JPH04240557A - 欠陥検出方法 - Google Patents
欠陥検出方法Info
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- JPH04240557A JPH04240557A JP3024123A JP2412391A JPH04240557A JP H04240557 A JPH04240557 A JP H04240557A JP 3024123 A JP3024123 A JP 3024123A JP 2412391 A JP2412391 A JP 2412391A JP H04240557 A JPH04240557 A JP H04240557A
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- G—PHYSICS
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30164—Workpiece; Machine component
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオカメラが捕えた
画像信号に基づいてコンピュータ等により被検査物の欠
陥を自動的に検出する装置に用いて好適な欠陥検出方法
に関する。
画像信号に基づいてコンピュータ等により被検査物の欠
陥を自動的に検出する装置に用いて好適な欠陥検出方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＣＣＤ等の固体撮像素子を用いた
ビデオカメラで被検査物の光像を撮像し、各素子におい
て得られた光電変換信号をデジタル化して、そのデータ
をコンピュータ等で解析することにより被検査物の表面
の欠陥（傷、汚れ等）を検出することが広く行われてい
る。この場合、欠陥であると判定する方法としては、上
述のデータを予め定めた閾値と比較する方法が簡便であ
り、この方法が最も普通に行われている。
ビデオカメラで被検査物の光像を撮像し、各素子におい
て得られた光電変換信号をデジタル化して、そのデータ
をコンピュータ等で解析することにより被検査物の表面
の欠陥（傷、汚れ等）を検出することが広く行われてい
る。この場合、欠陥であると判定する方法としては、上
述のデータを予め定めた閾値と比較する方法が簡便であ
り、この方法が最も普通に行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被検査
物の表面に存在する欠陥としての傷や汚れ等は、それぞ
れその明暗のコントラストが異なるので、画面上の明暗
比を数値化してそれにより欠陥を検出する従来の方法で
は、他の良品面と比較して明暗比の差の少ない汚れ等は
検出することが困難であった。すなわち、通常画面上で
明暗差の大きい黒点等の欠陥は、背景と比較して上述の
データ値の差が大きいので検出は容易であるが、背景と
比較して明暗差の少ない薄い汚れ等は、たとえその部分
の面積が大きくても、背景とのデータ値の差が少ないの
で検出が困難である。
物の表面に存在する欠陥としての傷や汚れ等は、それぞ
れその明暗のコントラストが異なるので、画面上の明暗
比を数値化してそれにより欠陥を検出する従来の方法で
は、他の良品面と比較して明暗比の差の少ない汚れ等は
検出することが困難であった。すなわち、通常画面上で
明暗差の大きい黒点等の欠陥は、背景と比較して上述の
データ値の差が大きいので検出は容易であるが、背景と
比較して明暗差の少ない薄い汚れ等は、たとえその部分
の面積が大きくても、背景とのデータ値の差が少ないの
で検出が困難である。
【０００４】この場合、強いて差の少ないデータ値によ
りこの薄い汚れを検出しようとすると、他の良品部分で
ありながら背景とのわずかな光量変化を引き起こすしわ
や凹凸の部分も不良として検出してしまい、不良部分と
判定すべき薄い汚れの部分のみを正確に検出することが
できず、検査実施後の良品の歩留りが悪くなるという新
たな問題が生じてしまう。
りこの薄い汚れを検出しようとすると、他の良品部分で
ありながら背景とのわずかな光量変化を引き起こすしわ
や凹凸の部分も不良として検出してしまい、不良部分と
判定すべき薄い汚れの部分のみを正確に検出することが
できず、検査実施後の良品の歩留りが悪くなるという新
たな問題が生じてしまう。
