JPH0451544A - ウエハ収納器 - Google Patents
ウエハ収納器Info
- Publication number
- JPH0451544A JPH0451544A JP2160412A JP16041290A JPH0451544A JP H0451544 A JPH0451544 A JP H0451544A JP 2160412 A JP2160412 A JP 2160412A JP 16041290 A JP16041290 A JP 16041290A JP H0451544 A JPH0451544 A JP H0451544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- air
- wafer
- area
- air filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置の製造工程におけるウエハを保管
、搬送する際に使用されるウェハ収納器に関する。
、搬送する際に使用されるウェハ収納器に関する。
近年、半導体装置の高集積化に伴い、製造工程中にウェ
ハに付着するパーティクルは歩留りを低下させる大きな
要因となっている。そのため、保管、搬送時においても
パーティクルの付着を防止する必要がある。
ハに付着するパーティクルは歩留りを低下させる大きな
要因となっている。そのため、保管、搬送時においても
パーティクルの付着を防止する必要がある。
半導体装置の製造工程中において、ウェハは多数枚ずつ
キャリヤに保持されて搬送される。搬送は工程間搬送と
工程内搬送かあり、工程間搬送では、キャリヤは充分な
空気清浄度か確保された搬送用トンネル内を搬送される
が、工程内搬送ではそのキャリヤを作業者自身か各製造
装置に搬送している。この場合、ウェハは露出状態であ
り、工程内での搬送及び保管時にパーティクルか付着す
る。
キャリヤに保持されて搬送される。搬送は工程間搬送と
工程内搬送かあり、工程間搬送では、キャリヤは充分な
空気清浄度か確保された搬送用トンネル内を搬送される
が、工程内搬送ではそのキャリヤを作業者自身か各製造
装置に搬送している。この場合、ウェハは露出状態であ
り、工程内での搬送及び保管時にパーティクルか付着す
る。
そこで、ウェハを保持したキャリヤを清浄箱内に収納す
ることが知られている。第４図に、従来の清浄箱（ウェ
ハ収納器）の外観図を示す。第４図において、清浄箱５
０は、底面を開口した四角筒状に形成され、天井面にキ
ャリヤの取手を通すための孔５１か形成される。背面に
はエアフィルタ５２を介在させて連通ずるエア引込部５
３が設けられる。エア引込部５３は、エアフィルタ室５
３ａ、バッテリ室５３ｂ及びエア引込み室５３Ｃにより
構成され、エア引込み室５３ｃはエアフィルタ室５３ａ
とは通気孔５３ｄにより連通される。また、エア引込み
室には天井面よりエアを引込むファン（送風機）５４か
設けられ、バッテリ室５３ｂに該ファン５４を駆動する
バッテリ５５か配置される。
ることが知られている。第４図に、従来の清浄箱（ウェ
ハ収納器）の外観図を示す。第４図において、清浄箱５
０は、底面を開口した四角筒状に形成され、天井面にキ
ャリヤの取手を通すための孔５１か形成される。背面に
はエアフィルタ５２を介在させて連通ずるエア引込部５
３が設けられる。エア引込部５３は、エアフィルタ室５
３ａ、バッテリ室５３ｂ及びエア引込み室５３Ｃにより
構成され、エア引込み室５３ｃはエアフィルタ室５３ａ
とは通気孔５３ｄにより連通される。また、エア引込み
室には天井面よりエアを引込むファン（送風機）５４か
設けられ、バッテリ室５３ｂに該ファン５４を駆動する
バッテリ５５か配置される。
そして、この清浄箱５０内にウェハを保持したキャリヤ
を収納して密閉した状態で、ファン５４を回転させて外
気を引込み、エアフィルタ５２てろ過しながら、キャリ
ヤ内を循環させる。これにより、ウェハを清浄な雰囲気
中で保管してパーティクルの付着を防止している。
を収納して密閉した状態で、ファン５４を回転させて外
気を引込み、エアフィルタ５２てろ過しながら、キャリ
ヤ内を循環させる。これにより、ウェハを清浄な雰囲気
中で保管してパーティクルの付着を防止している。
ところで、ウェハにパーティクルが付着するのを防止す
るためには、キャリヤ内の全域に均一な０．３ｍ／ｓ以
上の風速で層流をウェハに当てる必要かある。
るためには、キャリヤ内の全域に均一な０．３ｍ／ｓ以
上の風速で層流をウェハに当てる必要かある。
しかし、ウニハロ径か比較的小さい場合には送風面積も
小さく定格の風速が得られるが、ウェハの大口径化に伴
いキャリヤの拡大により送風面積か大きくなると定格の
風速が得られない。そのため、外気の引込み量を多くす
る方法として、ファンを複数個にすることが考えられる
が、風量を得ることかできてもエアフィルタ面の全域、
ひいてはキャリヤ内の全域に均一な風速を得ることが困
難であるという問題がある。
小さく定格の風速が得られるが、ウェハの大口径化に伴
いキャリヤの拡大により送風面積か大きくなると定格の
風速が得られない。そのため、外気の引込み量を多くす
る方法として、ファンを複数個にすることが考えられる
が、風量を得ることかできてもエアフィルタ面の全域、
ひいてはキャリヤ内の全域に均一な風速を得ることが困
難であるという問題がある。
