JPH0435345B2 - - Google Patents
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- JPH0435345B2 JPH0435345B2 JP55120272A JP12027280A JPH0435345B2 JP H0435345 B2 JPH0435345 B2 JP H0435345B2 JP 55120272 A JP55120272 A JP 55120272A JP 12027280 A JP12027280 A JP 12027280A JP H0435345 B2 JPH0435345 B2 JP H0435345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- flow path
- substrate
- inkjet inkjet
- photosensitive resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インクジエツトヘツド、詳しくは所
謂インクジエツト記録方式を用いて記録用インク
を小滴として吐出する為のインクジエツトヘツド
に関する。
謂インクジエツト記録方式を用いて記録用インク
を小滴として吐出する為のインクジエツトヘツド
に関する。
［従来の技術］
インクジエツト記録方式に適用されるインクジ
エツトヘツドは、一般に微細なインクの吐出口
（オリフイス）、インクの流路、この流路に連通す
る室及び流路に対して配されインクを吐出するた
めに利用されるエネルギーを発生するエネルギー
発生体を具えている。
エツトヘツドは、一般に微細なインクの吐出口
（オリフイス）、インクの流路、この流路に連通す
る室及び流路に対して配されインクを吐出するた
めに利用されるエネルギーを発生するエネルギー
発生体を具えている。
従来、この様なインクジエツトヘツドを作製す
る方法として、例えばガラスや金属の板に切削や
エツチング等により微細な溝を形成した後、この
溝を形成した板を他の適当な板と接合してインク
の流路を形成する方法が知られている。
る方法として、例えばガラスや金属の板に切削や
エツチング等により微細な溝を形成した後、この
溝を形成した板を他の適当な板と接合してインク
の流路を形成する方法が知られている。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、斯かる従来法によつて作製されるヘツ
ドでは、切削加工されるインクの流路の内壁面の
荒れが大き過ぎたり、エツチング率の差からイン
クの流路に歪みが生じたりして、流路抵抗の一定
した流路が得難く、作製後のインクジエツトヘツ
ドのインクの吐出特性にバラツキが出易い。又、
切削加工の際に板の欠けや割れが生じ易く、製造
歩留りが悪いと言う問題点もある。そして、エツ
チング加工を行なう場合は、製造工程が多く製造
コストの上昇をまねくと言う不利がある。
ドでは、切削加工されるインクの流路の内壁面の
荒れが大き過ぎたり、エツチング率の差からイン
クの流路に歪みが生じたりして、流路抵抗の一定
した流路が得難く、作製後のインクジエツトヘツ
ドのインクの吐出特性にバラツキが出易い。又、
切削加工の際に板の欠けや割れが生じ易く、製造
歩留りが悪いと言う問題点もある。そして、エツ
チング加工を行なう場合は、製造工程が多く製造
コストの上昇をまねくと言う不利がある。
更に、上記した従来法に共通する問題点として
は、インクの流路の溝を形成した溝付板と、イン
クを吐出するために利用されるエネルギーを発生
する圧電素子、発熱素子等の駆動素子（「エネル
ギー発生体」或いは「エネルギー発生素子」とも
称する）が設けられた基板との貼合せの際に、
夫々の位置合せが困難であつて量産性に欠ける点
が挙げられる。
は、インクの流路の溝を形成した溝付板と、イン
クを吐出するために利用されるエネルギーを発生
する圧電素子、発熱素子等の駆動素子（「エネル
ギー発生体」或いは「エネルギー発生素子」とも
称する）が設けられた基板との貼合せの際に、
夫々の位置合せが困難であつて量産性に欠ける点
が挙げられる。
従つて、これ等の問題点が解決される構成を有
するインクジエツトヘツドの開発が熱望されてい
る。
するインクジエツトヘツドの開発が熱望されてい
る。
本発明は、上記問題点に鑑み成されたもので、
安価で精密であり、しかも信頼性の高いインクジ
エツトヘツドを提供することを目的の一つとす
る。又、インクの流路が精度良く正確に且つ歩留
り良く微細加工された構成を有するインクジエツ
トヘツドを提供することも本発明の目的である。
安価で精密であり、しかも信頼性の高いインクジ
エツトヘツドを提供することを目的の一つとす
る。又、インクの流路が精度良く正確に且つ歩留
り良く微細加工された構成を有するインクジエツ
トヘツドを提供することも本発明の目的である。
［課題を解決するための手段］
そして、この様な目的を達成する本発明のイン
クジエツトヘツドは、 インクを吐出する複数の吐出口と、 各吐出口に対応して設けられ対応する吐出口に
