JPH04231851A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、鋼板、紙、プラスチッ
クフィルム、ＩＣウェーハ等の表面を走査して欠陥を含
む画像をモニタに表示し、欠陥を目視可能にする欠陥検
査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】鋼板や紙等の表面を光学的に走査して、
その表面に現れるキズなどの欠陥をモニタテレビに表示
し、モニタで欠陥を目視することにより欠陥の有無、大
きさ、種類等を判別できるようにした表面検査装置が従
来よりある。

【０００３】例えば特公昭６３−４３６８５号には、光
学的走査により被検査材の表面の画像を読取り、被検査
材の全幅がモニタの表示画面の幅内に現れるように表示
する表面検査装置が示されている。ここに表面に欠陥が
あると、この欠陥がモニタの検査材送り方向の中央に来
るようにして画像を一時停止させ、目視できるようにし
たものである。

【０００４】図１６はこの従来装置のブロック図、図１
７はモニタに表示される被検査材の表示領域を示す図で
ある。図１６において符号１０は画像検出手段であり、
被検査材表面を光学的に走査することによりアナログ画
像信号ａを出力するものである。この画像検出手段１０
は、例えば回転ミラーにより光を被検査材上で走査させ
、この光の反射光を受光器で集めるフライングスポット
方式のものが使用できる。また被検査材表面をその幅方
向に配置した棒状光源で照射し、その反射光を回転ミラ
ーを介して受光器に取り込んでゆくフライングイメージ
方式のものが使用可能である。

【０００５】このアナログ画像信号ａはＡ／Ｄ変換器１
２によりデジタル画像信号ｂに変換され、一走査ライン
ごとにフレームメモリ１４に記憶される。このフレーム
メモリ１４には最先の内容が最新のデータにより順次書
き換えられ、常に後記モニタ２４の走査線数と同数ある
いはそれ以上の走査ラインが記憶されている。

【０００６】またアナログ画像信号ａは欠陥判別手段１
６に入力され、ここで欠陥の有無が判断される。すなわ
ちアナログ画像信号ａは被検査材の表面のキズ等がある
と出力レベルが急変するから、この信号を微分回路を含
む信号処理回路で処理することによりキズなどの欠陥を
判別できる。このようにして欠陥が検出されるとアドレ
ス判別手段１８はこの欠陥の送り方向の位置（アドレス
）を被検査材の送り量に基づいて判別する。この欠陥の
送り方向のアドレスが求まると、書込み制御手段２０は
この欠陥がモニタ２４の画面の画像送り方向の中央に来
るのを待ってフレームメモリ１４にデジタル信号ｂの読
込みを禁止させる。そしてこのフレームメモリ１４の内
容がＤ／Ａ変換器２２でアナログ信号に戻された後、Ｃ
ＲＴなどのモニタテレビ２４に表示される。この結果モ
ニタ２４には画像送り方向の中央に欠陥部分が現れるこ
とになる。検査者はこの画像を目視して検査装置が欠陥
と判断した部分が本当に欠陥か否か、また欠陥だとすれ
ばその大きさ、種類などを判別する。そして必要に応じ
検査者の指令に基づき、あるいは自動でこの欠陥のアド
レスを別の図示しないプリンタなどの記録手段に記録し
、またその画像をビデオ装置に記録する。

【０００７】

【従来装置の問題点】このように従来装置は被検査材の
全幅をモニタテレビに表示するものであるため、欠陥を
検出してこの欠陥をテレビ画面の画像送り方向の中央に
位置させたとしても、特に被検査材の幅が広い場合には
欠陥部分が非常に小さく現れることになる。このため欠
陥の大きさ、種類などを目視で判別することが困難であ
った。

【０００８】またこの従来装置は、欠陥を検出すると書
込み制御手段２０によりフレームメモリ１４への新たな
デジタル画像信号ｂの読込みを禁止する必要がある。こ
のため複数の欠陥が接近して連続して現れる場合に、先
頭から二番目以降の欠陥を見逃すことになる。そこでこ
れを避けるために図１６に仮想線で示すように複数の主
要部２６、２６Ａを用いて並列作動させることが考えら
れる。この場合、例えばで図１７で被検査材２８の欠陥
Ｄ１　が送り方向の中央に来る領域Ａ１　を主要部２６
を用いてモニタ２４に表示させ、次の欠陥Ｄ２　が続い
て現れると領域Ａ２　を他の主要部２６Ａを用いてモニ
タ２４に表示させることになる。しかしこのように複数
の主要部２６、２６Ａ…を用いる場合には装置が大規模
になり、しかも大容量のフレームメモリ１４が多数必要
になる、という問題があった。

