JPH0424573A - Testing method of ic - Google Patents

Testing method of ic

Info

Publication number
JPH0424573A
JPH0424573A JP2128610A JP12861090A JPH0424573A JP H0424573 A JPH0424573 A JP H0424573A JP 2128610 A JP2128610 A JP 2128610A JP 12861090 A JP12861090 A JP 12861090A JP H0424573 A JPH0424573 A JP H0424573A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
terminal
voltage
expected value
logic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2128610A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiji Ichiyoshi
清司 市吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP2128610A priority Critical patent/JPH0424573A/en
Publication of JPH0424573A publication Critical patent/JPH0424573A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prepare a test pattern in a short time even when the number of terminals is large, by comparing an output logic value as an expected value of an IC terminal with an output logic value obtained by supplying thereto a signal voltage based on impressed data and by measuring an output DC voltage or current when these values coincide with each other. CONSTITUTION:A selection circuit 22 changes over a pattern memory 11 to an expected value data register 21 and supplies expected value data to a logic comparison circuit 15, while a measuring terminal selection register 23 switches over the selection circuit 22. A control element 18 starts a sequence control, a test signal from a signal forming circuit 12 generated on the basis of impressed data from the pattern memory 11 is converted into a signal voltage in a driver 13 and the voltage is supplied to a terminal of IC 1. Meanwhile, a voltage obtained at the terminal of the IC 1 is compared with a reference voltage by a comparator 14 and a comparison output is compared with the expected value data in the logic comparison circuit 15. When an actual output logic value of the logic comparison circuit 15 differs from an expected value, a stop signal is not supplied to the control element 18 from an AND gate 24 and an OR gate 25. When it coincides with the expected value, in contrast, the stop signal is supplied thereto to stop the sequence control, and an output DC voltage or current is measured in a DC measuring circuit 16.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、IC(半導体集積回路)の試験方法、特に
ICの端子の出力論理値が所定値のときの出力直流電圧
または出力直流電流を測定する方法に関する。
Detailed Description of the Invention "Industrial Application Field" This invention relates to a method for testing an IC (semiconductor integrated circuit), and in particular to a method for testing an output DC voltage or output DC current when the output logic value of an IC terminal is a predetermined value. Concerning how to measure.

「従来の技術J 論理集積回路などのIcの試験においては、試験パター
ンの一種である印加データから論理レベルの試験信号を
形成し、その試験信号をECLレベルやTTLレヘルな
どの信号電圧に変換してICの端子に供給するとともに
、これによってICの端子に得られた電圧を基準電圧と
比較し、その比較出力を試験パターンの一種である期待
値データと比較してICの良否を判定するだけでなく、
ICの端子の出力論理値が所定値のときの出力直流電圧
または出力直流電流を測定することがあるが、従来、こ
の出力直流電圧または出力直流電流の測定は、あらかし
め試験パターン中の期待値データからICの出力直流電
圧または出力直流電流を測定すべきそれぞれの端子につ
き出力論理値が最初に所定値になるべき試験サイクルを
検出して、その試験サイクルを指示することにより行っ
ている。
"Conventional Technology J In testing ICs such as logic integrated circuits, a logic level test signal is formed from applied data, which is a type of test pattern, and the test signal is converted to a signal voltage such as ECL level or TTL level. At the same time, the voltage obtained at the IC terminal is compared with a reference voltage, and the comparison output is compared with expected value data, which is a type of test pattern, to determine whether the IC is good or not. Not, but
The output DC voltage or output DC current is sometimes measured when the output logic value of the IC terminal is a predetermined value, but conventionally, this output DC voltage or output DC current has been measured based on the expected value in the preliminary test pattern. This is done by detecting a test cycle in which the output logic value first becomes a predetermined value for each terminal for which the output DC voltage or output DC current of the IC is to be measured from the data, and instructing that test cycle.

