JPH04228545A - シャドウマスク用素材およびその製造方法 - Google Patents
シャドウマスク用素材およびその製造方法Info
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- JPH04228545A JPH04228545A JP10081791A JP10081791A JPH04228545A JP H04228545 A JPH04228545 A JP H04228545A JP 10081791 A JP10081791 A JP 10081791A JP 10081791 A JP10081791 A JP 10081791A JP H04228545 A JPH04228545 A JP H04228545A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーブラウン管内で
使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用
カラーブラウン管として要求される低熱膨張係数を有し
、シャドウマスク製造工程におけるエッチング特性およ
びプレス成形性に優れたシャドウマスク用素材およびそ
の製造方法に関するものである。
使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用
カラーブラウン管として要求される低熱膨張係数を有し
、シャドウマスク製造工程におけるエッチング特性およ
びプレス成形性に優れたシャドウマスク用素材およびそ
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】カラーブラウン管シャドウマスク用素材
としては一般に低炭素鋼が使用されている。カラーブラ
ウン管を形成するガラスバルブのフェースプレート部（
パネル）に赤、緑、青の３原色を発する蛍光膜が塗布さ
れており、反対側のネック部には蛍光膜を刺激発光させ
るための電子ビームを発射する電子銃を備えている。 シャドウマスクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光面に近い
位置に設けられており、電子銃から発する３原色に対応
する３本の電子ビームを、スロットと呼ばれる孔に通過
させて各々対応する蛍光体のみに当てるような色選別の
機能を果たしているものである。従って、シャドウマス
ク上のスロットと蛍光体との位置関係が正確に合ってい
る必要がある。しかし、カラーブラウン管を連続使用す
る場合、電子ビームのエネルギーのうち約８０％がシャ
ドウマスク上で熱エネルギーとして消費されるため、シ
ャドウマスクの温度は局部的に１００℃近くまで上昇し
、熱膨張により電子ビームと蛍光体の一致が得られなく
なり、画像が不鮮明になる。
としては一般に低炭素鋼が使用されている。カラーブラ
ウン管を形成するガラスバルブのフェースプレート部（
パネル）に赤、緑、青の３原色を発する蛍光膜が塗布さ
れており、反対側のネック部には蛍光膜を刺激発光させ
るための電子ビームを発射する電子銃を備えている。 シャドウマスクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光面に近い
位置に設けられており、電子銃から発する３原色に対応
する３本の電子ビームを、スロットと呼ばれる孔に通過
させて各々対応する蛍光体のみに当てるような色選別の
機能を果たしているものである。従って、シャドウマス
ク上のスロットと蛍光体との位置関係が正確に合ってい
る必要がある。しかし、カラーブラウン管を連続使用す
る場合、電子ビームのエネルギーのうち約８０％がシャ
ドウマスク上で熱エネルギーとして消費されるため、シ
ャドウマスクの温度は局部的に１００℃近くまで上昇し
、熱膨張により電子ビームと蛍光体の一致が得られなく
なり、画像が不鮮明になる。
【０００３】そこで、近年シャドウマスク用素材として
、熱膨張係数が低炭素鋼の熱膨張係数に比べて約１／５
と小さいインバー合金（Ｆｅ−３６Ｎｉ）板が使用され
つつある。しかしながら、最近はカラーテレビの大型化
に伴い、輝度アップのために電子ビームエネルギーが増
加し、シャドウマスクの温度は１００℃を超えつつある
。また、ハイビジョン用カラーテレビではスロットと蛍
光体との位置関係が一層厳しくなる。従って、高鮮映性
を確保するには、インバー合金の熱膨張特性でも十分で
ない。更に、インバー合金はヤング率が約１４０００ｋ
ｇ／ｍｍ２ と炭素鋼に比べ極めて低く、プレス成形後