【０００９】またこの図１７からも明らかなように、欠
陥Ｄ１　およびＤ２　は領域Ａ１　およびＡ２　に共に
含まれている。このため主要部２６、２６Ａを用いてそ
れぞれ領域Ａ１　、Ａ２　を表示した場合に、両方のモ
ニタに欠陥Ｄ１　、Ｄ２　が表示され、欠陥の表示位置
は異なるが同じ画面が２回続くことになる、という問題
があった。

【００１０】さらにこの従来装置は、欠陥は画像検出手
段１０で読み取った画像をそのままモニタに表示してい
るため、画像が欠陥なのか否か、単なる潤滑オイルや表
面保護材の縞模様なのか、欠陥の種類、大きさなどを明
確に判別しにくいという問題もあった。

【００１１】さらにまた欠陥は点状に現れるもの、線状
に現れるものなど、被検査材の種類により特徴がある。 しかしこの従来装置では例えば送り方向に長い欠陥では
その先端部が画面内の送り方向中央に現れるため、長い
欠陥の末尾が画面から外れ易いという問題もあった。

【００１２】

【発明の目的】本発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、欠陥部分をモニタ画面の中央付近などの希
望の位置に十分に拡大して表示することにより、目視に
よる欠陥の確認がし易くなる欠陥検査装置を提供するこ
とを第１の目的とする。

【００１３】また、欠陥が連続する場合にも欠陥を見逃
すことなく対応でき、装置を大きくすることなく少ない
メモリ容量を有効利用することができる欠陥検査装置を
提供することを第２の目的とする。

【００１４】さらに欠陥の形状に対応して欠陥を画面の
中央に現わしたり、あるいは長い欠陥が画面から外へ出
ないようにして視認し易くした欠陥検査装置を提供する
ことを第３の目的とする。

【００１５】

【発明の構成】本発明によれば第１の目的は、被検査材
の表面を走査して得た画像信号から、被検査材の欠陥を
検出してモニタに表示する欠陥検査装置において、被検
査材の連続する所定数の走査ラインを順次読込んで記憶
するバルクメモリと、前記画像信号から被検査材の欠陥
を判別する欠陥判別手段と、この検出した欠陥のアドレ
スを求めるアドレス判別手段と、前記欠陥を含む走査ラ
インがモニタ上における画像送り方向の所定位置にくる
とバルクメモリの書き込みを一時停止させる書き込み制
御手段と、このバルクメモリのデータから欠陥を含む一
定幅の領域を切り出してモニタ手段に表示させる切り出
し制御手段とを備えることを特徴とする欠陥検査装置、
により達成される。

【００１６】第２の目的はバルクメモリあるいはフレー
ムメモリを複数とし、一方が読込み・読出しのために停
止している間に他方を作動させることにより達成できる
。

【００１７】第３の目的は、欠陥がモニタの画面の中央
に現れるようにしたり、検出した欠陥の先頭がモニタの
主・副走査の始点側の隅側に偏位させ、例えば隅〜１／
３　の位置に現わすようにすることにより達成される。 ここに複数の欠陥が接近して現れる場合には、欠陥同志
の大きさを比較して、最大の欠陥がモニタの中央などの
希望の位置に来るようにしてもよい。

【００１８】また前記第１の目的は、被検査材の表面を
幅方向に主走査して得た画像信号から、被検査材の欠陥
を検出してモニタに表示する欠陥検査装置において、被
検査材の連続する所定数の走査ラインを順次読込んで記
憶する一方所定数以上の走査ラインを古いものから順に
出力するＦＩＦＯメモリと、前記画像信号から被検査材
の欠陥を判別する欠陥判別手段と、この検出した欠陥の
アドレスを求めるアドレス判別手段と、前記欠陥のアド
レスを中心とする一定幅のゲート信号を出力する切り出
し制御手段と、前記ゲート信号に基づいてＦＩＦＯメモ
リから押し出されるデータから一定幅のデータをフレー
ムメモリに移すゲート回路と、前記フレームメモリの内
容を表示するモニタ手段とを備えることを特徴とする欠
陥検査装置、によっても達成可能である。

