JPH04225134A - 光部品反射点測定方法および装置 - Google Patents
光部品反射点測定方法および装置Info
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- JPH04225134A JPH04225134A JP2408079A JP40807990A JPH04225134A JP H04225134 A JPH04225134 A JP H04225134A JP 2408079 A JP2408079 A JP 2408079A JP 40807990 A JP40807990 A JP 40807990A JP H04225134 A JPH04225134 A JP H04225134A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信用の光部品中の
反射点の位置および反射率の測定に用いられる光部品反
射点測定方法および装置に関する。
反射点の位置および反射率の測定に用いられる光部品反
射点測定方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光部品反射点測定装置の構成の一
例を図５および図６に示す。
例を図５および図６に示す。
【０００３】図５において、１はインコヒーレント光源
、２はビームスプリッタ、１１は可動平面ミラー、１３
は光検出器、１５は増幅器、１７は周波数フィルタ、１
８は光検出器出力モニタ、１９は光部品である。
、２はビームスプリッタ、１１は可動平面ミラー、１３
は光検出器、１５は増幅器、１７は周波数フィルタ、１
８は光検出器出力モニタ、１９は光部品である。
【０００４】インコヒーレント光源１は図中矢印Ａで示
す可動平面ミラー１１の移動方向の延長線上に配置され
ている。このインコヒーレント光源１と可動平面ミラー
１１との間にはビームスプリッタ２が配置されている。 このビームスプリッタ２を挾んで測定対象となる光部品
１９と光検出器１３とが対向して配置されている。この
光検出器１３からの検出出力を、増幅器１５を介して周
波数フィルタ１７に供給し、そのフィルタ出力を光検出
器出力モニタ１８に供給している。
す可動平面ミラー１１の移動方向の延長線上に配置され
ている。このインコヒーレント光源１と可動平面ミラー
１１との間にはビームスプリッタ２が配置されている。 このビームスプリッタ２を挾んで測定対象となる光部品
１９と光検出器１３とが対向して配置されている。この
光検出器１３からの検出出力を、増幅器１５を介して周
波数フィルタ１７に供給し、そのフィルタ出力を光検出
器出力モニタ１８に供給している。
【０００５】中心波長λのインコヒーレント光源１から
の出射光はビームスプリッタ２で分岐され、その一方は
測定光として光部品１９に照射され、他方は参照光とし
て可動平面ミラ−１１に照射される。光部品１９からの
反射光と参照光とは、再び上述のビームスプリッタ２で
結合され、この結合光は光検出器１３によりその結合光
強度が検出され、この検出信号は増幅器１５により増幅
される。干渉信号は可動ミラー速度ｖに対して周波数ｆ
＝２ｖ／λの交流信号となる。
の出射光はビームスプリッタ２で分岐され、その一方は
測定光として光部品１９に照射され、他方は参照光とし
て可動平面ミラ−１１に照射される。光部品１９からの
反射光と参照光とは、再び上述のビームスプリッタ２で
結合され、この結合光は光検出器１３によりその結合光
強度が検出され、この検出信号は増幅器１５により増幅
される。干渉信号は可動ミラー速度ｖに対して周波数ｆ
＝２ｖ／λの交流信号となる。
【０００６】そこで、検出信号からは周波数フィルタ１
７により周波数ｆ成分が抽出され、出力モニタ１８によ
り抽出信号の電力もしくは電圧振幅の２乗値が測定され
る。この測定値は、分岐点から可動ミラー１１までの光
学的距離に等しい光学的距離だけ分岐点から離れている
光部品中の位置における反射率に比例する。
７により周波数ｆ成分が抽出され、出力モニタ１８によ
り抽出信号の電力もしくは電圧振幅の２乗値が測定され
る。この測定値は、分岐点から可動ミラー１１までの光
学的距離に等しい光学的距離だけ分岐点から離れている
光部品中の位置における反射率に比例する。
【０００７】例えば、図６に示す散乱点ｃを光導波部に
有する光部品１９を測定した場合、横軸を可動ミラー５