の剛性に劣る欠点がある。
、熱膨張係数が低炭素鋼の熱膨張係数に比べて約１／５
と小さいインバー合金（Ｆｅ−３６Ｎｉ）板が使用され
つつある。しかしながら、最近はカラーテレビの大型化
に伴い、輝度アップのために電子ビームエネルギーが増
加し、シャドウマスクの温度は１００℃を超えつつある
。また、ハイビジョン用カラーテレビではスロットと蛍
光体との位置関係が一層厳しくなる。従って、高鮮映性
を確保するには、インバー合金の熱膨張特性でも十分で
ない。更に、インバー合金はヤング率が約１４０００ｋ
ｇ／ｍｍ２ と炭素鋼に比べ極めて低く、プレス成形後
の剛性に劣る欠点がある。
【０００４】インバー合金より更に優れた低熱膨張合金
としては、１９３１年に発明されたスーパーインバー合
金（Ｆｅ−３２Ｎｉ−４Ｃｏ）がよく知られている。こ
の合金のプレス成形性およびエッチング穿孔性を改善し
たシャドウマスク用素材が特開昭６２−１１２７５９号
公報に開示されている。これは、Ｃｒ添加によりヤング
率を上昇させてプレス成形性の改善を行い、低炭素化に
より鉄系炭化物の生成を抑制してエッチング穿孔性の改
善を図っている。
としては、１９３１年に発明されたスーパーインバー合
金（Ｆｅ−３２Ｎｉ−４Ｃｏ）がよく知られている。こ
の合金のプレス成形性およびエッチング穿孔性を改善し
たシャドウマスク用素材が特開昭６２−１１２７５９号
公報に開示されている。これは、Ｃｒ添加によりヤング
率を上昇させてプレス成形性の改善を行い、低炭素化に
より鉄系炭化物の生成を抑制してエッチング穿孔性の改
善を図っている。
【０００５】シャドウマスクの製造工程において、エッ
チング穿孔の前工程としてレジスト膜を形成するが、エ
ッチング穿孔時にレジスト膜の剥離が発生することがあ
る。このため、エッチング孔形状が不良になることがあ
る。しかしながら、炭化物の生成抑制だけではレジスト
膜密着性を含むエッチング特性の改善は十分でない。更
に、Ｆｅ−Ｎｉ系合金は熱間圧延時に高温大気加熱を行
うと、表層スケール直下に粒界酸化や内部酸化等のサブ
スケールが発生するため、熱間圧延板でサブスケールに
よる表面疵が多発する。更に、該合金は一般に熱間加工
性が劣るため、割れが発生し、顕著な場合には板破断に
至る。従って、該合金の熱間圧延板の歩留りおよび作業
性には問題がある。
チング穿孔の前工程としてレジスト膜を形成するが、エ
ッチング穿孔時にレジスト膜の剥離が発生することがあ
る。このため、エッチング孔形状が不良になることがあ
る。しかしながら、炭化物の生成抑制だけではレジスト
膜密着性を含むエッチング特性の改善は十分でない。更
に、Ｆｅ−Ｎｉ系合金は熱間圧延時に高温大気加熱を行
うと、表層スケール直下に粒界酸化や内部酸化等のサブ
スケールが発生するため、熱間圧延板でサブスケールに
よる表面疵が多発する。更に、該合金は一般に熱間加工
性が劣るため、割れが発生し、顕著な場合には板破断に
至る。従って、該合金の熱間圧延板の歩留りおよび作業
性には問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、カラーブラ
ウン管に使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビ
ジョン用カラーブラウン管として要求される低熱膨張特
性を有し、シャドウマスクの製造工程においてエッチン
グ穿孔時に発生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレ
ス成形後の剛性を確保するエッチング特性およびプレス
成形性に優れたシャドウマスク用素材および該素材を安
定製造する方法を提供することを目的としている。
ウン管に使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビ
ジョン用カラーブラウン管として要求される低熱膨張特
性を有し、シャドウマスクの製造工程においてエッチン
グ穿孔時に発生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレ
ス成形後の剛性を確保するエッチング特性およびプレス
成形性に優れたシャドウマスク用素材および該素材を安
定製造する方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、この目的のた
めに成分および製造方法を種々検討した結果構成された
もので、その要旨とするところは下記の通りである。 （１）重量％にて、Ｎｉ：２５〜３５％、Ｃｏ：２．０
