JPH0422807A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0422807A JPH0422807A JP2125378A JP12537890A JPH0422807A JP H0422807 A JPH0422807 A JP H0422807A JP 2125378 A JP2125378 A JP 2125378A JP 12537890 A JP12537890 A JP 12537890A JP H0422807 A JPH0422807 A JP H0422807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- driven body
- stage
- positioning device
- positioning means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
本発明は各種測定機又は半導体リソグラフィ工程で用い
る露光焼付装置において高速、高精度で物体の位置決め
をする位置決め装置に関するものである。
る露光焼付装置において高速、高精度で物体の位置決め
をする位置決め装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、被駆動体を目標とする平面に対して上下方向およ
び傾斜方向に位置決めする装置の構成としては被駆動体
の案内方式としてころがり又は、すべりを用い、駆動源
としてパルスモータ等を用いたものがあった。またより
高精度な位置決めを目的として、案内方式として板ばね
等による弾性支持方式を用い、駆動源として圧電素子等
を用いたものかありた。
び傾斜方向に位置決めする装置の構成としては被駆動体
の案内方式としてころがり又は、すべりを用い、駆動源
としてパルスモータ等を用いたものがあった。またより
高精度な位置決めを目的として、案内方式として板ばね
等による弾性支持方式を用い、駆動源として圧電素子等
を用いたものかありた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来例では、その装置が水平方向又
は回転方向の位置決め手段である例えばＸ−Ｙステージ
等に搭載されて使用されるとき、Ｘ−Ｙステージの起動
、停止時の加速度により励起される被駆動体の振動によ
り位置決め時間が長くなるという欠点があった。また、
Ｘ−Ｙステージの姿勢精度の影響で、位置決め精度が劣
化するという欠点があった。
は回転方向の位置決め手段である例えばＸ−Ｙステージ
等に搭載されて使用されるとき、Ｘ−Ｙステージの起動
、停止時の加速度により励起される被駆動体の振動によ
り位置決め時間が長くなるという欠点があった。また、
Ｘ−Ｙステージの姿勢精度の影響で、位置決め精度が劣
化するという欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、Ｘ−Ｙステージの姿勢精度や振動等の影響を軽減し
高速で高精度の位置決めが可能な位置決め装置の提供を
目的とする。
て、Ｘ−Ｙステージの姿勢精度や振動等の影響を軽減し
高速で高精度の位置決めが可能な位置決め装置の提供を
目的とする。
［ｉ題を解決するための手段及び作用］本発明によれば
、第１の位置決め手段である上下および傾斜方向の位置
決め装置における被駆動体の変位量を、この第１の位置
決め手段を搭載した第２の位置決め手段である例えばＸ
−Ｙステージが設置される面を基準に計測することで、
Ｘ −Ｙステージの姿勢変化を含めて被駆動体の変位量
を計測する。
、第１の位置決め手段である上下および傾斜方向の位置
決め装置における被駆動体の変位量を、この第１の位置
決め手段を搭載した第２の位置決め手段である例えばＸ
−Ｙステージが設置される面を基準に計測することで、
Ｘ −Ｙステージの姿勢変化を含めて被駆動体の変位量
を計測する。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ断面図を示す。１は被駆動体、２はアクチュエー
タであるところの圧電素子、３は固定部材、４は弾性ヒ
ンジ部材である。圧電素子２は固定部材３、弾性ヒンジ
部材４に接着等の手段で固定される。弾性ヒンジ部材４
はボルト締結等の手段で被駆動体１に固定され固定部材
３はボルト締結等の手段でＸ−Ｙステージ９に固定され
、図に示すように、略３等分の位置に配置される。５は
被駆動体１に固定されたセンサホルダ、６は例えば渦電
流式、又は静電容量式等の非接触変位計で定盤１０のＸ
−Ｙステージ９が搭載される基準面１０ａに適当なすき
間を持って対向するように固定され、また図に示すよう
に略３等分の位置に配置される。、７はＸ−Ｙステージ
９に固定された支持部材、８は板ばねで板ばね８の一端
は支持部材７に固定され他端は被駆動体１に固定され図
に示すように略３等分の位置に配置され被駆動体１を弾
性支持する。１１は被駆動体１に固定された腕部材、１
２はダンパ用部材であるところの例えば制振ゴムで、腕
部材１１に接着等の手段により固定されＸ−Ｙステージ
９に対して適当なつぶし代を持って図に示すようにアク
チュエータである圧電素子２の位置と位相をずらした位
置に配置される。被駆動体１にはＸ−マステージ９の位
置決め用のレーザ測長用参照ミラー（図示しない）が設
けられている。
Ａ−Ａ断面図を示す。１は被駆動体、２はアクチュエー
タであるところの圧電素子、３は固定部材、４は弾性ヒ
ンジ部材である。圧電素子２は固定部材３、弾性ヒンジ
部材４に接着等の手段で固定される。弾性ヒンジ部材４
はボルト締結等の手段で被駆動体１に固定され固定部材
３はボルト締結等の手段でＸ−Ｙステージ９に固定され
、図に示すように、略３等分の位置に配置される。５は
被駆動体１に固定されたセンサホルダ、６は例えば渦電
流式、又は静電容量式等の非接触変位計で定盤１０のＸ
−Ｙステージ９が搭載される基準面１０ａに適当なすき
間を持って対向するように固定され、また図に示すよう
に略３等分の位置に配置される。、７はＸ−Ｙステージ
９に固定された支持部材、８は板ばねで板ばね８の一端
は支持部材７に固定され他端は被駆動体１に固定され図
に示すように略３等分の位置に配置され被駆動体１を弾
性支持する。１１は被駆動体１に固定された腕部材、１
２はダンパ用部材であるところの例えば制振ゴムで、腕
部材１１に接着等の手段により固定されＸ−Ｙステージ
９に対して適当なつぶし代を持って図に示すようにアク
チュエータである圧電素子２の位置と位相をずらした位
置に配置される。被駆動体１にはＸ−マステージ９の位
置決め用のレーザ測長用参照ミラー（図示しない）が設
けられている。
上記構成において、圧電素子２に外部のコントローラか