連通する流路と、 各流路に連通する室と、 前記流路の夫々に対して配され前記吐出口から
インクを吐出するために利用されるエネルギーを
発生するエネルギー発生体と、 を有し、 前記吐出口と前記流路と前記室との夫々が基板
と蓋部材とを壁部材を介して接合して形成されて
おり、 前記エネルギー発生体は前記基板表面に設けら
れており、 前記壁部材は感光性樹脂を硬化処理した硬化層
から成り、 前記吐出口が切断によつて形成されたことを特
徴とする。
クジエツトヘツドは、 インクを吐出する複数の吐出口と、 各吐出口に対応して設けられ対応する吐出口に
連通する流路と、 各流路に連通する室と、 前記流路の夫々に対して配され前記吐出口から
インクを吐出するために利用されるエネルギーを
発生するエネルギー発生体と、 を有し、 前記吐出口と前記流路と前記室との夫々が基板
と蓋部材とを壁部材を介して接合して形成されて
おり、 前記エネルギー発生体は前記基板表面に設けら
れており、 前記壁部材は感光性樹脂を硬化処理した硬化層
から成り、 前記吐出口が切断によつて形成されたことを特
徴とする。
［作用］
本発明のインクジエツトヘツドの最たる特徴
は、感光性樹脂の硬化層でインクの通路の壁部材
が形成された点である。この様な本発明のインク
ジエツトヘツドは、感光性樹脂の精密微細加工性
を利用することにより、寸法や形状において信頼
性が高く、且つ低コストで歩留り良く作成され得
るインクの通路を有する。また、インクの通路の
内壁面が平滑なので、インクがスムーズに流れ
る。更に、例えば電気配線などにより基板に微小
凹凸が存在する場合であつても、感光性樹脂の可
塑性を利用することにより微小凹凸に十分に対応
して、高精度の寸法、形状を有するインクの通路
を得ることができる。従つて、本発明のインクジ
エツトヘツドは、吐出口からのインクの吐出特性
（インクを吐出する上での安定性、均一性、直進
性、エネルギー効率等）や通路におけるインクの
供給特性が極めて良好であるという優れた効果を
奏する。
は、感光性樹脂の硬化層でインクの通路の壁部材
が形成された点である。この様な本発明のインク
ジエツトヘツドは、感光性樹脂の精密微細加工性
を利用することにより、寸法や形状において信頼
性が高く、且つ低コストで歩留り良く作成され得
るインクの通路を有する。また、インクの通路の
内壁面が平滑なので、インクがスムーズに流れ
る。更に、例えば電気配線などにより基板に微小
凹凸が存在する場合であつても、感光性樹脂の可
塑性を利用することにより微小凹凸に十分に対応
して、高精度の寸法、形状を有するインクの通路
を得ることができる。従つて、本発明のインクジ
エツトヘツドは、吐出口からのインクの吐出特性
（インクを吐出する上での安定性、均一性、直進
性、エネルギー効率等）や通路におけるインクの
供給特性が極めて良好であるという優れた効果を
奏する。
また、本発明のインクジエツトヘツドの更なる
特徴は、先に述べた感光性樹脂の壁部材を用いて
吐出口が形成されており、且つその吐出口が切断
によつて形成された点である。吐出口が切断によ
つて形成されることは、エネルギー発生体と吐出
口との間隔を最適化するために大切なことである
が、本発明では、先に述べた切削性に富む感光性
樹脂の壁部材を用いて吐出口が形成されているの
で、吐出口が設けられる吐出口面を格段に平滑な
ものとすることができる。また、感光性樹脂の壁
部材は高い密着性を有するので、基板と壁部材と
の間及び蓋部材と壁部材との間は、切断がなされ
ても強固に密着した状態を保持することができ
る。それ故、本発明によれば、インクジエツトヘ
ツドの強度を維持したまま、先に述べた吐出口か
らのインクの吐出特性を一層優れたものとするこ
とができる。
特徴は、先に述べた感光性樹脂の壁部材を用いて
吐出口が形成されており、且つその吐出口が切断
によつて形成された点である。吐出口が切断によ
つて形成されることは、エネルギー発生体と吐出
口との間隔を最適化するために大切なことである
が、本発明では、先に述べた切削性に富む感光性
樹脂の壁部材を用いて吐出口が形成されているの
で、吐出口が設けられる吐出口面を格段に平滑な
ものとすることができる。また、感光性樹脂の壁
部材は高い密着性を有するので、基板と壁部材と
の間及び蓋部材と壁部材との間は、切断がなされ
ても強固に密着した状態を保持することができ
る。それ故、本発明によれば、インクジエツトヘ
ツドの強度を維持したまま、先に述べた吐出口か
らのインクの吐出特性を一層優れたものとするこ
とができる。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第１図乃至第７図は、本発明のインクジエツト
ヘツドの構成とその製作手順を説明する為の模式
図である。
ヘツドの構成とその製作手順を説明する為の模式
図である。
先ず、第１図に示す様に、ガラス、セラミツク
ス，プラスチツク或いは金属等からなる適当な基
板１上に、発熱素子或いは圧電素子等のエネルギ
ー発生素子２を所望の個数（図に於ては２個）配
設する。因みに、エネルギー発生素子２として発