〜１２．０％、Ｃｒ：１．０〜４．０％、Ｓｉ：１．０
％以下、Ｓ：０．００２％以下、Ｃ：０．０５％以下、
残部Ｆｅおよび不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ系合
金において、Ｎ量が０．０１％以下、かつＭｎ量が０．
１０％未満であることを特徴とするシャドウマスク用素
材。
めに成分および製造方法を種々検討した結果構成された
もので、その要旨とするところは下記の通りである。 （１）重量％にて、Ｎｉ：２５〜３５％、Ｃｏ：２．０
〜１２．０％、Ｃｒ：１．０〜４．０％、Ｓｉ：１．０
％以下、Ｓ：０．００２％以下、Ｃ：０．０５％以下、
残部Ｆｅおよび不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ系合
金において、Ｎ量が０．０１％以下、かつＭｎ量が０．
１０％未満であることを特徴とするシャドウマスク用素
材。
【０００８】（２）前項１の成分に、更にＴｉ，Ｎｂ，
Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆのうち１種または２種以上：合計
０．０１〜１．０％を含有することを特徴とするシャド
ウマスク用素材。 （３）前項１または２の成分組成の溶湯を連続鋳造法に
より鋳片に鋳造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加熱し
て熱間圧延を行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼鈍を
行うことを特徴とするシャドウマスク用素材の製造方法
。
Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆのうち１種または２種以上：合計
０．０１〜１．０％を含有することを特徴とするシャド
ウマスク用素材。 （３）前項１または２の成分組成の溶湯を連続鋳造法に
より鋳片に鋳造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加熱し
て熱間圧延を行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼鈍を
行うことを特徴とするシャドウマスク用素材の製造方法
。
【０００９】（４）前項１または２の成分組成の溶湯を
連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を酸素濃度が０
．１０ｖｏｌ．％以下の無酸化雰囲気中にて１１００〜
１２５０℃の温度域に加熱して熱間圧延を行い、続いて
圧下率６０％以上の冷間圧延を行い、７５０〜１２００
℃の温度域で最終焼鈍を行うことを特徴とするシャドウ
マスク用素材の製造方法。
連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を酸素濃度が０
．１０ｖｏｌ．％以下の無酸化雰囲気中にて１１００〜
１２５０℃の温度域に加熱して熱間圧延を行い、続いて
圧下率６０％以上の冷間圧延を行い、７５０〜１２００
℃の温度域で最終焼鈍を行うことを特徴とするシャドウ
マスク用素材の製造方法。
【００１０】
【作用】本発明合金の化学成分の限定理由を以下に詳細
に説明する。Ｎｉは、その含有量が２５％より少ないと
熱膨張係数が極めて高くなり、カラーブウラン管の鮮映
性が劣化する。一方、３５％を超えて含有しても熱膨張
係数は高くなる。従って、Ｎｉの成分範囲を２５〜３５
％とした。また、本発明者の実験結果によれば、３０〜
３５％の範囲で、より低い熱膨張係数を示すことが判っ
たので、望ましくは３０〜３５％がよい。
に説明する。Ｎｉは、その含有量が２５％より少ないと
熱膨張係数が極めて高くなり、カラーブウラン管の鮮映
性が劣化する。一方、３５％を超えて含有しても熱膨張
係数は高くなる。従って、Ｎｉの成分範囲を２５〜３５
％とした。また、本発明者の実験結果によれば、３０〜
３５％の範囲で、より低い熱膨張係数を示すことが判っ
たので、望ましくは３０〜３５％がよい。
【００１１】ＣｏはＦｅ−Ｎｉ系合金の熱膨張係数を一
層小さくする元素であるが、その含有量が２．０％以上
でないとその効果が小さい。一方、１２．０％を超えて
含有すると熱膨張係数は再び高くなる。従って、Ｃｏの
成分範囲を２．０〜１２．０％とした。また、発明者の
実験結果によれば、２．０〜７．０％の範囲で、より低
い熱膨張係数を示す事が判ったので、望ましくは２．０
〜７．０％がよい。