の位置（＝ミラー速度×時間）とし、そのときの出力電
圧Ｖを縦軸にプロットすると図７に示すように入射端ａ
，出射端ｂおよび散乱点ｃにおいて周波数ｆで振動する
波形が得られる。出力電圧Ｖのピーク値Ｖｍａｘは可動
ミラー５および光部品１９への入射光の複素振幅Ｅｍｉ
ｒｒｏｒ，Ｅｓａｍｐｌｅおよび光部品１９中の各点の
反射係数ｒを用いてＶｍａｘ＝ｃ｜Ｅｍｉｒｒｏｒ・ｒ
Ｅｓａｍｐｌｅ＊ ｜と表される。ここでｃは比例係数
、Ｅｓａｍｐｌｅ＊ はＥｓａｍｐｌｅの複素共役であ
る。各点における反射率Ｒはｒ２ に比例するので、レ
ベル測定器で測定した出力の電力の値か、測定した出力
電圧を２乗した値を縦軸に、横軸を可動ミラーの位置と
してプロットすることにより図８に示す結果が得られる
。 ここで縦軸を対数表示とし、反射率が既知である反射物
の測定値から校正してある。この波形から反射点位置と
反射率が測定される。
有する光部品１９を測定した場合、横軸を可動ミラー５
の位置（＝ミラー速度×時間）とし、そのときの出力電
圧Ｖを縦軸にプロットすると図７に示すように入射端ａ
，出射端ｂおよび散乱点ｃにおいて周波数ｆで振動する
波形が得られる。出力電圧Ｖのピーク値Ｖｍａｘは可動
ミラー５および光部品１９への入射光の複素振幅Ｅｍｉ
ｒｒｏｒ，Ｅｓａｍｐｌｅおよび光部品１９中の各点の
反射係数ｒを用いてＶｍａｘ＝ｃ｜Ｅｍｉｒｒｏｒ・ｒ
Ｅｓａｍｐｌｅ＊ ｜と表される。ここでｃは比例係数
、Ｅｓａｍｐｌｅ＊ はＥｓａｍｐｌｅの複素共役であ
る。各点における反射率Ｒはｒ２ に比例するので、レ
ベル測定器で測定した出力の電力の値か、測定した出力
電圧を２乗した値を縦軸に、横軸を可動ミラーの位置と
してプロットすることにより図８に示す結果が得られる
。 ここで縦軸を対数表示とし、反射率が既知である反射物
の測定値から校正してある。この波形から反射点位置と
反射率が測定される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光部品反射点測定装置では、光源からの光強度雑音のた
めに反射率の測定限界が−１００ｄＢとなり、光部品診
断のための要求感度を満たしていなかった。
光部品反射点測定装置では、光源からの光強度雑音のた
めに反射率の測定限界が−１００ｄＢとなり、光部品診
断のための要求感度を満たしていなかった。
【０００９】本発明の目的は、上記の技術的課題を解決
し、光部品中の−１００ｄＢ以下の低反射率の反射点測
定が可能な高感度の光部品反射点測定装置を提供するこ
とにある。
し、光部品中の−１００ｄＢ以下の低反射率の反射点測
定が可能な高感度の光部品反射点測定装置を提供するこ
とにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、インコヒーレント光源からのイン
コヒーレント光を分岐し、その一方を光部品に照射して
得た反射光を測定光とし、他方のインコヒーレント光を
参照光とし、前記参照光および前記測定光の少くとも一
方の光路長を相対的に変化させながら前記参照光と前記
測定光とを相互に干渉させて２つの干渉光を得、当該２
つの干渉光の光強度をそれぞれ個別に検出し、得られた
２つの検出出力の差分を求めることを特徴とする。
るために、本発明は、インコヒーレント光源からのイン
コヒーレント光を分岐し、その一方を光部品に照射して
得た反射光を測定光とし、他方のインコヒーレント光を
参照光とし、前記参照光および前記測定光の少くとも一
方の光路長を相対的に変化させながら前記参照光と前記
測定光とを相互に干渉させて２つの干渉光を得、当該２
つの干渉光の光強度をそれぞれ個別に検出し、得られた
２つの検出出力の差分を求めることを特徴とする。
【００１１】また、本発明は、インコヒーレント光源と
、該インコヒーレント光源からのインコヒーレント光を
分岐し、一方のインコヒーレント光を光部品に照射して
、その反射光を反射点測定光とし、他方のインコヒーレ
ント光を参照光とし、該参照光および前記反射点測定光
の少なくとも一方の光路長を相対的に変えることができ
るようにして、前記参照光と前記反射点測定光とを干渉
させて２つの干渉光を出力する干渉計と、前記２つの干
渉光の光強度を個別に検出する光強度検出手段と、該光
強度検出手段から得られた光強度出力の差分を出力する
手段とを備えたことを特徴とする。
、該インコヒーレント光源からのインコヒーレント光を