熱素子が用いられるときには、この素子が熱エネ
ルギーを発生して近傍のインクを加熱することに
よりインクが吐出する。又、圧電素子が用いられ
るときには、この素子の機械的振動によつてイン
クが吐出する。尚、これ等の素子２には、図示さ
れていない信号入力用電極が接続してある。
ス，プラスチツク或いは金属等からなる適当な基
板１上に、発熱素子或いは圧電素子等のエネルギ
ー発生素子２を所望の個数（図に於ては２個）配
設する。因みに、エネルギー発生素子２として発
熱素子が用いられるときには、この素子が熱エネ
ルギーを発生して近傍のインクを加熱することに
よりインクが吐出する。又、圧電素子が用いられ
るときには、この素子の機械的振動によつてイン
クが吐出する。尚、これ等の素子２には、図示さ
れていない信号入力用電極が接続してある。
次に、エネルギー発生素子２を設けた基板１表
面を清浄化すると共に乾燥させた後、素子２を設
けた基板面１Ａに、80℃〜105℃程度に加温され
たドライフイルムフオトレジスト３（膜厚が約
25μ〜100μ）を0.5〜0.4f／分の速度、１〜３Kg／
cm2の加圧条件下でラミネートする（第２図ａ，
ｂ）。尚、第２図ｂは第２図ａのＸ−X′線切断面
図である。
面を清浄化すると共に乾燥させた後、素子２を設
けた基板面１Ａに、80℃〜105℃程度に加温され
たドライフイルムフオトレジスト３（膜厚が約
25μ〜100μ）を0.5〜0.4f／分の速度、１〜３Kg／
cm2の加圧条件下でラミネートする（第２図ａ，
ｂ）。尚、第２図ｂは第２図ａのＸ−X′線切断面
図である。
このとき、ドライフイルムフオトレジスト３は
基板面１Ａに圧着して固定され、以後多少の外圧
が加わつた場合にも基板面１Ａから剥離すること
はない。
基板面１Ａに圧着して固定され、以後多少の外圧
が加わつた場合にも基板面１Ａから剥離すること
はない。
続いて、第３図に示す様に、基板面１Ａに設け
たドライフイルムフオトレジスト３上に所定のパ
ターン４Ｐを有するフオトマスク４を重ね合せた
後、このフオトマスク４の上部から露光光源５を
用いて露光を行う。尚、上記パターン４Ｐは、後
にインクの供給室、細流路及び吐出口を構成する
領域に相当しており、このパターン４Ｐは光を透
過しない。従つて、パターン４Ｐで覆われている
領域のドライフイルムフオトレジスト３は露光さ
れない。又、このとき、エネルギー発生素子２の
設置位置と上記パターン４Ｐとの位置合せを周知
の手法で行つておく必要がある。つまり、少なく
とも後に形成されるインクの細流路中に上記素子
２が位置すべく配慮される。
たドライフイルムフオトレジスト３上に所定のパ
ターン４Ｐを有するフオトマスク４を重ね合せた
後、このフオトマスク４の上部から露光光源５を
用いて露光を行う。尚、上記パターン４Ｐは、後
にインクの供給室、細流路及び吐出口を構成する
領域に相当しており、このパターン４Ｐは光を透
過しない。従つて、パターン４Ｐで覆われている
領域のドライフイルムフオトレジスト３は露光さ
れない。又、このとき、エネルギー発生素子２の
設置位置と上記パターン４Ｐとの位置合せを周知
の手法で行つておく必要がある。つまり、少なく
とも後に形成されるインクの細流路中に上記素子
２が位置すべく配慮される。
以上の如く露光すると、パターン４Ｐ領域外の
フオトレジスト３が重合反応を起して硬化し、溶
剤不溶性になる。他方、露光されなかつたフオト
レジスト３は硬化せず、溶剤可溶性のまま残る。
フオトレジスト３が重合反応を起して硬化し、溶
剤不溶性になる。他方、露光されなかつたフオト
レジスト３は硬化せず、溶剤可溶性のまま残る。
露光操作を経た後、ドライフイルムフオトレジ
スト３を揮発性有機溶剤、例えばトリクロルエタ
ン中に浸漬して、未重合（未硬化）のフオトレジ
ストを溶解除去すると、硬化フオトレジスト膜３
Ｈにはパターン４Ｐに従つて第４図ａに示す凹部
が形成される。その後、基板１上に残された硬化
フオトレジスト膜３Ｈの耐溶剤性を向上させる目
的でこれを更に硬化させる。その方法としては、
熱重合（130℃〜160℃で10分〜60分程度加熱）さ
せるか、紫外線照射を行うか、これ等両者を併用
するのがよい。
スト３を揮発性有機溶剤、例えばトリクロルエタ
ン中に浸漬して、未重合（未硬化）のフオトレジ
ストを溶解除去すると、硬化フオトレジスト膜３
Ｈにはパターン４Ｐに従つて第４図ａに示す凹部
が形成される。その後、基板１上に残された硬化
フオトレジスト膜３Ｈの耐溶剤性を向上させる目
的でこれを更に硬化させる。その方法としては、
熱重合（130℃〜160℃で10分〜60分程度加熱）さ
せるか、紫外線照射を行うか、これ等両者を併用
するのがよい。
この様にして硬化フオトレジスト膜３Ｈに形成
された凹部のうち、６−１はインクジエツトヘツ
ドに於けるインク供給室に、又６−２はインクの
細流路に相当するものである。尚、第４図ｂは、
第４図ａのＹ−Y′線切断面図である。
された凹部のうち、６−１はインクジエツトヘツ
ドに於けるインク供給室に、又６−２はインクの
細流路に相当するものである。尚、第４図ｂは、
