JPS6071040A - 有害ガス吸着剤 - Google Patents
有害ガス吸着剤Info
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Classifications
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/10—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate
-
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｂ 、Ｐ 、Ａｓ、 ８ｂ、 ８ｅの水素化
物の吸着剤に関する。
物の吸着剤に関する。
Ｂ２Ｈ６，ＰＨ３，ＡＢＨ３，ＳｂＨ３，Ｈ２Ｓｅ な
どの水素化物は、半導体製造用材料ガス、くん族ガスな
どに、多量に使用されているが、微量でも人体に極めて
有害である。したがって、ガス中のこれら水素化物を効
率よく除去する吸着剤の出現が強く望まれている。
どの水素化物は、半導体製造用材料ガス、くん族ガスな
どに、多量に使用されているが、微量でも人体に極めて
有害である。したがって、ガス中のこれら水素化物を効
率よく除去する吸着剤の出現が強く望まれている。
ガス中のＢ、Ｐ＋Ａｓ＋ Ｓｂ＋ Ｓｅの水素化物を除
去する方法として、酸化性溶液などによる薬液洗浄法あ
るいは塩化第二鉄を主剤とする吸着剤などを用いる吸着
法などが提案されているが、除去効果が悪く、問題であ
る。
去する方法として、酸化性溶液などによる薬液洗浄法あ
るいは塩化第二鉄を主剤とする吸着剤などを用いる吸着
法などが提案されているが、除去効果が悪く、問題であ
る。
本発明者らは、このような実情に鑑み、鋭意検討した結
果、活性炭にヨウ素、ヨウ素化合物、ＮＨ４゜Ａｇｌ
Ａｌｌ ’Ｉ’Ｌ Ｌ Ｃｒ＋ Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｃｏ
＋ Ｈｌｔ Ｃｕｔｚｎ、 ＣｔＬ Ｐｂ＋ ８ｎ の
硫酸塩、硝酸塩を担持せしめることによって、ガス中の
Ｂ＋Ｐ＋Ａｓ、８ｂ。
果、活性炭にヨウ素、ヨウ素化合物、ＮＨ４゜Ａｇｌ
Ａｌｌ ’Ｉ’Ｌ Ｌ Ｃｒ＋ Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｃｏ
＋ Ｈｌｔ Ｃｕｔｚｎ、 ＣｔＬ Ｐｂ＋ ８ｎ の
硫酸塩、硝酸塩を担持せしめることによって、ガス中の
Ｂ＋Ｐ＋Ａｓ、８ｂ。
Ｓｅ の水素化物を非常に効率よく除去できることを見
出し、本発明を完成した。
出し、本発明を完成した。
すなわち本発明は、
１、活性炭に■ヨウ素および／またはヨウ素化合物の一
種以上および／ｌたは■ＮＨ４，Ａｓｓ Ａｌ。
種以上および／ｌたは■ＮＨ４，Ａｓｓ Ａｌ。
Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ＋ Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｇｏｏ Ｉｔ、Ｃ
ｕｔ Ｚｎ＋ ＣｃＬｐｂ、 Ｓｎの硫酸塩、硝酸塩の
一種以上を担持せしめてなるＡｌｌ Ｂ＋ Ｐ＋ ８ｂ
ま念はＢｅの水素化物の一種以上を除去するための吸着
剤 ２、Ａｓｓ Ｂｌ ｐ＋ Ｓｂｔたは８ｅの水素化物の
