JPH04240908A - 圧電部品及びその生産方法 - Google Patents
圧電部品及びその生産方法Info
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- JPH04240908A JPH04240908A JP740091A JP740091A JPH04240908A JP H04240908 A JPH04240908 A JP H04240908A JP 740091 A JP740091 A JP 740091A JP 740091 A JP740091 A JP 740091A JP H04240908 A JPH04240908 A JP H04240908A
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- piezoelectric diaphragm
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発振回路やフィルタ回
路等に使用される圧電部品及びその生産方法に関する。
路等に使用される圧電部品及びその生産方法に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】圧電部品には、圧電振動板とこの
圧電振動板を挟着する保護基板とを積層して振動空間を
形成するもの、あるいは保護ケースに圧電振動板を収納
した後で封止して振動空間を形成するものがある。一般
に圧電振動板には水晶基板、セラミック基板又は圧電薄
膜を設けた金属板等が使用され、保護基板又は保護ケー
スには樹脂材、金属又はセラミック材等が使用されてい
る。
圧電振動板を挟着する保護基板とを積層して振動空間を
形成するもの、あるいは保護ケースに圧電振動板を収納
した後で封止して振動空間を形成するものがある。一般
に圧電振動板には水晶基板、セラミック基板又は圧電薄
膜を設けた金属板等が使用され、保護基板又は保護ケー
スには樹脂材、金属又はセラミック材等が使用されてい
る。
【０００３】ところで、従来の圧電部品の場合、保護基
板又は保護ケースによって圧電振動板をケーシングした
後は振動周波数や共振特性を調整することはできず、製
品検査工程で振動周波数不良等を発見できても救済する
ことができなかった。そこで、本発明の課題は、圧電振
動板をケーシングした後も振動周波数や共振特性を調整
することができる圧電部品を提供することにある。
板又は保護ケースによって圧電振動板をケーシングした
後は振動周波数や共振特性を調整することはできず、製
品検査工程で振動周波数不良等を発見できても救済する
ことができなかった。そこで、本発明の課題は、圧電振
動板をケーシングした後も振動周波数や共振特性を調整
することができる圧電部品を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段と作用】以上の課題を解決
するため、本発明に係る圧電部品は、圧電振動板と、該
圧電振動板を保護する保護部材とを備え、前記保護部材
が光透過性材料からなり、該保護部材を透過して前記圧
電振動板の表面に達したレーザ光により該圧電振動板を
削ったことを特徴とする。
するため、本発明に係る圧電部品は、圧電振動板と、該
圧電振動板を保護する保護部材とを備え、前記保護部材
が光透過性材料からなり、該保護部材を透過して前記圧
電振動板の表面に達したレーザ光により該圧電振動板を
削ったことを特徴とする。
【０００５】また、本発明に係る圧電部品の生産方法は
、光透過性材料からなる保護部材を透過して圧電振動板
の表面に達したレーザ光が、該圧電振動板を削ることに
より振動周波数又は共振特性の少なくともいずれか一方
を所定の周波数又は特性に設定する工程を備えたことを
特徴とする。保護部材は光透過性材料からなるため、外
界から照射されたレーザ光は保護部材を透過して圧電振
動板の表面に達する。そして、レーザ光が有するエネル
ギーによって圧電振動板の表面の一部が削られる。圧電
振動板は、削られる位置によって振動周波数又は共振特
性の少なくともいずれか一方が変化する。このことを利
用して振動周波数や共振特性が所定の周波数又は特性に
設定される。
、光透過性材料からなる保護部材を透過して圧電振動板
の表面に達したレーザ光が、該圧電振動板を削ることに
より振動周波数又は共振特性の少なくともいずれか一方
を所定の周波数又は特性に設定する工程を備えたことを
特徴とする。保護部材は光透過性材料からなるため、外
界から照射されたレーザ光は保護部材を透過して圧電振
動板の表面に達する。そして、レーザ光が有するエネル
ギーによって圧電振動板の表面の一部が削られる。圧電
振動板は、削られる位置によって振動周波数又は共振特
性の少なくともいずれか一方が変化する。このことを利
用して振動周波数や共振特性が所定の周波数又は特性に
設定される。
【０００６】そして、圧電振動板の材料に恒弾性金属材
料を使用し、この圧電振動板の機械振動部の一方の面に
圧電体薄膜を介して電極膜を形成するとよい。レーザ光
は前記機械振動部の電極膜が形成されていない他方の面
に当てられ、レーザ光が有するエネルギーによってその
面の一部が削られる。
料を使用し、この圧電振動板の機械振動部の一方の面に
圧電体薄膜を介して電極膜を形成するとよい。レーザ光
は前記機械振動部の電極膜が形成されていない他方の面
に当てられ、レーザ光が有するエネルギーによってその
面の一部が削られる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る圧電部品及びその生産方
法の一実施例を添付図面を参照して説明する。図１及び