第3図は、従来のIC試験方法を実現するIC試験シス
テムの一例で、パターンメモリ11、信号形成回路12
、ドライバ13、コンパレータ14、論理比較回路15
および直流測定回路16はICIの必要な端子ごとに個
別に設けられ、あらかじめICIの必要な端子について
の試験パターンがコンピュータを有する主制御部17に
おいて形成されてシーケンス制御部18を通してパター
ンメモリ11に格納されるが、その際、その試験パター
ン中の期待値データからICIの出力直流電圧または出
力直流電流を測定すべきそれぞれの端子につき出力論理
値が最初に所定値になるべき試験サイクルが主制御部1
7において検出されて主制御部17に保持される。すな
わち、ICIの出力直流電圧または出力直流電流を測定
すべき端子Pa、Pb。
FIG. 3 shows an example of an IC test system that implements the conventional IC test method, including a pattern memory 11, a signal forming circuit 12,
, driver 13, comparator 14, logic comparison circuit 15
A DC measurement circuit 16 is provided individually for each necessary terminal of the ICI, and test patterns for the necessary terminals of the ICI are formed in advance in a main control section 17 having a computer and stored in the pattern memory 11 through a sequence control section 18. However, in this case, the main control unit determines the test cycle in which the output logic value of each terminal for which the output DC voltage or output DC current of the ICI is to be measured first becomes a predetermined value based on the expected value data in the test pattern. 1
7 and held in the main control section 17. That is, terminals Pa and Pb at which the output DC voltage or output DC current of the ICI is to be measured.

Pc・・・についての試験パターン中の期待値データが
第2図に示すようなものである々ともに、端子Pa、P
b、Pc・・・の出力論理値が論理1のときの出力直流
電圧または出力直流電流を測定する場合には、端子Pa
については試験サイクル■を示す値が、端子Pbについ
ては試験サイクル■を示す値が、端子Pcについては試
験サイクル■を示す値が、それぞれ主制御部17に保持
される。
The expected value data in the test pattern for Pc... is as shown in Figure 2, and the terminals Pa, P
When measuring the output DC voltage or output DC current when the output logic value of b, Pc... is logic 1, the terminal Pa
For the terminal Pb, a value indicating the test cycle ■ is held, for the terminal Pb, a value indicating the test cycle ■, and for the terminal Pc, a value indicating the test cycle ■ is held in the main control unit 17.

そして、まず最初に、主制御部17からサイクル数計数
回路19に上記の端子Paについての試験サイクル■を
示す値“4°°が設定され、次いで、主制御部17によ
ってシーケンス制御部18がシーケンス制御を開始して
、試験サイクル1から順に、パターンメモリ11から印
加データが読み出され、その印加データによって信号形
成回路12から論理レベルの試験信号が得られ、その試
験信号がドライバ13においてECLレベルやTTLレ
ベルなどの信号電圧に変換されてICIの端子に供給さ
れるとともに、これによってICIの端子に得られた電
圧がコンパレータ14において基準電圧と比較され、そ
の比較出力が論理比較回路15においてパターンメモリ
11から読み出された期待値データと比較される。この
場合、各試験サイクルごとに、シーケンス制御部18に
よってサイクル数計数回路19における計数値が1ずつ
増加させられるとともに、サイクル数計数回路19にお
いて、その計数値が上記の設定値に一致するか否かが検
出される。
First, the main control section 17 sets the cycle number counting circuit 19 to a value "4°" indicating the test cycle ■ for the terminal Pa, and then the main control section 17 sets the sequence control section 18 to the sequence control section 18. When control is started, applied data is read out from the pattern memory 11 in order from test cycle 1, a logic level test signal is obtained from the signal forming circuit 12 based on the applied data, and the test signal is changed to an ECL level in the driver 13. At the same time, the voltage obtained at the ICI terminal is compared with a reference voltage in the comparator 14, and the comparison output is converted into a signal voltage such as TTL level or the like and supplied to the ICI terminal. It is compared with the expected value data read out from the memory 11. In this case, for each test cycle, the sequence control unit 18 increases the count value in the cycle number counting circuit 19 by 1, and the cycle number counting circuit 19 , it is detected whether the counted value matches the above-mentioned set value.

そして、上記の例では、試験サイクル■において、計数
値が設定値に一致することによってサイクル数計数回路
I9からシーケンス制御部18に停止信号が供給されて
シーケンス制御部I8がシーケンス制御を停止し、直流
測定回路16のうちの端子Paに接続されたものにおい
て端子Paの出力論理値が論理1のときの出力直流電圧
または出力直流電流が測定される。
In the above example, in the test cycle ■, when the count value matches the set value, a stop signal is supplied from the cycle number counting circuit I9 to the sequence control unit 18, and the sequence control unit I8 stops the sequence control, Output DC voltage or output DC current when the output logic value of terminal Pa is logic 1 in the DC measurement circuit 16 connected to terminal Pa is measured.