分岐し、一方のインコヒーレント光を光部品に照射して
、その反射光を反射点測定光とし、他方のインコヒーレ
ント光を参照光とし、該参照光および前記反射点測定光
の少なくとも一方の光路長を相対的に変えることができ
るようにして、前記参照光と前記反射点測定光とを干渉
させて２つの干渉光を出力する干渉計と、前記２つの干
渉光の光強度を個別に検出する光強度検出手段と、該光
強度検出手段から得られた光強度出力の差分を出力する
手段とを備えたことを特徴とする。
【００１２】さらに、本発明は、インコヒーレント光源
と、該インコヒーレント光源からのインコヒーレント光
を分岐し、一方のインコヒーレント光を光部品に照射し
て、その反射光を反射点測定光とし、他方のインコヒー
レント光を可動ミラーに照射して、その反射光を参照光
とし、該参照光と前記反射点測定光をビームスプリッタ
において干渉させて該ビームスプリッタから２つの干渉
光を出力する干渉計と、前記２つの干渉光の光強度を個
別に検出する光強度検出手段と、該光強度検出手段から
得られた光強度出力の差分を出力する手段とを備えたこ
とを特徴とする。
と、該インコヒーレント光源からのインコヒーレント光
を分岐し、一方のインコヒーレント光を光部品に照射し
て、その反射光を反射点測定光とし、他方のインコヒー
レント光を可動ミラーに照射して、その反射光を参照光
とし、該参照光と前記反射点測定光をビームスプリッタ
において干渉させて該ビームスプリッタから２つの干渉
光を出力する干渉計と、前記２つの干渉光の光強度を個
別に検出する光強度検出手段と、該光強度検出手段から
得られた光強度出力の差分を出力する手段とを備えたこ
とを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明においては、光部品からの反射光と参照
光とを結合して得られる２つの結合光、すなわち干渉光
間で、光の位相が１８０°反転するので、得られる干渉
信号の位相も１８０°反転するのに対し、光強度雑音は
反転せず、同位相のままである。したがって、２つの干
渉光の光強度から求めた差分信号においては、干渉信号
は２倍されるのに対して光強度雑音はほぼ除去され、信
号／雑音比（Ｓ／Ｎ）が約２０ｄＢ向上する。
光とを結合して得られる２つの結合光、すなわち干渉光
間で、光の位相が１８０°反転するので、得られる干渉
信号の位相も１８０°反転するのに対し、光強度雑音は
反転せず、同位相のままである。したがって、２つの干
渉光の光強度から求めた差分信号においては、干渉信号
は２倍されるのに対して光強度雑音はほぼ除去され、信
号／雑音比（Ｓ／Ｎ）が約２０ｄＢ向上する。
【００１４】すなわち、本発明によれば、光部品からの
反射光と参照光とを結合して得られる２つの結合光の光
強度をそれぞれ検出し、これら２つの検出出力の差分を
出力するようにしたので、２つの検出出力間で逆位相の
干渉信号を強調し、同位相の光強度雑音成分を除去する
ことができ、これにより、−１００ｄＢ以下のように低
反射率の反射点について、反射点の位置および反射率の
測定が可能となる。
反射光と参照光とを結合して得られる２つの結合光の光
強度をそれぞれ検出し、これら２つの検出出力の差分を
出力するようにしたので、２つの検出出力間で逆位相の
干渉信号を強調し、同位相の光強度雑音成分を除去する
ことができ、これにより、−１００ｄＢ以下のように低
反射率の反射点について、反射点の位置および反射率の
測定が可能となる。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１６】図１は本発明の一実施例を示す。
【００１７】図１において、１はインコヒーレント光源
、２および４はビームスプリッタ、５は可動くさび型ミ
ラー、６は固定くさび型ミラー、７は固定平面ミラー、
１２および１３は光強度検出手段としての光検出器、１
６は差動増幅器、１７は周波数フィルタ、１８は光検出
器出力モニタ、１９は光部品である。モニタ１８はたと
えばオシロスコープ、またはコンピュータとデジタルオ
シロスロープやＸＹレコーダとの組合で構成できる。こ
の実施例において、上述の第１のビームスプリッタ２と
固定平面ミラー７とは第１の干渉計を構成し、第２のビ
ームスプリッタ４と可動くさび型ミラー５と固定くさび
型ミラー６とは第２の干渉計を構成している。
、２および４はビームスプリッタ、５は可動くさび型ミ
ラー、６は固定くさび型ミラー、７は固定平面ミラー、