【０００５】本発明は、従来例のかかる点に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは、汚れ等の背景に
比較して明暗コントラストの低い欠陥を安定かつ確実に
検出しうる欠陥検出方法を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、汚れ等の背景に
比較して明暗コントラストの低い欠陥を安定かつ確実に
検出しうる欠陥検出方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、例えば図１な
いし図５に示すように、被検査物を照明して得られた光
像をビデオカメラ１で撮像し、このビデオカメラ１にて
得られた画像信号に基づいて被検査物の欠陥の検出を行
う欠陥検出方法において、この画像信号による画面２上
に所定の大きさを有し互いに隣接する２個の検査領域Ｌ
，Ｒを設け、これら２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の明るさを
それぞれ積分する処理を全画面にわたって行い、これら
の積分値の差が予め定められた閾値を超える場合に欠陥
があると判定するようにしたものである。また、２個の
検査領域の大きさを可変とすることも効果的である。
いし図５に示すように、被検査物を照明して得られた光
像をビデオカメラ１で撮像し、このビデオカメラ１にて
得られた画像信号に基づいて被検査物の欠陥の検出を行
う欠陥検出方法において、この画像信号による画面２上
に所定の大きさを有し互いに隣接する２個の検査領域Ｌ
，Ｒを設け、これら２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の明るさを
それぞれ積分する処理を全画面にわたって行い、これら
の積分値の差が予め定められた閾値を超える場合に欠陥
があると判定するようにしたものである。また、２個の
検査領域の大きさを可変とすることも効果的である。
【０００７】
【作用】上述の構成を有する本発明にあっては、２個の
検査領域Ｌ，Ｒの明るさをそれぞれ積分するので、個々
の素子に対応するデータ値が小さい場合であっても、各
検査領域Ｌ，Ｒ内の積分値はそれぞれ大きくなる。従っ
て、明暗コントラストは低いが面積の大きい欠陥、例え
ば汚れ等に対し本発明の方法を適用した場合、従来の方
法に比べ、欠陥として判別すべき部分と判別すべきでな
い部分とのデータ値の差を大きくとることができる。こ
の場合、２個の検査領域Ｌ，Ｒの大きさを可変とすれば
、種々の大きさや明暗コントラストを有する欠陥に対し
てもこのデータ値の差を大きくとることができる。
検査領域Ｌ，Ｒの明るさをそれぞれ積分するので、個々
の素子に対応するデータ値が小さい場合であっても、各
検査領域Ｌ，Ｒ内の積分値はそれぞれ大きくなる。従っ
て、明暗コントラストは低いが面積の大きい欠陥、例え
ば汚れ等に対し本発明の方法を適用した場合、従来の方
法に比べ、欠陥として判別すべき部分と判別すべきでな
い部分とのデータ値の差を大きくとることができる。こ
の場合、２個の検査領域Ｌ，Ｒの大きさを可変とすれば
、種々の大きさや明暗コントラストを有する欠陥に対し
てもこのデータ値の差を大きくとることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る欠陥検出方法の一実施例
について図面を参照して説明する。図１は実施例のブロ
ック図であり、図２はその動作の説明を分かり易くする
ためにビデオカメラが撮像する画面上で格子状に構成さ
れている画素子の配列を示したものである。
について図面を参照して説明する。図１は実施例のブロ
ック図であり、図２はその動作の説明を分かり易くする
ためにビデオカメラが撮像する画面上で格子状に構成さ
れている画素子の配列を示したものである。
【０００９】図１において１は被検査物（図示せず）を
撮像するための公知のビデオカメラを示し、２はビデオ
カメラ１が撮像した画面上を水平方向に画素子Ａ０ か
らＡｎ まで走査し、さらに順次移動して画素子Ｂ０
からＢｎ ，Ｃ０ からＣｎ ，‥‥と繰り返し走査を
行うことを示す説明用画面である。３はＡ／Ｄコンバー
タで、ビデオカメラ１に接続され、各画素子の電位をデ
ジタル値で表されるデータ信号（ａ０ 〜ａｎ ，ｂ０
〜ｂｎ ‥‥）に変換するものである。Ａ／Ｄコンバ
ータ３は遅延回路４Ａの入力側の端子に接続され、さら