上記の例では、次に主制御部17からサイクル数計数回
路19に上記の端子Pbについての試験サイクル■を示
す値″2”が設定され、次いで主制御部17によってシ
ーケンス制御部18がシーケンス制御を開始して試験サ
イクルTから順に上述したような論理試験がなされ、試
験サイクルHに達すると、サイクル数計数回路19にお
いて計数値が設定値に一致することによってサイクル数
計数回路19からシーケンス制御部18に停止信号が供
給されてシーケンス制御部1日がシーケンス制御を停止
し、直流測定回路16のうちの端子Pbに接続されたも
のにおいて端子pbの出力論理値が論理1のときの出力
直流電圧または出力直流電流が測定される。以後、同様
である。
In the above example, the main controller 17 then sets the cycle number counting circuit 19 to the value "2" indicating the test cycle ■ for the terminal Pb, and then the main controller 17 causes the sequence controller 18 to perform sequence control. The logic test as described above is performed in order from test cycle T, and when test cycle H is reached, the count value in cycle number counting circuit 19 matches the set value, so that the cycle number counting circuit 19 performs the logic test in sequence control section. A stop signal is supplied to the sequence controller 18, the sequence control unit 1 stops sequence control, and the output DC voltage when the output logic value of the terminal pb of the DC measurement circuit 16 connected to the terminal Pb is logic 1. Or the output DC current is measured. The same applies hereafter.

[発明が解決しようとする課題」 しかしながら、上述した従来のIC試験方法においては
、ICIの端子の出力論理値が所定値のときの出力直流
電圧または出力直流電流を測定するのに、あらかしめ主
制御部17においてICIの必要な端子についての試験
パターンを形成する際に、その試験パターン中の期待値
データからICIの出力直流電圧または出力直流電流を
測定すべきそれぞれの端子につき出力論理値が最初に所
定値ζこなるべき試験サイクルを検出して、その試験サ
イクルをサイクル数計数回路19に指示するので、特に
ICIの端子数が多い場合には試験パターンの作成に多
大な時間がかかる不都合がある。
[Problem to be Solved by the Invention] However, in the conventional IC testing method described above, the main point is to measure the output DC voltage or output DC current when the output logic value of the ICI terminal is a predetermined value. When forming a test pattern for the necessary terminals of the ICI in the control unit 17, the output logic value is first determined for each terminal for which the output DC voltage or output DC current of the ICI is to be measured based on the expected value data in the test pattern. Since the test cycle in which the predetermined value ζ is to be reached is detected and the test cycle is instructed to the cycle number counting circuit 19, there is an inconvenience that it takes a lot of time to create a test pattern, especially when the number of ICI terminals is large. be.

そこで、この発明は、ICの端子の出力論理値が所定値
のときの出力直流電圧または出力直流電流を測定する方
法において、ICの端子数が多い場合でも試験パターン
の作成を短時間で行うことができるようにしたものであ
る。
Accordingly, the present invention provides a method for measuring output DC voltage or output DC current when the output logic value of an IC terminal is a predetermined value, in which a test pattern can be created in a short time even when the number of IC terminals is large. It was made so that it could be done.

「課題を解決するための手段」 この発明においては、ICの端子の出力直流電圧または
出力直流電流を測定する際の上記ICの上記端子の出力
論理値を期待値として、上記ICに印加データにもとづ
く信号電圧を供給することによって得られた上記ICの
上記端子の出力論理値と比較して、両者が一致したとき
上記ICの上記端子につき出力直流電圧または出力直流
電流を測定し、これを上記ICの出力直流電圧または出
力直流電流を測定すべきそれぞれの端子につき順次行う
"Means for Solving the Problem" In the present invention, when measuring the output DC voltage or output DC current of the terminal of the IC, the output logic value of the terminal of the IC is set as an expected value, and the data applied to the IC is Compare it with the output logic value of the terminal of the IC obtained by supplying the original signal voltage, and when the two match, measure the output DC voltage or output DC current of the terminal of the IC, and use this as the output logic value of the terminal of the IC. The output DC voltage or output DC current of the IC is sequentially measured for each terminal to be measured.