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、エア
フィルタ面の全域で均一な定格以上の風速が得られ、大
口径のウェハへのパーティクルの付着を防止するウェハ
収納器を提供することを目的とする。
フィルタ面の全域で均一な定格以上の風速が得られ、大
口径のウェハへのパーティクルの付着を防止するウェハ
収納器を提供することを目的とする。
上記課題は、複数のウェハを並列に保持するキャリヤを
収納領域部に収納し、該収納領域部とエアフィルタを介
して連通される外気領域部に、複数の送風機で外気を引
込み、該収納領域部のウェハに該エアフィルタでろ過し
たエアを送風するウェハ収納器において、前記外気領域
部に、前記送風機で引込まれた外気を前記エアフィルタ
の全面で均一に所定風速で配分する所定数の拡散板を設
けることにより解決される。
収納領域部に収納し、該収納領域部とエアフィルタを介
して連通される外気領域部に、複数の送風機で外気を引
込み、該収納領域部のウェハに該エアフィルタでろ過し
たエアを送風するウェハ収納器において、前記外気領域
部に、前記送風機で引込まれた外気を前記エアフィルタ
の全面で均一に所定風速で配分する所定数の拡散板を設
けることにより解決される。
上述のように、複数の送風機で引込まれた外気を、外気
領域部に設けられた所定数の拡散板により、エアフィル
タの全面で均一に所定風速で配分する。すなわち、エア
フィルタの全面において均一に所定風速で通過するろ過
されたエアが収納領域部内のウェハに送風される。
領域部に設けられた所定数の拡散板により、エアフィル
タの全面で均一に所定風速で配分する。すなわち、エア
フィルタの全面において均一に所定風速で通過するろ過
されたエアが収納領域部内のウェハに送風される。
これにより、ウェハか大口径化された結果として収納領
域部が拡大されても、常に定格以上の風速の層流を該収
納領域部の全域で均一に得られ、ウェハにパーティクル
の付着を防止することか可能となる。
域部が拡大されても、常に定格以上の風速の層流を該収
納領域部の全域で均一に得られ、ウェハにパーティクル
の付着を防止することか可能となる。
第１図に本発明の一実施例の構成図を示す。第１図にお
いて、ウェハ収納器１は収納領域部１ａ。
いて、ウェハ収納器１は収納領域部１ａ。
外気領域部１ｂ及び引込み領域部１ｃより構成される。
収納領域部１ａは、底面が開口されている。
また、天井面には孔２ａ、２ｂか形成され、該孔２ａ、
２ｂ間は図示しないが二重構造に形成される。この二重
構造の天井面の下板部分には後述するキャリヤ（第３図
参照）の取手を貫通する孔が形成されている。そして、
収納領域１ａの側面には電圧の供給及び充電のための電
極３が設けられる。
２ｂ間は図示しないが二重構造に形成される。この二重
構造の天井面の下板部分には後述するキャリヤ（第３図
参照）の取手を貫通する孔が形成されている。そして、
収納領域１ａの側面には電圧の供給及び充電のための電
極３が設けられる。
外気領域部１ｂは、収納領域部１ａの前記対向面とエア
フィルタ４を介して連通される。ここで、エア７、（ル
タ４は、例えばＨＥ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｃｉ
ｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕ１ａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔ
ｅｒ ）フィルタやＵＬＰＡ （Ｕｌｔｒａ ｌｏｗ
Ｐｅｘｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）フィ
ルタ等が使用される。また、外気領域部１ｂ内の背面に
は２つの拡散板５ａ、５ｂ（後述する）か設けられる。
フィルタ４を介して連通される。ここで、エア７、（ル
タ４は、例えばＨＥ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｃｉ
ｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕ１ａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔ
ｅｒ ）フィルタやＵＬＰＡ （Ｕｌｔｒａ ｌｏｗ
Ｐｅｘｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）フィ
ルタ等が使用される。また、外気領域部１ｂ内の背面に
は２つの拡散板５ａ、５ｂ（後述する）か設けられる。
一方、引込み領域部１ｃは外気領域部１ｂ上に設けられ
ており、対向する両側面にそれぞれ送風機（ファン）６
ａ、６ｂが設けられて外気を引込む。このファン６ａ、
６ｂは、収納領域部１ａの上部に内設されたバッテリ７
ａ、７ｂにより駆動され、バッテリ７ａ、７ｂは電極３
に接続される。
ており、対向する両側面にそれぞれ送風機（ファン）６
ａ、６ｂが設けられて外気を引込む。このファン６ａ、
６ｂは、収納領域部１ａの上部に内設されたバッテリ７
ａ、７ｂにより駆動され、バッテリ７ａ、７ｂは電極３
に接続される。
ここで、第２図に上記拡散板５ａ、５ｂの構成図を示す
。第２図（Ａ）（Ｂ）において、拡散板５ａ、５ｂは、
外気領域部１ｂの背面の上方より中央にかけて逆「ハ」