第４図ａのＹ−Y′線切断面図である。
叙上の工程を経てインク供給室６−１、インク
細流路６−２等を含むインクの通路を形成するた
めの溝の壁部材が形成された基板１の上面側に、
第５図に示す如く、天井を構成する平板（蓋部
材）７を貼着する。この具体的方法としては、 (1) ガラス，セラミツクス，金属，プラスチツク
等の平板にエポキシ系接着剤を厚さ３〜4μに
スピンナーコートした後、予備加熱して接着剤
を所謂Ｂステージ化させ、これを硬化フオトレ
ジスト膜３Ｈ上に貼り合せて前記接着剤を本硬
化させる、或いは、 (2) アクリル系樹脂，ABS樹脂，ポリエチレン
等の熱可塑性樹脂の平板を硬化フオトレジスト
膜３Ｈ上に、直接熱融着させる、などの方法が
ある。
細流路６−２等を含むインクの通路を形成するた
めの溝の壁部材が形成された基板１の上面側に、
第５図に示す如く、天井を構成する平板（蓋部
材）７を貼着する。この具体的方法としては、 (1) ガラス，セラミツクス，金属，プラスチツク
等の平板にエポキシ系接着剤を厚さ３〜4μに
スピンナーコートした後、予備加熱して接着剤
を所謂Ｂステージ化させ、これを硬化フオトレ
ジスト膜３Ｈ上に貼り合せて前記接着剤を本硬
化させる、或いは、 (2) アクリル系樹脂，ABS樹脂，ポリエチレン
等の熱可塑性樹脂の平板を硬化フオトレジスト
膜３Ｈ上に、直接熱融着させる、などの方法が
ある。
尚、平板７には、図示の如く、不図示のインク
係給管を連結させる為の貫通孔８が設けてある。
係給管を連結させる為の貫通孔８が設けてある。
以上の様にして溝を形成した基板と平板との接
合が完了した後、第５図のＣ−C′線に沿つて切断
を行う。これは、インクの細流路６−２に於て、
エネルギー発生素子２とインクの吐出口９との間
隔を最適下する為に行うものである。切断する領
域は適宜決定される。この切断に際しては、半導
体工業で通常採用されているダイシング法が採用
される。第６図は第５図のＺ−Z′線切断面図であ
る。そして、切断面を研磨して平滑化し、貫通孔
８にインク供給管１０を取り付けてインクジエツ
トヘツドが完成する（第７図）。
合が完了した後、第５図のＣ−C′線に沿つて切断
を行う。これは、インクの細流路６−２に於て、
エネルギー発生素子２とインクの吐出口９との間
隔を最適下する為に行うものである。切断する領
域は適宜決定される。この切断に際しては、半導
体工業で通常採用されているダイシング法が採用
される。第６図は第５図のＺ−Z′線切断面図であ
る。そして、切断面を研磨して平滑化し、貫通孔
８にインク供給管１０を取り付けてインクジエツ
トヘツドが完成する（第７図）。
叙上の実施例に於ては、溝作成用の感光性樹脂
組成物（フオトレジスト）としてドライフイルム
タイプ、即ち固体のものを利用したが、本発明で
はこれのみに限るものではなく、液状の感光性樹
脂組成物も勿論利用することができる。
組成物（フオトレジスト）としてドライフイルム
タイプ、即ち固体のものを利用したが、本発明で
はこれのみに限るものではなく、液状の感光性樹
脂組成物も勿論利用することができる。
そして、基板上にこの感光性樹脂組成物を塗膜
形成する方法として、液体の場合にはレリーフ画
像の製作時に用いられるスキージによる方法、即
ち所望の感光性樹脂組成物の膜厚と同じ高さの壁
を基板の周囲におき、スキージによつて余分の樹
脂組成物を除去する方法である。この場合、感光
性組成物の粘度は100cp〜300cpが適当である。
又、基板の周囲におく壁の高さは、感光性樹脂組
成物の溶剤分の蒸発の減量を見込んで決定する必
要がある。他方、固体の場合は、感光性樹脂組成
物シートを基板上に加熱圧着して貼着する。
形成する方法として、液体の場合にはレリーフ画
像の製作時に用いられるスキージによる方法、即
ち所望の感光性樹脂組成物の膜厚と同じ高さの壁
を基板の周囲におき、スキージによつて余分の樹
脂組成物を除去する方法である。この場合、感光
性組成物の粘度は100cp〜300cpが適当である。
又、基板の周囲におく壁の高さは、感光性樹脂組
成物の溶剤分の蒸発の減量を見込んで決定する必
要がある。他方、固体の場合は、感光性樹脂組成
物シートを基板上に加熱圧着して貼着する。
尚、本発明に於ては、その取扱い上、及び厚さ
の制御が容易且つ正確にできる点で、固体のフイ
ルムタイプのものを利用する方が有利である。こ
のような固体のものとしては、例えばデユポン社
パーンマネントフオトポリマーコーテイング
RISTON，ソルダーマスク730S，同740S，同
730FR，同740FR，同SM1等の商品名で市販され
ている感光性樹脂がある。この他、本発明におい
て使用される感光性樹脂組成物としては、通常の
フオトリソグラフイーの分野において使用されて
いる多くのものが挙げられる。これ等の感光性樹
脂組成物としては、例えばジアゾレジン，Ｐ−ジ
アゾキノン、更には例えばビニルモノマーと重合
開始剤を使用する光重合型フオトポリマー，ポリ
ビニルシンナメート等と増感剤を使用する二量化
型フオトポリマー，オルソナフトキノンジアジド
とボラツクタイプのフエノール樹脂との混合物、