層小さくする元素であるが、その含有量が２．０％以上
でないとその効果が小さい。一方、１２．０％を超えて
含有すると熱膨張係数は再び高くなる。従って、Ｃｏの
成分範囲を２．０〜１２．０％とした。また、発明者の
実験結果によれば、２．０〜７．０％の範囲で、より低
い熱膨張係数を示す事が判ったので、望ましくは２．０
〜７．０％がよい。
【００１２】ＣｒはＦｅ−Ｎｉ系合金のヤング率を大き
くする元素であるが、その含有量が１．０％以上でない
とその効果が小さい。一方、４．０％を超えて含有する
と熱膨張係数が高くなる。従って、Ｃｒの成分範囲を１
．０〜４．０％とした。Ｓｉは、脱酸の目的で添加する
が、１．０％を超えて含有すると、シリケート系の粗大
介在物の形成は著しく、これがエッチング穿孔性を阻害
し、穿孔不良の原因となる。従って、Ｓｉは１．０％以
下とする。更に、望ましくは０．１％以下がよい。
くする元素であるが、その含有量が１．０％以上でない
とその効果が小さい。一方、４．０％を超えて含有する
と熱膨張係数が高くなる。従って、Ｃｒの成分範囲を１
．０〜４．０％とした。Ｓｉは、脱酸の目的で添加する
が、１．０％を超えて含有すると、シリケート系の粗大
介在物の形成は著しく、これがエッチング穿孔性を阻害
し、穿孔不良の原因となる。従って、Ｓｉは１．０％以
下とする。更に、望ましくは０．１％以下がよい。
【００１３】Ｓは熱間脆性の原因となる元素であり、低
減させる必要がある。その含有量を０．００２％以下に
すると、鋳片の結晶粒界への偏析が抑制されるため、熱
間加工性が極めて向上する。従って、Ｓは０．００２％
以下とした。更に、望ましくは０．００１％以下がよい
。Ｃは、その含有量が０．０５％を超えると熱膨張係数
が高くなる。また、炭化物が極めて多量に生成させるた
めエッチング性が劣化する。従って、Ｃは０．０５％以
下とする。
減させる必要がある。その含有量を０．００２％以下に
すると、鋳片の結晶粒界への偏析が抑制されるため、熱
間加工性が極めて向上する。従って、Ｓは０．００２％
以下とした。更に、望ましくは０．００１％以下がよい
。Ｃは、その含有量が０．０５％を超えると熱膨張係数
が高くなる。また、炭化物が極めて多量に生成させるた
めエッチング性が劣化する。従って、Ｃは０．０５％以
下とする。
【００１４】Ｎは、その含有量が多いと熱膨張係数が高
くなる。また、窒化物が極めて多量に生成されるため、
エッチング穿孔性が劣化する。更に、後述するようにＮ
はレジスト膜剥離の原因になるものと考えられるため、
その成分範囲を０．０１％以下とした。Ｍｎは脱酸と熱
間加工性の点から添加することが普通であるが、後述す
るようにレジスト膜剥離の抑制から、その含有量をでき
るだけ低減する必要がある。従って、その成分範囲を０
．１０％未満とした。
くなる。また、窒化物が極めて多量に生成されるため、
エッチング穿孔性が劣化する。更に、後述するようにＮ
はレジスト膜剥離の原因になるものと考えられるため、
その成分範囲を０．０１％以下とした。Ｍｎは脱酸と熱
間加工性の点から添加することが普通であるが、後述す
るようにレジスト膜剥離の抑制から、その含有量をでき
るだけ低減する必要がある。従って、その成分範囲を０
．１０％未満とした。
【００１５】本発明者等は、レジスト膜の剥離と合金成
分との関係を検討した結果、ＮおよびＭｎがレジスト膜
剥離の原因となる元素であることを見出した。すなわち
、ＭｎはＭｎ系酸化物の形で合金中に存在し、Ｎの一部
は固溶状態のまま該酸化物中に捕捉されると考えられる
。このような固溶Ｎがレジスト膜形成工程において合金
板表面へ拡散し、表面とレジスト膜との界面で気泡を形
成してレジスト膜の剥離を誘発するものと推定される。
分との関係を検討した結果、ＮおよびＭｎがレジスト膜
剥離の原因となる元素であることを見出した。すなわち
、ＭｎはＭｎ系酸化物の形で合金中に存在し、Ｎの一部
は固溶状態のまま該酸化物中に捕捉されると考えられる
。このような固溶Ｎがレジスト膜形成工程において合金
板表面へ拡散し、表面とレジスト膜との界面で気泡を形
成してレジスト膜の剥離を誘発するものと推定される。
【００１６】請求項２記載のシャドウマスク用素材は、
請求項１記載のシャドウマスク用素材成分に窒化物を形
成しやすいＴｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆを添加し
て固溶Ｎ量を低減させ、一層のレジスト膜の密着性を向
上させたものである。その効果は、該元素が１種または
２種以上合計で０．０１％以上で認められるが、１．０