【００１９】

【実施例１】図１は本発明の第１の実施例のブロック図
、図２は画像領域の対応関係を示す概念図、図３は画像
信号等の出力波形図である。

【００２０】図１において、符号５０は鋼板、紙、プラ
スチックフィルムなどの被検査材であり、この被検査材
５０は供給ロール５２から巻取りロール５４に送られる
。この巻取りロール５４は巻取りモータ５６により駆動
される。この被検査材５０の送り中にフライングスポッ
ト方式による画像検出手段５８によって表面の画像が読
取られる。この画像検出手段５８は、レーザー光源６０
から射出されるレーザ光を、モータ６２により回転され
る回転ミラー（ポリゴナルミラー）６４によって被検査
材５０の幅方向に走査（主走査）する一方、被検査材５
０の表面による反射光を受光ロッド６６によって一対の
受光器６８（６８ａ、６８ｂ）に導いて受光するもので
ある。すなわち受光ロッド６６はレーザー光の主走査ラ
イン７０に近接してこれに平行に配設され、反射光を受
光すると受光ロッド６６の内面で全反射させてその両端
に導き、フォトマルチプライヤ（光電子倍増管）などの
受光器６８により受光量が検出される。各受光器６８が
出力する画像信号はプリアンプ、メインアンプで増幅さ
れ、また波形整形されて図３に示すアナログ画像信号ａ
１　、ａ２　となる。この図で各信号ａ１　、ａ２　に
は、連続する異なる主走査ライン７０に対応する信号が
、時間軸方向に一定時間毎に現れている。この図でｄ１
１、ｄ１２、ｄ２１、ｄ２２は被検査材５０の表面の欠
陥に対応する。このように各信号ａ１　、ａ２　は受光
器６８ａ、６８ｂからレーザー光の主走査ライン７０上
の走査位置が遠くなるとレベルが低下し、反対に走査位
置に近くなるとレベルが上昇するように変化する。そこ
でこの実施例では、両信号ａ１　、ａ２　は加算回路７
２で加算され、主走査ライン７０上の走査位置の変化に
よる影響が除去されてアナログ画像信号ａとされる。そ
してその後信号処理回路７４において微分され、アナロ
グ画像信号ａ３　とされる。この信号ａ３　は欠陥があ
ると正負に変化するパルスｄ３１、ｄ３２を含んだもの
となる。

【００２１】７６は欠陥判別手段であり、信号ａ３　を
所定レベルの比較電圧υ（図３）と比較することにより
欠陥の有無を検出するものである。すなわち欠陥を示す
パルスｄ３１、ｄ３２が比較電圧υを超えて小さくなる
時にパルスとなる欠陥信号ｄを出力する。

【００２２】７８はアドレス判別手段であり、この欠陥
信号ｄのパルスが出力された時点のレーザー光の走査位
置、すなわち走査により現れた欠陥の先頭部の座標（ア
ドレス）を求め、アドレス信号Ａｄを出力するものであ
る。ここにレーザー光の主走査方向の座標は回転ミラー
６４の回転角度または主走査方向に始点を設けその点を
レーザー光が通過してからの経過時間に基づいて検出さ
れ、また被検査材５０の送り方向の位置である副走査方
向の座標は巻取りロール５４の回転量に基づいて検出さ
れる。

【００２３】一方、アナログ画像信号ａはＡ／Ｄ変換器
８０においてデジタル画像信号ｂに変換され、バルクメ
モリ８２に入力される。このバルクメモリ８２は主走査
ラインの画素数Ｎとモニタ上の画像表示エリアの走査線
数ｎとの積（Ｎ×ｎ）に等しい記憶容量を持ち、検査幅
ゲート信号に同期して一主走査毎にデジタル画像信号ｂ
を記憶する。すなわちバルクメモリ８２の記憶領域が一
杯になると最も古いデータの上に順次上書きしてゆくリ
ングバッファ構造を持つ。ここに検査幅ゲート信号は回
転ミラー６４の回転に同期して一主走査内の検査幅を示
すものである。

【００２４】この結果バルクメモリ８２に記憶されるの
は、図２においてモニタ９２の画像表示エリア分の走査
線数ｎ本分の画像信号ｂであり、換言すれば領域ＡＢＣ
Ｅの範囲を通過する被検査材５０の表面画像である。

【００２５】このバルクメモリ８２へのデータの書込み
は、書込み制御手段８４により制御される。すなわちこ
の手段８４は、アドレス信号Ａｄに基づいて、欠陥Ｄを
示すパルスｄ１　を含む走査線がモニタ９２上の副走査
方向の所定位置、例えば中央に来るまで書き換えを行い
、この位置に来ると書込みを一時停止させる。

