JPH07500672A - 光導波構造の反射欠陥検出用干渉装置 - Google Patents

Abstract

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Description

【発明の詳細な説明】 光導波構造の反射欠陥検出用干渉装置 技術分野 本発明は先導波構造における反射欠陥の検出用干渉装置に関する。 「光導波構造」という用語は、例えば光ファイバー、光カツプラ−、更にはレー ザーのような先導波管を意味するものと理解すべきである。 本発明は殊に光通信の分野に該当し、そのような先導波管にお（ｊる微少に反射 する）オブトリーを高精度でつきとめることを可能にするものである。 本発明はまた、受動又は能動の光導波構造の反射係数と共にそのような先導波管 の伝送特性を測定することを可能にするものである。 背景技術 反射欠陥を検出しつきどめる干渉装置は既にし高空間分解能と高感度干渉性光学 時間領域反射計（Ｈｉｇｈ−ｓｐａｔｉａｌ−ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ　ａｎｄ　 ｈｉｇｈ−ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ　ｉｎｌｅｒｆｅｒａｍｅ＋ｒｉｃ　ｏｐｔ ｉｃａｌ−ｔｉｍｅ　ｄｏｍａｉｎ　ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｅｒ）１　（７サ ル・コハヤノ（Ｍａｓａｒｕ　Ｋｏｂａｙａｓｈｉ）、ノユイチ１ノダ（Ｊｕｉ ｃｈｉ　Ｎｏｄａ）、カズマサ・タカダ（にａｚｕｍａｓａ　Ｔａｋａｄａ）お よびヘンリー　・工Ｔｌ　−云イラー（Ｈｅｎｒｙ　Ｆ、　Ｔａｙｌｏ＋）、Ｓ 　Ｐ　Ｉ　Ｆ会議、オルラント・フロリダ、４月１〜５日、１９９１年、１４７ ＋−４０）と称する文書より知られている。 本発明は先導波管に沿って分布する伝播「入射光」の位置を正確に明らかにする ことの可能な干渉装置を得る問題を解決するものである。この目的のため、本発 明はレーサによる干渉縞を計数する干渉測定手段と共に非コヒーレント光のマイ ケルノン干渉計を活用する。 殊に、本発明は光導波構造の反射欠陥を検出しつきとめる干渉装置に関し、以下 の手段を備えることに特徴かある。 −非コヒーレン１へ光源 一波長か非コヒーレント光源の中心波長にほぼ等しい単−モートレーサー光源　 −第１の分岐か非コヒーレント光源とレーザー光源に光学Ｆ接続される第１と第 ２の光カップラー−所与の方向に並進して変位可能であって第１．！＝１２のカ ップラーの第２の分岐の端末か固定された第１のサポート−所与の方向と振動可 能な第２のサボー）・−策２のサポー１−に固定され？！、１と第２のカップラ ーの第２の分岐端末に面するようにそれぞれ配置されそこを通り抜ける光を反射 するようにした第１と第２の光反射体 −所与の方向に並進して変位可能であって第２のカップラーの第３の分岐の端末 か固定される第３のサボー１−−第２のカップラーの第３の分岐の端末に而して 固定配置されそこを通り抜ける光を反射するようになった第３の光反射体で、第 １のカフ、ブラーの第３の分岐か先導波構造に光学上接続されたちの−それぞれ 第１と第２のカップラーの第４の分岐に光学上接続される第１と第２の光検出器 −その入力か第２の光検出器により供給される信号を受取る干渉縞カウンター 一第１と第２の光検出器により供給される信号の解析手段で第１、第２、第３の サボー１〜とカウンターを適当に変位させることにより先導波構造の反射欠陥を つきとめる働きをするもの。 発明の開示 本発明は、同時に相関法による信号処理によって上記既知方式と比較して少なく とも１０たけ検出閾値又は［最小検出可能パワー」を低め、しかち空間分解能に 対して不利な影響を与えることを不可能にするものである。 