JPH0422735U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第９図は本考案の実施例に係り、
第１図は凸状の曲面をもつ対象物とマスクの斜視
図、第２図は断面図、第３図は密着状態を示す断
面図、第４図は段差をもつ対象物とマスクの斜視
図、第５図は断面図、第６図は密着状態を示す断
面図、第７図は凹状の曲面をもつ対象物とマスク
の斜視図、第８図は正面図、第９図は密着状態を
示す断面図、第１０図ないし第１３図は従来例に
係り、第１０図は曲面をもつ対象物とマスクの斜
視図、第１１図は断面図、第１２図は段差をもつ
対象物とマスクの斜視図、第１３図は断面図であ
る。 １……マスク、２……ホルダ、３……切込み、
４……吸気孔、５……開口、６……真空装置、７
……スライダ、８……ガイド、９……長孔、１０
……対象物。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 透明度の高い弾性材よりなり、平板状を呈す
   るフオトリソグラフイ用マスク。 ２ 前記マスクの周縁にホルダを取り付けたこと
   を特徴とする第１項記載のフオトリソグラフイ用
   マスク。 ３ 前記マスクの表面に所要の切込みを形成した
   ことを特徴とする第１項または第２項記載のフオ
   トリソグラフイ用マスク。 ４ 前記マスクの肉厚内に吸気孔を形成し、前記
   吸気孔の先端を前記マスクの表面に開口させたこ
   とを特徴とする第１項記載のフオトリソグラフイ
   用マスク。 ５ 第４項に記載したマスクの対向辺部に１対の
   スライダを取り付け、前記スライダをガイドの長
   孔にスライド自在および回転自在に係合したこと
   を特徴とする第４項記載のフオトリソグラフイ用
   マスク。