％を超えて含有すると窒化物が多量に生成され、エッチ
ング穿孔性を劣化させる。従って、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚ
ｒ，Ｔａ，Ｈｆの成分範囲を合計で０．０１〜１．０％
とした。
請求項１記載のシャドウマスク用素材成分に窒化物を形
成しやすいＴｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆを添加し
て固溶Ｎ量を低減させ、一層のレジスト膜の密着性を向
上させたものである。その効果は、該元素が１種または
２種以上合計で０．０１％以上で認められるが、１．０
％を超えて含有すると窒化物が多量に生成され、エッチ
ング穿孔性を劣化させる。従って、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚ
ｒ，Ｔａ，Ｈｆの成分範囲を合計で０．０１〜１．０％
とした。
【００１７】次に、本発明合金の製造方法について説明
する。上記成分の合金溶湯を連続鋳造法により鋳片に鋳
造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加熱して熱間圧延を
行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼鈍をする。通常は
２００ｍｍ程度の板厚の鋳片に鋳造し、その後スラブ加
熱炉で適正な温度に加熱後熱間圧延して所望の板厚の熱
延板を得、必要に応じて熱延板焼鈍を施す。このような
工程において本発明合金では粒界酸化や内部酸化等のサ
ブスケールの発生が顕著であり、サブスケール起因の表
面疵が多発し、また粒界酸化を起点とするクラックが本
来の低熱間加工性のために割れに至り、工業的に安定製
造できず大きな問題となっていた。本発明法は無酸化雰
囲気中にて鋳片を加熱してサブスケールの発生を抑制し
、直ちに熱間圧延を行うものである。加熱炉抽出から熱
間圧延開始まで高温大気中に鋳片が曝される時間が極め
て短く、また熱間圧延中の板温が急激に低下するため、
サブスケールの発生がほとんどない熱延板を得ることが
できる。
する。上記成分の合金溶湯を連続鋳造法により鋳片に鋳
造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加熱して熱間圧延を
行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼鈍をする。通常は
２００ｍｍ程度の板厚の鋳片に鋳造し、その後スラブ加
熱炉で適正な温度に加熱後熱間圧延して所望の板厚の熱
延板を得、必要に応じて熱延板焼鈍を施す。このような
工程において本発明合金では粒界酸化や内部酸化等のサ
ブスケールの発生が顕著であり、サブスケール起因の表
面疵が多発し、また粒界酸化を起点とするクラックが本
来の低熱間加工性のために割れに至り、工業的に安定製
造できず大きな問題となっていた。本発明法は無酸化雰
囲気中にて鋳片を加熱してサブスケールの発生を抑制し
、直ちに熱間圧延を行うものである。加熱炉抽出から熱
間圧延開始まで高温大気中に鋳片が曝される時間が極め
て短く、また熱間圧延中の板温が急激に低下するため、
サブスケールの発生がほとんどない熱延板を得ることが
できる。
【００１８】鋳片の加熱雰囲気中の酸素濃度は、０．１
０ｖｏｌ．％を超えると鋳片の表面に粒界酸化や内部酸
化等のサブスケールが著しく発生し、熱間圧延後にサブ
スケールによる表面疵や粒界酸化を起点とする割れが多
発し、後工程の表面研削の負荷を増大させ、また熱延板
の歩留りを著しく低下させる。従って、加熱雰囲気中の
酸素濃度は０．１０ｖｏｌ．％以下とした。
０ｖｏｌ．％を超えると鋳片の表面に粒界酸化や内部酸
化等のサブスケールが著しく発生し、熱間圧延後にサブ
スケールによる表面疵や粒界酸化を起点とする割れが多
発し、後工程の表面研削の負荷を増大させ、また熱延板
の歩留りを著しく低下させる。従って、加熱雰囲気中の
酸素濃度は０．１０ｖｏｌ．％以下とした。
【００１９】鋳片の加熱温度は、１１００℃より低温で
は熱間圧延が完了するまでに圧延材の温度が著しく低下
するため、熱間加工性劣化による割れ発生や変形抵抗増
大による圧延不能の事態が生じる。また、１２５０℃を
超えて行うと、加熱雰囲気中の酸素濃度を低減しても粒
界酸化が発生し、熱間圧延時に割れが生じる。従って、
鋳片の加熱温度は１１００〜１２５０℃とした。
は熱間圧延が完了するまでに圧延材の温度が著しく低下
するため、熱間加工性劣化による割れ発生や変形抵抗増