１２および１３は光強度検出手段としての光検出器、１
６は差動増幅器、１７は周波数フィルタ、１８は光検出
器出力モニタ、１９は光部品である。モニタ１８はたと
えばオシロスコープ、またはコンピュータとデジタルオ
シロスロープやＸＹレコーダとの組合で構成できる。こ
の実施例において、上述の第１のビームスプリッタ２と
固定平面ミラー７とは第１の干渉計を構成し、第２のビ
ームスプリッタ４と可動くさび型ミラー５と固定くさび
型ミラー６とは第２の干渉計を構成している。
【００１８】この例の光部品反射点測定装置において、
上述したインコヒーレント光源１からの出射光は、第１
の干渉計のビームスプリッタ２で分岐され、その一方は
光部品１９に照射され、他方は固定平面ミラー７に照射
される。光部品１９からの反射光（反射点測定光）と固
定平面ミラー７からの反射光（参照光）は、再び上述の
ビームスプリッタ２で結合される。この結合光は第２の
干渉計のビームスプリッタ４で再び分岐され、一方は可
動くさび型ミラー５に、他方は固定くさび型ミラー６に
それぞれ導かれる。両くさび型ミラー５および６からの
各反射光は、ビームスプリッタ４の上述の分岐点とは異
なる位置で結合される。
上述したインコヒーレント光源１からの出射光は、第１
の干渉計のビームスプリッタ２で分岐され、その一方は
光部品１９に照射され、他方は固定平面ミラー７に照射
される。光部品１９からの反射光（反射点測定光）と固
定平面ミラー７からの反射光（参照光）は、再び上述の
ビームスプリッタ２で結合される。この結合光は第２の
干渉計のビームスプリッタ４で再び分岐され、一方は可
動くさび型ミラー５に、他方は固定くさび型ミラー６に
それぞれ導かれる。両くさび型ミラー５および６からの
各反射光は、ビームスプリッタ４の上述の分岐点とは異
なる位置で結合される。
【００１９】ここで、可動くさび型ミラー５を図１中の
矢印Ｂ方向に沿って移動させることによって、光部品１
９からの反射光と固定平面ミラー７からの反射光（参照
光）の伝播光路長を調整して、両反射光を上述の結合点
で干渉させる。
矢印Ｂ方向に沿って移動させることによって、光部品１
９からの反射光と固定平面ミラー７からの反射光（参照
光）の伝播光路長を調整して、両反射光を上述の結合点
で干渉させる。
【００２０】この結合点では、２つの結合光すなわち干
渉光が得られるが、これら２つの結合光の光強度がそれ
ぞれ第１の光検出器１２、第２の光検出器１３で検出さ
れる。光検出器１２および１３からの検出出力を差動増
幅器１６に供給して、両出力の差分をとって増幅し、そ
の増幅出力を周波数フィルタ１７を介して出力モニタ１
８に供給し、ここで２つの干渉光に対応する２つの干渉
信号の差分出力における周波数ｆの成分についての電圧
振幅の２乗値または電力を求めることにより、反射点の
位置および反射率についての測定出力を得る。図１に示
した測定装置を用いて図６示の光部品１９について測定
を行って得た出力電圧の波形および反射率測定波形をそ
れぞれ図３における（Ｂ）および図４における（Ｂ）に
示す。図５に示した従来の装置による結果を示す図３に
おける（Ａ）および図４における（Ａ）と比較すると、
出力電圧は２倍、電力は４倍（６ｄＢ増加）となり、光
強度雑音成分はほぼ除去されてノイズレベルが１５ｄＢ
以上低下していることがわかる。この結果、Ｓ／Ｎは約
２０ｄＢ向上する。
渉光が得られるが、これら２つの結合光の光強度がそれ
ぞれ第１の光検出器１２、第２の光検出器１３で検出さ
れる。光検出器１２および１３からの検出出力を差動増
幅器１６に供給して、両出力の差分をとって増幅し、そ
の増幅出力を周波数フィルタ１７を介して出力モニタ１
８に供給し、ここで２つの干渉光に対応する２つの干渉
信号の差分出力における周波数ｆの成分についての電圧
振幅の２乗値または電力を求めることにより、反射点の
位置および反射率についての測定出力を得る。図１に示
した測定装置を用いて図６示の光部品１９について測定
を行って得た出力電圧の波形および反射率測定波形をそ
れぞれ図３における（Ｂ）および図４における（Ｂ）に
示す。図５に示した従来の装置による結果を示す図３に
おける（Ａ）および図４における（Ａ）と比較すると、
出力電圧は２倍、電力は４倍（６ｄＢ増加）となり、光
強度雑音成分はほぼ除去されてノイズレベルが１５ｄＢ
以上低下していることがわかる。この結果、Ｓ／Ｎは約
２０ｄＢ向上する。
