に装架す
る方が検査精度等の観点から好ましい場合がある。傾斜
シュートにおいては、デバイスをガイドしたり、搬送経
路から逸脱しないように保持するために、滑走路の上部
にルーフ部を設けて、このルーフ部にデバイスのパッケ
ージ部をガイドする機構を設ける必要がある。このため
に、デバイスの上部が覆われら状態となることから、た
とえ傾斜シュートからデバイスを受けて傾斜状態から水
平状態に姿勢を変換して移し替えを行うにしても、水平
状態にした後において、デバイスを取り出す機構が複雑
になる等の欠点がある。

【０００６】本発明は叙上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、ＩＣデバイスを傾斜
状態から水平状態に変位させたときにおいて、デバイス
を容易に取り出すことができるようにしたＩＣデバイス
の移し替え装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、ＩＣデバイスの滑走用のシュートに
接続可能なＩＣデバイスの滑走面の左右に側壁を設けて
なるベース部材と、該ベース部材の側壁に開閉可能に連
結したルーフ部材とによってデバイス収容部を形成し、
その一端側にＩＣデバイス出し入れ部を備えたオリエン
タ部材を有し、このオリエンタ部材を回動軸に装着する
ことにより所定角度傾斜する状態と、水平な状態との間
に俯仰動作可能となし、前記ルーフ部材には、前記ベー
ス部材を施蓋する方向に付勢手段を作用させると共に、
前記ルーフ部材に前記ベース部材の側壁への連結部の反
対側に向けて延在部を連設して、該延在部に俯仰駆動手
段を連結し、該俯仰駆動手段に前記オリエンタ部材の俯
仰角度と前記ルーフ部材の開閉角度に相当する分の変位
ストロークを持たせる構成としたことをその特徴とする
ものである。

【０００８】

【作用】このような構成を採用することによって、オリ
エンタ部材を傾斜状態とすることにより、傾斜シュート
に沿って自重で滑走するＩＣデバイスをこのオリエンタ
部材におけるデバイス収容部に収容させて、俯仰駆動手
段を作動させることによって水平状態に変位させること
ができる。ここで、この俯仰動作の当初においては、ま
ずベース部とルーフ部とが同時に下降することになる。 そして、ベース部が水平な状態になった後に、さらに俯
仰駆動手段を作動させ続けることによって、ルーフ部が
回動してベース部の上部が開放せしめられる。これによ
って、傾斜シュートにより傾斜した状態で搬送されるデ
バイスを水平状態に変位させて、その移し替えを行うこ
とができる。また、オリエンタ部材を水平状態に保持し
ておき、このオリエンタ部材内にデバイスを収容させて
、該オリエンタ部材を俯仰動作させれば、傾斜シュート
に送り込むこともできる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１０】まず、図１において、１は傾斜シュート、
１０はデバイスの移し替え装置であって、該傾斜シュー
ト１には、例えば、図２に示したように、ＤＩＰ型のＩ
ＣデバイスＤがマガジンＭから自重滑走によって搬入さ
れるようになっている。そして、この傾斜シュート１に
は、最先端のデバイスＤに係合する第１の係止ピン２と
、次位のデバイスＤに係合する第２の係止ピン３とから
なるデバイス個別分離手段が設けられており、これら各
係止ピン２，３はそれぞれシリンダ４，５によって駆動
せしめられる構成となっている。従って、まず係止ピン
２を作動状態、即ちデバイスＤを停止させる状態に保持
し、係止ピン３を退避状態、即ちデバイスＤを通過させ
ることができる状態として、この傾斜シュート１内にデ
バイスＤを供給して、その最先端のデバイスＤを係止ピ
ン２の作用によって停止させる。そこで、係止ピン３を
作動させて、２番目のデバイスＤを係止して、係止ピン
２を開放すると、デバイスＤは１個分離されて、この傾
斜シュート１から送り出される。然る後に、係止ピン２
を作動状態にして、係止ピン３を退避状態にすると、次
位のデバイスが最先端の位置に移行することになる。