一種以上を含有する気体を、活性炭に■ヨウ素および／
またはヨウ素化合物の一種以上（以下第一成分というこ
ともある）および／または■ＮＨ４＋ Ａｇ。
ｕｔ Ｚｎ＋ ＣｃＬｐｂ、 Ｓｎの硫酸塩、硝酸塩の
一種以上を担持せしめてなるＡｌｌ Ｂ＋ Ｐ＋ ８ｂ
ま念はＢｅの水素化物の一種以上を除去するための吸着
剤 ２、Ａｓｓ Ｂｌ ｐ＋ Ｓｂｔたは８ｅの水素化物の
一種以上を含有する気体を、活性炭に■ヨウ素および／
またはヨウ素化合物の一種以上（以下第一成分というこ
ともある）および／または■ＮＨ４＋ Ａｇ。
Ａｌｌ ’［’Ｌ Ｌ ｃｒ、 Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｇｏ
ｔ ＭＬ Ｃｕｔ Ｚｎ＋Ｃ（１＋ Ｐｔ）＋ Ｓｎの
硫酸塩、硝酸塩の一種以上（以下第二成分ということも
ある）を担持せしめてなる吸着剤に接触させることを特
徴とする該気体からＡｓｓ Ｂ＋ Ｐ、 ＳｂまたはＢ
ｅの水素化物の一種以上を除去する方法 である。
ｔ ＭＬ Ｃｕｔ Ｚｎ＋Ｃ（１＋ Ｐｔ）＋ Ｓｎの
硫酸塩、硝酸塩の一種以上（以下第二成分ということも
ある）を担持せしめてなる吸着剤に接触させることを特
徴とする該気体からＡｓｓ Ｂ＋ Ｐ、 ＳｂまたはＢ
ｅの水素化物の一種以上を除去する方法 である。
本発明に用いられる活性炭は、石炭、コークス。
木次、ヤシガラ、樹脂などを原料として公知の方法によ
シ製造されたもので、その比表面積が、２００−２．０
０（ｌｒ ／ｆのものであればいかなるものでもよく、
その形状は、たとえば球状１円柱状、破砕状、粉末状、
繊維状などガスの処理方法に応じて適当なものが使用さ
れる。
シ製造されたもので、その比表面積が、２００−２．０
０（ｌｒ ／ｆのものであればいかなるものでもよく、
その形状は、たとえば球状１円柱状、破砕状、粉末状、
繊維状などガスの処理方法に応じて適当なものが使用さ
れる。
本発明で使用される第一成分の具体例としては、たとえ
ばＬ１工＋ ＮａＩ、 ＫＩ＋ Ｒｂ工＋ ＣｅＩ、
Ｂ６エ２゜ＭｇＩ２＋ ＣｅＩ２．Ｓｒ工２＋ Ｂａ工
２．ＮＨ４Ｉ、 Ｔ（Ｉなどのヨウ化物、Ｈ工０３．
ＮＨ４ＩＯ３，Ｎａ工０３．に工０３などのヨウ素酸お
よびその塩、Ｈ工０４＋ １（Ｈ４Ｉ０４゜Ｈａ工０４
． ［１０４などの過ヨウ素酸およびその塩。
ばＬ１工＋ ＮａＩ、 ＫＩ＋ Ｒｂ工＋ ＣｅＩ、
Ｂ６エ２゜ＭｇＩ２＋ ＣｅＩ２．Ｓｒ工２＋ Ｂａ工
２．ＮＨ４Ｉ、 Ｔ（Ｉなどのヨウ化物、Ｈ工０３．
ＮＨ４ＩＯ３，Ｎａ工０３．に工０３などのヨウ素酸お
よびその塩、Ｈ工０４＋ １（Ｈ４Ｉ０４゜Ｈａ工０４
． ［１０４などの過ヨウ素酸およびその塩。
工２０５．工０２などの酸化ヨウ素などが挙げられる。
本発明で使用される第二成分の具体例としては、たとえ
ば（ＮＨ４）２８０４． Ａｇ２５ｏ４． ＡＩ、（８
０４）３゜Ｔｉ２（３０４）３ 、 ＶＯ３Ｏ４、Ｃｒ
２（８０４）３ ｌＭｎＳＯ４。
ば（ＮＨ４）２８０４． Ａｇ２５ｏ４． ＡＩ、（８
０４）３゜Ｔｉ２（３０４）３ 、 ＶＯ３Ｏ４、Ｃｒ
２（８０４）３ ｌＭｎＳＯ４。
Ｆｅ３Ｏ４＋ Ｆｅ２（８０４）３． Ｃｏ３Ｏ４，Ｎ
ｉＳＯ４＋ ＣｕＳＯ４゜Ｚｎ８０４． ＣｄＳＯ４，
