JPH04225547A - ウエハ収納器 - Google Patents
ウエハ収納器Info
- Publication number
- JPH04225547A JPH04225547A JP2408027A JP40802790A JPH04225547A JP H04225547 A JPH04225547 A JP H04225547A JP 2408027 A JP2408027 A JP 2408027A JP 40802790 A JP40802790 A JP 40802790A JP H04225547 A JPH04225547 A JP H04225547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- carrier
- wafer
- wafer storage
- drive means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程におけ
るウエハを保管、搬送する際に使用されるウエハ収納器
に関する。
るウエハを保管、搬送する際に使用されるウエハ収納器
に関する。
【０００２】近年、半導体装置の高集積化に伴い、製造
工程中にウエハに付着する塵埃が歩留り低下の要因にな
っており、保管、搬送時に塵埃の付着を防止してウエハ
のクリーン度を保つためにウエハ収納器が使用される。 そして、ウエハ収納器自体もクリーン度を保つことが望
まれる。そのため、ウエハ収納器を定期的にメンテナン
スを行い、洗浄する必要がある。
工程中にウエハに付着する塵埃が歩留り低下の要因にな
っており、保管、搬送時に塵埃の付着を防止してウエハ
のクリーン度を保つためにウエハ収納器が使用される。 そして、ウエハ収納器自体もクリーン度を保つことが望
まれる。そのため、ウエハ収納器を定期的にメンテナン
スを行い、洗浄する必要がある。
【０００３】
【従来の技術】図２に、従来のウエハ収納器の外観図を
示す。図２において、ウエハ収納器５０は、前面を開口
した四角箱状に形成されたもので、天井面に取手５１が
設けられている。この四角箱状内は、図示しないが、ウ
エハを収納するためのガイドが形成されている。
示す。図２において、ウエハ収納器５０は、前面を開口
した四角箱状に形成されたもので、天井面に取手５１が
設けられている。この四角箱状内は、図示しないが、ウ
エハを収納するためのガイドが形成されている。
【０００４】背面にはエアフィルタ５２を介在させて連
通するエア引込部５３が設けられる。エア引込部５３は
、エアフィルタ室５３ａ，バッテリ室５３ｂ及びエア引
込み室５３ｃにより構成され、エア引込み室５３ｃはエ
アフィルタ室５３ａとは通気孔５３ｄにより連通される
。また、エア引込み室には天井面よりエアを引込むファ
ン（送風機）５４が設けられ、バッテリ室５３ｂに該フ
ァン５４を駆動するバッテリ５５が配置される。
通するエア引込部５３が設けられる。エア引込部５３は
、エアフィルタ室５３ａ，バッテリ室５３ｂ及びエア引
込み室５３ｃにより構成され、エア引込み室５３ｃはエ
アフィルタ室５３ａとは通気孔５３ｄにより連通される
。また、エア引込み室には天井面よりエアを引込むファ
ン（送風機）５４が設けられ、バッテリ室５３ｂに該フ
ァン５４を駆動するバッテリ５５が配置される。
【０００５】そして、このウエハ清浄器５０内にウエハ
が収納された状態で、ファン５４を回転させて外気を引
込み、エアフィルタ５２でろ過しながら、収納器内を循
環させる。これにより、ウエハを清浄な雰囲気中で保管
して塵埃の付着を防止している。
が収納された状態で、ファン５４を回転させて外気を引
込み、エアフィルタ５２でろ過しながら、収納器内を循
環させる。これにより、ウエハを清浄な雰囲気中で保管
して塵埃の付着を防止している。
【０００６】また、ウエハを収納するキャリアと、図２
に示すような箱状のエア駆動部とが別個に形成され、該
キャリアを該駆動部内に収納するウエハ収納器も考えら
れている。
に示すような箱状のエア駆動部とが別個に形成され、該
キャリアを該駆動部内に収納するウエハ収納器も考えら
れている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図２のよう
なウエハ収納器５０は、クリーン度を維持するために定
期的にメンテナンス、すなわち洗浄する必要がある。し
かし、ウエハ収納器５０は、ウエハの収納部分とエア駆
動部が一体となっていることから、薬品に浸漬すること
ができず薬品による手拭きとなる。従ってエアフィルタ
付近の隅部分まで洗浄することができないと共に、バッ
テリ５５，ファン５４等の定期交換時にはウエハ収納器
５０全体をクリーン度の悪い環境に曝すことになるとい
う問題がある。
なウエハ収納器５０は、クリーン度を維持するために定
期的にメンテナンス、すなわち洗浄する必要がある。し
かし、ウエハ収納器５０は、ウエハの収納部分とエア駆
動部が一体となっていることから、薬品に浸漬すること
ができず薬品による手拭きとなる。従ってエアフィルタ
付近の隅部分まで洗浄することができないと共に、バッ
テリ５５，ファン５４等の定期交換時にはウエハ収納器
５０全体をクリーン度の悪い環境に曝すことになるとい
う問題がある。
【０００８】また、キャリアとエア駆動部とが分離され
ているウエハ収納器であっても該エア駆動部が箱状であ
ることから、前述と同様に手拭きとなって隅部分まで洗
浄することができないという問題がある。
ているウエハ収納器であっても該エア駆動部が箱状であ
ることから、前述と同様に手拭きとなって隅部分まで洗
浄することができないという問題がある。
【０００９】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、定期メンテナンスにおける洗浄時に高いクリー
ン度で洗浄可能とするウエハ収納器を提供することを目
的とする。
もので、定期メンテナンスにおける洗浄時に高いクリー
ン度で洗浄可能とするウエハ収納器を提供することを目
的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題は、複数枚のウ