本発明の装置はまた、その第１と第２の分岐かそれぞれ非コヒーレント光源とレ ーサー光源とに対して光学上接続され、その第３と第４の分岐かそれぞれ第１と 第２のカップラーの第１の分岐に対して光学ト接続される第３の光カップラーを 備えることができる。 本発明の装置の特殊例では、解析手段はそれぞれ第１と第２の光検出器により供 給される信号を受取る２チヤネルオシロスコープを組込んでおり、同オシロスコ ープは前記信号に対応する干渉図を表示する。 本発明の装置はまた第２のサポートを所与の方向に振動させることの可能な圧電 手段を備えることができる。 本発明の装置の好適例では前記装置は第２のサポートの変位の速度を調節する手 段を備え、同調節手段は第２のサポートに対して一定の変位速度を付与する働き をする。 これら調節手段は、そのコヒーレンス長か第２のサポートの変位の振幅を１廻る 光源と、それぞれ２つの光反射体で終りその一方が第２のザポー１へと固定的に 一体となった２本のアームと、第３の光検出器と共に、圧電手段を第３の光検出 器により供給される信号の関数として制イ卸する手段を備えることかできる。前 記制御手段は圧電手段を介して第２のサポートに一定の変位速度を付与する。 図面の簡単な説明 以下、本発明を実施例と図面に即して詳説する。 図１は本発明の装置の特殊例の線図である。 図２は図１の装置により得られ微弱に反射するノオブトリーに対しこミする干渉 図である。 図３はｎｉｊ記装置で使用されるレーザー光源により取得したもうｍ−）の干渉 図である。 図４は図１に示す装置図の変位速度を調節する手段の部分線図である。 図５は調節手段の一部を構成する電子手段の線図である。 図６Ａ〜６Ｃは図１の装置のオシロスコープのスクリーン」−の干渉図を変位さ せるｉｉｒ　ｅＬ性を示す線図である。 発明を実施するための好適な態様 図１に線図て示す本発明の干渉計装置は導波管２か備えることの可能な−もしく はそれ以−Ｆの反射欠陥を検出しつきとめるために使用される。この装置は広い 光スペクトルを有するエレクトロルミネセンスダイオートエミッターとその波長 か非コヒーレント光源４の中心波長にほぼ等しい単一モートレーザエミノタ−６ とにより構成される非コヒーレント光源４も備える。 図１の装置はまた２×２形式の、単一モート光ファイバーを存する三個の光カッ プラー１０．２０．３０をも備える。それぞれの光ファイバーは４個の光フアイ バー分岐を備え、それらはカップラーｌＯについては基！！！１１．１２．１３ を担い、カップラー２０については基準２＋、２２，２３．２４を、またカップ ラー３については基準３１．３２，３３．３４を担う。 また、図１の装置はそれぞれ所与の方向りに対して平行に並進して変位可能なプ レート３６と、前記方向りへ振動可能なプレート３８と、前記方向りへ並進変位 可能なプレート４０により構成される３個のサポートを備える。 プレーｈ３６．４０はそれぞれモータ３７，４＋と連携し、Ｄ方向へ並進し、プ レーｈ　３８は前記プレート３８を前記方向りへ振動させることの可能な圧電手 段３９と連携する。 それぞれカップラー１０．２０に属する光ファイバー１２．２２の端は方向りに 対して平行なプレート３６に固定される。同様にして、カップラー２０に属する 光ファイバー２３の一端は前記方向りに平行にプレート４０に固定する。 プレート３６に続きプレート３６に面するプレート３８上には、それぞれファイ バー１２．２２の端に面する光反射体４２．４３が取付けられる。これらの光反 射体４２．４３は前記ファイバー１２゜２２から通り抜ける光ビームを反射して それらを前記ファイバー内へ戻す。 光学装置４４．４５はそれぞれプレート３６．３８に固定され、光学装置４４は ファイバー１２の端に面して配置され、光学装置４５は反射体４２に面すること によってファイバー１２からの光ビームか光学装置・１４により平行な光像を有 するビームに変形され、後者ビームは光学装置４５により反射体４２上に集束さ れ、その後光学装置４凱　４４により光フアイバー１２内に戻るようになってい る。 