【００１１】このようにして傾斜シュート１の出口部分
においては、デバイスＤが１個ずつ分離されて送り出さ
れるが、このようにして送り出されたデバイスＤは、移
し替え装置１０に移行する。この移し替え装置１０は、
図３乃至図５からも明らかなように、ベース部材１１と
、ルーフ部材１２とからなるオリエンタ部材１３を有す
る。ベース部材１１は底壁１１ａと、該底壁１１ａの左
右に立設した側壁１１ｂ，１１ｃと、この側壁１１ｂ，
１１ｃ間に形成した突条からなる滑走部１１ｄとから構
成される。ルーフ部材１２は、側壁１１ｂ，１１ｃ上を
覆うことによって、これとベース部材１１との間にデバ
イスＤを受け入れるデバイス収容部１３ａが形成される
と共に、デバイスＤのパッケージ部Ｐの左右の肩部をガ
イドするガイド壁１２ａ，１２ａが形設されている。ま
た、このデバイス収容部１３ａ内にデバイスＤが収容さ
れたときに、このデバイスＤを所定の位置に位置決めす
るために、ベース部材１１の滑走部１１ｄにはデバイス
Ｄに当接するストッパピン１４が突設されている。

【００１２】ここで、ルーフ部材１２はベース部材１１
に開閉自在に装着されている。このために、ベース部材
１１における側壁１１ｂには、軸装着部１５が延在せし
められると共に、ルーフ部材１２にはベース部材１１上
を覆う本体部分からの延在部１２ｂが形成されており、
この延在部１２ｂには、軸装着部１６が設けられて、こ
れらベース部材１１及びルーフ部材１２の軸装着部１５
，１６間には軸１７が挿通されている。これによって、
ルーフ部材１２は軸１７を中心として回動動作可能とな
っている。また、オリエンタ部材１３は、傾斜シュート
１と接続して、デバイスＤを受け取る傾斜状態と、水平
な状態との間に俯仰動作可能となっている。即ち、ベー
ス部材１１の側壁１１ｃの外面には、回動軸１８が取り
付けられており、該回動軸１８は、基台１９に装着した
軸受部材２０に回動自在に支持されている。そして、オ
リエンタ部材１３を水平状態に安定的に保持するために
、基台１９上には、スペーサ２１が設けられている。

【００１３】オリエンタ部材１３を俯仰動作させるため
に、俯仰駆動手段としてのシリンダ２２が設けられてい
る。このシリンダ２２のピストンロッド２２ａは、ルー
フ部材１２の延在部１２ａに枢支されている。また、ベ
ース部材１１とルーフ部材１２との間には、常時ルーフ
部材１２をベース部材１１上を施蓋する状態に付勢する
ばね２３が設けられている。

【００１４】而して、シリンダ２２を作動させることに
よって、オリエンタ部材１３を俯仰動作させるようにな
っているが、このシリンダ２２のストロークは、単にオ
リエンタ部材１３を水平状態と傾斜状態との間で俯仰変
位させるだけでなく、傾斜状態から水平状態に変位した
後に、ばね２３の付勢力に抗してルーフ部材１２を回動
させて、該ルーフ部材１２をほぼ鉛直状態に変位させる
ことができるストロークを有するものである。また、オ
リエンタ部材１３が水平状態に変位したときに、そのデ
バイス収容部１３ａ内に位置するデバイスＤを位置決め
するために、基台１９には位置決め部材２４が突設され
ており、ベース部材１１には、その滑走部１１ｄを形設
した位置に、この位置決め部材２４を挿通させる透孔２
５が開設されている。

