JPH0424094B2 - - Google Patents

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JPH0424094B2
JPH0424094B2 JP58179870A JP17987083A JPH0424094B2 JP H0424094 B2 JPH0424094 B2 JP H0424094B2 JP 58179870 A JP58179870 A JP 58179870A JP 17987083 A JP17987083 A JP 17987083A JP H0424094 B2 JPH0424094 B2 JP H0424094B2
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Japan
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hydrides
iodine
present
adsorbent
activated carbon
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Hiroshi Nishino
Norio Aibe
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Takeda Pharmaceutical Co Ltd
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Takeda Chemical Industries Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
    • B01J20/10—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography

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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｂ、Ｐ、As、Sb、Seの水素化物の
吸着剤に関する。 B2H6、PH3、A8H3、SbH3、H2Seなどの水素
化物は、半導体製造用材料ガス、くん蒸ガスなど
に、多量に使用されているが、微量でも人体に極
めて有害である。したがつて、ガス中のこれら水
素化物を効率よく除去する吸着剤の出現が強く望
まれている。 ガス中のＢ、Ｐ、As、Sb、Seの水素化物を除
去する方法として、酸化性溶液などによる薬液洗
浄法あるいは塩化第二鉄を主剤とする吸着剤など
を用いる吸着法などが提案されているが、除去効
果が悪く、問題である。 本発明者らは、このような実情に鑑み、鋭意検
討した結果、活性炭にヨウ素、ヨウ素化合物、
NH4、Ag、Al、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、Co、
Ni、Cu、Zn、Cd、Pb、Snの硫酸塩、硫酸塩を
担持せしめることによつて、ガス中のＢ、Ｐ、
As、Sb、Seの水素化物を非常に効率よく除去で
きることを見出し、本発明を完成した。 すなわち本発明は、 １ 活性炭にヨウ素および／またはヨウ素化合
物の一種以上および／またはNH4、Ag、
Al、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、
Cd、Pb、Snの硫酸塩、硝酸塩の一種以上を担
持せしめてなるAs、Ｂ、Ｐ、SbまたはSeの水
素化物の一種以上を除去するための吸着剤 ２ As、Ｂ、Ｐ、SbまたはSeの水素化物の一種
以上を含有する気体を、活性炭にヨウ素およ
び／またはヨウ素化合物の一種以上（以下第一
成分ということもある）および／または
NH4、Ag、Al、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、Co、
Ni、Zn、Cd、Pb、Snの硫酸塩、硝酸塩の一
種以上（以下第二成分ということもある）を担
持せしめてなる吸着剤に接触させることを特徴
とする該気体からAs、Ｂ、Ｐ、SbまたはSeの
水素化物の一種以上を除去する方法 である。 本発明に用いられる活性炭は、石炭、コーク
ス、木炭、ヤシガラ、樹脂などを原料として公知
の方法により製造されたもので、その比表面積
が、200〜2000m2／ｇのものであればいかなるも
のでもよく、その形状は、たとえば球状、円柱
状、破砕状、粉末状、繊維状などガスの処理方法
に応じて適当なものが使用される。 本発明で使用される第一成分の具体例として
は、たとえばLiI、NaI、KI、RbI、CsI、BeI2、
MgI2、CaI2、SrI2、BaI2、NH4I、HIなどのヨウ
化物、HIO3、NH4IO3、NaIO3、KIO3などのヨ
ウ素酸およびその塩、HIO4、NH4IO4、NaIO4、
KIO4などの過ヨウ素酸およびその塩、I2O5、IO2
などの酸化ヨウ素などが挙げられる。 本発明で使用される第二成分の具体例として
は、たとえば（NH4）2SO4、Ag2SO4、Al2