「作 用」 上記の方法をとる、この発明のIC試験方法においでは
、ICの出力直流電圧または出力直流電流を測定すべき
それぞれの端子ごとに、出力直流電圧または出力直流電
流を測定する際の期待値としての出力論理値とICに印
加データにもとづく信号電圧を供給することによって得
られた出力論理値とを逐次比較して、両者が一致したと
き出力直流電圧または出力直流電流を測定するので、試
験パターンを作成する際に試験パターン中の期待値デー
タからICの出力面fL電圧または出力直流電流を測定
すべきそれぞれの端子につき出力論理値が最初に所定値
になるべき試験サイクルを検出する必要がなく、ICの
端子数が多い場合でも試験パターンの作成を短時間で行
うことができる。
"Function" In the IC testing method of the present invention that takes the above method, the output DC voltage or output DC current of the IC is measured for each terminal for which the output DC voltage or output DC current is to be measured. The output logic value as an expected value is successively compared with the output logic value obtained by supplying a signal voltage based on the applied data to the IC, and when the two match, the output DC voltage or output DC current is measured. , when creating a test pattern, detect the test cycle in which the output logical value should first reach a predetermined value for each terminal for which the output surface fL voltage or output DC current of the IC is to be measured from the expected value data in the test pattern. This is not necessary, and test patterns can be created in a short time even if the IC has a large number of terminals.

[実施例J 第1図は、この発明のIC試験方法を実現するIC試験
システムの一例で、パターンメモリ11、信号形成回路
12、ドライバ13、コンパレータ14、論理比較回路
15および直流測定回路16がICIの必要な端子ごと
に個別に設けられるが、さらに期待値データレジスタ2
1、選択回路22、測定端子選択レジスタ23およびア
ンドゲート24がICIの必要な端子ごとに個別に設け
られ、またオアゲート25が設けられる。期待値データ
レジスタ21は、後述するように主制御部17によって
期待値データが設定されるものであり、選択回路22は
、パターンメモリ11からの期待値データと期待値デー
タレジスタ21からの期待値データを切り換えて論理比
較回路15に供給するものであり、測定端子選択レジス
タ23は、後述するように主制御部17によって、その
うちの一つに“1 ”が設定され、他のすべてに“0°
“が設定されて、その出力により選択回路22を切り換
えるものであり、アンドゲート24は、測定端子選択レ
ジスタ23の出力と論理比較回路15の出力の論理積を
得るものであり、オアゲート25は、アンドゲート24
のそれぞれの出力の論理和を得、その出力を停止信号と
してシーケンス制御部18に供給するものである。
[Embodiment J] FIG. 1 shows an example of an IC test system that implements the IC test method of the present invention, and includes a pattern memory 11, a signal forming circuit 12, a driver 13, a comparator 14, a logic comparison circuit 15, and a DC measurement circuit 16. The expected value data register 2 is provided individually for each necessary terminal of the ICI.
1. A selection circuit 22, a measurement terminal selection register 23, and an AND gate 24 are provided individually for each necessary terminal of the ICI, and an OR gate 25 is also provided. The expected value data register 21 is set with expected value data by the main control unit 17 as described later, and the selection circuit 22 is configured to set expected value data from the pattern memory 11 and the expected value from the expected value data register 21. The data is switched and supplied to the logic comparison circuit 15, and the measurement terminal selection register 23 is set to one of them by the main control unit 17, as described later, and set to "0" to all others. °
" is set, and the selection circuit 22 is switched according to its output, the AND gate 24 obtains the AND of the output of the measurement terminal selection register 23 and the output of the logic comparison circuit 15, and the OR gate 25 and gate 24
The logical sum of the respective outputs is obtained and the output is supplied to the sequence control section 18 as a stop signal.

あらかしめ、ICIの必要な端子についての試験パター
ンが主制御部17において形成されてシーケンス制御部
18を通じてパターンメモリ11に格納される。ただし
、その際、上述したように試験パターン中の期待値デー
タからIC1の出力直流電圧または出力直流電流を測定
すべきそれぞれの端子につき出力論理値が最初に所定値
になるべき試験サイクルが検出されることはない。
In advance, a test pattern for the necessary terminals of the ICI is formed in the main control section 17 and stored in the pattern memory 11 through the sequence control section 18. However, as mentioned above, the test cycle in which the output logic value should first reach the predetermined value for each terminal for which the output DC voltage or output DC current of IC1 is to be measured is detected from the expected value data in the test pattern. It never happens.