【００２６】８６はフレームメモリである。このフレー
ムメモリ８６はモニタ９２の表示領域にほぼ等しい記憶
容量を持つ。すなわちモニタの主走査方向の画素数ｍと
、副走査方向の走査線数ｎとの積（ｍ×ｎ）の容量を持
つ。このフレームメモリ８６へのデータの書込みは切出
し制御手段８８によって制御される。すなわちこの手段
８８はアドレス信号Ａｄに基づいて欠陥Ｄがモニタ９２
の所定位置、例えば主走査方向の中央に来るように、第
２図で領域ＦＧＨＩの範囲に対応するデータをバルクメ
モリ８２からフレームメモリ８６に移送させるものであ
る。

【００２７】このフレームメモリ８６に記憶されたデー
タは、必要に応じて光磁気ディスク、フロッピーディス
ク、ハードディスク、メモリーテープ等の適宜の記録手
段９１に記録される。

【００２８】このフレームメモリ８６のデータはＤ／Ａ
変換器９０においてアナログ画像信号ｃに変換され、Ｃ
ＲＴなどのモニタ９２に表示される。また必要に応じて
ビデオテープやビデオプリンターなどの画像記録手段９
４に記録される。また必要に応じて欠陥判別情報やアド
レス情報を欠陥画像と同時にモニタ９２に表示するよう
にしてもよい。

【００２９】検査者はこのモニタ９２を監視する。そし
て欠陥Ｄを中心にして拡大された静止画像を見て、欠陥
Ｄと判断された部分が真実の欠陥か否か、例えば表面に
不均一に付着したオイルや保護材等の縞模様等か否かを
判別する。そして真実の欠陥と判断した時には検査者は
記録指令スイッチボタン９６を押す。このスイッチボタ
ン９６により記録指令が出力されると、プリント制御手
段９８はアドレス信号Ａｄを読込んでプリンタ１００に
この欠陥Ｄのアドレスを出力させる。そして書込み制御
手段８４は再びバルクメモリ８２にデータの書込みを開
始させ、次の欠陥Ｄがあるとモニタ９２に表示される。

【００３０】このように図１〜３により説明した実施例
によれば、欠陥Ｄをモニタ９２の所定位置、例えば中央
に移して拡大して表示するから、欠陥Ｄの存否、種類、
大きさ等を目視により確認し易くなる。

【００３１】なおこの実施例で欠陥判別手段７６はアナ
ログ画像信号ａ３に代えて、Ａ／Ｄ変換されたデジタル
画像信号ｂを用いて欠陥Ｄを判別するようにしてもよい
（図１仮想線参照）。

【００３２】

【実施例２】図４は第２の実施例のブロック図、図５は
画像領域の対応関係を示す概念図である。

【００３３】この実施例は前記第１の実施例に対して、
バルクメモリ１８２およびフレームメモリ１８６がそれ
ぞれ複数個のメモリ１８２ａ、ｂ、…、および１８６ａ
、ｂ、…で構成される点と、倍率変更手段１０２および
表示メモリ１０４を備える点が異なる。

【００３４】バルクメモリ１８２ａ、ｂ、…は、図５に
示すように近接する異なる欠陥Ｄ１　、Ｄ２　、…が検
出された場合に、それぞれの欠陥Ｄ１　、Ｄ２　、…に
対する領域ＡＢＣＥ、Ａ′Ｂ′Ｃ′Ｅ′、…を記憶する
。またフレームメモリ１８６ａ、ｂ、…は各欠陥Ｄ１　
、Ｄ２　、…を中心とする各領域を記憶する。書込み制
御手段１８４、切出し制御手段１８８は、アドレス判別
手段７８が欠陥Ｄ１　、Ｄ２　、…のアドレスを出力す
ると順次異なるバルクメモリ１８２ａ、ｂ、…およびフ
レームメモリ１８６ａ、ｂ、…に記憶させる。また切出
し制御手段１８８は、記録指令スイッチボタン９６の記
録指令信号に基づいて、モニタ９２に表示すべきフレー
ムメモリ１８６ａ、ｂ、…を順番に選択して倍率変更手
段１０２に出力する。この倍率変更手段１０２は、画像
の倍率変更を行って表示メモリ１０４に記憶し、モニタ
９２に表示させる。

【００３５】この第２の実施例によれば、複数のバルク
メモリ１８２ａ、ｂ、…を備えるので、連続して現れる
欠陥も見落すことなくモニタ９２に表示することができ
る。

【００３６】また複数のフレームメモリ１８６ａ、ｂ、
…を備えるから、連続して現れるそれぞれの欠陥をモニ
タ９２に十分な時間をかけて表示させることが可能にな
る。さらに倍率変更手段１０２、表示メモリ１０４を設
けることにより、さらに欠陥を発見し易い倍率にして表
示することが可能になる。