に遅延回路４Ａは、データ・シフトレジスタ５の端子に
接続されている。遅延回路４Ａとしては、例えばＬＳＩ
のラインフィルタ（又はデジタル・フィルタ・プロセッ
サ）として市販されているものを使用し、データ・シフ
トレジスタ５にはＬＳＩのデジタルフィルタ（又はデジ
タル・シグナル・プロセッサ）として市販されているも
のを使用すれば良い。
撮像するための公知のビデオカメラを示し、２はビデオ
カメラ１が撮像した画面上を水平方向に画素子Ａ０ か
らＡｎ まで走査し、さらに順次移動して画素子Ｂ０
からＢｎ ，Ｃ０ からＣｎ ，‥‥と繰り返し走査を
行うことを示す説明用画面である。３はＡ／Ｄコンバー
タで、ビデオカメラ１に接続され、各画素子の電位をデ
ジタル値で表されるデータ信号（ａ０ 〜ａｎ ，ｂ０
〜ｂｎ ‥‥）に変換するものである。Ａ／Ｄコンバ
ータ３は遅延回路４Ａの入力側の端子に接続され、さら
に遅延回路４Ａは、データ・シフトレジスタ５の端子に
接続されている。遅延回路４Ａとしては、例えばＬＳＩ
のラインフィルタ（又はデジタル・フィルタ・プロセッ
サ）として市販されているものを使用し、データ・シフ
トレジスタ５にはＬＳＩのデジタルフィルタ（又はデジ
タル・シグナル・プロセッサ）として市販されているも
のを使用すれば良い。
【００１０】遅延回路４Ａは、データ信号を１水平走査
分の時間だけ遅延させて出力するものであり、データ・
シフトレジスタ５はビデオカメラ１の走査に同期してデ
ジタル信号をレジスタユニットの間を順次シフトして次
へ送るものである。レジスタユニットは、ｘ０ からｘ
５ 、ｙ０ からｙ５ 、ｚ０ からｚ５ と３列１８
個のユニットで構成されており、また各レジスタユニッ
トはそれぞれがタップ（図示せず）によって保持してい
るデータ信号を外部へ取り出すことが出来るようになっ
ている。
分の時間だけ遅延させて出力するものであり、データ・
シフトレジスタ５はビデオカメラ１の走査に同期してデ
ジタル信号をレジスタユニットの間を順次シフトして次
へ送るものである。レジスタユニットは、ｘ０ からｘ
５ 、ｙ０ からｙ５ 、ｚ０ からｚ５ と３列１８
個のユニットで構成されており、また各レジスタユニッ
トはそれぞれがタップ（図示せず）によって保持してい
るデータ信号を外部へ取り出すことが出来るようになっ
ている。
【００１１】本実施例においては、所定の検査領域を水
平方向に３素子、垂直方向に３素子、即ち３×３（９素
子）の２組（９素子×２）の隣接した格子状の領域を設
定したと仮定した場合について説明するが、それぞれ検
査目的に応じて検査領域を２×２（４素子）あるいは４
×４（１６素子）に設定する場合でも同様な回路構成を
作り得ることは明白であろう。
平方向に３素子、垂直方向に３素子、即ち３×３（９素
子）の２組（９素子×２）の隣接した格子状の領域を設
定したと仮定した場合について説明するが、それぞれ検
査目的に応じて検査領域を２×２（４素子）あるいは４
×４（１６素子）に設定する場合でも同様な回路構成を
作り得ることは明白であろう。
【００１２】遅延回路４Ａの出力側の端子は、遅延回路
４Ａと同じ構成の遅延回路４Ｂの入力側の端子とデータ
・シフトレジスタ５の端子Ｙとに接続され、さらに、遅
延回路４Ｂの出力側の端子は、データ・シフトレジスタ
５の端子Ｚに接続されている。そして、データ・シフト
レジスタ５の左側に位置するレジスタユニットＸ０ 〜
Ｘ２ ，Ｙ０ 〜Ｙ２ ，Ｚ０ 〜Ｚ２ は積算器６Ａ
に接続され、また右側に位置するレジスタユニットＸ３
〜Ｘ５ ，Ｙ３ 〜Ｙ５ ，Ｚ３ 〜Ｚ５ は積算器
６Ｂに接続されている。さらに、積算器６Ａ，６Ｂは減
算器７に接続され、減算器７は、閾値設定器９に接続し
た比較器８に接続されている。
４Ａと同じ構成の遅延回路４Ｂの入力側の端子とデータ
・シフトレジスタ５の端子Ｙとに接続され、さらに、遅
延回路４Ｂの出力側の端子は、データ・シフトレジスタ
５の端子Ｚに接続されている。そして、データ・シフト
レジスタ５の左側に位置するレジスタユニットＸ０ 〜
Ｘ２ ，Ｙ０ 〜Ｙ２ ，Ｚ０ 〜Ｚ２ は積算器６Ａ
に接続され、また右側に位置するレジスタユニットＸ３
〜Ｘ５ ，Ｙ３ 〜Ｙ５ ，Ｚ３ 〜Ｚ５ は積算器
６Ｂに接続されている。さらに、積算器６Ａ，６Ｂは減
算器７に接続され、減算器７は、閾値設定器９に接続し
た比較器８に接続されている。
【００１３】次に、データ信号（ａ０ 〜ａｎ ，‥‥
