JPH0423448A - 基板収納カセツト - Google Patents
基板収納カセツトInfo
- Publication number
- JPH0423448A JPH0423448A JP2126723A JP12672390A JPH0423448A JP H0423448 A JPH0423448 A JP H0423448A JP 2126723 A JP2126723 A JP 2126723A JP 12672390 A JP12672390 A JP 12672390A JP H0423448 A JPH0423448 A JP H0423448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- rod
- storage cassette
- substrate
- substrate storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス、石英、シリコン、ガリウムヒ索導平坦
な基板の基板収納カセットにおける基板すベリ落ち防止
装置の形状及び構造に関する。
な基板の基板収納カセットにおける基板すベリ落ち防止
装置の形状及び構造に関する。
従来、基板収納カセットについては、淀川化成株式会社
カタログに記載のように箱型ケース状のカセットに基板
収納溝を形成し基板を複数枚収納する構造となっている
。
カタログに記載のように箱型ケース状のカセットに基板
収納溝を形成し基板を複数枚収納する構造となっている
。
上記従来技術は、基板収納カセットを持ち上げて基板出
入口を下側に向けると基板が基板収納力セラ１〜からす
べり出し、場合によってはすベリ落ちて割ってしまうと
いう問題があった。
入口を下側に向けると基板が基板収納力セラ１〜からす
べり出し、場合によってはすベリ落ちて割ってしまうと
いう問題があった。
本発明は基板収納カセットを持ち上げた時基板落下防止
装置により、基板が基板カセットよりすべり落ちること
を防止することを目的としており、さらに平らな面に基
板カセットを置いた場合には自動で基板落下防止装置が
解除される自動開閉の基板落下防止装置を基板収納カセ
ットに設けることを目的とする。
装置により、基板が基板カセットよりすべり落ちること
を防止することを目的としており、さらに平らな面に基
板カセットを置いた場合には自動で基板落下防止装置が
解除される自動開閉の基板落下防止装置を基板収納カセ
ットに設けることを目的とする。
上記目的を達成するために、基板収納カセットの基板出
入口に基板落下防止用ストッパーを設け、基板収納カセ
ットを持ち上げた時に自動でストッパーが基板出入口に
出て来て基板のすベリ出しを防止し、また基板収納カセ
ットを装置のローダ及びアンローダ等の平らな部分に置
いた時は前記ストッパーが自動的に基板出入口から離れ
る機構を基板収納カセットに設けたものである。
入口に基板落下防止用ストッパーを設け、基板収納カセ
ットを持ち上げた時に自動でストッパーが基板出入口に
出て来て基板のすベリ出しを防止し、また基板収納カセ
ットを装置のローダ及びアンローダ等の平らな部分に置
いた時は前記ストッパーが自動的に基板出入口から離れ
る機構を基板収納カセットに設けたものである。
基板収納カセットの基板出入口に基板落下防止装置とな
る回転可能な棒を設け、基板収納カセット底面より前記
捧を出し、基板収納カセットの自重により底面まで引込
む動きを利用し、前記捧に斜めの溝を掘り、基板収納カ
セット側には突起を設けておくことにより棒の回転の動
作とする。また基板収納カセットを持ち上げると棒の自
重によ＝３ り捧が基板収納カセット底面より出る動きを前記の逆の
回転の動作とする。それによって、前記捧に基板すべり
出し防止用突起を付けることにより、基板収納カセット
を持ち上げた時棒は回転し、基板すベリ出し防止用突起
が基板出入口をふさぐようになるので、基板収納カセッ
トを持ち」二げ基板出入口を下側に向けても基板は基板
収納カセットよりすべり出し、落下することがない。
る回転可能な棒を設け、基板収納カセット底面より前記
捧を出し、基板収納カセットの自重により底面まで引込
む動きを利用し、前記捧に斜めの溝を掘り、基板収納カ
セット側には突起を設けておくことにより棒の回転の動
作とする。また基板収納カセットを持ち上げると棒の自
重によ＝３ り捧が基板収納カセット底面より出る動きを前記の逆の
回転の動作とする。それによって、前記捧に基板すべり
出し防止用突起を付けることにより、基板収納カセット
を持ち上げた時棒は回転し、基板すベリ出し防止用突起
が基板出入口をふさぐようになるので、基板収納カセッ
トを持ち」二げ基板出入口を下側に向けても基板は基板
収納カセットよりすべり出し、落下することがない。
以下、本発明の一実施例を第１図より第４図により説明
する。基板収納力セラ１〜１１の基板出入口側に特定構
造の基板落下防止ストッパー１２を設ける（第１図）。
する。基板収納力セラ１〜１１の基板出入口側に特定構
造の基板落下防止ストッパー１２を設ける（第１図）。
基板落下防止ストッパー１２は基板収納カセット１１の