大による圧延不能の事態が生じる。また、１２５０℃を
超えて行うと、加熱雰囲気中の酸素濃度を低減しても粒
界酸化が発生し、熱間圧延時に割れが生じる。従って、
鋳片の加熱温度は１１００〜１２５０℃とした。
【００２０】熱延板焼鈍は必要に応じて行ってもよいが
、サブスケールの抑制から焼鈍温度を１０００℃以下に
する必要がある。冷間圧延率は最終焼鈍前の圧延におい
て６０％以上とする。すなわち、中間焼鈍を行わない場
合は製品板厚までの圧下率を６０％以上とし、中間焼鈍
を行う場合は中間焼鈍後の製品板厚までの圧下率を６０
％以上とする。中間焼鈍を２回以上行う場合は最後の中
間焼鈍を行った後の冷延の圧下率を６０％以上とする。 この冷延圧下率は、最終焼鈍後の集合組織形成に影響を
与える。その圧下率が高いほどエッチング速度を増加さ
せる（１００）方位が圧延面上に発達し、エッチング穿
孔性を改善するが、６０％未満の圧下率ではその効果が
小さい。従って、最終焼鈍前の冷延圧下率を６０％以上
とした。更に、好ましくは８５％以上がよい。
、サブスケールの抑制から焼鈍温度を１０００℃以下に
する必要がある。冷間圧延率は最終焼鈍前の圧延におい
て６０％以上とする。すなわち、中間焼鈍を行わない場
合は製品板厚までの圧下率を６０％以上とし、中間焼鈍
を行う場合は中間焼鈍後の製品板厚までの圧下率を６０
％以上とする。中間焼鈍を２回以上行う場合は最後の中
間焼鈍を行った後の冷延の圧下率を６０％以上とする。 この冷延圧下率は、最終焼鈍後の集合組織形成に影響を
与える。その圧下率が高いほどエッチング速度を増加さ
せる（１００）方位が圧延面上に発達し、エッチング穿
孔性を改善するが、６０％未満の圧下率ではその効果が
小さい。従って、最終焼鈍前の冷延圧下率を６０％以上
とした。更に、好ましくは８５％以上がよい。
【００２１】最終焼鈍温度は、集合組織形成に影響を与
え、高温ほど（１００）方位が圧延面上に発達しエッチ
ング穿孔性を改善する。７５０℃未満ではその効果が小
さく、１２００℃を超えると結晶粒が粗大化してエッチ
ング穿孔性が劣化する。また、二次再結晶が生じて（１
００）方位が著しく低減する。従って、最終焼鈍温度の
範囲を７５０〜１２００℃とした。
え、高温ほど（１００）方位が圧延面上に発達しエッチ
ング穿孔性を改善する。７５０℃未満ではその効果が小
さく、１２００℃を超えると結晶粒が粗大化してエッチ
ング穿孔性が劣化する。また、二次再結晶が生じて（１
００）方位が著しく低減する。従って、最終焼鈍温度の
範囲を７５０〜１２００℃とした。
【００２２】最終焼鈍後は、必要に応じて冷間圧延を行
ってもよいが、冷間圧延を施すと（１００）方位が低減
するため、エッチング穿孔性の点から５０％以下にする
必要がある。
ってもよいが、冷間圧延を施すと（１００）方位が低減
するため、エッチング穿孔性の点から５０％以下にする
必要がある。
【００２３】
【実施例】表１、表３に示すような各種合金を真空誘導
溶解炉で溶製し、連続鋳造法にて１８０ｍｍ程度の板厚
の鋳片に鋳込んだ。Ｎ２ ガスにより酸素濃度を０．１
０ｖｏｌ．％以下まで低減できる加熱炉にて１１５０℃
に該鋳片を加熱し、熱間圧延を行い、板厚４ｍｍ、板幅
１０００ｍｍの熱延板を得た。熱延板の疵取りを行い、
圧下率９５％の１回の冷間圧延で板厚０．２０ｍｍの冷
延薄板を得た。その後、８５０℃×３０秒の焼鈍を行っ
た。このときの焼鈍雰囲気は２５％Ｎ２ ＋７５％Ｈ２
であった。
溶解炉で溶製し、連続鋳造法にて１８０ｍｍ程度の板厚
の鋳片に鋳込んだ。Ｎ２ ガスにより酸素濃度を０．１
０ｖｏｌ．％以下まで低減できる加熱炉にて１１５０℃
に該鋳片を加熱し、熱間圧延を行い、板厚４ｍｍ、板幅
１０００ｍｍの熱延板を得た。熱延板の疵取りを行い、
圧下率９５％の１回の冷間圧延で板厚０．２０ｍｍの冷
延薄板を得た。その後、８５０℃×３０秒の焼鈍を行っ
た。このときの焼鈍雰囲気は２５％Ｎ２ ＋７５％Ｈ２
であった。
【００２４】熱延板のサブスケール深さ、表面疵の程度
および割れの有無を調査した結果を表２、表４に示した
。また、冷延焼鈍板の熱膨張係数およびヤング率を測定
した結果を表２、表４に併記した。更に、この冷延焼鈍
板表面にレジスト膜の形成を行い、レジスト密着性を評
価した。レジスト膜形成後にエッチング穿孔を行い、エ
ッチング穿孔性を評価した。フラットマスクをプレス成
形し、耐座屈性を評価した。更に、ブラウン管に組立て
、色ムラ発生の有無を調査した。これらの結果も表２、
表４に併せて示した。
および割れの有無を調査した結果を表２、表４に示した