）の回路内における動作を図２により説明する。図２に
おいては、ビデオカメラ１の撮像画面の画素子が水平方
向にＡ０ 〜Ａｎ ，Ｂ０ 〜Ｂｎ ，Ｃ０ 〜Ｃｎ
，‥‥に配列されている状態を示している。ここで、そ
れぞれの画素子の発生した電位がＡ／Ｄコンバータ３に
よりデジタル値に変換されたデータ信号をａ０ 〜ａｎ
，ｂ０ 〜ｂｎ ，‥‥とする。従って、ビデオカメ
ラ１がその画素子Ａ０ 〜Ａｎ ，Ｂ０ 〜Ｂｎ ，Ｃ
０ 〜Ｃｎ ，‥‥を走査をする間、それに従ってＡ／
Ｄコンバータからデータ信号ａ０ 〜ａｎ ，ｂ０ 〜
ｂｎ ，‥‥が出力される。
）の回路内における動作を図２により説明する。図２に
おいては、ビデオカメラ１の撮像画面の画素子が水平方
向にＡ０ 〜Ａｎ ，Ｂ０ 〜Ｂｎ ，Ｃ０ 〜Ｃｎ
，‥‥に配列されている状態を示している。ここで、そ
れぞれの画素子の発生した電位がＡ／Ｄコンバータ３に
よりデジタル値に変換されたデータ信号をａ０ 〜ａｎ
，ｂ０ 〜ｂｎ ，‥‥とする。従って、ビデオカメ
ラ１がその画素子Ａ０ 〜Ａｎ ，Ｂ０ 〜Ｂｎ ，Ｃ
０ 〜Ｃｎ ，‥‥を走査をする間、それに従ってＡ／
Ｄコンバータからデータ信号ａ０ 〜ａｎ ，ｂ０ 〜
ｂｎ ，‥‥が出力される。
【００１４】図１に戻って説明すると、Ａ／Ｄコンバー
タ３から出力されたデータ信号は、順次ａ０ 〜ａｎ
，ｂ０ 〜ｂｎ ，‥‥の順でデータ・シフトレジスタ
５のＸ端子と遅延回路４の入力側の端子に加えられる。 従って、データ信号が遅延回路４Ａ，４Ｂ及びデータ・
シフトレジスタ５を通過し、データ・シフトレジスタ５
のレジスタユニットｚ５ にデータ信号ａ０ が到達し
たときの各レジスタユニットにおけるデータ信号の配列
は図２に示すようになる。
タ３から出力されたデータ信号は、順次ａ０ 〜ａｎ
，ｂ０ 〜ｂｎ ，‥‥の順でデータ・シフトレジスタ
５のＸ端子と遅延回路４の入力側の端子に加えられる。 従って、データ信号が遅延回路４Ａ，４Ｂ及びデータ・
シフトレジスタ５を通過し、データ・シフトレジスタ５
のレジスタユニットｚ５ にデータ信号ａ０ が到達し
たときの各レジスタユニットにおけるデータ信号の配列
は図２に示すようになる。
【００１５】すなわち、図２の（１） の太実線で囲ん
だ２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の画素子Ａ０ 〜Ａ２ ，Ｂ
０ 〜Ｂ２ ，Ｃ０ 〜Ｃ２ ，Ａ３ 〜Ａ５ ，Ｂ３
〜Ｂ５ ，Ｃ３ 〜Ｃ５ に対応するデータ信号が順
次水平に配列されることになる。そして、引き続きレジ
スタユニットｚ５ にデータ信号ａ１ が送られてきた
ときには、図２の（２） の状態になり、画素子Ａ１
〜Ａ３ ，Ｂ１ 〜Ｂ３ ，Ｃ１ 〜Ｃ３ ，Ａ４ 〜
Ａ６ ，Ｂ４ 〜Ｂ６ ，Ｃ４ 〜Ｃ６に対応するデー
タ信号が順次水平に配列される。続いて同様にデータ信
号ａ２ が送られてきて（３） に示す状態になる。こ
の動作は、あたかも２個の検査領域Ｌ，Ｒで画面を走査
していることに等しい。１水平走査分を終了すると次の
水平走査、即ち図２の（４） のように画素子Ｂ０ か
ら始めて同様な動作を繰り返し、２個の検査領域Ｌ，Ｒ
で画面全体の走査を行う。
だ２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の画素子Ａ０ 〜Ａ２ ，Ｂ
０ 〜Ｂ２ ，Ｃ０ 〜Ｃ２ ，Ａ３ 〜Ａ５ ，Ｂ３
〜Ｂ５ ，Ｃ３ 〜Ｃ５ に対応するデータ信号が順
次水平に配列されることになる。そして、引き続きレジ
スタユニットｚ５ にデータ信号ａ１ が送られてきた
ときには、図２の（２） の状態になり、画素子Ａ１
〜Ａ３ ，Ｂ１ 〜Ｂ３ ，Ｃ１ 〜Ｃ３ ，Ａ４ 〜
Ａ６ ，Ｂ４ 〜Ｂ６ ，Ｃ４ 〜Ｃ６に対応するデー
タ信号が順次水平に配列される。続いて同様にデータ信
号ａ２ が送られてきて（３） に示す状態になる。こ
の動作は、あたかも２個の検査領域Ｌ，Ｒで画面を走査
していることに等しい。１水平走査分を終了すると次の
水平走査、即ち図２の（４） のように画素子Ｂ０ か
ら始めて同様な動作を繰り返し、２個の検査領域Ｌ，Ｒ
で画面全体の走査を行う。
【００１６】このような走査を行いながら、各レジスタ
ユニットのデータはタップによって外部に取り出せるの
で、２個の検査領域Ｌ，Ｒのデータをそれぞれ積算器６
Ａ及び６Ｂに取り込みそれぞれのデータの総和値を計算
する。
ユニットのデータはタップによって外部に取り出せるの