同様にして、光学装置４６．４７はそれぞれプレーｈ３６．３８に固定され、光 学装置４６は光ファイバー２２の端に面するように配置し、光学装置４７は　光 反射体４３に面し、光学装置４６はファイバー２２からの光ビームを平行な光線 を存するビームに変換し、同ビームは光学装置４７により光反射体４３上に集束 され、反射体４３により反射し光学装置４７、次いて光学装置４６により光フア イバー２２内へ戻る。 プレート４０の前には固定光反射体４８か存在する。反射体４８はファイバー２ ３の端に而してより正確に配置される。ファイバー２３はプレート４０に固定す る。反射体４８はファインＸ−２３の端末から光ビームを反射するため、前記ビ ームは前記ファイ、ｒ＜−内へ戻る。 光学装置４９はファインＸ−２３の端末に面するようにプレート４０へ固定され 、後者からの光ビームを平行な光線を有するビームに変換する。 光学装置５０は反射体４８に面して配置し、反射体４８に対して固定し、平行な 光線を有する前記ビームを反射体４８上へ集束させ、光学装置５０、次いて光学 装置４９を介してファイバー２３の端末へ戻るようにする。 また、図１に示す装置はそれぞれかカップラー１０．２０に属するファイバー１ ４．２４の端末に光学」二接続された２つの光検出器５２．５４を備える。かく して、光検出器５２は光ファイバー１４から光ビームを受取った時電気信号を供 給し、光検出器５４は光ファイバー２４から光ビームを受取った時に電気信号を 供給する。 更に、図１に示すように、ファイバー３１．３２はそれぞれ非コヒーレント光源 ４とレーザー光源６に光学上接続され、カップラー１０の光ファイバー１３の端 は先導波管２の端末に光学上接続され、カップラー１０．２０のファイバーＩＩ 、２１の端末はそれぞれ力、ブラー３０の光ファイバー３３．３４の端末に光学 上接続されるため、光ビームはファイバー３３．３４の端末内を伝播した後、そ れぞれカップラー１０．２０のファイバーＩＩ、２＋内へ入り込むことか可能に なる。 また、図１の装置は入力か光検出器５４の出力に接続される干渉縞カウンター５ ６と共に、その一本のチャネルか増幅器６０を介して検出器５２から出力信号を 受取り、その第２のチャネルが増幅器６２を介して光検出器５４の出力信号を受 取る２チャネル式デジタルオシロスコープ５８を備える。 カップラー３０は非コヒーレント光源４と（又は）レーザー発光器６からそれに 届く光度の半分をファイバー１１に供給し、前記光度の他の半分をファイバー２ １に供給する。 図１に線図て示す干渉計装置の本質的構成部分である光力・ソブラー１０はマイ ケルノン干渉計のビームスプリッタ−としての働きを行う。前記カップラー１０ かそのファイバー１１による輻射を受取ると、この輻射の半分をファイバー１２ に送り、他の半分をファイバー１３に送った後、ファイバー１２によりそれに達 する反射体４２からの輻射と導波管２の−もしくはそれ以上の反射欠陥により反 射されファイバー１３によりそこに達する輻射を混合してその混合された輻射を 光検出器５２に供給する。 光カツプラ−２０は第２のマイケルソン干渉計用のビームスプリッタ−としての 働きも行う。カップラー２０はそのファイバー２１により輻射を受取りこの輻射 をファイバー２２に、また他の半分をファイバー２３に送る。カップラー２０は 反射体４３．４８によりそれぞれ反射されファイバー２２．２３によりそこに達 する輻射を混合して光検出器５４へ送る。 これまて反射ノオブｌ〜リ−か光導波管２内に存在するがとうかという問題は無 視してきた。もしそのようなジオプトリーが存在すると、光検出器５２はオシロ スコープ５８（チャネル１）上に図２に示すタイプの干渉図をもたらす電気信号 を供給することによってその存在を示すことになろう。 