基板出入の右側一方、左側一方又は左右両側に設けても
かまわない。可動部における発塵等を考えると片側が望
ましい。
基板出入の右側一方、左側一方又は左右両側に設けても
かまわない。可動部における発塵等を考えると片側が望
ましい。
基板落下防止ストッパーは特定構造の捧２３と基板落下
防止板２４より構成されており、捧２３には特定構造の
溝２６．４−２．４３，４．４が掘られている。また、
基板収納カセッ１〜には突起２５が設けられており、棒
２３の溝２６に入っており棒２３を」１下に動かすこと
により棒の動きは溝２６が突起２５に制限されるため回
転する。棒の溝部Ａ部は棒の縦方向と同一方向の溝４２
，４．４を溝の末端にもち、棒が一番上に上がった場合
と一番下に下がった場合の捧２３の回転を規制している
。
防止板２４より構成されており、捧２３には特定構造の
溝２６．４−２．４３，４．４が掘られている。また、
基板収納カセッ１〜には突起２５が設けられており、棒
２３の溝２６に入っており棒２３を」１下に動かすこと
により棒の動きは溝２６が突起２５に制限されるため回
転する。棒の溝部Ａ部は棒の縦方向と同一方向の溝４２
，４．４を溝の末端にもち、棒が一番上に上がった場合
と一番下に下がった場合の捧２３の回転を規制している
。
棒２３の溝４３は基板収納カセットを平らな面に置き棒
２３が基板収納カセット２１の底面と一致している時は
基板落下防止ストッパー２４が基板収納カセットへの基
板の出入を限定しない方向を向き、基板収納力セラ１〜
２１．，２２を持ち上げた時は捧２３は基板収納カセッ
ト２１の底面より自重で下がり、捧２３が回転し基板落
下防止ストッパー２４が基板の出入を制限する方向を向
くよう溝４３を掘る。第４図（ｂ）は第４図（ａ）のＡ
部分の展開図であり回転する角度はｘ ／ Ｘにより決
まり、たとえばこの値を約１／４とすれば捧２３は約９
０°回転し、またこの値を約１／２とすれば棒は１８０
°回転する。また、第４図（ｂ）では溝部４３を直線と
したが、弧を描いた形でもかまわない。棒の回る滑らか
さはｙ／ｘの値で決まり、この値が大きいほど棒は滑ら
かに回転する。
２３が基板収納カセット２１の底面と一致している時は
基板落下防止ストッパー２４が基板収納カセットへの基
板の出入を限定しない方向を向き、基板収納力セラ１〜
２１．，２２を持ち上げた時は捧２３は基板収納カセッ
ト２１の底面より自重で下がり、捧２３が回転し基板落
下防止ストッパー２４が基板の出入を制限する方向を向
くよう溝４３を掘る。第４図（ｂ）は第４図（ａ）のＡ
部分の展開図であり回転する角度はｘ ／ Ｘにより決
まり、たとえばこの値を約１／４とすれば捧２３は約９
０°回転し、またこの値を約１／２とすれば棒は１８０
°回転する。また、第４図（ｂ）では溝部４３を直線と
したが、弧を描いた形でもかまわない。棒の回る滑らか
さはｙ／ｘの値で決まり、この値が大きいほど棒は滑ら
かに回転する。
また、本実施例では溝を一体としたが複数本設けてもか
まわない。基板落下防止ス１〜ツバ−２４は本実施例で
は長方形の板状としたがくし形等の特定と形状としても
よく、基板落下防止ストッパー２４はテフロン等基板よ
り柔かな材質を用いる又は貼付ければ基板へのキズ等を
防げる。また、本実施例では基板収納カセットより棒２
３がぬけ落ちるのを防止するために棒の直径を一部変え
る形状としたが第５図（ａ）に示す様に２３の上下を制
限するストッパー５１．５２を設けてもよい。
まわない。基板落下防止ス１〜ツバ−２４は本実施例で
は長方形の板状としたがくし形等の特定と形状としても
よく、基板落下防止ストッパー２４はテフロン等基板よ
り柔かな材質を用いる又は貼付ければ基板へのキズ等を
防げる。また、本実施例では基板収納カセットより棒２
３がぬけ落ちるのを防止するために棒の直径を一部変え
る形状としたが第５図（ａ）に示す様に２３の上下を制
限するストッパー５１．５２を設けてもよい。
また、第６図に示す様に捧２３の回転を滑らかにするた
めに、摩擦係数の小さな材質の部品６１゜６２を基板収
納カセットと捧２３の間に設けてもよい。
めに、摩擦係数の小さな材質の部品６１゜６２を基板収
納カセットと捧２３の間に設けてもよい。
次に他の実施例を第７図、第８図により説明する。前記
実施例では基板収納カセットを持ち上げた時に基板収納
カセット底面より捧２３の一部が出るが棒２３を基板収
納カセットを持ち上げた場合でも底面より出ない長さと
し、基板をセラ１−する部分に突起７２を設けてもよく
、また特定の場所に置くことにより下面より突起８２が
出てくる構造としてもよい。また、本発明では棒に溝を
設け、基板収納カセットに突起を設け、棒を回転する構
造としたが、逆に基板収納カセットに溝を設は棒に突起
を設けてもよい。
実施例では基板収納カセットを持ち上げた時に基板収納
カセット底面より捧２３の一部が出るが棒２３を基板収
納カセットを持ち上げた場合でも底面より出ない長さと
し、基板をセラ１−する部分に突起７２を設けてもよく
、また特定の場所に置くことにより下面より突起８２が
出てくる構造としてもよい。また、本発明では棒に溝を