で、２個の検査領域Ｌ，Ｒのデータをそれぞれ積算器６
Ａ及び６Ｂに取り込みそれぞれのデータの総和値を計算
する。
【００１７】次に、２個のデータの総和値を減算器７に
送って２個のデータの総和値の差を求め、比較器８に送
る。ここで閾値設定器９において予め定められた閾値と
減算器７によって求められた２個のデータの総和値の差
を比較し、総和値の差が閾値を超えた場合に欠陥である
とする判定信号を出力する。２個のデータの総和値の差
は、絶対値として閾値と比較する。
送って２個のデータの総和値の差を求め、比較器８に送
る。ここで閾値設定器９において予め定められた閾値と
減算器７によって求められた２個のデータの総和値の差
を比較し、総和値の差が閾値を超えた場合に欠陥である
とする判定信号を出力する。２個のデータの総和値の差
は、絶対値として閾値と比較する。
【００１８】図３の（１） は、被検査物の表面の小さ
い黒点、（２） は薄い汚れではあるが面積が大きいの
で欠陥と判定すべきものを、それぞれ画素子の図の上に
重ねて表したものである。図４は、図中のＰ‥‥Ｑの素
子列のところを電位レベルで示したものである。背景の
レベルが明るくこれを〔零〕レベルと仮定すると、黒点
や汚れのレベル値は暗いのでマイナス値を取る。ここで
、黒点のレベルを〔−５〕、汚れのレベルを〔−１〕と
仮定し、これを２個の検査領域Ｌ，Ｒ内で示すと図５の
（１） 及び（２） のようになる。図の（１） は黒
点の部分、（２） は汚れの部分を示したものである。 従って、図５（１） においては２個の検査領域Ｌ，Ｒ
内の総和の差は〔５〕となり、（２） においては〔９
〕となる。この場合に閾値設定器９の閾値を例えば〔６
〕〜〔８〕に設定しておけば、黒点を無視して汚れの部
分のみを検出することが出来る。
い黒点、（２） は薄い汚れではあるが面積が大きいの
で欠陥と判定すべきものを、それぞれ画素子の図の上に
重ねて表したものである。図４は、図中のＰ‥‥Ｑの素
子列のところを電位レベルで示したものである。背景の
レベルが明るくこれを〔零〕レベルと仮定すると、黒点
や汚れのレベル値は暗いのでマイナス値を取る。ここで
、黒点のレベルを〔−５〕、汚れのレベルを〔−１〕と
仮定し、これを２個の検査領域Ｌ，Ｒ内で示すと図５の
（１） 及び（２） のようになる。図の（１） は黒
点の部分、（２） は汚れの部分を示したものである。 従って、図５（１） においては２個の検査領域Ｌ，Ｒ
内の総和の差は〔５〕となり、（２） においては〔９
〕となる。この場合に閾値設定器９の閾値を例えば〔６
〕〜〔８〕に設定しておけば、黒点を無視して汚れの部
分のみを検出することが出来る。
【００１９】図５（１） 及び（２） においては背景
のレベルを
のレベルを
〔０〕と仮定したが、背景のレベルが少し暗
く例えば〔−１〕に変化した場合、背景に対する黒点或
は汚れのレベル差が同じ（〔−５〕及び〔−１〕）であ
るとすると、その実値は（〔−６〕及び〔−２〕）とな
る。従って、図５（３） 及び（４） に示すように、
２個の検査領域内の総和の差が〔５〕及び
く例えば〔−１〕に変化した場合、背景に対する黒点或
は汚れのレベル差が同じ（〔−５〕及び〔−１〕）であ
るとすると、その実値は（〔−６〕及び〔−２〕）とな
る。従って、図５（３） 及び（４） に示すように、
２個の検査領域内の総和の差が〔５〕及び
〔９〕となっ
て図５（１） 及び（２） の場合と同様になり、背景
のレベルの変化があっても安定な判定処理のもとに汚れ
を検出することが出来ることを示している。
て図５（１） 及び（２） の場合と同様になり、背景
のレベルの変化があっても安定な判定処理のもとに汚れ
を検出することが出来ることを示している。
【００２０】以上述べたように本実施例によれば、従来
検出が極めて困難であった汚れ等、背景に比較して明暗
コントラストの薄い欠陥を、安定かつ確実に検出出来る
ようになり、この結果、検査実施後の良品の歩留りの悪
化をも防止しうる。
検出が極めて困難であった汚れ等、背景に比較して明暗
コントラストの薄い欠陥を、安定かつ確実に検出出来る
ようになり、この結果、検査実施後の良品の歩留りの悪
化をも防止しうる。
【００２１】尚、前述のごとく検査領域の大きさは検査
目的に応じて自由に設定できるから、例えば大きさの異
なる検査領域を持った処理回路を複数設け、それぞれの
検出結果によって欠陥に対する総合的な判定を行うこと
も出来る。