そのような干渉図はプレート３６に固定されたファイバー１２の端末と反射体４ ２間の距離を変化させることによって得ることかできる。 図２の干渉図は反射係数か小さなジオプトリーに対応するものであるか、その横 座標軸か反射振幅へに相当し縦座標軸かプレート３８によりカバーされマイクロ メータ単位で表わされる距離に相当するマーキング方式でブロンｈしたものであ る。 前記干渉図の最大振幅は第１のマイケルソン干渉計のアームの長さて光反射体４ ２て終端するものと導波管２の反射ジオプトリーで終る前記干渉計の分岐の光学 的長さか等しいことに相当する。 ちし導波管２か若干の反射ジオプトリーを存する場合、幾つかの継起的な干渉図 か得られることになることは明らかである。 各干渉図の形と振幅はこれら干渉図を生成するために使用される非コヒーレント 光源４の光スペクトルに依存すると共に、光ファイバー１２の端に対する光反射 体４２の変位速度と共に反射ジオプトリーの光学特性に依存する。 もしフーリエ変換における調波解析を図２の干渉図について行うと、周波数Ｆ。 （干渉図の搬送周波数）における成分は図２の場合よりも優れた信号品質を存す る反射ジオプトリー、即ち反射中心か存在することを示す。 従って、干渉図は全てＦ。に近い搬送周波数を「含む」ことか指摘され、反射ジ オプトリーを全て発見するには光検出器５２により供給される光電流中にスペク トル上Ｆ０に集中する全信号をめることて十分である。 この周波数Ｆ。は同時に光検出器５４により供給される干渉図の搬送周波数でも ある。というのは前記干渉図は反射体４２．４３か同一に平行移動する間に生成 されることになるからである。 従って、反射体４２．４３は同しプレート３８に固定し、同プレートは圧電手段 ３９の助けにより移動し、同一速度か同一距離にわたって移動する。 ブＬ、　−１−３６の変位はレーザー発光器６を光源として使用する場合、第２ のマイケルソン干渉計中の光検出器５４により干渉縞をカウントすることにより 制御する。 図３は光源としてレーサー発光器６を使用する場合、光検出器５４によりオシロ スコープ５８（チャネル２）上に得られる干渉図を示す。この干渉図により干渉 縞の周波数Ｆｏ　（干渉図の搬送周波数）に関する情報を得ることかできる。 ファイバー２３の端末と光学装置４９により構成されるコリメート系はプレート ３６の変位中固定したままに維持する。 プレー）・３６か反射体４２と導波管２の反射ジオプトリーによりそれぞれ終端 する第１の干渉計のアームか共に同一の光学長（前記参照）を有するような位置 を占める場合には、プレート４０が移動して光検出器５４はその干渉縞のカウン トを再開し、光反射体４３゜４８により終端する第２の干渉計のアームの光学的 長さかそれぞれ等しいような位置にプレー１−４０か達するまでこの運動を制御 する。 この位置に達すると、レーサ発光器６０は遮断され、エレクトロルミネセンスダ イオ−１・４か光源として使用され光ビームをカップラー２０のファイバー２１ 内へ供給する。 プレート３８か変位することによって最終的に２つの干渉図かつくりたされる。 それらは光検出器５２．５４により供給され、その搬送周波数とうしは極端に接 近している。 これら二つの干渉図のうち第１のものは第２の干渉図と相関させることにより最 適条件の下で検出され、この第１の干渉図の様相は第２の干渉計（光カツプラ− ２０を有する）で干渉縞をカウントすることにより完全につきとめることかでき る。 ＩＤ　＋に示す干渉計測方式を使用する方法について以下により詳しく正確に説 明する。 第１の段階は導波管２の反射ジオプトリーの位置か与えられる原２人を定義する ことである。この原点はカップラーｌＯの光ファイバー１３に光学上接続される 導波管２の端末に相当する。 このことを行うためにレーサー発光器６を消して非コヒーレント光源４を動作さ せる。 