【００２１】上述の光検出器１２および１３による検出
出力間において、干渉信号は逆位相であり、および光強
度雑音成分は同位相であるので、逆位相を強調するとと
もに、同位相を除去することによって差動増幅器１６の
出力は高いＳ／Ｎ比の信号となる。これにより検出感度
を向上させることができる。
出力間において、干渉信号は逆位相であり、および光強
度雑音成分は同位相であるので、逆位相を強調するとと
もに、同位相を除去することによって差動増幅器１６の
出力は高いＳ／Ｎ比の信号となる。これにより検出感度
を向上させることができる。
【００２２】上述の実施例では、くさび型ミラー５を移
動して参照光の光路長を変化させる構成としたが、くさ
び型ミラー６を図１中の破線矢印で示すように移動して
測定光の光路長を変化させる構成としてもよく、また両
くさび型ミラー５および６を共に移動して両光の光路長
を相対的に変化させる構成としてもよい。要は、両光を
相互に干渉させることができればよい。
動して参照光の光路長を変化させる構成としたが、くさ
び型ミラー６を図１中の破線矢印で示すように移動して
測定光の光路長を変化させる構成としてもよく、また両
くさび型ミラー５および６を共に移動して両光の光路長
を相対的に変化させる構成としてもよい。要は、両光を
相互に干渉させることができればよい。
【００２３】図２は本発明の他の実施例を示す。
【００２４】図２において、３はビームスプリッタ、８
，９および１０は固定平面ミラー、１４は光強度検出手
段としてのバランス型光検出器、１５は増幅器である。 この実施例において、ビームスプリッタ２および３と可
動くさび型ミラー５と固定平面ミラー８とは１つの干渉
計を構成している。
，９および１０は固定平面ミラー、１４は光強度検出手
段としてのバランス型光検出器、１５は増幅器である。 この実施例において、ビームスプリッタ２および３と可
動くさび型ミラー５と固定平面ミラー８とは１つの干渉
計を構成している。
【００２５】この例の光部品反射点測定装置において、
上述したインコヒーレント光源１からの出射光は、ビー
ムスプリッタ２で分岐され、その一方はさらにビームス
プリッタ３を介して光部品１９に照射され、他方は可動
くさび型ミラー５に照射される。光部品１９からの反射
点測定光として反射光はビームスプリッタ３および固定
平面ミラー８を介してビームスプリッタ２における上述
の分岐点とは異なる位置に導かれ、この位置で上述の可
動くさび型ミラー５からの参照光としての反射光と結合
される。
上述したインコヒーレント光源１からの出射光は、ビー
ムスプリッタ２で分岐され、その一方はさらにビームス
プリッタ３を介して光部品１９に照射され、他方は可動
くさび型ミラー５に照射される。光部品１９からの反射
点測定光として反射光はビームスプリッタ３および固定
平面ミラー８を介してビームスプリッタ２における上述
の分岐点とは異なる位置に導かれ、この位置で上述の可
動くさび型ミラー５からの参照光としての反射光と結合
される。
【００２６】ここで、この可動くさび型ミラー５を図２
中の矢印Ｂ方向に沿って移動させることによって、光部
品１９からの反射光と可動くさび型ミラー５からの反射
光の伝播光路長を調整して、両反射光を上述の結合点で
干渉させる。
中の矢印Ｂ方向に沿って移動させることによって、光部
品１９からの反射光と可動くさび型ミラー５からの反射
光の伝播光路長を調整して、両反射光を上述の結合点で
干渉させる。
【００２７】この結合点では、２つの結合光が得られる
が、これら２つの結合光は、それぞれ固定平面ミラー９
，１０を介して１つのバランス型光検出器１４に導かれ
、そこで両結合光の光強度の差分が検出される。この差
分は増幅器１５により増幅され、周波数フィルタ１７を
介して出力モニタ１８で干渉信号の電圧振幅の２乗値ま
たは電力として反射点についての測定出力を得る。
が、これら２つの結合光は、それぞれ固定平面ミラー９
，１０を介して１つのバランス型光検出器１４に導かれ
、そこで両結合光の光強度の差分が検出される。この差
分は増幅器１５により増幅され、周波数フィルタ１７を
介して出力モニタ１８で干渉信号の電圧振幅の２乗値ま
たは電力として反射点についての測定出力を得る。
【００２８】この実施例においても、２つの検出出力間
において、干渉信号は逆位相であり、光強度雑音成分は
同位相であるので、逆位相を強調するとともに、同位相