図２に示す圧電振動板１は、圧電薄膜を設けた金属板で
あって、エリンバー等の恒弾性金属板からなる機械振動
部３、結合部４及びフレーム部５が一体成形されている
。機械振動部３の一方の面にはＺｎＯ等の圧電薄膜７を
設け、さらにその表面に電極膜８を設けている。この電
極膜８とフレーム部５（即ち、振動部３）との間に電気
信号を印加すると、振動部３が振動する。この圧電振動
板１は、振動部３の短辺方向の寸法で定まる広がり振動
モードを利用する。圧電振動板１は、振動周波数や共振
特性等の仮調整が行われた後、次工程へ移される。
法の一実施例を添付図面を参照して説明する。図１及び
図２に示す圧電振動板１は、圧電薄膜を設けた金属板で
あって、エリンバー等の恒弾性金属板からなる機械振動
部３、結合部４及びフレーム部５が一体成形されている
。機械振動部３の一方の面にはＺｎＯ等の圧電薄膜７を
設け、さらにその表面に電極膜８を設けている。この電
極膜８とフレーム部５（即ち、振動部３）との間に電気
信号を印加すると、振動部３が振動する。この圧電振動
板１は、振動部３の短辺方向の寸法で定まる広がり振動
モードを利用する。圧電振動板１は、振動周波数や共振
特性等の仮調整が行われた後、次工程へ移される。
【０００８】次工程で、圧電振動板１は、図３に示すよ
うに２分割された保護部材１０ａ，１０ｂに収納される
。即ち、保護部材１０ａ，１０ｂは内部に振動空間を形
成しており、この振動空間内に振動部３が支持されるよ
うに圧電振動板１が保護部材１０ａ，１０ｂに収納され
ている。保護部材１０ａ，１０ｂには光透過性材料、例
えば耐熱ガラス、耐熱性アクリル、透明セラミック等が
使用される。なお、保護部材１０ａ，１０ｂは両者とも
光透過性材料で作製する必要はなく、仕様によっていず
れか一方のみ光透過性材料で作製すればよい場合もある
。
うに２分割された保護部材１０ａ，１０ｂに収納される
。即ち、保護部材１０ａ，１０ｂは内部に振動空間を形
成しており、この振動空間内に振動部３が支持されるよ
うに圧電振動板１が保護部材１０ａ，１０ｂに収納され
ている。保護部材１０ａ，１０ｂには光透過性材料、例
えば耐熱ガラス、耐熱性アクリル、透明セラミック等が
使用される。なお、保護部材１０ａ，１０ｂは両者とも
光透過性材料で作製する必要はなく、仕様によっていず
れか一方のみ光透過性材料で作製すればよい場合もある
。
【０００９】保護部材１０ａ，１０ｂからは電極膜８と
フレーム部５に電気信号を入力するリード端子１１ａ，
１１ｂが導出している。こうして組み立てられた圧電部
品は、製品検査工程に移され、振動周波数や共振特性等
が測定される。検査によって振動周波数や共振特性等が
許容範囲から外れていることが判明した圧電部品は選別
され、振動周波数や共振特性等を調整するための工程へ
移される。
フレーム部５に電気信号を入力するリード端子１１ａ，
１１ｂが導出している。こうして組み立てられた圧電部
品は、製品検査工程に移され、振動周波数や共振特性等
が測定される。検査によって振動周波数や共振特性等が
許容範囲から外れていることが判明した圧電部品は選別
され、振動周波数や共振特性等を調整するための工程へ
移される。
【００１０】例えば、振動周波数が許容範囲から外れて
いる場合は、図４及び図５に示すように、圧電部品にレ
ーザ光Ｌが照射される。保護部材１０ｂを透過したレー
ザ光Ｌは機械振動部３の上面の所定の部分に達し、レー
ザ光Ｌが有するエネルギーによってその部分が削られる
。本実施例では、レーザ光Ｌで振動部３上面中央部を長
辺方向、つまり利用振動方向と直交する方向に削って溝
９を形成している。このような溝９を設けると、利用振
動が溝９と直交する方向に伝搬する関係上、利用振動の
伝搬速度が遅くなる。言換えると、振動周波数に寄与す
る表面有効長が長くなり、振動周波数が溝９のない場合
と比較して低くなる。
いる場合は、図４及び図５に示すように、圧電部品にレ
ーザ光Ｌが照射される。保護部材１０ｂを透過したレー
ザ光Ｌは機械振動部３の上面の所定の部分に達し、レー
ザ光Ｌが有するエネルギーによってその部分が削られる
。本実施例では、レーザ光Ｌで振動部３上面中央部を長
辺方向、つまり利用振動方向と直交する方向に削って溝
９を形成している。このような溝９を設けると、利用振
動が溝９と直交する方向に伝搬する関係上、利用振動の
伝搬速度が遅くなる。言換えると、振動周波数に寄与す
る表面有効長が長くなり、振動周波数が溝９のない場合
と比較して低くなる。
【００１１】一方、レーザ光Ｌで振動部３上面端部を長
辺方向に削って溝を設けると、振動部３の有効表面積が
小さくなるために、振動周波数が高くなる方向に変化す
る。こうして、圧電部品は圧電振動板をケーシングした
後も、振動周波数が許容範囲内になるように調整できる
。なお、本発明に係る圧電部品及びその生産方法は前記
実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種
々に変形することができる。
辺方向に削って溝を設けると、振動部３の有効表面積が
小さくなるために、振動周波数が高くなる方向に変化す
る。こうして、圧電部品は圧電振動板をケーシングした
後も、振動周波数が許容範囲内になるように調整できる
。なお、本発明に係る圧電部品及びその生産方法は前記
実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種
々に変形することができる。
【００１２】圧電振動板の振動モードは広がり振動モー
ドに限定されるものではなく、他の振動モード、例えば
厚みすべり振動モード、厚み縦振動モードであってもよ