プレー１−３６は原へ（導波管２の端末）として選んた反射体４２と反射ジオプ トリーによりそれぞれ終端する第１の干渉計のアームの光学長どうしの間か等し くなるまで移動させる。この操作中、プレート３８は固定状態に維持する。 オシロスコープ５８（チャネル１）上にはその最大振幅かこれら光学長とうしか 等しいことに相当するような干渉図か得られる。 その後、プレート３８は光学長とうしか等しいことに相当するこの位置で動きを 停止］二する。プレート３８は振動する。プレート３６のモータか作動して、１ ４！られる干渉図をオシロスコープ５８のスクリーン−にの選択された位置に現 わす。その後、プレート３６は停止する。その後レーサ発光器６か動作する。 プレー１−４０は第２の干渉計のアームの光学長か等しくなるまで移動し、これ は反射体４３．４８により終了する。これは光検出器５．１により検出され、オ シロスコープ５８のスクリーン上に干渉図（チャネル２）かｉ醪られる。 その後、プレート４０を一致を可能にする長さにわたり変位させることによりス クリーン上に（’Ｔられる２つの干渉図のそれぞれ最大値間に一致か実現される 。この干渉縞カウンター５６はゼロにセットする。レーサ発光器は消す。その時 、導波管２の反射欠陥と定義原占間の距離をめることか可能になる。このことを 行うために、プレート３６を導波管２の反射欠陥の検出か行われるまで移動させ る。この検出は新たな干渉図かオシロスコープ５８のチャネル１上に現われる時 に行われる。その後、プレート３６は停止する（プレート３８は依然振動してい る）。レーザー発光器６か動作する。 干渉縞カウンター５６か作動し、プレート４０はチャネル２の干渉図の最大値と チャネルｌの新たな干渉図の最大値どうしが一致するまで変位する。その後、プ レート４０は停止する。しかし、それぞれの干渉縞はレーサー発光器６の波長の 半分に等しい長さだけ隣り合う干渉縞と隔たっている。 かくして、前記波長の半分と干渉縞の数Ｎを乗しることにより原へと導波管２の 反射欠陥の間の距離を決定することか可能になる。 プレート３８の振動速度をできるだけ一定にするために、前記プレート３８はそ の速度を調節するための手段を備える。プレート３８の変位を測定するために光 学的方法を活用することか存利である。 そのような方法により１１ｆ記光学的方法を実行するために使用される光源の波 長に応してほぼ０１マイクロメートルの変位量を測定することかできる。前記方 法の原理を図４に線図形で示す。 この測定はもう一つのマイケルソン干渉計８２で再び光ファイバーを存する２Ｘ ２タイプの光カツプラ−６４を備えるものを使用することによって実行する。　 このカップラー６４は４つの分岐又は光ファイバーを有し、第１の分岐は光源６ ６に接続し、第２の分岐は受光タイオート６８に、また第３の分岐は全反射ミラ ー７０に接続する。全反射ミラー７０は固定し、そこから出る光を前記分岐内へ 反射させる。 全反射ミラー７２はブレート３８と一体に固定し、方向りに対して平行に移動す るようにする。ｈソプラー６４の第４の分岐の端末はミラー７２に面するように 配置する。 ２個の固定光学装置７４．７６はミラー７２とカップラー６４の第４の分岐の端 末の間に配置する。 光学装置７６は前記端末からのビームを平行な光線を存するビームヘ変換する。 光学装置７４は平行な光線を有する前記ビームをミラー７２上へ集束させ、同ミ ラー７２はそれを反射して光学装置７４．７６を介してカップラー６４の第４分 岐の端末内へ戻す。 光ダイオ−１・６８により検出された光の光度１（ｔ）、従って、前記光ダイオ −１・６４により供給される電気信号の強さは、以下に示すように時間ｔの関数 として変化する。 １　（ｔ）＝Ｉｏ　（１＋ｃｏｓ　（４ｐ　ｉＦ　（ｔ）　・ｔ／Ｉ）但し、Ｉ 、は定数、ｐｌは３，１４、またｌは光源６６の波長を表わす。 