JPH04244951A - 結露センサー及びその製造方法 - Google Patents
結露センサー及びその製造方法Info
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- JPH04244951A JPH04244951A JP3010640A JP1064091A JPH04244951A JP H04244951 A JPH04244951 A JP H04244951A JP 3010640 A JP3010640 A JP 3010640A JP 1064091 A JP1064091 A JP 1064091A JP H04244951 A JPH04244951 A JP H04244951A
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- JP
- Japan
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- comb
- humidity
- dew condensation
- sensitive resistive
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- Pending
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- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、結露センサー及びその
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＶＴＲのシリンダ、自動車の窓ガ
ラス、建材、その他精密機器などの結露現象によるトラ
ブルがクロ−ズアップされ、この対策として結露検知素
子の要望が大きくなっている。従来より電気抵抗式の湿
度センサーとして種々の材料ならびに原理に基づくもの
が開発されている。これらの湿度センサーは吸湿性材料
の表面の吸着水を媒体としたイオン電気伝導機構による
ものが大半である。ところが、湿度センサーは種々の成
分を含んだ雰囲気中に感湿面を暴露して使用しなければ
ならないため、温度，湿度に対する安定性ばかりでなく
、ごみ，ほこり、その他種々の雰囲気ガスによる表面汚
染に対する信頼性も要求される。特に、結露などの高湿
度領域で使用する場合は表面汚染による影響が増幅され
、イオン電気伝導機構によるものは安定に動作させるこ
とが困難である。
ラス、建材、その他精密機器などの結露現象によるトラ
ブルがクロ−ズアップされ、この対策として結露検知素
子の要望が大きくなっている。従来より電気抵抗式の湿
度センサーとして種々の材料ならびに原理に基づくもの
が開発されている。これらの湿度センサーは吸湿性材料
の表面の吸着水を媒体としたイオン電気伝導機構による
ものが大半である。ところが、湿度センサーは種々の成
分を含んだ雰囲気中に感湿面を暴露して使用しなければ
ならないため、温度，湿度に対する安定性ばかりでなく
、ごみ，ほこり、その他種々の雰囲気ガスによる表面汚
染に対する信頼性も要求される。特に、結露などの高湿
度領域で使用する場合は表面汚染による影響が増幅され
、イオン電気伝導機構によるものは安定に動作させるこ
とが困難である。
【０００３】そこで、一般に結露センサーとしては、導
電粉を吸湿性樹脂に分散させた感湿抵抗膜を用いている
。この樹脂分散系結露センサーは、感湿抵抗膜が吸湿に
より導電粒子間隔が離れ抵抗値が極大する原理に基づい
ており、イオン伝導を主とした表面電気伝導機構とは異
なり、電子伝導による感湿膜の内部電気伝導機構による
ものである。そのため、ごみ，ほこり、その他種々の雰
囲気ガスによる表面汚染に強く、結露などの高湿度領域
で安定に動作させることができる。
電粉を吸湿性樹脂に分散させた感湿抵抗膜を用いている
。この樹脂分散系結露センサーは、感湿抵抗膜が吸湿に
より導電粒子間隔が離れ抵抗値が極大する原理に基づい
ており、イオン伝導を主とした表面電気伝導機構とは異
なり、電子伝導による感湿膜の内部電気伝導機構による
ものである。そのため、ごみ，ほこり、その他種々の雰
囲気ガスによる表面汚染に強く、結露などの高湿度領域
で安定に動作させることができる。
【０００４】以下に従来の結露センサーについて説明す
る。図２（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来の結露センサー
の平面図と断面図を示すものである。図において、１は
アルミナ基板である。２はくし形対向電極で、カーボン
導電ペーストの印刷、硬化により形成される。３は感湿
抵抗膜で、くし形対向電極２上に吸湿性樹脂と炭素粉よ
りなる感湿抵抗ペーストの印刷，硬化により形成される
。４はグレーズＡｇ電極で、リード線取出し等のための
はんだ付け用電極である。
る。図２（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来の結露センサー
の平面図と断面図を示すものである。図において、１は
アルミナ基板である。２はくし形対向電極で、カーボン
導電ペーストの印刷、硬化により形成される。３は感湿
抵抗膜で、くし形対向電極２上に吸湿性樹脂と炭素粉よ
りなる感湿抵抗ペーストの印刷，硬化により形成される
。４はグレーズＡｇ電極で、リード線取出し等のための
はんだ付け用電極である。
【０００５】近年、この樹脂分散系結露センサーに対し
て、応答性の高速化が要求され始めている。前述したよ
うに、この結露センサーは、導電粉を吸湿性樹脂に分散
させた感湿抵抗膜３が吸湿により導電粒子間隔が離れ抵
抗値が極大する原理に基づいているため、応答性を速く