の字状に設けられる。また、その厚さは、外気領域部１
ｂのうち、エアフィルタ４の位置する残りの領域におけ
る奥行きの１／２〜１／３に設定される。
。第２図（Ａ）（Ｂ）において、拡散板５ａ、５ｂは、
外気領域部１ｂの背面の上方より中央にかけて逆「ハ」
の字状に設けられる。また、その厚さは、外気領域部１
ｂのうち、エアフィルタ４の位置する残りの領域におけ
る奥行きの１／２〜１／３に設定される。
ところで、ウェハの大型化（例えば８インチ、１０イン
チ）によって収納領域部１ａの容積が拡大し、２つの送
風機６ａ、６ｂにより側面から外気を引込むと、拡散板
５ａ、５ｂを設けない場合には、エアフィルタ４の面上
で中心部の風速が極端に低下する。そこで、上述のよう
に拡散板５ａ。
チ）によって収納領域部１ａの容積が拡大し、２つの送
風機６ａ、６ｂにより側面から外気を引込むと、拡散板
５ａ、５ｂを設けない場合には、エアフィルタ４の面上
で中心部の風速が極端に低下する。そこで、上述のよう
に拡散板５ａ。
５ｂを逆「ハ」の字状に設けることにより、中心部の風
速の低下を防止し、エアフィルタ４の全面で風速か均一
化される。
速の低下を防止し、エアフィルタ４の全面で風速か均一
化される。
従って、例えばファン６ａ、６ｂの送入口を引込み領域
部１ｃの上面に設けた場合等のように、外気領域部１ｂ
内の層流か変化する場合には、これに応じて拡散板５ａ
、５ｂの取付は角度や位置、個数、形状等を適宜設定す
れば足りる。
部１ｃの上面に設けた場合等のように、外気領域部１ｂ
内の層流か変化する場合には、これに応じて拡散板５ａ
、５ｂの取付は角度や位置、個数、形状等を適宜設定す
れば足りる。
このようなウェハ収納器１に収納されるキャリヤを第３
図に示す。第３図において、キャリヤ１０は、対向する
二側面が開口された箱型のもので、ウェハを出入れする
開口部１０ａには係止部１１ａ、ｌ１ｂが形成され、対
向する開口部ｌＯｂには延出部１２ａ、１２ｂが形成さ
れる。また、キャリヤＩＯの天井面には運搬のための取
手１３が設けられている。一方、キャリヤ１０の対向す
る内側面には支持溝１４か多数形成され、該支持溝１４
に多数枚のウェハ（例えば８インチ）か並列に支持され
る。なお、底部は下方へ開口される。
図に示す。第３図において、キャリヤ１０は、対向する
二側面が開口された箱型のもので、ウェハを出入れする
開口部１０ａには係止部１１ａ、ｌ１ｂが形成され、対
向する開口部ｌＯｂには延出部１２ａ、１２ｂが形成さ
れる。また、キャリヤＩＯの天井面には運搬のための取
手１３が設けられている。一方、キャリヤ１０の対向す
る内側面には支持溝１４か多数形成され、該支持溝１４
に多数枚のウェハ（例えば８インチ）か並列に支持され
る。なお、底部は下方へ開口される。
多数枚のウェハか保持されたキャリヤ１０は、ウェハ収
納器１の底面から収納される。すなわち、キャリヤｌＯ
の取手１３は孔２ａ、２ｂ間の前述のような二重構造の
天井面の下板部分に形成された孔を貫通し、この取手１
３の両方を持つことによりキャリヤ１０及びウェハ収、
結語１の両方を運搬可能としている。また、キャリヤｌ
Ｏの開口部１０ａの係止部１１ｂは収納時のストッパで
あり、開口部１０ｂの延出部１２ａ、１２ｂ間で前述の
エアフィルタ４を位置させるものである。
納器１の底面から収納される。すなわち、キャリヤｌＯ
の取手１３は孔２ａ、２ｂ間の前述のような二重構造の
天井面の下板部分に形成された孔を貫通し、この取手１
３の両方を持つことによりキャリヤ１０及びウェハ収、
結語１の両方を運搬可能としている。また、キャリヤｌ
Ｏの開口部１０ａの係止部１１ｂは収納時のストッパで
あり、開口部１０ｂの延出部１２ａ、１２ｂ間で前述の
エアフィルタ４を位置させるものである。
この場合、ファン６ａ、６ｂを駆動させ、エアフィルタ
４の全面で均一に所定風速で配分されることで、キャリ
ヤ１０内のウェハにはエアフィルタ４でろ過したエアか
均一に定格以上で送風することができ、ウェハへのパー
ティクルの付着を防止することができる。従って、ウェ
ハ収納器ｌが大型化した場合に、均一な送風を得るため
に外気領域部１ｂの形状を大きく変化させる必要がなく
なる。
４の全面で均一に所定風速で配分されることで、キャリ
ヤ１０内のウェハにはエアフィルタ４でろ過したエアか
均一に定格以上で送風することができ、ウェハへのパー
ティクルの付着を防止することができる。従って、ウェ
ハ収納器ｌが大型化した場合に、均一な送風を得るため
に外気領域部１ｂの形状を大きく変化させる必要がなく
なる。
例えば、エアフィルタ４にＵＬＰＡフィルタを使用した
場合に、０．１ｍ四方でパーティクルか９９、９９９％
カットすることかでき、ウェハ上で０．３５ｍ／ｓの定
格以上の風速が得られる。
場合に、０．１ｍ四方でパーティクルか９９、９９９％
カットすることかでき、ウェハ上で０．３５ｍ／ｓの定
格以上の風速が得られる。
以上のように本発明によれば、外気領域部に所定数の拡
散板を設けることにより、エアフィルタの全面で均一に
所定風速で配分し、キャリヤ内に均一な定格以上の風速
で層流を当てることでウェハへのパーティクルの付着を
防止することかでき、製品の歩留りを向上させることか
できる。
散板を設けることにより、エアフィルタの全面で均一に
所定風速で配分し、キャリヤ内に均一な定格以上の風速
で層流を当てることでウェハへのパーティクルの付着を