ＰｂＳＯ４，ＳｎＳＯ４，ＮＨ４ＮＯ３，ＡｇＮＯ３゜
Ａｌ（Ｎｏ３）３．０ｒ（ＮＯ３）３． Ｍｎ（ＮＯ３
）２．Ｆｅ（ＮＯ３）ｚ＋Ｆｅ（ＮＯ３）３ 、 Ｃｏ
（ＮＯ３）２． Ｎｉ（ＮＯ３）２． Ｃｕ（［０３）
２＋Ｚｎ（ＮＯ３）２． Ｃｄ（ＮＯ３１２，Ｐｂ（Ｎ
Ｏ３）２などが挙げられる。
ｉＳＯ４＋ ＣｕＳＯ４゜Ｚｎ８０４． ＣｄＳＯ４，
ＰｂＳＯ４，ＳｎＳＯ４，ＮＨ４ＮＯ３，ＡｇＮＯ３゜
Ａｌ（Ｎｏ３）３．０ｒ（ＮＯ３）３． Ｍｎ（ＮＯ３
）２．Ｆｅ（ＮＯ３）ｚ＋Ｆｅ（ＮＯ３）３ 、 Ｃｏ
（ＮＯ３）２． Ｎｉ（ＮＯ３）２． Ｃｕ（［０３）
２＋Ｚｎ（ＮＯ３）２． Ｃｄ（ＮＯ３１２，Ｐｂ（Ｎ
Ｏ３）２などが挙げられる。
本発明の吸着剤は、活性炭に各成分を担持せしめたもの
であシ、各成分を水（酸またはアルカリ水溶液を含む）
、各種の溶媒（メタノール、エタノールなどのアμコー
μ類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類な
ど）に溶解または懸濁させた液を活性炭に含浸または散
布することにより、また必要によりこれを約１３０℃以
下の温度で乾燥するかまたは１３０℃以上の温度で焼成
することにより製造することができる。
であシ、各成分を水（酸またはアルカリ水溶液を含む）
、各種の溶媒（メタノール、エタノールなどのアμコー
μ類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類な
ど）に溶解または懸濁させた液を活性炭に含浸または散
布することにより、また必要によりこれを約１３０℃以
下の温度で乾燥するかまたは１３０℃以上の温度で焼成
することにより製造することができる。
二成分以上を活性炭に添着する場合には、二成分以上を
同時に担持してもよく、また個別に担持してもよい。こ
の場合、担持せしめる順序はいずれでもよい。
同時に担持してもよく、また個別に担持してもよい。こ
の場合、担持せしめる順序はいずれでもよい。
活性炭中の第一成分および第二成分の担持量は、活性炭
１ｆ当勺、いずれも５００１ｇ以下（ただし硫酸銀、硝
酸銀は２５０ｇＩｖ以下）、好ましくは５〜４ＱＯＩＩ
ＩＩ（ただし硫酸銀、硝酸銀は１〜１５０１ｑ）である
。
１ｆ当勺、いずれも５００１ｇ以下（ただし硫酸銀、硝
酸銀は２５０ｇＩｖ以下）、好ましくは５〜４ＱＯＩＩ
ＩＩ（ただし硫酸銀、硝酸銀は１〜１５０１ｑ）である
。
本発明の吸着剤を用いて、ガス中のＢ、Ｐ。
Ａｓｓ Ｓｂｔ Ｂｅの水素化物を除去するには、これ
ら水素化物を含有するガスと本発明の吸着剤とを接触さ
せればよい。
ら水素化物を含有するガスと本発明の吸着剤とを接触さ
せればよい。
接触温度は１５０°Ｃ以下、好ましくは一１０〜１２０
°Ｃ１より好ましくは０〜１００℃で、接触圧力は１０
ａｔｍ以下、好ましくは０ 、０１〜５ａｔｍで、接
触時間は２５°Ｃ，ｌａｔｍ換算で１／２０−１００秒
、好ましくは１７１０〜５０秒である。
°Ｃ１より好ましくは０〜１００℃で、接触圧力は１０
ａｔｍ以下、好ましくは０ 、０１〜５ａｔｍで、接
触時間は２５°Ｃ，ｌａｔｍ換算で１／２０−１００秒
、好ましくは１７１０〜５０秒である。
また、本吸着剤とＢ ＩＰ ＋ Ａｓｓ Ｓｂｔ ８ｅ
の水素化物含有ガスとの接触は、たとえば固定層、移動