。また、冷延焼鈍板の熱膨張係数およびヤング率を測定
した結果を表２、表４に併記した。更に、この冷延焼鈍
板表面にレジスト膜の形成を行い、レジスト密着性を評
価した。レジスト膜形成後にエッチング穿孔を行い、エ
ッチング穿孔性を評価した。フラットマスクをプレス成
形し、耐座屈性を評価した。更に、ブラウン管に組立て
、色ムラ発生の有無を調査した。これらの結果も表２、
表４に併せて示した。
【００２５】表２より明らかなように、本発明例では熱
延板のサブスケールの深さが極めて浅いため、割れ発生
がなく、表面疵は極めて軽微である。また、本発明合金
はすべて熱膨張係数が１．０×１０−６／℃以下であり
、ヤング率は１６０００ｋｇ／ｍｍ２ 以上である。該
合金は熱膨張係数およびヤング率とも従来のインバー合
金に比べ優れており、シャドウマスク製造工程でのレジ
スト膜密着性、エッチング穿孔性およびプレス成形性の
いずれも従来のインバー合金に比べ良好である。更に、
本発明法により製造されたシャドウマスクを用いたブラ
ウン管では色ムラの発生がなく良好である。
延板のサブスケールの深さが極めて浅いため、割れ発生
がなく、表面疵は極めて軽微である。また、本発明合金
はすべて熱膨張係数が１．０×１０−６／℃以下であり
、ヤング率は１６０００ｋｇ／ｍｍ２ 以上である。該
合金は熱膨張係数およびヤング率とも従来のインバー合
金に比べ優れており、シャドウマスク製造工程でのレジ
スト膜密着性、エッチング穿孔性およびプレス成形性の
いずれも従来のインバー合金に比べ良好である。更に、
本発明法により製造されたシャドウマスクを用いたブラ
ウン管では色ムラの発生がなく良好である。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【表３】
【００２９】
【表４】
【００３０】
【発明の効果】以上のことから明らかな如く、本発明合
金はシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用カラー
ブラウン管として要求される低熱膨張特性を改善し、シ
ャドウマスクの製造工程においてエッチング穿孔時に発
生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレス成形後の剛
性を確保でき、シャドウマスクの製造時の歩留り落ちは
大幅に低減される。また、本発明法により該素材を製造
すれば、合金製造時の作業性および歩留りが大幅に改善
される。
金はシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用カラー
ブラウン管として要求される低熱膨張特性を改善し、シ
ャドウマスクの製造工程においてエッチング穿孔時に発
生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレス成形後の剛
性を確保でき、シャドウマスクの製造時の歩留り落ちは
大幅に低減される。また、本発明法により該素材を製造
すれば、合金製造時の作業性および歩留りが大幅に改善
される。
Claims (4)
- 【請求項１】 重量％にて、Ｎｉ：２５〜３５％、Ｃ
ｏ：２．０〜１２．０％、Ｃｒ：１．０〜４．０％、Ｓ
ｉ：１．０％以下、Ｓ：０．００２％以下、Ｃ：０．０
５％以下、残部Ｆｅおよび不可避的不純物からなるＦｅ
−Ｎｉ系合金において、Ｎ量が０．０１％以下、かつＭ
ｎ量が０．１０％未満であることを特徴とするシャドウ
マスク用素材。 - 【請求項２】 請求項１の成分に、更にＴｉ，Ｎｂ，
Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆのうち１種または２種以上：合計
０．０１〜１．０％を含有することを特徴とするシャド
ウマスク用素材。 - 【請求項３】 請求項１または２の成分組成の溶湯を
連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を無酸化雰囲気
中にて加熱して熱間圧延を行い、続いて冷間圧延を行い
、最終焼鈍を行うことを特徴とするシャドウマスク用素
材の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１または２の成分組成の溶湯を
連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を酸素濃度が０
．１０ｖｏｌ．％以下の無酸化雰囲気中にて１１００〜
１２５０℃の温度域に加熱して熱間圧延を行い、続いて