を除去することによって高いＳ／Ｎ比の信号が得られる
。
において、干渉信号は逆位相であり、光強度雑音成分は
同位相であるので、逆位相を強調するとともに、同位相
を除去することによって高いＳ／Ｎ比の信号が得られる
。
【００２９】上述の実施例では、図１に示した第１の実
施例の構成と比較して参照光のビームスプリッタ通過回
数が１回少ないことから、検出信号の光強度が２倍とな
る利点がある。また、上述のバランス型光検出器１４が
光電変換効率の揃った光検出器を用いたものであれば、
高い雑音除去特性が望める利点もある。
施例の構成と比較して参照光のビームスプリッタ通過回
数が１回少ないことから、検出信号の光強度が２倍とな
る利点がある。また、上述のバランス型光検出器１４が
光電変換効率の揃った光検出器を用いたものであれば、
高い雑音除去特性が望める利点もある。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光部品からの反射光と参照光とを結合して得られる２つ
の結合光の光強度をそれぞれ検出し、これら２つの検出
出力の差分を出力するようにしたので、２つの検出出力
間で逆位相の干渉信号を強調し、同位相の光強度雑音成
分を除去することができ、これにより、−１００ｄＢ以
下のように低反射率の反射点について、反射点の位置お
よび反射率の測定が可能となる。
光部品からの反射光と参照光とを結合して得られる２つ
の結合光の光強度をそれぞれ検出し、これら２つの検出
出力の差分を出力するようにしたので、２つの検出出力
間で逆位相の干渉信号を強調し、同位相の光強度雑音成
分を除去することができ、これにより、−１００ｄＢ以
下のように低反射率の反射点について、反射点の位置お
よび反射率の測定が可能となる。
【図１】本発明の光部品反射点測定装置に係る第１の実
施例の構成を示す図である。
施例の構成を示す図である。
【図２】本発明の光部品反射点測定装置に係る第２の実
施例の構成を示す図である。
施例の構成を示す図である。
【図３】光部品反射点測定装置で測定した出力電圧の波
形を示すグラフである。
形を示すグラフである。
【図４】光部品反射点測定装置で測定した反射率測定用
の波形を示すグラフである。
の波形を示すグラフである。
【図５】従来の光部品反射点測定装置の構成の一例を示
す図である。
す図である。
【図６】反射点測定の対象となる光部品の構成の一例を
示す図である。
示す図である。
１ インコヒーレント光源
２，３，４ ビームスプリッタ
５ 可動くさび型ミラー
６ 固定くさび型ミラー
７，８，９，１０ 固定平面ミラー
１１ 可動平面ミラー
１２，１３ 光検出器
１４ バランス型光検出器
１５ 増幅器
１６ 差動増幅器
１７ 周波数フィルタ
１８ 出力モニタ
１９ 光部品
Claims (3)
- 【請求項１】 インコヒーレント光源からのインコヒ
ーレント光を分岐し、その一方を光部品に照射して得た
反射光を測定光とし、他方のインコヒーレント光を参照
光とし、前記参照光および前記測定光の少くとも一方の
光路長を相対的に変化させながら前記参照光と前記測定
光とを相互に干渉させて２つの干渉光を得、当該２つの
干渉光の光強度をそれぞれ個別に検出し、得られた２つ
の検出出力の差分を求めることを特徴とする光部品反射
点測定方法。 - 【請求項２】 インコヒーレント光源と、該インコヒ
ーレント光源からのインコヒーレント光を分岐し、一方
のインコヒーレント光を光部品に照射して、その反射光
を反射点測定光とし、他方のインコヒーレント光を参照
光とし、該参照光および前記反射点測定光の少なくとも
一方の光路長を相対的に変えることができるようにして
、前記参照光と前記反射点測定光とを干渉させて２つの
干渉光を出力する干渉計と、前記２つの干渉光の光強度
を個別に検出する光強度検出手段と、該光強度検出手段
から得られた光強度出力の差分を出力する手段とを備え
たことを特徴とする光部品反射点測定装置。 - 【請求項３】 インコヒーレント光源と、該インコヒ
ーレント光源からのインコヒーレント光を分岐し、一方
のインコヒーレント光を光部品に照射して、その反射光
を反射点測定光とし、他方のインコヒーレント光を可動
ミラーに照射して、その反射光を参照光とし、該参照光
と前記反射点測定光をビームスプリッタにおいて干渉さ
せて該ビームスプリッタから２つの干渉光を出力する干
渉計と、前記２つの干渉光の光強度を個別に検出する光