【００１５】本実施例は前述のように構成されるもので
あって、次にその作用について説明する。

【００１６】まず、マガジンＭを傾斜させることによっ
て、傾斜シュート１に接続して、このマガジンＭ内に収
納したデバイスＤを傾斜シュート１に向けて送り込む。 このときにおいては、シリンダ２２を伸長させることに
よって、オリエンタ部材１３をこの傾斜シュート１に連
なる傾斜状態に保持する。このときにおいては、オリエ
ンタ部材１３のルーフ部材１２はばね２３の作用によっ
てベース部材１１の上部を覆う閉鎖状態に保持されてい
る。そこで、この傾斜シュート１に設けた一対のストッ
パピン２，３からなるデバイスの個別分離機構を働かせ
て、傾斜シュート１内に送り込まれたデバイスＤを１個
分離してオリエンタ部材１３内に収容させる。これによ
り、オリエンタ部材１３内に入り込んだデバイスＤは、
その滑走部１１ｄに沿って滑走して、ストッパピン１４
に当接する位置で停止する。この状態で、シリンダ２２
を縮小させると、まずオリエンタ部材１３全体がその回
動軸１６を中心として下方に回動して、このオリエンタ
部材１３が水平状態に変位する。これによって、ベース
部材１１はスペーサ２１に当接することになり、このベ
ース部材１１は当該位置で回動が停止する。しかも、こ
のオリエンタ部材１３の回動動作の途中位置において、
位置決め部材２４がベース部材１１の滑走部１１ｄに設
けた透孔２５から滑走面上に突出せしめられることにな
るので、該オリエンタ部材１３が水平状態になったとき
に、この位置決め部材２４とストッパピン１４との間に
おいてデバイスＤの位置決めが行われる。

【００１７】然るに、このようにベース部材１１がスペ
ーサ２１に当接した後においても、シリンダ２２の縮小
はさらに継続することになるから、このベース部材１１
が水平状態で停止した後には、ルーフ部材１２が、それ
とベース部材１１との間の連結部分を中心としてばね２
３の付勢力に抗して回動する。そして、このシリンダ２
２がストローク端位置まで変位すると、ルーフ部材２２
はほぼ鉛直な状態となり、ベース部材１１の上部が開放
される。この結果、該ベース部材１１内に収容されてい
るデバイスＤを、そのパッケージ部Ｐの上面を真空吸着
する等、適宜のピックアンドプレイス手段で取り出して
、検査，測定機構部等の所望の部位に移し替えることが
できるようになる。しかも、このデバイスＤの取り出し
時においては、該デバイスＤは水平な状態で、しかもほ
ぼ正確に位置決めされた状態となっているので、ピック
アンドプレイス手段によってデバイスＤを取り出して、
検査，測定等を行う機構部その他所定の位置に移載する
のに便利である。

【００１８】これによって、オリエンタ部材１３におけ
るデバイスＤの傾斜シュート１からの受け取りから俯仰
動作が終了して、このオリエンタ部材１３が確実に水平
な状態となるまでは、ルーフ部材１２によってデバイス
収容部１３ａの上部を覆った状態に保持されるので、こ
のデバイスＤの受け入れ時及び俯仰動作時において、デ
バイスＤがこのオリエンタ部材１３から脱落する等の不
都合を確実に防止することができる。しかも、１本のシ
リンダ２２によって、オリエンタ部材１３の俯仰動作と
ルーフ部材１２の開閉動作とを行わせるようにしている
ので、このオリエンタ部材１３を作動させる機構の構成
が著しく簡単になる。

【００１９】前述とは反対に、この移し替え装置１０を
用いれば、第６図に示したように、水平状態において検
査，測定等所定の操作を行った後のデバイスＤを受け取
って、傾斜シュート３０に送り込むことも可能である。 この場合においては、シリンダ２２を作動させることに
よるオリエンタ部材１３の俯仰動作としては、水平状態
から下方に傾斜する状態に変位させるように構成する。 また、この水平状態において正確に位置決めするために
は、ベース部材１１の上面に当接する適宜の規制部材３
１を設けるようにすればよい。そして、俯仰動作用のシ
リンダ（図示せず）を伸長させて、ベース部材１１をこ
の規制部材３０に当接させることにより水平状態に保持
するようになし、しかもこのシリンダの伸長ストローク
をこの位置よりさらに大きく取ることによって、ルーフ
部材１２を軸１７を中心として回動させて、デバイス収
容部１３ａの上部を開放して、デバイスＤを、そのパッ
ケージ部Ｐがベース部材１１の滑走部１１ｄに当接する
ようにして設置する。そこで、シリンダを縮小させると
、まずベース部材１１とルーフ部材１２との間に作用す
るばね２３の付勢力によって、両部材１１，１２が軸１
７を中心として相対回動してルーフ部材１２がベース部
材１１上に当接してデバイス収容部１３ａが施蓋される
ことになる。そして、シリンダがなおも縮小すると、オ
リエンタ部材１３全体が回動軸１８を中心として、下方
に回動することになって、このシリンダのストローク端
位置においては、このオリエンタ部材１３は所定の角度
に傾斜せしめられることになる。