（SO4）3、Ti2（SO4）3、VOSO4、Cr2（SO4）3、
MnSO4、FeSO4、Fe2（SO4）3、CoSO4、NiSO4、
ZnSO4、CdSO4、PbSO4、SnSO4、NH4NO3、
AgNO3、Al（NO3）3、Cr（NO3）3、Mn（NO3）2、
Fe（NO3）2、Fe（NO3）3、Co（NO3）2、Ni（NO3）2、
Zn（NO3）2、Cd（NO3）2、Pb（NO3）2などが挙げら
れる。 本発明の吸着剤は、活性炭に各成分を担持せし
めたものであり、各成分を水（酸またはアルカリ
水溶液を含む）、各種の溶媒（メタノール、エタ
ノールなどのアルコール類、アセトン、メチルエ
チルケトンなどのケトン類など）に溶解または懸
濁させた液を活性炭に含浸または散布することに
より、また必要によりこれを約130℃以下の温度
で乾燥するかまたは130℃以上の温度で焼成する
ことにより製造することができる。この場合、本
発明で用いられる第二成分は高温で焼成すること
により分解するので、分解を防ぐには硝酸塩を含
むものは130℃以下で、硫酸塩を含むものは200℃
以下で焼成するのがよい。 二成分以上を活性炭に添着する場合には、二成
分以上を同時に担持してもよく、また個別に担持
してもよい。この場合、担持せしめる順序はいず
れでもよい。 活性炭中の第一成分および第二成分の担持量
は、活性炭１ｇ当り、いずれも500mg以下（ただ
し硫酸銀、硝酸銀は250mg以下）、好ましくは５〜
400mg（ただし硫酸銀、硫酸銀は１〜150mg）であ
る。 本発明の吸着剤を用いて、ガス中のＢ、Ｐ、
As、Sb、Seの水素化物を除去するには、これら
水素化物を含有するガスと本発明の吸着剤とを接
触させればよい。 接触温度は150℃以下、好ましくは−10〜120
℃、より好ましくは０〜100℃で、接触圧力は
10atm以下、好ましくは0.01〜5atmで、接触時間
は25℃、1atm換算で、１／20〜100秒、好ましく
は１／10〜50秒である。 また、本吸着剤とＢ、Ｐ、As、Sb、Seの水素
化物含有ガスとの接触は、たとえば固定層、移動
層、流動層などを用いて行なうことができる。 以下に実施例を記載して本発明をより具体的に
説明する。 実施例 １ BET比表面積1150m2／ｇの16〜24ｍeahの活性
炭A0に所定量のヨウ素、ヨウ素化合物および／
またはNH4、Ag、Al、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、
Co、Ni、Zn、Cd、Pb、Snの硫酸塩、硝酸塩を
溶解または懸濁した水溶液を均一に散布し、110
℃で乾燥した。 このようにして得られた種々の吸着剤の各15ml
を1.6cmφのガラス製カラムに充填し、AsH3−
15ppmまたはPH3−15ppm含有の30℃の大気（相
対湿度60％）を線流速40cm／secで流通し、AsH3
またはPH3の破過吸着テストをそれぞれ単独で行
ない各時間におけるAsH3またはPH3の除去率を
実測し、その結果を第１表に示した。
【表】
【表】 実施例 ２ 実施例１の吸着剤A0、A3、A6、A10、A11、
B2、B7、B8、B11、C1、C7、C13、C16、D3、D8
およびD13の各20mlを1.6cmφのガラス製カラムに
充填し、B2H6−10ppm、H2Se−10ppmまたは
SbH3−10ppm含有の30℃の大気（相対湿度60％）
を線流速30cm／secで流過し、B2H6、H2Seまた
はSbH3の破過吸着テストをそれぞれ単独で行な
い、B2H6、H2SeまたはSbH3がカラムからリー
クするまでの時間（それぞれの除去率が95％に達
するまでの時間）を求め、結果を第２表にまとめ
た。
【表】
【表】

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 活性炭にヨウ素および／またはヨウ素化合
    物の一種以上および／またはNH4、Ag、Al、
    Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Ｚｎ、Cd、
    Pb、Snの硫酸塩、硝酸塩の一種以上を担持せし
    めてなるAs、Ｂ、Ｐ、SbまたはSeの水素化物の
    一種以上を除去するための吸着剤。 ２ As、Ｂ、Ｐ、SbまたはSeの水素化物の一種
    以上を含有する気体を、活性炭にヨウ素およ
    び／またはヨウ素化合物の一種以上および／また
    はNH4、Ag、Al、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、
    Co、Ni、Ｚｎ、Cd、Pb、Snの硫酸塩、硝酸塩
    の一種以上を担持せしめてなる吸着剤に接触させ
    ることを特徴とする該気体からAs、Ｂ、Ｐ、Sb
    またはSeの水素化物の一種以上を除去する方法。
JP58179870A 1983-09-27 1983-09-27 有害ガス吸着剤 Granted JPS6071040A (ja)

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