そして、ICIの出力直流電圧または出力直流電流を測
定すべき端子Pa、Pb、Pc・・・についての試験パ
ターン中の期待値データが第2図に示すようなものであ
るとともに、端子PaPb、Pc・・・の出力論理値が
論理1のときの出力直流電圧または出力直流電流を測定
する場合には、まず最初に、主制御部17によって期待
値データレジスタ21の端子Paに対応するものに期待
値データとして“1°゛が設定されるとともに、測定端
子選択レジスタ23の端子Paに対応するものに“1”
が設定され、他のすべてに“0”が設定される。
The expected value data in the test pattern for the terminals Pa, Pb, Pc, etc. for which the output DC voltage or output DC current of the ICI is to be measured is as shown in Fig. 2, and the terminals PaPb, Pc... When measuring the output DC voltage or output DC current when the output logic value of . “1°” is set as the value data, and “1” is set in the measurement terminal selection register 23 corresponding to the terminal Pa.
is set, and all others are set to "0".

次いで、主制御部17によってシーケンス制御部18が
シーケンス制御を開始して、試験サイクルIから順に、
パターンメモリ11から印加データが読み出され、その
印加データによって信号形成回路12から論理レベルの
試験信号が得られ、その試験信号がドライバ13におい
てECLレベルやTTLレベルなどの信号電圧に変換さ
れてICIの端子に供給されるとともに、これによって
ICIの端子に得られた電圧がコンパレータ14におい
て基準電圧と比較され、その比較出力が論理比較回路1
5において期待値データと比較される。
Next, the main control unit 17 causes the sequence control unit 18 to start sequence control, and sequentially from test cycle I,
Application data is read from the pattern memory 11, a logic level test signal is obtained from the signal forming circuit 12 based on the application data, and the test signal is converted into a signal voltage such as an ECL level or TTL level in the driver 13, and is then converted to an ICI signal. The voltage obtained at the terminal of the ICI is compared with the reference voltage in the comparator 14, and the comparison output is sent to the logic comparison circuit 1.
5, it is compared with expected value data.

この場合、ICIの端子Pa以外の端子については、上
記のように測定端子選択レジスタ23には0″が設定さ
れていることによって選択回路22からはパターンメモ
リ11から読み出された期待値データが取り出されて論
理比較回路15に供給されるが、測定端子選択レジスタ
23の出力が°“0′”であるので論理比較回路15の
出力のいかんにかかわらずアンドゲート24の出力が0
゛になるのに対して、ICIの端子Paについては、上
記のように測定端子選択レジスタ23には“1°′が設
定されていることによって選択回路22からは期待値デ
ータレジスタ21からの期待値データが取り出されて論
理比較回路15に供給される。
In this case, since the measurement terminal selection register 23 is set to 0'' for the terminals other than the ICI terminal Pa as described above, the selection circuit 22 receives the expected value data read from the pattern memory 11. It is taken out and supplied to the logic comparison circuit 15, but since the output of the measurement terminal selection register 23 is "0'", the output of the AND gate 24 is 0 regardless of the output of the logic comparison circuit 15.
On the other hand, for the terminal Pa of the ICI, since "1°' is set in the measurement terminal selection register 23 as described above, the selection circuit 22 receives the expected value from the expected value data register 21. Value data is extracted and supplied to logic comparison circuit 15.

したがって、試験サイクル1.n、[1においては、期
待値データレジスタ21の端子Paに対応するものから
の期待値データが1”であるのに対して端子Paに実際
に得られる出力論理値が論理0になることによって、論
理比較回路15の端子Paに対応するものの出力が実際
の出力論理値が期待値に対して相違することを示す0”
になり、アンドゲート24の端子Paに対応するものの
出力も“0°゛になってオアゲート25の出力が“0°
゛になるが、すなわちオアゲート25からシーケンス制
御部18に停止信号は供給されないが、試験サイクル■
になると、期待値データレジスタ21の端子Paに対応
するものからの期待値データが“l ”であるのに対し
て端子Paに実際に得られる出力論理値も論理1になる
ことによって、論理比較回路15の端子Paに対応する
ものの出力が実際の出力論理値が期待値と一致すること
を示す°′1”になり、測定端子選択レジスタ23の端
子Paに対応するものの出力が″I ”であるのでアン
ドゲート24の端子Paに対応するものの出力が“1゛
になって、オアゲート25の出力が“1″になる。
Therefore, test cycle 1. n, [1, the expected value data from the expected value data register 21 corresponding to the terminal Pa is 1'', but the output logical value actually obtained at the terminal Pa is logical 0. , the output of the logic comparison circuit 15 corresponding to the terminal Pa is 0'' indicating that the actual output logic value is different from the expected value.
Then, the output of the AND gate 24 corresponding to the terminal Pa also becomes "0°", and the output of the OR gate 25 becomes "0°".
In other words, the stop signal is not supplied from the OR gate 25 to the sequence control unit 18, but the test cycle
Then, while the expected value data from the expected value data register 21 corresponding to the terminal Pa is "l", the output logical value actually obtained at the terminal Pa is also logical 1, so that the logical comparison is performed. The output of the circuit 15 corresponding to the terminal Pa becomes ``1'', indicating that the actual output logic value matches the expected value, and the output of the measurement terminal selection register 23 corresponding to the terminal Pa becomes ``I''. Therefore, the output of the AND gate 24 corresponding to the terminal Pa becomes "1", and the output of the OR gate 25 becomes "1".