目的に応じて自由に設定できるから、例えば大きさの異
なる検査領域を持った処理回路を複数設け、それぞれの
検出結果によって欠陥に対する総合的な判定を行うこと
も出来る。
【００２２】また、本実施例によれば、画像処理用とし
て市販されている各種のＬＳＩ専用プロセッサを利用す
る事により、容易かつ簡便に装置を作り得るので、装置
を安価に提供することが出来る。
て市販されている各種のＬＳＩ専用プロセッサを利用す
る事により、容易かつ簡便に装置を作り得るので、装置
を安価に提供することが出来る。
【００２３】更に、本実施例の方法によれば、欠陥に対
する高速な判定検出処理が行えるので、高速でベルトコ
ンベア上を移動する被検査物の全数検査が可能となるこ
とも実用上の効果として挙げられる。
する高速な判定検出処理が行えるので、高速でベルトコ
ンベア上を移動する被検査物の全数検査が可能となるこ
とも実用上の効果として挙げられる。
【００２４】本発明の実施については、前述のごとき画
像処理専用の各種のＬＳＩプロセッサを利用し、コンピ
ュータのソフトウエアを適切にプログラムすることによ
り容易に装置を構成し得ることは明白であろう。
像処理専用の各種のＬＳＩプロセッサを利用し、コンピ
ュータのソフトウエアを適切にプログラムすることによ
り容易に装置を構成し得ることは明白であろう。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように本発明にあっては、画
像信号による画面上に所定の大きさを有し互いに隣接す
る２個の検査領域を設け、これら２個の検査領域の明る
さをそれぞれ積分する処理を全画面にわたって行い、こ
れらの積分値の差が予め定められた閾値を超える場合に
欠陥があると判定するようにしたことから、従来検出が
極めて困難であった汚れなど背景に比較して明暗コント
ラストの小さい欠陥を、良品の歩留りの悪化を伴うこと
なく安定かつ確実に検出することができる。また、２個
の検査領域の大きさを可変としたことにより、種々の大
きさや明暗コントラストを有する欠陥に対しても、安定
かつ確実な検出を行うことができる。
像信号による画面上に所定の大きさを有し互いに隣接す
る２個の検査領域を設け、これら２個の検査領域の明る
さをそれぞれ積分する処理を全画面にわたって行い、こ
れらの積分値の差が予め定められた閾値を超える場合に
欠陥があると判定するようにしたことから、従来検出が
極めて困難であった汚れなど背景に比較して明暗コント
ラストの小さい欠陥を、良品の歩留りの悪化を伴うこと
なく安定かつ確実に検出することができる。また、２個
の検査領域の大きさを可変としたことにより、種々の大
きさや明暗コントラストを有する欠陥に対しても、安定
かつ確実な検出を行うことができる。
【図１】本発明に係る欠陥検出方法の一実施例を示すブ
ロック図
ロック図
【図２】同実施例におけるデータ信号の動作を示す説明
図
図
【図３】欠陥を画素子上に重ねて表わした説明図
【図４
】欠陥に係る素子列の電位レベルを示すグラフ
】欠陥に係る素子列の電位レベルを示すグラフ
【図５】
同実施例の欠陥判定処理を示す説明図
同実施例の欠陥判定処理を示す説明図
１ ビデオカメラ
３ Ａ／Ｄコンバータ
４Ａ，４Ｂ 遅延回路
５ データ・シフトレジスタ
６Ａ，６Ｂ 積算器
７ 減算器
８ 比較器
９ 閾値設定器
Ｌ，Ｒ 検査領域
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物を照明して得られた光像をビ
デオカメラで撮像し、該ビデオカメラにて得られた画像
信号に基づいて被検査物の欠陥の検出を行う欠陥検出方
法において、上記画像信号による画面上に所定の大きさ
を有し互いに隣接する２個の検査領域を設け、これら２
個の検査領域の明るさをそれぞれ積分する処理を全画面
にわたって行い、これらの積分値の差が予め定められた
閾値を超える場合に欠陥があると判定するようにしたこ
とを特徴とする欠陥検出方法。 - 【請求項２】 ２個の検査領域の大きさを可変とした
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検出方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3024123A JPH0739999B2 (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | 欠陥検出方法 |