ら指令電圧が印加されると、被駆動体１は上下方向およ
び傾斜方向に位置決めされる。また、被駆動体１はＸ−
Ｙステージ９によりｘ−ｙ平面内の任意の位置に位置決
めされる。ここで５被駆動体１に上下方向および傾斜方
向の変位量は非接触変位計６により計測され、その出力
にょって外部のコントローラからフィードバック制御さ
れるが、非接触変位計６は基準面１０ａに対向するよう
に配置されているため、Ｘ−Ｙステージ９の姿勢変化を
含めて被駆動体１の変位量が計測することができ、目標
とする平面に対して高精度な位置決めが可能となる。ま
たダンパ用部材である制振ゴム１２がＸ−Ｙステージ９
に対して適当なつぶし代を持って図のように配置されて
いるため、Ｘ−Ｙステージ９の起動、停止時の加速度に
より励起される、Ｗｘ、Ｗｙ方向およびこれらの連成し
た方向の振動、また圧電素子２によって駆動したと剖の
残留振動や外乱による振動を効果的に減衰することがで
き高精度でかつ高速な位置決めが可能となる。
ら指令電圧が印加されると、被駆動体１は上下方向およ
び傾斜方向に位置決めされる。また、被駆動体１はＸ−
Ｙステージ９によりｘ−ｙ平面内の任意の位置に位置決
めされる。ここで５被駆動体１に上下方向および傾斜方
向の変位量は非接触変位計６により計測され、その出力
にょって外部のコントローラからフィードバック制御さ
れるが、非接触変位計６は基準面１０ａに対向するよう
に配置されているため、Ｘ−Ｙステージ９の姿勢変化を
含めて被駆動体１の変位量が計測することができ、目標
とする平面に対して高精度な位置決めが可能となる。ま
たダンパ用部材である制振ゴム１２がＸ−Ｙステージ９
に対して適当なつぶし代を持って図のように配置されて
いるため、Ｘ−Ｙステージ９の起動、停止時の加速度に
より励起される、Ｗｘ、Ｗｙ方向およびこれらの連成し
た方向の振動、また圧電素子２によって駆動したと剖の
残留振動や外乱による振動を効果的に減衰することがで
き高精度でかつ高速な位置決めが可能となる。
被駆動体１を駆動するアクチュエータは圧電素子に限ら
ず例えばモータと送りねじ等を用いてもよくまたテコや
クサビを介して駆動してもよい。
ず例えばモータと送りねじ等を用いてもよくまたテコや
クサビを介して駆動してもよい。
板ばね８は被駆動体１に一体的に形成した弾性ヒンジて
もよい。
もよい。
ダンパ用部材は制振ゴムに限らず例えばシリコンオイル
等の粘性抵抗による方式でもよい。
等の粘性抵抗による方式でもよい。
Ｘ−Ｙステージは、−軸のテーブルまたは回転テーブル
でもよい。
でもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、被駆動体の変位量をＸ−Ｙステー
ジか搭載される定盤の基準面を基準として計測すること
により、Ｘ−Ｙステージの姿勢変化も含めて被駆動体の
変位を計測できるため、Ｘ−Ｙステージの姿勢精度を補
正して、目標とする平面に対して被駆動体を高精度に位
置決めすることかできる。
ジか搭載される定盤の基準面を基準として計測すること
により、Ｘ−Ｙステージの姿勢変化も含めて被駆動体の
変位を計測できるため、Ｘ−Ｙステージの姿勢精度を補
正して、目標とする平面に対して被駆動体を高精度に位
置決めすることかできる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。
１、被駆動体、２：圧電素子、
６、非接触変位計、９：Ｘ−Ｙステージ、１０ａ：基準
面、１０：定盤。
面、１０：定盤。
Claims (3)
- （１）被駆動体の水平面内での位置、鉛直方向の位置及
び傾斜角度の位置を制御する位置決め装置であって、前
記被駆動体を保持し鉛直方向及び傾斜角度の位置を制御
する第１の位置決め手段と、前記水平面内での位置を制
御する第２の位置決め手段と、該第２の位置決め手段が
搭載される基台と、前記被駆動体の鉛直方向及び傾斜角
度の位置を検出し前記第１の位置決め手段を駆動制御す
るための位置検出手段とを具備し、前記第１の位置決め
手段は第２の位置決め手段上に搭載され、前記位置検出
手段による被駆動体の変位検出基準面を前記第２の位置
検出手段が移動する前記基台の上面としたことを特徴と
する位置決め装置。 - （２）前記位置検出手段は、前記基台上面に対向して前
記第１の位置決め手段に固定された非接触検出手段から
なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の位置
決め装置。 - （３）前記第１の位置決め手段は、防振手段を介して前
記第２の位置決め手段上に搭載されたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の位置決め装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2125378A JP2686672B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 位置決め装置 |
| US08/029,956 US5280677A (en) | 1990-05-17 | 1993-03-09 | Positioning mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2125378A JP2686672B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0422807A true JPH0422807A (ja) | 1992-01-27 |
| JP2686672B2 JP2686672B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=14908652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2125378A Expired - Lifetime JP2686672B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2686672B2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-17 JP JP2125378A patent/JP2686672B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2686672B2 (ja) | 1997-12-08 |
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Legal Events
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