エハを並列に収納するキャリアと、該キャリアを着脱可
能に保持する板状の保持部が、ファンよりエアフィルタ
を介してクリーンエアを該キャリアに送風するエア供給
部に、Ｌ字状に一体成形されたエア駆動手段と、を有す
る構成とすることにより解決される。
エハを並列に収納するキャリアと、該キャリアを着脱可
能に保持する板状の保持部が、ファンよりエアフィルタ
を介してクリーンエアを該キャリアに送風するエア供給
部に、Ｌ字状に一体成形されたエア駆動手段と、を有す
る構成とすることにより解決される。
【００１１】
【作用】上述のように、キャリアとエア供給部が分離さ
れており、該キャリアに、エア駆動手段のエア供給部と
Ｌ字状に一体成形された板状の保持部を取着して搬送、
保管を行う。
れており、該キャリアに、エア駆動手段のエア供給部と
Ｌ字状に一体成形された板状の保持部を取着して搬送、
保管を行う。
【００１２】また、メンテナンス時には、保管部をキャ
リアより離脱させてエア駆動手段を分離して、該キャリ
ア及びエア駆動手段の洗浄を行う。この場合、エア駆動
手段は保持部がエア供給部とＬ字状に一体成形されてい
ることから、特にエアフィルタ付近等の細部まで洗浄を
行うことが可能となり、ウエハ収納器を高いクリーン度
で保管することが可能となる。
リアより離脱させてエア駆動手段を分離して、該キャリ
ア及びエア駆動手段の洗浄を行う。この場合、エア駆動
手段は保持部がエア供給部とＬ字状に一体成形されてい
ることから、特にエアフィルタ付近等の細部まで洗浄を
行うことが可能となり、ウエハ収納器を高いクリーン度
で保管することが可能となる。
【００１３】
【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図１のウエハ収納器１は、キャリア２及びエア駆動手段
３により構成される。キリャア２は、底部及び一側面に
開口部４，５ が形成された箱状のもので、天井面は凹
形状に形成され、運搬のための取手６が設けられている
。 また、キリャア２の底部の開口部４からは、図示しない
がウエハカセットが収納され、該ウエハカセットと共に
運搬される。この場合、ウエハカセットは、対向する内
壁面に支持溝が多数縦列に形成され、該支持溝に多数枚
のウエハ（例えば８インチ）を並列に支持、収納するも
のである。
３により構成される。キリャア２は、底部及び一側面に
開口部４，５ が形成された箱状のもので、天井面は凹
形状に形成され、運搬のための取手６が設けられている
。 また、キリャア２の底部の開口部４からは、図示しない
がウエハカセットが収納され、該ウエハカセットと共に
運搬される。この場合、ウエハカセットは、対向する内
壁面に支持溝が多数縦列に形成され、該支持溝に多数枚
のウエハ（例えば８インチ）を並列に支持、収納するも
のである。
【００１４】一方、エア駆動手段３は、板状の保持部１
０とエア供給部１１がＬ字状に一体成形される。保持部
１０には孔１２ａ ，１２ｂ が形成され、孔１２ａ
，１２ｂ 間で把持部１３を形成する。エア供給部１１
は、箱形状に形成されたもので、１面に形成された開口
部分をエアフィルタ１５で覆っている。このエアフィル
タ１５は、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅ
ｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅ
ｒ）やＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｘｅｔｒａ
ｔｉｏｎ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）が使用される。また
、エア供給部１１の側面にはファン１６が設けられ、外
気を該エア供給部１１内に取込む。なお、エア供給部１
１内にはファン１６を他電源等の複数の電源系で駆動可
能とするための電源基板１７及びバッテリ１８ａ ，１
８ｂ が設けられる。
０とエア供給部１１がＬ字状に一体成形される。保持部
１０には孔１２ａ ，１２ｂ が形成され、孔１２ａ
，１２ｂ 間で把持部１３を形成する。エア供給部１１
は、箱形状に形成されたもので、１面に形成された開口
部分をエアフィルタ１５で覆っている。このエアフィル
タ１５は、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅ
ｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅ
ｒ）やＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｘｅｔｒａ
ｔｉｏｎ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）が使用される。また
、エア供給部１１の側面にはファン１６が設けられ、外
気を該エア供給部１１内に取込む。なお、エア供給部１
１内にはファン１６を他電源等の複数の電源系で駆動可
能とするための電源基板１７及びバッテリ１８ａ ，１
８ｂ が設けられる。
【００１５】そこで、多数枚のウエハを支持、収納した
ウエハカセットが収納されたキャリア２の上面にエア駆
動手段３の保持部１０が取付けられる。この場合、キャ
リア２の開口部５にエア供給部１１のエアフィルタ１５
が密接されて一体化される。搬送時は、キャリア２の取
手６及び保持部１０の把持部１３を把持して行い、搬送
時及び保管時にファン１６によりエア供給部１１内に外
気を取入れ、エアフィルタ１５でろ過してクリーンエア
をキャリア２の開口部５よりウエハに吹付けるものであ
る。
ウエハカセットが収納されたキャリア２の上面にエア駆
動手段３の保持部１０が取付けられる。この場合、キャ
リア２の開口部５にエア供給部１１のエアフィルタ１５
が密接されて一体化される。搬送時は、キャリア２の取
手６及び保持部１０の把持部１３を把持して行い、搬送
時及び保管時にファン１６によりエア供給部１１内に外