すなわち、試験サイクル■において、ICIの端子Pa
の実際の出力論理値が論理1になることによってオアゲ
ート25からシーケンス制御部1日に停止信号が供給さ
れてシーケンス制御部I8がシーケンス制御を停止し、
直流測定回路工6のうちの端子Paに接続されたものに
おいて端子Paの出力論理値が論理1のときの出力直流
電圧または出力直流電流が測定される。
That is, in the test cycle ■, the terminal Pa of the ICI
When the actual output logic value becomes logic 1, a stop signal is supplied from the OR gate 25 to the sequence control unit 1, and the sequence control unit I8 stops the sequence control,
Output DC voltage or output DC current when the output logic value of terminal Pa is logic 1 in the DC measurement circuit 6 connected to terminal Pa is measured.

上記の例では、次に主制御部17によって期待値データ
レジスタ21の端子pbに対応するものに期待値データ
として″ピが設定されるとともに、測定端子選択レジス
タ23の端子Pbに対応するものに“°1″゛が設定さ
れ、他のすべてに°゛0°°が設定され、次いで主制御
部17によってシーケンス制御部1Bがシーケンス制御
を開始して試験サイクルIから順に上述したような論理
試験がなされる。したがって、上述したところから明ら
かなように、このとき試験サイクルHにおいてICIの
端子Pbの実際の出力論理値が論理1になることによっ
てオアゲート25からシーケンス制御部1Bに停止信号
が供給されてシーケンス制御部18がシーケンス制御を
停止し、直流測定回路16のうちの端子Pbに接続され
たものにおいて端子pbの出力論理値が論理1のときの
出力直流電圧または出力直流電流が測定される。以後、
同様である。
In the above example, next, the main control unit 17 sets "pi" as the expected value data to the one corresponding to the terminal pb of the expected value data register 21, and sets "pi" to the one corresponding to the terminal Pb of the measurement terminal selection register 23. “°1”” is set, and all others are set to “0°°,” and then the main control unit 17 causes the sequence control unit 1B to start sequence control and perform the logic test as described above sequentially from test cycle I. Therefore, as is clear from the above, when the actual output logic value of the terminal Pb of the ICI becomes logic 1 in the test cycle H, a stop signal is supplied from the OR gate 25 to the sequence control section 1B. The sequence control unit 18 stops the sequence control, and the output DC voltage or output DC current when the output logic value of the terminal pb is logic 1 in the DC measurement circuit 16 connected to the terminal Pb is measured. From now on,
The same is true.

端子Pa、Pb、Pc・・・の出力論理値が論理Oのと
きの出力直流電圧または出力直流を流を測定する場合に
は、期待値データレジスタ21の端子Pa、Pb、Pc
・・・に対応するものに期待値データとして“0”が順
次設定されればよい。
When measuring the output DC voltage or output DC current when the output logic values of the terminals Pa, Pb, Pc, etc. are logic O, the terminals Pa, Pb, Pc of the expected value data register 21
. . . "0" may be sequentially set as the expected value data.

なお、実際の論理試験は上述した出力直流電圧または出
力直流電流の測定とは別の機会において行う。
Note that the actual logic test is performed on a different occasion from the above-mentioned measurement of the output DC voltage or output DC current.