ポリビニルアルコールとジアゾ樹脂の混合物、４
−グリシジルエチレンオキシドとベンゾフエノン
やグリシジルカルコンとを共重合させたポリエー
テル型フオトポリマー、Ｎ，Ｎ−ジメチルメタク
リルアミドと例えばアクリルアミドベンゾフエノ
ンとの共重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹
脂［例えばAPR（旭化成），テビスタ（帝人），ゾ
ンネ（関西ペイント）等］、不飽和ウレタンオリ
ゴマー系感光性樹脂，二官能アクリルモノマーに
光重合開始剤とポリマーとを混合した感光性組成
物、重クロム酸系フオトレジスト、非クロム系水
溶性フオトレジスト、ポリケイ皮酸ビニル系フオ
トレジスト、環化ゴムーアジト系フオトレジス
ト、等が挙げられる。
の制御が容易且つ正確にできる点で、固体のフイ
ルムタイプのものを利用する方が有利である。こ
のような固体のものとしては、例えばデユポン社
パーンマネントフオトポリマーコーテイング
RISTON，ソルダーマスク730S，同740S，同
730FR，同740FR，同SM1等の商品名で市販され
ている感光性樹脂がある。この他、本発明におい
て使用される感光性樹脂組成物としては、通常の
フオトリソグラフイーの分野において使用されて
いる多くのものが挙げられる。これ等の感光性樹
脂組成物としては、例えばジアゾレジン，Ｐ−ジ
アゾキノン、更には例えばビニルモノマーと重合
開始剤を使用する光重合型フオトポリマー，ポリ
ビニルシンナメート等と増感剤を使用する二量化
型フオトポリマー，オルソナフトキノンジアジド
とボラツクタイプのフエノール樹脂との混合物、
ポリビニルアルコールとジアゾ樹脂の混合物、４
−グリシジルエチレンオキシドとベンゾフエノン
やグリシジルカルコンとを共重合させたポリエー
テル型フオトポリマー、Ｎ，Ｎ−ジメチルメタク
リルアミドと例えばアクリルアミドベンゾフエノ
ンとの共重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹
脂［例えばAPR（旭化成），テビスタ（帝人），ゾ
ンネ（関西ペイント）等］、不飽和ウレタンオリ
ゴマー系感光性樹脂，二官能アクリルモノマーに
光重合開始剤とポリマーとを混合した感光性組成
物、重クロム酸系フオトレジスト、非クロム系水
溶性フオトレジスト、ポリケイ皮酸ビニル系フオ
トレジスト、環化ゴムーアジト系フオトレジス
ト、等が挙げられる。
［発明の効果］
以上に詳しく説明した本発明の効果としては、
次の通り種々列挙することができる。
次の通り種々列挙することができる。
(1) ヘツド製作の主要工程が、所謂印写技術に因
る為、所望のパターンでヘツド細密部の形成が
極めて簡単に行なえる。しかも、同構成のヘツ
ドを多数、同時加工することもできる。
る為、所望のパターンでヘツド細密部の形成が
極めて簡単に行なえる。しかも、同構成のヘツ
ドを多数、同時加工することもできる。
(2) 製作工程数が比較的少ないので、生産性が良
好である。
好である。
(3) 主要構成部位の位置合せを容易にして確実に
為すことができ、寸法精度の高いヘツドが歩留
り良く得られる。
為すことができ、寸法精度の高いヘツドが歩留
り良く得られる。
(4) 高密度マルチ吐出口のインクジエツトヘツド
が簡略な方法で得られる。
が簡略な方法で得られる。
(5) インクの流路を構成する溝壁の厚さの調整が
極めて容易であり、感光性樹脂組成物層の厚さ
に応じて所望の寸法（例えば溝深さ）の流路を
形成することができる。
極めて容易であり、感光性樹脂組成物層の厚さ
に応じて所望の寸法（例えば溝深さ）の流路を
形成することができる。
(6) 連続且つ大量生産が可能である。
(7) エツチング液（フツ化水素酸等の強酸類）を
使用する必要が必ずしもないので、安全衛星の
面でも優れている。
使用する必要が必ずしもないので、安全衛星の
面でも優れている。
(8) 接着剤をほとんど使用する必要がないので、
接着剤が流動して溝が塞がれたり、エネルギー
発生体に付着して機能低下を引き起こすことが
ない。
接着剤が流動して溝が塞がれたり、エネルギー
発生体に付着して機能低下を引き起こすことが
ない。
以上説明した様に、本発明のインクジエツトヘ
ツドの最たる特徴は、感光性樹脂の硬化層でイン
クの通路の壁部材が形成された点である。この様
な本発明のインクジエツトヘツドは、感光性樹脂
の精密微細加工性を利用することにより、寸法や
形状において信頼性が高く、且つ低コストで歩留
り良く作成され得るインクの通路を有する。ま
た、インクの通路の内壁面が平滑なので、インク
がスムーズに流れる。更に、例えば電気配線など
により基板に微小凹凸が存在する場合であつて
も、感光性樹脂の可塑性を利用することにより微
小凹凸に十分に対応して、高精度の寸法、形状を
有するインクの通路を得ることができる。従つ
て、本発明のインクジエツトヘツドは、吐出口か
らのインクの吐出特性（インクを吐出する上での
安定性、均一性、直進性、エネルギー効率等）や
通路におけるインクの供給特性が極めて良好であ
るという優れた効果を奏する。