| US07/823,328 US5245424A (en) | 1991-01-24 | 1992-01-21 | Defect detection method |
| GB9201376A GB2252624A (en) | 1991-01-24 | 1992-01-22 | Defect detection by image analysis using two neighbouring inspection zones |
| DE4201935A DE4201935A1 (de) | 1991-01-24 | 1992-01-24 | Fehlerermittlungsverfahren und -vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3024123A JPH0739999B2 (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | 欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240557A true JPH04240557A (ja) | 1992-08-27 |
| JPH0739999B2 JPH0739999B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=12129534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3024123A Expired - Lifetime JPH0739999B2 (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | 欠陥検出方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5245424A (ja) |
| JP (1) | JPH0739999B2 (ja) |
| DE (1) | DE4201935A1 (ja) |
| GB (1) | GB2252624A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014106141A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Mecc Co Ltd | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
| JP2016515704A (ja) * | 2013-03-29 | 2016-05-30 | スネクマ | 物体上の欠陥を検出するためのシステム |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4301546C2 (de) * | 1993-01-21 | 2002-08-08 | Isra Vision Systems Ag | Einrichtung zum Prüfen von Oberflächen von Werkstücken |
| DE4322870C1 (de) * | 1993-07-09 | 1994-09-29 | Tuchenhagen Otto Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Beurteilung des Erfolges von Reinigungsprozeduren an verschmutzten Oberflächen |
| FR2754058B1 (fr) * | 1996-10-02 | 1998-12-18 | Etat Francais Laboratoire Cent | Procede de detection de defauts de surface sur une surface texturee |
| JP2002354431A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Nec Corp | 映像信号変換装置及び映像信号変換方法 |
| FR3003952B1 (fr) * | 2013-03-29 | 2016-02-12 | Snecma | Systeme de detection de defauts sur un objet |