圧下率６０％以上の冷間圧延を行い、７５０〜１２００
℃の温度域で最終焼鈍を行うことを特徴とするシャドウ
マスク用素材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081791A JPH04228545A (ja) | 1990-09-11 | 1991-05-02 | シャドウマスク用素材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24092790 | 1990-09-11 | ||
| JP2-240927 | 1990-09-11 | ||
| JP10081791A JPH04228545A (ja) | 1990-09-11 | 1991-05-02 | シャドウマスク用素材およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04228545A true JPH04228545A (ja) | 1992-08-18 |
Family
ID=26441776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10081791A Withdrawn JPH04228545A (ja) | 1990-09-11 | 1991-05-02 | シャドウマスク用素材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04228545A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003106721A1 (ja) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 低熱膨張合金薄板およびその製造方法 |
| US6824625B2 (en) | 2000-07-24 | 2004-11-30 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Magnetostriction control alloy sheet, a part of a braun tube, and a manufacturing method for a magnetostriction control alloy sheet |
-
1991
- 1991-05-02 JP JP10081791A patent/JPH04228545A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6824625B2 (en) | 2000-07-24 | 2004-11-30 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Magnetostriction control alloy sheet, a part of a braun tube, and a manufacturing method for a magnetostriction control alloy sheet |
| EP1176221A3 (en) * | 2000-07-24 | 2007-03-07 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Magnetorestriction control alloy sheet, a part of a Braun tube and a manufacturing method for a magnetorestriction control alloy sheet |
| KR100756747B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2007-09-07 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 자기 변형 제어 합금판 및 이것을 이용한 컬러 브라운관용 부품 및 자기 변형 제어 합금판의 제조방법 |
| WO2003106721A1 (ja) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 低熱膨張合金薄板およびその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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