気を取入れ、エアフィルタ１５でろ過してクリーンエア
をキャリア２の開口部５よりウエハに吹付けるものであ
る。
【００１６】このようなウエハ収納器１の定期メンテナ
ンス時には、キャリア２とエア駆動手段３とを分離して
行う。エア駆動手段３は、他のクリーンエリアに持込ま
れ、薬品による手拭きが行われる。この場合、エア駆動
手段３は、保持部１０とエア供給部１１とがＬ字状に一
体成形されていることから、特にエアフィルタ１５付近
の細部まで洗浄を行うことができる。
ンス時には、キャリア２とエア駆動手段３とを分離して
行う。エア駆動手段３は、他のクリーンエリアに持込ま
れ、薬品による手拭きが行われる。この場合、エア駆動
手段３は、保持部１０とエア供給部１１とがＬ字状に一
体成形されていることから、特にエアフィルタ１５付近
の細部まで洗浄を行うことができる。
【００１７】また、キャリア２は、他の場所には移さず
に、その場で洗浄される。洗浄は、エアフィルタや電気
配線を考慮することなく純水に浸漬して細部まで行うも
のである。また、キャリア２とエア駆動手段３が分離さ
れることから、当該キャリア２に他の洗浄済のエア駆動
手段を組合わせることができる。
に、その場で洗浄される。洗浄は、エアフィルタや電気
配線を考慮することなく純水に浸漬して細部まで行うも
のである。また、キャリア２とエア駆動手段３が分離さ
れることから、当該キャリア２に他の洗浄済のエア駆動
手段を組合わせることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、キャリア
とエア駆動手段が脱着可能に分離されており、エア駆動
手段は板状の保持部とエア供給部がＬ字状に一体成形さ
れることにより、エア供給部の細部まで洗浄することが
でき、ウエハ収納器を高いクリーン度で保管することが
できる。
とエア駆動手段が脱着可能に分離されており、エア駆動
手段は板状の保持部とエア供給部がＬ字状に一体成形さ
れることにより、エア供給部の細部まで洗浄することが
でき、ウエハ収納器を高いクリーン度で保管することが
できる。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】従来のウエハ収納器の外観図である。
１ ウエハ収納器
２ キャリア
３ エア駆動手段
１０ 保持部
１１ エア供給部
１５ エアフィルタ
１６ ファン
Claims (1)
- 【請求項１】 複数枚のウエハを並列に収納するキャ
リア（２）と、該キャリア（２）を着脱可能に保持する
板状の保持部（１０）が、ファン（１６）よりエアフィ
ルタ（１５）を介してクリーンエアを該キャリア（２）
に送風するエア供給部（１１）に、Ｌ字状に一体成形さ
れたエア駆動手段（３）と、を有することを特徴とする
ウエハ収納器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2408027A JPH04225547A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | ウエハ収納器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2408027A JPH04225547A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | ウエハ収納器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225547A true JPH04225547A (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=18517535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2408027A Pending JPH04225547A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | ウエハ収納器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04225547A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6364922B1 (en) | 1999-07-06 | 2002-04-02 | Ebara Corporation | Substrate transport container |
| JP2002299427A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Mitsubishi Electric Corp | 基板カセット、基板汚染防止装置および半導体装置の製造方法 |
| US6521007B1 (en) | 1997-12-03 | 2003-02-18 | Ebara Corporation | Clean box |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2408027A patent/JPH04225547A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6521007B1 (en) | 1997-12-03 | 2003-02-18 | Ebara Corporation | Clean box |
| US6364922B1 (en) | 1999-07-06 | 2002-04-02 | Ebara Corporation | Substrate transport container |
| JP2002299427A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Mitsubishi Electric Corp | 基板カセット、基板汚染防止装置および半導体装置の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990525 |