【００３７】

【実施例３】図６は第３の実施例を示すブロック図であ
る。この実施例は複数の連続する欠陥が現れた場合に、
一定の領域内での欠陥のレベルを比較し、レベルの大き
い欠陥がモニタ９２の中央に来るように画像を移動させ
るようにしたものである。

【００３８】すなわちアドレス判別手段１７８はモニタ
９２の表示画素数に対応する領域内に複数の欠陥が現れ
た時に、最先に現れた欠陥のアドレスとレベルＭ１　と
を欠陥メモリ１７８ａにメモリし、比較器１７８ｂによ
って次の欠陥のレベルＭ２　とを比較する。比較の結果
Ｍ１　＜Ｍ２　であれば後の欠陥のアドレスとレベルＭ
２　とで欠陥メモリ１７８ａの内容を書き換える。この
結果最もレベルが大きい欠陥をモニタ９２内の希望位置
、例えば中央に移して表示することができる。またこの
時、最先の欠陥が画面から外れない範囲内でアドレスを
ずらし、バルクメモリ１８２からの切出しを行えば、す
べての欠陥を逃がすことなく表示可能になる。

【００３９】

【実施例４】図７は第４の実施例のブロック図、図８は
ＦＩＦＯメモリの機能を示す概念図、図９はゲート回路
の機能を示す概念図である。

【００４０】この実施例は前記第１〜３の実施例におけ
るバルクメモリ８２、１８２に代えてＦＩＦＯメモリ２
８２を用いたものである。ここのＦＩＦＯメモリ２８２
は、主走査ラインの画像数Ｎとモニタ９２の走査ライン
数ｎの半分の走査ライン数ｎ／２との積（Ｎ×ｎ／２）
の記憶容量を持ち、新しいデータが入力されると最も古
いデータから順に押し出して出力する機能をもつ。従っ
てこのＦＩＦＯメモリ２８２は画像検出手段５８が検出
した画像信号ａを、モニタ９２の半分の走査ライン分の
時間遅れをもって出力する遅延回路となっている。

【００４１】欠陥が検出され欠陥信号ｄが欠陥を示すパ
ルスｄ３　を出力すると、切出し制御手段２８８はこの
パルスｄ３　を中心とする一定画素数ｍ分だけオンとな
るゲート信号ｇを出力する。ここに画素数ｍはモニタ９
２の主走査方向の表示領域の画素数に一致している。ゲ
ート信号ｇに基づいてゲート回路１１０はＦＩＦＯメモ
リ２８２から押し出される走査ラインＬ１、Ｌ２　、…
の各ラインから、このゲート信号ｇがオンの範囲（第９
図の斜線部分）だけを抽出してフレームメモリ８６に送
り記憶させる。従ってモニタ９２には欠陥Ｄが中央に位
置するように画像が表示される。

【００４２】この実施例によれば前記第１の実施例のバ
ルクメモリ８２に代えて、容量が半分のＦＩＦＯメモリ
２８２を用いるから、メモリ容量を最小にすることが可
能になる。

【００４３】

【実施例５】図１０は第５の実施例のブロック図である
。この実施例はフレームメモリを省いてバルクメモリの
内容を用いて欠陥Ｄを表示させたり記憶したりするもの
である。すなわち欠陥Ｄを検出するとこの欠陥Ｄを含む
所定画像領域がバルクメモリ８２にメモリされ、この画
像を例えば光磁気ディスク９１に記録する。またその位
置をプリンタ１００に出力する。この実施例の場合には
、モニタ９２やビデオ９４に表示する時間を短縮して次
の欠陥Ｄの検出に備えるのが望ましい。

【００４４】

【実施例６】以上の各実施例においては欠陥Ｄは点状な
いしは小さいものと仮定しているが、実際には欠陥の形
状は長い場合もある。特に鋼板やフィルムなどの製品で
は、被検査材５０の送り方向あるいはこれに直交する方
向に長い形状の図１１に示すような欠陥Ｄ３　、Ｄ４　
が現れ易い。