防止することかでき、製品の歩留りを向上させることか
できる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、
第２図は本発明の拡散板を示した構成図、第３図はウェ
ハ収納器に収納されるキャリヤの斜視図、 第４図は従来のウェハ収納器の外観図である。 図において、 ｌはウェハ収納器、 １ａは収納領域部、 １ｂは外気領域部、 １ｃは引込み領域部、 ２ａ、２ｂは孔、 ３は電極、 ４はエアフィルタ、 ５ａ、５ｂは拡散板、 ６ａ、６ｂは送風機（ファン）、 ７ａ、７ｂはバッテリ を示す。
ハ収納器に収納されるキャリヤの斜視図、 第４図は従来のウェハ収納器の外観図である。 図において、 ｌはウェハ収納器、 １ａは収納領域部、 １ｂは外気領域部、 １ｃは引込み領域部、 ２ａ、２ｂは孔、 ３は電極、 ４はエアフィルタ、 ５ａ、５ｂは拡散板、 ６ａ、６ｂは送風機（ファン）、 ７ａ、７ｂはバッテリ を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数のウェハを並列に保持するキャリヤを収納領域部
（１ａ）に収納し、該収納領域部（１ａ）とエアフィル
タ（４）を介して連通される外気領域部（１ｂ）に、複
数の送風機（６ａ、６ｂ）で外気を引込み、該収納領域
部のウェハに該エアフィルタ（４）でろ過したエアを送
風するウェハ収納器において、 前記外気領域部（１ａ）に、前記送風機（６ａ、６ｂ）
で引込まれた外気を前記エアフィルタ（４）の全面で均
一に所定風速で配分する所定数の拡散板（５ａ、５ｂ）
を設けることを特徴とするウェハ収納器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2160412A JPH0451544A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | ウエハ収納器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2160412A JPH0451544A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | ウエハ収納器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451544A true JPH0451544A (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=15714378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2160412A Pending JPH0451544A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | ウエハ収納器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451544A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6364922B1 (en) | 1999-07-06 | 2002-04-02 | Ebara Corporation | Substrate transport container |
| US6521007B1 (en) | 1997-12-03 | 2003-02-18 | Ebara Corporation | Clean box |
| JP2016225352A (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-28 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62269334A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | ウエ−ハキヤリア |
-
1990
- 1990-06-19 JP JP2160412A patent/JPH0451544A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62269334A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | ウエ−ハキヤリア |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6521007B1 (en) | 1997-12-03 | 2003-02-18 | Ebara Corporation | Clean box |
| US6364922B1 (en) | 1999-07-06 | 2002-04-02 | Ebara Corporation | Substrate transport container |
| JP2016225352A (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-28 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
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