するということは抵抗値が臨界点に達するまでの吸湿時
間を短くすることである。この最も簡単な方法として、
感湿抵抗膜３の膜厚を薄くして単位面積当りの体積を減
少すれば、より少ない吸湿量で抵抗値が臨界点に達する
ようになり応答性を速くすることができる。
て、応答性の高速化が要求され始めている。前述したよ
うに、この結露センサーは、導電粉を吸湿性樹脂に分散
させた感湿抵抗膜３が吸湿により導電粒子間隔が離れ抵
抗値が極大する原理に基づいているため、応答性を速く
するということは抵抗値が臨界点に達するまでの吸湿時
間を短くすることである。この最も簡単な方法として、
感湿抵抗膜３の膜厚を薄くして単位面積当りの体積を減
少すれば、より少ない吸湿量で抵抗値が臨界点に達する
ようになり応答性を速くすることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
結露センサーでは、感湿抵抗膜３はカーボン導電ペース
トからなるくし形対向電極２の上に、感湿抵抗ペースト
を印刷，熱硬化して形成されており、カーボン導電ペー
ストからなるくし形対向電極２がかなりの厚みを持つた
め、感湿抵抗ペーストはアルミナ基板１面とくし形対向
電極２面の連続段差上に印刷されることになる。したが
って、アルミナ基板１面は谷間となるため、感湿抵抗膜
３の膜厚を薄くすることは難しい。
結露センサーでは、感湿抵抗膜３はカーボン導電ペース
トからなるくし形対向電極２の上に、感湿抵抗ペースト
を印刷，熱硬化して形成されており、カーボン導電ペー
ストからなるくし形対向電極２がかなりの厚みを持つた
め、感湿抵抗ペーストはアルミナ基板１面とくし形対向
電極２面の連続段差上に印刷されることになる。したが
って、アルミナ基板１面は谷間となるため、感湿抵抗膜
３の膜厚を薄くすることは難しい。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、樹脂分散系結露センサーの応答性を速くすることを
目的とする。
で、樹脂分散系結露センサーの応答性を速くすることを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、セラミック基板と、このセラミック基板
上に形成した樹脂分散系感湿抵抗膜と、この樹脂分散系
感湿抵抗膜上に形成されたくし形対向電極とを備えたも
のである。
に、本発明は、セラミック基板と、このセラミック基板
上に形成した樹脂分散系感湿抵抗膜と、この樹脂分散系
感湿抵抗膜上に形成されたくし形対向電極とを備えたも
のである。
【０００９】
【作用】本発明の構成によれば、くし形対向電極より先
に感湿抵抗膜をアルミナ基板上に形成するため、アルミ
ナ基板面とくし形対向電極面とによる段差はなくなる。 よって感湿抵抗ペーストを平面上に印刷できるため、よ
り薄い感湿抵抗膜を形成でき、樹脂分散系結露センサー
の応答性を速くできる。
に感湿抵抗膜をアルミナ基板上に形成するため、アルミ
ナ基板面とくし形対向電極面とによる段差はなくなる。 よって感湿抵抗ペーストを平面上に印刷できるため、よ
り薄い感湿抵抗膜を形成でき、樹脂分散系結露センサー
の応答性を速くできる。
【００１０】
【実施例】（実施例１）以下本発明の一実施例の結露セ
ンサーについて、図面を参照しながら説明する。
ンサーについて、図面を参照しながら説明する。
【００１１】図１（ａ），（ｂ）は本発明の実施例にお
ける結露センサーの平面図と断面図を示すものである。 図１において、１１はセラミック基板であり、表面に感
湿抵抗膜１２が設けられている。感湿抵抗膜１２はカー
ボン導電粉を吸湿性樹脂に分散させた感湿抵抗ペースト
を印刷，熱硬化して形成される。１３は感湿抵抗膜１２
上に形成されたくし形対向電極であり、カーボン導電ペ
ーストを印刷，熱硬化して形成する。１４はくし形対向
電極１３と接続されたはんだ付け可能なグレーズ電極で
ある。
ける結露センサーの平面図と断面図を示すものである。 図１において、１１はセラミック基板であり、表面に感
湿抵抗膜１２が設けられている。感湿抵抗膜１２はカー
ボン導電粉を吸湿性樹脂に分散させた感湿抵抗ペースト
を印刷，熱硬化して形成される。１３は感湿抵抗膜１２
上に形成されたくし形対向電極であり、カーボン導電ペ
ーストを印刷，熱硬化して形成する。１４はくし形対向
電極１３と接続されたはんだ付け可能なグレーズ電極で
ある。
【００１２】このように構成された結露センサーでは、
セラミック基板１１表面に直に、感湿抵抗ペーストを印
刷できるため、従来のセラミック基板上にカーボン導電
ペーストからなるくし形対向電極を形成して、その上か
ら感湿抵抗ペーストを印刷していたものよりも薄い感湿
抵抗膜１２を形成でき、樹脂分散系結露センサーの応答
性を速くできる。
セラミック基板１１表面に直に、感湿抵抗ペーストを印
刷できるため、従来のセラミック基板上にカーボン導電
ペーストからなるくし形対向電極を形成して、その上か
ら感湿抵抗ペーストを印刷していたものよりも薄い感湿
抵抗膜１２を形成でき、樹脂分散系結露センサーの応答
性を速くできる。
【００１３】本実施例による結露センサーと従来のカー
ボンくし形対向電極を先に形成した結露センサーの応答
速度を（表１）に比較して示している。
ボンくし形対向電極を先に形成した結露センサーの応答
速度を（表１）に比較して示している。
【００１４】
【表１】
【００１５】この（表１）から明らかなように、本実施
例による結露センサーは応答速度（２５℃，相対湿度６
０％の雰囲気から６０℃，相対湿度１００％の雰囲気に
移し、抵抗値が１００ｋΩに達するまでの時間）を従来
品よりも１〜２秒速くすることができる。
例による結露センサーは応答速度（２５℃，相対湿度６
０％の雰囲気から６０℃，相対湿度１００％の雰囲気に