ツドの最たる特徴は、感光性樹脂の硬化層でイン
クの通路の壁部材が形成された点である。この様
な本発明のインクジエツトヘツドは、感光性樹脂
の精密微細加工性を利用することにより、寸法や
形状において信頼性が高く、且つ低コストで歩留
り良く作成され得るインクの通路を有する。ま
た、インクの通路の内壁面が平滑なので、インク
がスムーズに流れる。更に、例えば電気配線など
により基板に微小凹凸が存在する場合であつて
も、感光性樹脂の可塑性を利用することにより微
小凹凸に十分に対応して、高精度の寸法、形状を
有するインクの通路を得ることができる。従つ
て、本発明のインクジエツトヘツドは、吐出口か
らのインクの吐出特性（インクを吐出する上での
安定性、均一性、直進性、エネルギー効率等）や
通路におけるインクの供給特性が極めて良好であ
るという優れた効果を奏する。
また、本発明のインクジエツトヘツドの更なる
特徴は、先に述べた感光性樹脂の壁部材を用いて
吐出口が形成されており、且つその吐出口が切断
によつて形成された点である。吐出口が切断によ
つて形成されることは、エネルギー発生体と吐出
口との間隔を最適化するために大切なことである
が、本発明では、先に述べた切削性に富む感光性
樹脂の壁部材を用いて吐出口が形成されているの
で、吐出口が設けられる吐出口面を格段に平滑な
ものとすることができる。また、感光性樹脂の壁
部材は高い密着性を有するので、基板と壁部材と
の間及び蓋部材と壁部材との間は、切断がなされ
ても強固に密着した状態を保持することができ
る。それ故、本発明によれば、インクジエツトヘ
ツドの強度を維持したまま、先に述べた吐出口か
らのインクの吐出特性を一層優れたものとするこ
とができる。
特徴は、先に述べた感光性樹脂の壁部材を用いて
吐出口が形成されており、且つその吐出口が切断
によつて形成された点である。吐出口が切断によ
つて形成されることは、エネルギー発生体と吐出
口との間隔を最適化するために大切なことである
が、本発明では、先に述べた切削性に富む感光性
樹脂の壁部材を用いて吐出口が形成されているの
で、吐出口が設けられる吐出口面を格段に平滑な
ものとすることができる。また、感光性樹脂の壁
部材は高い密着性を有するので、基板と壁部材と
の間及び蓋部材と壁部材との間は、切断がなされ
ても強固に密着した状態を保持することができ
る。それ故、本発明によれば、インクジエツトヘ
ツドの強度を維持したまま、先に述べた吐出口か
らのインクの吐出特性を一層優れたものとするこ
とができる。
第１図乃至第７図は、本発明のインクジエツト
ヘツドの構成とその製作手順を説明する為の模式
図である。尚、第２図ｂは第２図ａのＸ−X′線
切断面図、第４図ｂは第４図ａのＹ−Y′線切断
面図である。 図に於て、１は基板、２はエネルギー発生体、
３はドライフイルムフオトレジスト（感光性樹
脂）、３Ｈは硬化フオトレジスト膜、４はフオト
マスク、４Ｐはパターン、５は露光光源、６−１
はインク供給室、６−２はインク流路、７は平板
（蓋部材）、８は貫通孔、９は吐出口、１０はイン
ク供給管である。
ヘツドの構成とその製作手順を説明する為の模式
図である。尚、第２図ｂは第２図ａのＸ−X′線
切断面図、第４図ｂは第４図ａのＹ−Y′線切断
面図である。 図に於て、１は基板、２はエネルギー発生体、
３はドライフイルムフオトレジスト（感光性樹
脂）、３Ｈは硬化フオトレジスト膜、４はフオト
マスク、４Ｐはパターン、５は露光光源、６−１
はインク供給室、６−２はインク流路、７は平板
（蓋部材）、８は貫通孔、９は吐出口、１０はイン
ク供給管である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ インクを吐出する複数の吐出口と、 各吐出口に対応して設けられ対応する吐出口に
連通する流路と、 各流路に連通する室と、 前記流路の夫々に対して配され前記吐出口から
インクを吐出するために利用されるエネルギーを
発生するエネルギー発生体と、 を有し、 前記吐出口と前記流路と前記室との夫々が基板
と蓋部材とを壁部材を介して接合して形成されて
おり、 前記エネルギー発生体は前記基板表面に設けら
れており、 前記壁部材は感光性樹脂を硬化処理した硬化層
から成り、 前記吐出口が切断によつて形成されたことを特
徴とするインクジエツトヘツド。 ２ 前記エネルギー発生体が発熱素子である特許
請求の範囲第１項に記載のインクジエツトヘツ
ド。 ３ 前記エネルギー発生体が圧電素子である特許
請求の範囲第１項に記載のインクジエツトヘツ
ド。 ４ 前記硬化層が重合樹脂層からなる特許請求の
範囲第１項に記載のインクジエツトヘツド。 ５ 前記硬化層が溶剤不溶性を有する特許請求の
範囲第１項に記載のインクジエツトヘツド。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12027280A JPS5743876A (en) | 1980-08-29 | 1980-08-29 | Ink jet head |