周波数Ｆ　（ｔ）はプレート３８の変位速度と光源６６の波長の関数である。従 って、前記速度を調節するためには光ダイオード６８により供給される信号の周 波数を調節するだけで十分である。 そのコヒーレンス長かプレート３８の変位の振幅を上形るような光源６６を使用 することか必要である。前記変位は解説例ではほぼ１ミリメートルである。 光源６６は波長か１５５０ナノメートルのレーザーダイオードＤＦＢとすること かできる。 光ダイオード６８により供給される信号の周波数制御装置は、例えは位相ロック 制御装置で、実施する上ですこぶる簡単である。この装置を図５に線図て示す。 同装置はその人力にツユミツト（・リガー回路の出力信号と共に基準周波数Ｆｒ ｅｔを受取る位相コンパ］／−夕７８を備える。ツユミツトトリガー回路の入力 は光ダイオード６８の出力に接続する。 図５において、ブロック８２は図４の干渉計を示す。 図５の制御装置は増幅器８６と共に積分器８４をも備えている。 前記積分器８４の人力は位相コンパレータ７８の出力信号を受取り、増幅器８６ は前記積分器８４の出力信号を増幅する。増幅器８６の出力信号は圧電手段８６ を制御する。　サーホ制御かなければ、これら圧電手段によって得られる速度の 変化はほぼ２５％である（その場合、光ダイオード６８は比較的広いスペクトル の信号を供給する。） しかし、上記ザーホ制御によって基準周波数附近のＩＨ２よりも小さな周波数分 布（例えば秒あたり２８マイクロメートルの速度を与える３６Ｈｚ）を得ること ができる。同分布は２％以下の速度変化に相当する（その時、光ダイオード６８ により供給される信号のスペクトルは非常に狭い）。 図１の方式に戻ると、プレートの変位によってオシロスコープ５８上の干渉図を 図６Ａ〜６Ｃに対して効果的に変位させることができることか判る。ファイバー １３と導波管２は固定されたままである。 それぞれファイバー１２．１３から成る第１のマイケルソン干渉計のアームは互 いに非常に近く、プレート３６のそれぞれの位置についてプレート３８の所与の 位置に対して完全に等しい光学長を備える。 プレー１−３８（圧電手段３９を使用する）が２つの位ｆａｔａｌと３２間を変 位する間のオシログラムをプレート３６の一つの位置ａについてプロットし、プ レート３８が他の２つの位置ｂｌとｂ２間を変位する間のオシログラムをプレー ト３６の別の位ｉｂについてプロットする。 図６Ａはプレート３６の位置ａ、ｂについて得られる干渉図に対応する位置△１ 　Ｂかそれぞれの区画ａｌａ２、ｂｌｂ２上の同一位置にはないことを示す。 図６Ａによれは、オシログラムａｌｓｂｌで開始されると、それぞれプレー）・ ３６の位置ａ、ｂに対応する干渉図か図６Ｂと６０に示すよう観察される。但し 、ｔは時間を、ｐは得られる光電流を表わす。 以下の情報は図１の方式の動作に関して与えられる。プレート３８は光学装置４ ７と連携する反射体４３により制御可能な速度で連続的に平行移動する際、圧電 手段３９により駆動される。 反射体４３の運動はカップラー２０を有する干渉計内でその先かファイバー３４ によりカップラー２０に達するレーザー発光器６によるか、その光かカップラー ３０とファイバー３４によりカップラー２０に達するレーサー発光器４により制 御される。 かくして、プレート３８の位置はカップラー２０を有する干渉計内のレーサー発 光器６を使用するか、プレート３８の変位中通過する干渉縞をカウントすること によって完全に知ることができる。その時、プレート４０は固定状態に維持する 。 ファイバー３４により接続されたレーザー発光器４を使用して干渉計を平衡させ るや否や（その時、ファイバー２２．２３を備える前記干渉Ｊ１のアームは同一 の光学長を有する）、プレート４０も３６もそれ以上平行移動することはなくな る。プレート３８は圧電手段３９により平行移動する。かくして、光検出器５２ ．５４は干渉開信号を供給する。