【００４５】図１１はこのような場合における表示領域
と欠陥の形状との関係を示す図、図１２はこの欠陥がモ
ニタから飛び出した状態を示す。

【００４６】前記した各実施例では、欠陥の形状を問題
とせず、最初に走査ライン上に検出された欠陥のアドレ
スを欠陥のアドレスとしてモニタ９２上の例えば中央に
表示してしまう。このため図１１のように被検査材５０
を上へ送りつつ左から右に主走査している場合には、欠
陥の左上端の点Ｐを欠陥として例えば図１２に示すよう
に点Ｐをモニタ９２の中央に表示してしまう。この時欠
陥Ｄ３　のように主走査方向に形状が長い時には、欠陥
Ｄ３　の右端がモニタ９２から外れることになる。同様
に被検査材５０の送り方向に長い欠陥Ｄ４　の場合には
、モニタ９２上で欠陥Ｄ４　の下部がモニタ９２から外
れてしまう。

【００４７】このような場合には検出した欠陥Ｐをモニ
タ９２上の左上、すなわちモニタの画像表示エリアの主
・副走査の始点側の隅に寄せて表示させることにより、
図１３のように欠陥Ｄ３　、Ｄ４　のほぼ全体をモニタ
９２に表示させることが可能になる。

【００４８】ここに検査員がモニタ９２を監視し欠陥Ｐ
を視認する場合、単に欠陥Ｐの存在、種類、大きさ等の
情報だけでなく、欠陥Ｐの周囲の被検査材の状態を知る
ことは重要で、検査員は周囲の状態との比較において、
総合的に欠陥Ｐを認識する。従って本実施例の場合、欠
陥Ｐの全体をなるべくモニタ９２に表示させ、かつ周囲
の状態も表示させるためには、モニタの画像表示エリア
の始点側の隅、すなわち主走査巾、副走査巾のそれぞれ
始点〜１／３　迄の間に欠陥Ｐを位置させるのが好まし
い。

【００４９】このようにモニタ９２上の欠陥Ｄの表示位
置については、検査者が適宜切換えられるようにするの
が望ましい。図１４はこの場合の概念図である。この図
で９６Ａは表示位置切換スイッチである。これは図１０
に仮想線で示すように書込み制御手段８４および切出し
制御手段８８に信号を送り、欠陥Ｄの位置を図１２に示
すようにモニタ９２の画面中央にする場合と、図１３に
示すように画面の左上隅に偏位させる場合とを切換える
ものである。

【００５０】この場合バルクメモリ８２にメモリ可能な
走査ライン数がモニタ９２の表示ライン数にほぼ一致し
ている場合には、メモリする範囲Ａ１、Ａ２が異なる。 そしてモニタ９２ａ、９２ｂに示すように欠陥Ｄの表示
位置が切換えられる。

【００５１】バルクメモリ８２が２つのメモリ範囲Ａ１
、Ａ２を含む範囲Ａ３をメモリできる容量を持つ場合に
は、スイッチ９６Ａによって画面を見ながら欠陥の位置
を切換えできるように構成できる。なお表示位置は２つ
の位置だけでなく３以上の位置に切換え可能としてもよ
い。

【００５２】さらにこの表示位置をモニタを見ながら移
動できるようにしてもよい。図１５はその概念図である
。この図で９６Ｂは位置入力手段としてのマウスである
。この場合モニタ９２にはカーソルＫが表示され、この
カーソルＫは欠陥Ｄを指定してマウス９６Ｂをクリーク
し、そのまま移動させて目標位置でクリックを解放する
ことにより画像の移動方向および移動量が入力できる。 この結果モニタ９２は表示領域のデータをバルクメモリ
８２から読出して表示することができる。

【００５３】この実施例によれば表示位置の移動が極め
て容易である。このマウス９６Ｂに代えてトラックボー
ル、ジョイスティック、カーソルキー等、種々のポイン
ティング・デバイスが使用可能である。

【００５４】なおこのマウス９６Ｂを使う場合に表示倍
率もこれで変更可能に構成することができる。例えばモ
ニタ９２の画像の周囲に倍率変更を入力するためのマー
クを表示しておき、このマークをカーソルＫで選択する
ことにより倍率を変更するように構成できる。

【００５５】以上の各実施例では被検査材５０の表面に
現れた欠陥Ｄを検出するものとして説明しているが、本
発明は表面を走査することにより内部の欠陥を検出する
ものも包含する。例えば鋼板の内部欠陥を磁気光学効果
を用いて検出するものであってもよい。これは、被検査
材を交流磁界で磁化した時の欠陥からの漏れ磁界を反射
光の偏光の変化として検出するものである。