移し、抵抗値が１００ｋΩに達するまでの時間）を従来
品よりも１〜２秒速くすることができる。
【００１６】なお、くし形対向電極１３をカーボン導電
ペースト，熱硬化銅ペースト等を印刷し、１６０℃以下
で熱硬化することにより形成すれば、感湿抵抗膜の感湿
特性のヒステリシスや信頼性を劣化させることなく本実
施例の結露センサーを製造できる。
ペースト，熱硬化銅ペースト等を印刷し、１６０℃以下
で熱硬化することにより形成すれば、感湿抵抗膜の感湿
特性のヒステリシスや信頼性を劣化させることなく本実
施例の結露センサーを製造できる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、くし形対
向電極より先に感湿抵抗膜をセラミック基板上に形成す
るため、セラミック基板面とくし形対向電極面とによる
段差はなくなる。よって感湿抵抗ペーストを平面上に印
刷できるため、より薄い感湿抵抗膜を形成でき、樹脂分
散系結露センサーの応答性を速くできる。
向電極より先に感湿抵抗膜をセラミック基板上に形成す
るため、セラミック基板面とくし形対向電極面とによる
段差はなくなる。よって感湿抵抗ペーストを平面上に印
刷できるため、より薄い感湿抵抗膜を形成でき、樹脂分
散系結露センサーの応答性を速くできる。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例における結露センサ
ーの平面図 （ｂ）は同実施例における結露センサーの断面図
ーの平面図 （ｂ）は同実施例における結露センサーの断面図
【図２
】（ａ）は従来の結露センサーの平面図（ｂ）は従来の
結露センサーの断面図
】（ａ）は従来の結露センサーの平面図（ｂ）は従来の
結露センサーの断面図
１１ セラミック基板
１２ 感湿抵抗膜
１３ くし形対向電極
１４ グレーズ電極
Claims (3)
- 【請求項１】セラミック基板と、このセラミック基板上
に形成した樹脂分散系感湿抵抗膜と、この樹脂分散系感
湿抵抗膜上に形成されたくし形対向電極とを備えた結露
センサー。 - 【請求項２】セラミック基板と、このセラミック基板上
に形成した樹脂分散系感湿抵抗膜と、この樹脂分散系感
湿抵抗膜上に形成されたくし形対向電極と、前記くし形
電極に接続されたグレーズからなるはんだ付け電極部と
を備えた結露センサー。 - 【請求項３】樹脂分散系導電ペーストを印刷、１６０℃
以下で硬化することにより樹脂分散系感湿抵抗膜上にく
し形対向電極を形成する請求項１または２記載の結露セ
ンサーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3010640A JPH04244951A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 結露センサー及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3010640A JPH04244951A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 結露センサー及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04244951A true JPH04244951A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=11755814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3010640A Pending JPH04244951A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 結露センサー及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04244951A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286673A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Denso Corp | ガスセンサ及びその製造方法 |
| CN107923815A (zh) * | 2015-06-30 | 2018-04-17 | 美国圣戈班性能塑料公司 | 泄漏检测系统 |
| CN112710700A (zh) * | 2019-10-25 | 2021-04-27 | 梅斯法国公司 | 无机湿度传感器装置 |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP3010640A patent/JPH04244951A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286673A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Denso Corp | ガスセンサ及びその製造方法 |
| CN107923815A (zh) * | 2015-06-30 | 2018-04-17 | 美国圣戈班性能塑料公司 | 泄漏检测系统 |
| CN112710700A (zh) * | 2019-10-25 | 2021-04-27 | 梅斯法国公司 | 无机湿度传感器装置 |
| JP2021067690A (ja) * | 2019-10-25 | 2021-04-30 | エムウーアーエス フランス | 無機湿度センサデバイス |
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