【００２０】ここで、このようにデバイスＤを水平状態
で受け取って、下方に傾斜させて、傾斜シュート３０に
送り込む場合には、位置決め部材２４及び透孔２５は設
けず、これに代えて係止ピン３２をベース部材１１（ま
たはルーフ部材１２）に設けておき、この係止ピン３２
をシリンダ等のピン駆動手段３３によってデバイスＤの
滑走部１１ｄに臨む位置と、それから退避する位置とに
変位可能に設置する。そして、この係止ピン３２を少な
くとも俯仰動作が行われている間は滑走部１１ｄ上に突
出させておくことによって、デバイス収容部１３ａ内の
デバイスＤが脱落しないように保持する。そして、オリ
エンタ部材１３が傾斜シュート３０に接続される状態と
なったときに、係止ピンを退避位置に変位させることに
よって、このオリエンタ部材１３内のデバイスＤを傾斜
シュート３０に送り込むことができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ベース
部材と、このベース部材上に開閉可能に設けたルーフ部
材とを有し、このルーフ部材にベース部材を施蓋する方
向に付勢手段を作用させると共に、ベース部材の側壁へ
の連結部の反対側に向けて延在部を連設して、該延在部
に俯仰駆動手段を連結し、この俯仰駆動手段にオリエン
タ部材の俯仰角度と前記ルーフ部材の開閉角度に相当す
る分の変位ストロークを持たせるように構成したので、
ＩＣデバイスを傾斜状態から水平状態に姿勢を変換し、
または水平状態から傾斜状態にして移し替えを行うこと
ができるようになり、しかもこの傾斜状態と水平状態と
の間に変位させる機構にルーフ部材の開閉を行う機能を
持たせるようにしているので、単一の駆動手段によって
、オリエンタ部材の俯仰動作とルーフ部材の開閉動作と
を行わせることができることになり、この駆動手段の構
成を著しく簡略化することができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＩＣデバイスの移し替え装置の全体構成図であ
る。

【図２】ＩＣデバイスとマガジンとを示す外観図である
。

【図３】ＩＣデバイスの移し替え装置を構成するベース
部材とルーフ部材との分解斜視図である。

【図４】第１図の平面図である。

【図５】第４図の側面図である。

【図６】ＩＣデバイスの移し替え装置を、ＩＣデバイス
の水平状態から傾斜状態に変位させる場合として用いた
ものを示す構成説明図である。

【符号の説明】

１　　　　傾斜シュート １０　　　　移し替え装置 １１　　　　ベース部材 １２　　　　ルーフ部材 １３　　　　オリエンタ部材 １３ａ　　デバイス収容部 １７　　　　軸 １８　　　　回動軸 ２２　　　　シリンダ ２３　　　　ばね

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ＩＣデバイスの滑走用のシュートに接
   続可能なＩＣデバイスの滑走面の左右に側壁を設けてな
   るベース部材と、該ベース部材の側壁に開閉可能に連結
   したルーフ部材とによってデバイス収容部を形成し、そ
   の一端側にＩＣデバイス出し入れ部を備えたオリエンタ
   部材を有し、このオリエンタ部材を回動軸に装着するこ
   とにより所定角度傾斜する状態と、水平な状態との間に
   俯仰動作可能となし、前記ルーフ部材には、前記ベース
   部材を施蓋する方向に付勢手段を作用させると共に、前
   記ルーフ部材に前記ベース部材の側壁への連結部の反対
   側に向けて延在部を連設して、該延在部に俯仰駆動手段
   を連結し、該俯仰駆動手段に前記オリエンタ部材の俯仰
   角度と前記ルーフ部材の開閉角度に相当する分の変位ス
   トロークを持たせる構成としたことを特徴とするＩＣデ
   バイスの移し替え装置。