| FR3003953B1 (fr) * | 2013-03-29 | 2016-02-26 | Snecma | Systeme de detection de defauts par ultrasons sur un element tournant d'un moteur d'aeronef |
| CN105158268A (zh) * | 2015-09-21 | 2015-12-16 | 武汉理工大学 | 精冲零部件缺陷智能在线检测方法、系统及装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821146A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Kirin Brewery Co Ltd | 欠陥検査方法および装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3775556A (en) * | 1972-07-31 | 1973-11-27 | K Nagamatsu | Ampoule inspector using a television camera |
| US4319270A (en) * | 1979-01-12 | 1982-03-09 | Kobe Steel, Ltd. | Surface inspection system for hot radiant material |
| JPS5863838A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-15 | Fuji Electric Co Ltd | 欠陥検出回路 |
| JPH0641924B2 (ja) * | 1988-05-27 | 1994-06-01 | 株式会社キリンテクノシステム | 壜胴部の欠陥検出装置 |
-
1991
- 1991-01-24 JP JP3024123A patent/JPH0739999B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-21 US US07/823,328 patent/US5245424A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-22 GB GB9201376A patent/GB2252624A/en not_active Withdrawn
- 1992-01-24 DE DE4201935A patent/DE4201935A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821146A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Kirin Brewery Co Ltd | 欠陥検査方法および装置 |
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| JP2014106141A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Mecc Co Ltd | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
| JP2016515704A (ja) * | 2013-03-29 | 2016-05-30 | スネクマ | 物体上の欠陥を検出するためのシステム |
| US9976967B2 (en) | 2013-03-29 | 2018-05-22 | Snecma | System for detecting defects on an object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5245424A (en) | 1993-09-14 |
| GB9201376D0 (en) | 1992-03-11 |
| JPH0739999B2 (ja) | 1995-05-01 |
| GB2252624A (en) | 1992-08-12 |
| DE4201935A1 (de) | 1992-07-30 |
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