い。また、圧電振動板には、水晶基板や圧電セラミック
基板を採用してもよい。
ドに限定されるものではなく、他の振動モード、例えば
厚みすべり振動モード、厚み縦振動モードであってもよ
い。また、圧電振動板には、水晶基板や圧電セラミック
基板を採用してもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、保護部材
が光透過性材料からなるため、外界から照射されたレー
ザ光は保護部材を透過して圧電振動板の所定の部分に達
してその部分を削ることができ、圧電振動板をケーシン
グした後であっても振動周波数や共振特性の調整ができ
る圧電部品が得られる。この結果、製品の歩止まりが著
しく向上する。
が光透過性材料からなるため、外界から照射されたレー
ザ光は保護部材を透過して圧電振動板の所定の部分に達
してその部分を削ることができ、圧電振動板をケーシン
グした後であっても振動周波数や共振特性の調整ができ
る圧電部品が得られる。この結果、製品の歩止まりが著
しく向上する。
【００１４】しかも、圧電振動板のケーシング後に振動
周波数調整や共振特性ができることから、組み立てによ
る特性変化の影響がなくなり、振動周波数の精度や共振
特性が向上する。
周波数調整や共振特性ができることから、組み立てによ
る特性変化の影響がなくなり、振動周波数の精度や共振
特性が向上する。
図１ないし図５は本発明に係る圧電部品及びその生産方
法の一実施例を示すものである。
法の一実施例を示すものである。
【図１】圧電部品を構成している圧電振動板の斜視図。
【図２】図１のＸ−Ｘ’の垂直断面図。
【図３】圧電振動板をケーシングした後の斜視図。
【図４】レーザ光で圧電振動板を削った状態を示す斜視
図。
図。
【図５】レーザ光で削られた圧電振動板の垂直断面図。
１…圧電振動板
３…機械振動部
７…圧電薄膜
８…電極膜
９…溝
１０ａ，１０ｂ…保護部材
Ｌ…レーザ光
Claims (3)
- 【請求項１】圧電振動板と、該圧電振動板を保護する保
護部材とを備え、前記保護部材が光透過性材料からなり
、該保護部材を透過して前記圧電振動板の表面に達した
レーザ光により該圧電振動板を削ったことを特徴とする
圧電部品。 - 【請求項２】光透過性材料からなる保護部材を透過して
圧電振動板の表面に達したレーザ光が、該圧電振動板を
削ることにより振動周波数又は共振特性の少なくともい
ずれか一方を所定の周波数又は特性に設定する工程を備
えたことを特徴とする圧電部品の生産方法。 - 【請求項３】恒弾性金属材料からなる圧電振動板と、該
圧電振動板を収納する光透過性材料からなる保護部材と
を備え、前記圧電振動板の機械振動部の一方の面に圧電
体薄膜を介して電極膜を形成したことを特徴とする圧電
部品。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP740091A JPH04240908A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 圧電部品及びその生産方法 |
| JP4900891U JPH04115790U (ja) | 1991-01-25 | 1991-05-30 | 電機用ブラシ |
| US07/809,047 US5369862A (en) | 1990-02-26 | 1991-12-16 | Method of producing a piezoelectric device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP740091A JPH04240908A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 圧電部品及びその生産方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240908A true JPH04240908A (ja) | 1992-08-28 |
Family
ID=11664842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP740091A Pending JPH04240908A (ja) | 1990-02-26 | 1991-01-25 | 圧電部品及びその生産方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04240908A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005006344A (ja) * | 2004-07-06 | 2005-01-06 | Sony Corp | 画像表示装置 |
| JP2006166275A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスの製造方法 |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP740091A patent/JPH04240908A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005006344A (ja) * | 2004-07-06 | 2005-01-06 | Sony Corp | 画像表示装置 |
| JP2006166275A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスの製造方法 |
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