設け、基板収納カセットに突起を設け、棒を回転する構
造としたが、逆に基板収納カセットに溝を設は棒に突起
を設けてもよい。
本発明によれば、基板収納カセットを持ち上げた時に基
板落下防止用の突起が自動で基板出入口をふさぐので基
板出入口を下側に向けても基板がすべり落ることがない
。
板落下防止用の突起が自動で基板出入口をふさぐので基
板出入口を下側に向けても基板がすべり落ることがない
。
また、基板収納カセットを装置のローダ及びアンローダ
等の平らな部分に置いた時には自動で基板落下防止用の
突起が基板出入口より離れるため手動で行なう場合の手
からの汚染、塵の付着等も防止出来る効果もある。
等の平らな部分に置いた時には自動で基板落下防止用の
突起が基板出入口より離れるため手動で行なう場合の手
からの汚染、塵の付着等も防止出来る効果もある。
また、基板の落下による割れやチッピングによる異物の
付着等が大幅に減少出来るので歩留向上の効果もある。
付着等が大幅に減少出来るので歩留向上の効果もある。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は第１図を
平面上に置いた時の本発明の一実施例の部分図、第３図
は第１図を持ち上げた時の部分図、第４図は第２図、第
３図の詳細図、第５図、第６図は本発明の一実施例の詳
細図、第７図、第８図は本発明の一実施例の部分図であ
る。 １１ ・基板収納カセット、１２・・基板落下防止ス１
−ツバ−１２３・・棒、２４・・基板落下防止板、２５
・突起、２６，４２，４．３，４．４・・・溝、５１゜
５２・・・ス１〜ツバ−１７２，８２・・・突起。
平面上に置いた時の本発明の一実施例の部分図、第３図
は第１図を持ち上げた時の部分図、第４図は第２図、第
３図の詳細図、第５図、第６図は本発明の一実施例の詳
細図、第７図、第８図は本発明の一実施例の部分図であ
る。 １１ ・基板収納カセット、１２・・基板落下防止ス１
−ツバ−１２３・・棒、２４・・基板落下防止板、２５
・突起、２６，４２，４．３，４．４・・・溝、５１゜
５２・・・ス１〜ツバ−１７２，８２・・・突起。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ガラス、石英、シリコン、ガリウムヒ素、プラスチ
ック等の平坦な基板を収納する基板収納カセットにおい
て、基板の出入口に特定構造の回転する棒を設け、前記
棒に斜めに溝を切り、基板収納カセットに溝の動きを制
限する突起を設け、前記溝に沿い前記棒が回転し、さら
に前記棒に突起を設け、前記棒を上下することにより基
板の基板収納カセットへの出入を制限することを特徴と
する基板収納カセット。 ２、請求項第１項において棒に突起を設け、基板収納カ
セットに溝を設け、前記棒を上下することにより基板の
基板収納カセットへの出入を制限することを特徴とする
基板収納カセット。 ３、請求項第１項又は第２項において、棒と基板収納カ
セットの間に前記棒と基板収納カセットの材質と異なる
材質の部材を設けたことを特徴とする基板収納カセット
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2126723A JPH0423448A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 基板収納カセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2126723A JPH0423448A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 基板収納カセツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0423448A true JPH0423448A (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=14942282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2126723A Pending JPH0423448A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 基板収納カセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0423448A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101066397B1 (ko) * | 2011-03-24 | 2011-09-21 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
| CN105336650A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-02-17 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 片盒定位装置以及半导体加工设备 |