層、流動層などを用いて行なうことができる。
の水素化物含有ガスとの接触は、たとえば固定層、移動
層、流動層などを用いて行なうことができる。
以下に実施例を記載して本発明をより具体的に説明する
。
。
実施例Ｉ
ＢＥＴ比表面積１１１５０２７７ ７ｆｌの１６〜２４
ｍｅｓｈの活性炭ＡＱに所定量のヨウ素、ヨウ素化合物
および／またはＮＨ４，Ａｓｓ Ａｌ、 Ｔｉｔ Ｌ
Ｃｒ＋Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｃｏ、 Ｎｉ＋ ｚｎ、 Ｃｄ
＋ Ｐｂ＋ Ｓｎの硫酸塩。
ｍｅｓｈの活性炭ＡＱに所定量のヨウ素、ヨウ素化合物
および／またはＮＨ４，Ａｓｓ Ａｌ、 Ｔｉｔ Ｌ
Ｃｒ＋Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｃｏ、 Ｎｉ＋ ｚｎ、 Ｃｄ
＋ Ｐｂ＋ Ｓｎの硫酸塩。
硝酸塩を溶解または懸濁した水溶液を均一に散布し、１
１０℃で乾燥した。
１０℃で乾燥した。
このようにして得られた種々の咬着剤の各１５犀／ｅｌ
、６ｃＩＩ−のガラス製カヲムに充填し、ＡｓＨ３−１
５ｐｐｍまたはＰＨ３−１５Ｉ）］）ｍ含有の３０°Ｃ
の大気（相対湿度６０％）を線流速４ ＱｃＭ／ Ｓｏ
ｎで流通し、Ａ ｓ Ｈ３またはＰＨ３の破過吸着テス
トをそれぞれ単独で行ない各時間におけるＡｓＨ３また
はＰＨ３の除去率を実測し、その結果を第１表に示した
。
、６ｃＩＩ−のガラス製カヲムに充填し、ＡｓＨ３−１
５ｐｐｍまたはＰＨ３−１５Ｉ）］）ｍ含有の３０°Ｃ
の大気（相対湿度６０％）を線流速４ ＱｃＭ／ Ｓｏ
ｎで流通し、Ａ ｓ Ｈ３またはＰＨ３の破過吸着テス
トをそれぞれ単独で行ない各時間におけるＡｓＨ３また
はＰＨ３の除去率を実測し、その結果を第１表に示した
。
−１１−
〇 ｚ
ｉ −Ｃｏ Ｌｎ ｃＱｏ −１’−ｅｌ Ｃ１■ωω
ωロトのトロ の 呂 −− 項へ ｐ″！ ぐ 腟の′。ｅ：＋ （：１００″０５０ト■ロロ。■
トの。
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ＡＰ！ −＝−−
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ゆローーーーーーーーー
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リ Ａ９ 目
１ぐｂ二λ♂丹乏５γ１
１２一
実施例２
実施例１の吸着剤Ａ。、Ａ３．Ａ６．Ａ工。、Ａ工、。
Ｂ２ ＋Ｂ７ ＋ＢＢ ｗＢｌｌ ｌＣ１ｌＣ７ｌＣ１
２＋Ｃ１４＋Ｃ１７＋ Ｄ３ ＋ ＤＢ およびＢ１３
の各２０ｇ／を１．６ｃＩＩφのガラス製カラムに充填
し、Ｂ２Ｈ６−１０ｐｐｍ 。
２＋Ｃ１４＋Ｃ１７＋ Ｄ３ ＋ ＤＢ およびＢ１３
の各２０ｇ／を１．６ｃＩＩφのガラス製カラムに充填
し、Ｂ２Ｈ６−１０ｐｐｍ 。
Ｈ２Ｓ ｅ −１０ｐｐｔ＋１または８ｂＨ３−１０ｐ
ｐｍ含有の３０℃の大気（相対湿度６０％）を線流速３
０膏伝で流過し、Ｂ２Ｈ６，■２Ｓｅまたはｓ’ｂａ３
の破過吸着テストをそれぞれ単独で行ない、Ｂ２Ｈ６＋
）Ｉ２８ｅまたはＳｂＨ３がカラムからリークするまで
の時間（それぞれの除去率が９５％に達するまで鋼量）