| US06/238,422 US4417251A (en) | 1980-03-06 | 1981-02-26 | Ink jet head |
| CA000372115A CA1169472A (en) | 1980-03-06 | 1981-03-02 | Ink jet head |
| GB8106623A GB2072099B (en) | 1980-03-06 | 1981-03-03 | Ink jet head |
| DE19813108206 DE3108206A1 (de) | 1980-03-06 | 1981-03-04 | Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben |
| FR8104406A FR2477472B1 (fr) | 1980-03-06 | 1981-03-05 | Tete a jet d'encre et son procede de fabrication |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12027280A JPS5743876A (en) | 1980-08-29 | 1980-08-29 | Ink jet head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5743876A JPS5743876A (en) | 1982-03-12 |
| JPH0435345B2 true JPH0435345B2 (ja) | 1992-06-10 |
Family
ID=14782111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12027280A Granted JPS5743876A (en) | 1980-03-06 | 1980-08-29 | Ink jet head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5743876A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8837363B2 (en) | 2004-10-29 | 2014-09-16 | Skyhook Wireless, Inc. | Server for updating location beacon database |
| US8983493B2 (en) | 2004-10-29 | 2015-03-17 | Skyhook Wireless, Inc. | Method and system for selecting and providing a relevant subset of Wi-Fi location information to a mobile client device so the client device may estimate its position with efficient utilization of resources |
| US9037162B2 (en) | 2005-02-22 | 2015-05-19 | Skyhook Wireless, Inc. | Continuous data optimization of new access points in positioning systems |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS588658A (ja) * | 1981-07-09 | 1983-01-18 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS588661A (ja) * | 1981-07-09 | 1983-01-18 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS58220754A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-22 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツド |
| DE3322647A1 (de) | 1982-06-25 | 1983-12-29 | Canon K.K., Tokyo | Verfahren zur herstellung eines tintenstrahl-aufzeichnungskopfes |
| JPS5919168A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-01-31 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツド |
| JPH062410B2 (ja) * | 1983-04-19 | 1994-01-12 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JPS60206657A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-18 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS6125853A (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-04 | Canon Inc | インクジエツトヘツド |
| JPS61285201A (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-16 | Canon Inc | 活性エネルギ−線硬化型樹脂組成物 |
| EP0488675A1 (en) * | 1990-11-28 | 1992-06-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for liquid jet recording head and liquid jet recording head |
| JPH0592570A (ja) | 1991-10-03 | 1993-04-16 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘツドを備えた記録装置 |
| JPH05212870A (ja) * | 1991-12-07 | 1993-08-24 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド製造方法 |
| JPH0757546B2 (ja) * | 1992-05-18 | 1995-06-21 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JPH0757545B2 (ja) * | 1993-07-19 | 1995-06-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4159123A (en) * | 1977-08-18 | 1979-06-26 | Petty Preston L | Motorcycle braking mechanism including means for controlling telescoping action of the front fork means |
| JPS585785B2 (ja) * | 1978-05-10 | 1983-02-01 | 株式会社日立製作所 | インクジエツト記録用ノズルヘツド |
| JPS5590375A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-08 | Canon Inc | Liquid ejection recording head |
-
1980
- 1980-08-29 JP JP12027280A patent/JPS5743876A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8837363B2 (en) | 2004-10-29 | 2014-09-16 | Skyhook Wireless, Inc. | Server for updating location beacon database |
| US8965412B2 (en) | 2004-10-29 | 2015-02-24 | Skyhook Wireless, Inc. | Location-based services that choose location algorithms based on number of detected access points within range of user device |
| US8983493B2 (en) | 2004-10-29 | 2015-03-17 | Skyhook Wireless, Inc. | Method and system for selecting and providing a relevant subset of Wi-Fi location information to a mobile client device so the client device may estimate its position with efficient utilization of resources |
| US9037162B2 (en) | 2005-02-22 | 2015-05-19 | Skyhook Wireless, Inc. | Continuous data optimization of new access points in positioning systems |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5743876A (en) | 1982-03-12 |
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