【００５６】また以上の各実施例では、被検査材の表面
の巾方向の主走査をレーザースキャンにより行うとして
説明しているが、例えばフライングイメージ方式ＣＣＤ
１次元ラインセンサカメラ、ＣＣＤ２次元カメラ等で撮
影し、電気的走査により画像信号を得ることも可能であ
り、本発明にはこれらの方法も包含される。

【００５７】

【発明の効果】請求項１の発明は以上のように、欠陥の
画像モニタ上の所定の位置に拡大して表示するものであ
るから、欠陥の有無、大きさ、種類等を目視により確認
し易くなる。

【００５８】この場合フレームメモリを省いてもよいが
（請求項２）、バルクメモリおよびフレームメモリをそ
れぞれ１個づつ設けてもよい（請求項３）。またバルク
メモリを複数個設け、その１つのバルクメモリが欠陥の
検出によりデータの読込みを停止している間に他のバル
クメモリにデータの読込みを継続させることにより、連
続する欠陥にも対応できる（請求項４）。フレームメモ
リを複数個設ければ（請求項５）、各フレームメモリに
異なる欠陥を記憶させておき、モニタには十分な時間間
隔をもって表示を切換えることが可能になり、欠陥の観
察が一層容易になる。このようにメモリを複数個に増や
すだけで連続する欠陥を見落すことなく検出することが
可能になり、前記した従来装置のように複数の主要部を
並列に設ける必要がなくなり、装置を簡単にし、かつメ
モリの容量を有効に利用することが可能になる。

【００５９】一方フレームメモリの内容を倍率変更して
表示メモリにメモリするようにした場合には（請求項６
）、欠陥を一層発見し易い画像にすることが可能になる
。

【００６０】請求項７の発明によれば、バルクメモリに
代えてＦＩＦＯメモリを用いるから、欠陥をモニタの中
央に表示する場合にはメモリ容量をバルクメモリの場合
に比べて半分にすることができると共に、前記請求項１
または２の発明と同様の効果が得られる。

【００６１】点状の欠陥はモニタの中央付近に表示する
のが望ましいが（請求項８）、長い欠陥に対しては欠陥
の始点がモニタの画像表示エリアの主・副走査の始点側
の隅側に偏位させ、例えば始点〜１／３　の位置に表示
させれば（請求項９）、長い欠陥全体をモニタに表示す
ることが可能になり、欠陥が見易くなる。

【００６２】この表示位置の移動は切換スイッチにより
切換えるようにしてもよいが（請求項１０）、モニタ上
でカーソルを移動させて表示位置を移動するマウスなど
の位置入力手段を設けるのが望ましい（請求項１１、１
２）。

【００６３】さらに近接する欠陥のうち最大の欠陥がモ
ニタの所定位置に来るようにすれば（請求項１３）、１
つのモニタ画面内に複数の欠陥を同時に表示することに
より、バルクメモリやフレームメモリなどの必要数を減
らしたり、多数の欠陥を比較しながら欠陥を監視し易く
することができる。また欠陥の画像や欠陥の位置などを
記録する記録手段を設ければ、検査中は検査者が立合う
ことなく別の仕事を行い、後でこの記録された画像を検
査でき、検査能率を著しく高めることができる（請求項
１４）。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例のブロック図

【図２】画
像領域の対応関係を示す概念図

【図３】画像信号等の出
力波形図

【図４】第２の実施例のブロック図

【図５】画像領域の対応関係を示す概念図

【図６】第３
の実施例を示すブロック図

【図７】第４の実施例のブロ
ック図

【図８】ＦＩＦＯメモリの機能を示す概念図

【図９】ゲ
ート回路の機能を示す概念図

【図１０】第５の実施例の
ブロック図

【図１１】表示領域と欠陥の形状との関係を示す図

【図
１２】この欠陥がモニタから飛び出した状態を示す図、

【図１３】欠陥をモニタに入れた状態を示す図

【図１４
】他の実施例の概念図

【図１５】さらに他の実施例の概念図

【図１６】この従来装置のブロック図

【図１７】モニタに表示される被検査材の表示領域を示
す図

【符号の説明】

５０　　被検査材 ５８　　画像検出手段 ７０　　主走査ライン ７６　　欠陥判別手段 ７８、１７８　　アドレス判別手段 ８２、１８２　　バルクメモリ ８４　　書込み制御手段 ８６、１８６　　フレームメモリ ８８、１８８、２８８　　切出し制御手段９２　　モニ
タ ９６Ａ　　表示位置切換スイッチ ９６Ｂ　　モニタ １０２　　倍率変更手段 １０４　　表示メモリ １１０　　ゲート回路 １７８ａ　　欠陥メモリ ２８２　　ＦＩＦＯメモリ