光検出器５４は基準信号を供給する。光検出器 ５４は導波管２の光反射特性を表わし基準信号と相関比較される信号を供給し、 導波管２の光学的特性を正確に得る。 例えは、もし導波管２か反射体４２．　４３．　４８　（それぞれ光学装置４５ ．４７．５０を連携する）のように「完全な」　ミラーである場合、２つの干渉 図は完全に同一であり重ね合わせることかできる。 導波管２のノオブトリをつきとめその反射係数か波長の関数として測定されるの は信号間の差異に基づいている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．光導波構造（２）の反射欠陥を検出しつきとめる干渉計装置において、 非コヒーレント光源（４）と、 その波長か非コヒーレント光源の中心波長にほぼ等しい単一モードレーザー光源 （６）と、 その第１の分岐（１１，２１）が非コヒーレント光源とレーザー光源に光学上接 続される第１（１０）と第２（２０）の光カップラーと、所与の方向に平行移動 可能で前記第１と第２のカップラーの第２の分岐（１２，２２）の端末が固定さ れた第１のサポート（３６）と、 所与の方向に振動可能な第２のサポート（３８）と、第２のサポート（３８）に 固定されそれぞれ第１と第２のカップラーの第２の分岐（１２，２２）の端末に 面して配置されそこから通過する光をそこて反射する第１（４２）と第２（４３ ）の光反射体と、所与の方向に平行移動可能で第２のカップラー（２０）の第３ の分岐（２３）の端末が固定される第３のサポート（４０）と、第２のカップラ ー（２０）の第３の分岐（２３）の端末に面して固定配置されそこから通過する 光をそこで反射する第３の光反射体（４８）て第１のカップラー（１０）の第３ の分岐（１３）が光学上光導波構造（２）に接続されるものと、それぞれ第１（ １０）と第２（２０）のカップラーの第４の分岐（１４，２４）に光学上接続さ れた第１（５２）と第２（５４）の光検出器と、その入力か第２の光検出器（５ ４）により供給される信号を受取る干渉縞カウンター（５６）と、第１と第２の 光検出器（５２，５４）により供給される信号を解析する手段（５８）で第１、 第２、第３のサポートの適当な変位とカウンタにより光導波構造（２）の反射欠 陥をつきとめる働きを行うものと： ．から成る前記干渉計装置。 ２．更に、その第１（３１）と第２（３２）の分岐かそれぞれ非コヒーレント光 源（４）とレーザー光源（６）に光学上接続され、その第３（３３）と第４（３ ４）の分岐が第１（１０）と第２（２０）のカップラーの第１の分岐（１１，２ １）にそれぞれ光学上接続される第３の光カップラー（３０）を備える請求項１ の装置。 ３．前記解析手段が第１（５２）と第２（５４）の光検出器により供給される信 号を受取る２チャネルオシロスコープ（５８）を備え、同オシロスコープかこれ らの信号に対応する干渉図を表示する請求項１および２の何れかに記載の装置。 ４．更に、第２のサポート（３８）を所与の方向に振動させることの可能な圧電 手段（３９）を備える請求項１〜３の何れかに記載の装置。 ５．更に、第２のサポート（３８）の変位速度を調節する手段（６６，６８，７ ０，７２，７８，８０，８４，８６）を備え、同調節手段か第２のサポートに一 定の変位速度を付与する請求項４に記載の装置。 ６．前記調節手段かそのコヒーレンス長が第２のサポート（３８）の変位の振幅 よりも大きな光源（６６）と、その一つ（７２）か第２のサポート（３８）と一 体に固定される２つの光反射体（７０，７２）により終端する２本のアームと、 第３の光検出器（６８）と、圧電手段（３９）を前記第３の光検出器（６８）に より供給される信号の関数として制御する手段（７８，８０，８４，８６）で圧 電手段を介して第２のサポートに一定の変位速度を付与するものとを備えるマイ ケルソン干渉計を備える請求項５に記載の装置。