[発明の効果J 上述したように、この発明によれば、ICの出力直流電
圧または出力直流電流を測定すべきそれぞれの端子ごと
に、出力直流電圧または出力直流電流を測定する際の期
待値としての出力論理値とICに印加データにもとづく
信号電圧を供給することによって得られた出力論理値と
を逐次比較して、両者が一致したとき出力直流電圧また
は出力直流電流を測定するので、試験パターンを作成す
る際に試験パターン中の期待値データからICの出力直
流電圧または出力直流電流を測定すべきそれぞれの端子
につき出力論理値が最初に所定値になるべき試験サイク
ルを検出する必要がなく、ICの端子数が多い場合でも
試験パターンの作成を短時間で行うことができる。
[Effect of the Invention J As described above, according to the present invention, the expected value when measuring the output DC voltage or output DC current is calculated for each terminal for which the output DC voltage or output DC current of the IC is to be measured. The test pattern When creating a test pattern, there is no need to detect the test cycle in which the output logic value should first reach a predetermined value for each terminal where the output DC voltage or output DC current of the IC is to be measured from the expected value data in the test pattern. Even when the number of terminals of an IC is large, test patterns can be created in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明のIC試験方法を実現するIC試験
システムの一例を示す系統図、第2図は、ICの出力直
流電圧または出力直流電流を測定すべきそれぞれの端子
についての試験パターン中の期待値データの一例の一部
を示す図、第3図は、従来のIC試験方法を実現するI
C試験システムの一例を示す系統図である。
Fig. 1 is a system diagram showing an example of an IC test system that implements the IC test method of the present invention, and Fig. 2 shows a test pattern for each terminal for measuring the output DC voltage or output DC current of the IC. FIG. 3 is a diagram showing a part of an example of expected value data of
It is a system diagram showing an example of a C test system.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)ICの端子の出力直流電圧または出力直流電流を
測定する際の上記ICの上記端子の出力論理値を期待値
として、上記ICに印加データにもとづく信号電圧を供
給することによって得られた上記ICの上記端子の出力
論理値と比較して、両者が一致したとき上記ICの上記
端子につき出力直流電圧または出力直流電流を測定し、
これを上記ICの出力直流電圧または出力直流電流を測
定すべきそれぞれの端子につき順次行う、 IC試験方法。
(1) When measuring the output DC voltage or output DC current of the IC terminal, the output logic value of the above-mentioned terminal of the above-mentioned IC is set as the expected value, and is obtained by supplying the above-mentioned IC with a signal voltage based on the applied data. Compare with the output logic value of the terminal of the IC, and when the two match, measure the output DC voltage or output DC current of the terminal of the IC,
An IC testing method in which this is performed sequentially for each terminal of the IC whose output DC voltage or output DC current is to be measured.
JP2128610A 1990-05-18 1990-05-18 Testing method of ic Pending JPH0424573A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2128610A JPH0424573A (en) 1990-05-18 1990-05-18 Testing method of ic

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2128610A JPH0424573A (en) 1990-05-18 1990-05-18 Testing method of ic

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0424573A true JPH0424573A (en) 1992-01-28

Family

ID=14989044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2128610A Pending JPH0424573A (en) 1990-05-18 1990-05-18 Testing method of ic

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0424573A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7373574B2 (en) Semiconductor testing apparatus and method of testing semiconductor
JP3918344B2 (en) Semiconductor test equipment
JP3805817B2 (en) Digital drive circuit for integrated circuits
US6738940B1 (en) Integrated circuit including a test signal generator
JPH0820474B2 (en) Resistance measurement device
JPH0644032B2 (en) Semiconductor integrated circuit device
JP2723688B2 (en) Apparatus for measuring frequency characteristics of semiconductor integrated circuits
JP2610824B2 (en) Logic circuit measuring device with high impedance function element
JPH0650786Y2 (en) IC test equipment
JP2614362B2 (en) Electronic component test method
JP3163568B2 (en) IC test equipment
JPH05107321A (en) Integrated circuit measuring device
JPH1172542A (en) Threshold voltage measurement method for electronic circuit having hysterisis characteristic
SU1562864A1 (en) Apparatus for functional parametric check of logical elements
JP2000227460A (en) Input check circuit, input check method and burn-in board
JPH0212074A (en) Power source unit for measurement of ic testing device
JP2527623Y2 (en) IC test equipment
JPH06148264A (en) Measuring method for leakage current
JP2998390B2 (en) IC inspection equipment
JP2502012B2 (en) Switch status detector
JP3340459B2 (en) Signal determination device and signal determination method
JPS5913962A (en) Tester for logical integrated circuit
JPH0514954U (en) Timing generator for IC tester
JPS63181457A (en) Semiconductor integrated circuit device
JPS59971B2 (en) Shuyuuseki Kairosouchi