| CN105448790A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-03-30 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 片盒定位装置以及半导体加工设备 |
| KR20220005972A (ko) * | 2020-07-07 | 2022-01-14 | 칩본드 테크놀러지 코포레이션 | 전자소자 보관함 |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP2126723A patent/JPH0423448A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101066397B1 (ko) * | 2011-03-24 | 2011-09-21 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
| CN105336650A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-02-17 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 片盒定位装置以及半导体加工设备 |
| CN105448790A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-03-30 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 片盒定位装置以及半导体加工设备 |
| KR20220005972A (ko) * | 2020-07-07 | 2022-01-14 | 칩본드 테크놀러지 코포레이션 | 전자소자 보관함 |
| JP2022014867A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | ▲き▼邦科技股▲分▼有限公司 | 電子部品収納用ボックス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4802809A (en) | Manipulator for standard mechanical interface apparatus | |
| US4674936A (en) | Short arm manipulator for standard mechanical interface apparatus | |
| TWI280220B (en) | Carrying system, substrate treating device, and carrying method | |
| KR100638942B1 (ko) | 각각의 웨이퍼를 처리하기 위한 장치 및 방법 | |
| EP0593366B1 (fr) | Boíte plate de confinement d'un objet plat sous atmosphère spéciale | |
| JPH0423448A (ja) | 基板収納カセツト | |
| JP2738779B2 (ja) | 単一のウェハー用のロボット用パッケージ | |
| US5947677A (en) | Cassette transfer mechanism | |
| JPS6164623A (ja) | 平らな部材を移送する装置 | |
| JPH09115997A (ja) | 収納カセット | |
| EP0238541A1 (en) | MANIPULATOR FOR STANDARD MECHANICAL INTERFACE APPARATUS. | |
| CN205998334U (zh) | 一种掩膜板存储盒 | |
| US5423653A (en) | Disc-transporting mandrel | |
| CN211879353U (zh) | 一种smt晶圆固定装置 | |
| JP3508495B2 (ja) | カセットチャンバ | |
| KR19980020576U (ko) | X-선 반도체 노광장치용 마스크 보관 및 운반 케이스 | |
| CN213909161U (zh) | 一种档案存储柜 | |
| EP0806374B1 (en) | Container for storing and transporting fragile objects | |
| JPH08141966A (ja) | ガラス基板のハンドリング機構 | |
| JP2859506B2 (ja) | マガジンスタンド | |
| CN218939610U (zh) | 一种带有防尘结构的塑料晶圆盒 | |
| JPS61190471A (ja) | 板状物の収納ケ−ス | |
| JPH0398878A (ja) | ウエハ保存箱 | |
| JP2000124297A (ja) | 基板保持具 | |
| JPH0219957Y2 (ja) |