強度検出手段と、該光強度検出手段から得られた光強度
出力の差分を出力する手段とを備えたことを特徴とする
光部品反射点測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2408079A JPH04225134A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 光部品反射点測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2408079A JPH04225134A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 光部品反射点測定方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225134A true JPH04225134A (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=18517578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2408079A Pending JPH04225134A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 光部品反射点測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04225134A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024038A1 (en) * | 1995-02-02 | 1996-08-08 | Yokogawa Electric Corporation | Optical fibre detecting device |
| WO1998043068A1 (en) * | 1997-03-26 | 1998-10-01 | Kowa Company, Ltd. | Optical measuring instrument |
| WO1998043069A1 (en) * | 1997-03-26 | 1998-10-01 | Kowa Company, Ltd. | Optical measuring instrument |
| JP2012078100A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Panasonic Electric Works Sunx Co Ltd | 分光分析装置 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2408079A patent/JPH04225134A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024038A1 (en) * | 1995-02-02 | 1996-08-08 | Yokogawa Electric Corporation | Optical fibre detecting device |
| WO1998043068A1 (en) * | 1997-03-26 | 1998-10-01 | Kowa Company, Ltd. | Optical measuring instrument |
| WO1998043069A1 (en) * | 1997-03-26 | 1998-10-01 | Kowa Company, Ltd. | Optical measuring instrument |
| US6198540B1 (en) | 1997-03-26 | 2001-03-06 | Kowa Company, Ltd. | Optical coherence tomography have plural reference beams of differing modulations |
| JP2012078100A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Panasonic Electric Works Sunx Co Ltd | 分光分析装置 |
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