をめ、結果を第２表にまとめた。
ｐｍ含有の３０℃の大気（相対湿度６０％）を線流速３
０膏伝で流過し、Ｂ２Ｈ６，■２Ｓｅまたはｓ’ｂａ３
の破過吸着テストをそれぞれ単独で行ない、Ｂ２Ｈ６＋
）Ｉ２８ｅまたはＳｂＨ３がカラムからリークするまで
の時間（それぞれの除去率が９５％に達するまで鋼量）
をめ、結果を第２表にまとめた。
（以下余白）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、活性炭に■ヨウ素および／またはヨウ素化合物ノ１
ｌｆｔ以上オ、１：ヒ／ ’！タハ（ａ’）ＮＨ４，Ａ
ｇ、 Ａｌ。 Ｔｉ、Ｖ＋ Ｃｒ＋ Ｍｎ＋ Ｆｅｎ Ｃｏ＋ Ｎｉ＋
Ｃｕ＋ Ｚｎ＋ Ｃｄ＋Ｐｂ＋ Ｓｎの硫酸塩、硝酸
塩の一種以上を担持せしめてなるＡｓ＋ Ｂ＋ Ｐ、
８ｂまたは８ｅの水素化物の一種以上を除去するための
吸着剤 ２、Ａｓ＋ ＢＩ ＰＩ ＳｂまたはＳｅの水素化物の
一種以上を含有する気体を、活性炭に■ヨウ素および／
またはヨウ素化合物の一種以上および／または（ｇｌＮ
ａ４ ｒ Ａｇｌ Ａｌｌ Ｔｉｔ Ｖ＋ Ｃｒ＋ Ｍ
ｎ＋ Ｆｅ２ Ｃ０ＩＮｉ＋ Ｃｕ＋ Ｚｎ＋ Ｃｄ＋
ｌＰｂ＋ Ｓｎの硫酸塩、硝酸塩の一種以上を担持せ
しめてなる吸着剤に接触させることを特徴とする該気体
からＡ８＋ Ｂ＋ ＰＨ８ｂ またはｓｅの水素化物の
一種以上を除去する方法
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|---|---|---|---|
| JP58179870A JPS6071040A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 有害ガス吸着剤 |
| US06/653,093 US4578256A (en) | 1983-09-27 | 1984-09-21 | Process for removal of poisonous gases |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58179870A JPS6071040A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 有害ガス吸着剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071040A true JPS6071040A (ja) | 1985-04-22 |
| JPH0424094B2 JPH0424094B2 (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=16073343
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP58179870A Granted JPS6071040A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 有害ガス吸着剤 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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