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　被検査材の表面を走査して得た画像信
   号から、被検査材の欠陥を検出してモニタに表示する欠
   陥検査装置において、被検査材の連続する所定数の走査
   ラインを順次読込んで記憶するバルクメモリと、前記画
   像信号から被検査材の欠陥を判別する欠陥判別手段と、
   この検出した欠陥のアドレスを求めるアドレス判別手段
   と、前記欠陥を含む走査ラインがモニタ上における画像
   送り方向の所定位置にくるとバルクメモリの書き込みを
   一時停止させる書き込み制御手段と、このバルクメモリ
   のデータから欠陥を含む一定幅の領域を切り出してモニ
   タ手段に表示させる切り出し制御手段とを備えることを
   特徴とする欠陥検査装置。
2. 【請求項２】　　請求項１において前記バルクメモリか
   ら切り出された欠陥を含む領域のデータを記憶するフレ
   ームメモリを有する欠陥検査装置。
3. 【請求項３】　　バルクメモリおよびフレームメモリを
   それぞれ１個づつ備える請求項１の欠陥検査装置。
4. 【請求項４】　　バルクメモリを複数個備え、書き込み
   制御手段はその一方が書き込み停止中に他方に書き込み
   を継続させる請求項１の欠陥検査装置。
5. 【請求項５】　　フレームメモリを複数個備え、モニタ
   に順次表示する画像を異なるフレームメモリに順次メモ
   リしておく請求項２の欠陥検査装置。
6. 【請求項６】　　請求項１または２において、画像の表
   示倍率を変える倍率変更手段と、倍率変更済みのデータ
   を記憶する表示メモリとを備え、表示メモリの内容をモ
   ニタに表示する欠陥検査装置。
7. 【請求項７】　　被検査材の表面を走査して得た画像信
   号から、被検査材の欠陥を検出してモニタに表示する欠
   陥検査装置において、被検査材の連続する所定数の走査
   ラインを順次読込んで記憶する一方所定数以上の走査ラ
   インを古いものから順に出力するＦＩＦＯメモリと、前
   記画像信号から被検査材の欠陥を判別する欠陥判別手段
   と、この検出した欠陥のアドレスを求めるアドレス判別
   手段と、前記欠陥のアドレスを中心とする一定幅のゲー
   ト信号を出力する切り出し制御手段と、前記ゲート信号
   に基づいてＦＩＦＯメモリから押し出されるデータから
   一定幅のデータをフレームメモリに移すゲート回路と、
   前記フレームメモリの内容を表示するモニタ手段とを備
   えることを特徴とする欠陥検査装置。
8. 【請求項８】　　書き込み制御手段および切り出し制御
   手段は、欠陥の始点がモニタの中央付近に現れるように
   バルクメモリの書き込み停止および切り出し領域をそれ
   ぞれ決める請求項１または２の欠陥検査装置。
9. 【請求項９】　　書き込み制御手段は欠陥の始点がモニ
   タの画像表示エリアの副走査の始点側の隅〜１／３　の
   位置に偏位して現れるように書き込み停止し、また切出
   し制御手段は欠陥の始点がモニタの画像表示エリアの主
   走査の始点側〜１／３　の位置に偏位して現れるように
   切出し領域を決めるようにした請求項１または２の欠陥
   検査装置。
10. 【請求項１０】　　モニタの画像表示エリア内で欠陥の
    表示位置を、予め決めた複数の位置のいずれかに切換え
    る表示位置切換スイッチを有する請求項１または２の欠
    陥検査装置。
11. 【請求項１１】　　モニタの画像表示エリア内で欠陥の
    表示位置を入力する位置入力手段を備える請求項１また
    は２の欠陥検査装置。
12. 【請求項１２】　　位置入力手段はモニタに表示される
    カーソルを移動することにより表示位置を入力するマウ
    スである請求項１または２の欠陥検査装置。
13. 【請求項１３】　　アドレス判別手段は、モニタの画像
    表示エリア内に現れる欠陥の出力レベルのうち最大のも
    のの大きさとアドレスを記憶する欠陥メモリを備え、書
    込み制御手段および切出し制御手段はこの欠陥メモリに
    記憶したアドレスをモニタ上の所定位置に表示させる請
    求項１または２の欠陥検査装置。
14. 【請求項１４】　　フレームメモリに記憶されている内
    容、モニタの表示画面、欠陥の位置の少くとも一方を記
    録する記録手段を備えることを特徴とする請求項１また
    は２の欠陥検査装置。