JPH0424598Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電子顕微鏡等の絞りを互いに直交す
る三方向に移動する絞り移動装置に関する。

例えば、電子顕微鏡の絞り位置の調整は、穴径
の異なる複数の細孔（絞り）が長手方向に沿つて
穿設された絞りホルダを、所定の絞りがビームと
正しく対向するように、３軸方向に移動すること
によつて行われている。

第１図は従来のこの種の移動装置の一例を示す
構成説明図であつて、ａは側方断面を示し、ｂは
ａのＡ−Ａ断面を示している。図において、シヤ
フト１はコイルばね２によつてＸ方向（軸方向）
に付勢された状態で中間筒３内に挿通されてい
る。このシヤフト１は軸方向にのみ移動可能であ
り、その回動は、シヤフト１に植設されたピン４
と該ピン４が嵌入するように中間筒３に穿設され
た軸方向の長穴５とによつて規制されている。中
間筒３の一端は球状に形成され、鏡筒壁６に挿通
固着されたベース７の軸受でもつて回転可能に支
持されている。又、中間筒３の前記長穴５の近傍
には、第２図に示すように階段状のガイド溝が設
けられた円筒状のピンガイド８が固着され、該ピ
ンガイド８のガイド溝に嵌合するピン９がノブ１
０に固着されている。又、中間筒３の中間部は、
Ｙ方向及びＺ方向に垂直な平面を有するリテーナ
１１を形成している。ベース７には、このリテー
ナ１１の平面を押圧してＹ，Ｚ方向の位置調整を
行うための要素であるコイルばね１２，１３及び
ノブ１４，１５がリテーナ１１を挾むようにして
対向設置されている。上記シヤフト１の一端に
は、穴径の異なる複数の細孔が長手方向に沿つて
穿設された絞りホルダ１６が固着され、更にこの
シヤフト１の他端には微調整用つまみ３８が螺合
されている。尚、微調整用つまみ３８はパイプ３
９に当接し、パイプ３９はノブ１０に当接してい
る。

このような構成において、シヤフト１はコイル
ばね２により絞りホルダ１６側に押され、この力
は微調整用つまみ３８及びパイプ３９を介してノ
ブ１０に伝わり、ノブ１０をベース７側に押して
いる。従つて、シヤフト１（絞りホルダ１６）の
Ｘ方向の位置は、中間筒３に固定されたピンガイ
ド８とノブ１０に固着されたピン９との嵌合位置
関係により決定されることになる。一方、絞りホ
ルダ１６のＹ，Ｚ方向の位置は、前記ノブ１４，
１５のねじ込み量により決定されることになる。

しかし、上記の従来装置においては、シヤフト
１を軸方向に移動させるためにノブ１０を回転さ
せると、リテーナ１１も同時に回転してしまい、
絞りホルダ１６に設けられている細孔とビームと
の正しい対向関係が損われ、真円であるべき絞り
が実質的には楕円になつてしまうという欠点があ
る。

本考案は、この欠点を除去することを目的とす
るもので、一端に絞りホルダが固着されたシヤフ
トと、外周に２個の球状部が突設され内部には該
シヤフトが略軸方向にのみ移動可能に挿通された
中間筒と、該中間筒の一方の球状部を円筒部で支
持するベースと、該ベースの円筒部と前記シヤフ
トとの間に固着されたベローズと、前記中間筒の
他方の球状部の球面に線接触する内筒面が形成さ
れた第１のスライダと、該第１スライダを前記シ
ヤフトの軸方向と直交する一方向に移動可能に案
内し且つ前記ベースによつて該第１のスライダの
移動方向と直交する方向に移動可能に案内された
第２のスライダと、前記第１のスライダを変位さ
せる第１の送り手段と、前記第２のスライダを変
位させる第２の送り手段と、前記シヤフトをねじ
を利用して軸方向に変位させる第３の送り手段
と、前記中間筒の他方の球状部と前記第１のスラ
イダの内筒面の内のどちらか一方に形成され、前
記第１のスライダと第２のスライダの内のどちら
か一方の移動方向に延出するピン溝と、前記中間
筒の他方の球状部と前記第１のスライダの内筒面
の内の他方に設けられ、前記ピン溝に係合するピ
ンとを具備したことを特徴とするものである。

以下、図面を参照し本考案の実施例を詳細に説
明する。

第３図は本考案の一実施例を示す構成説明図で
あり、ａは要部の平面断面図、ｂは側面断面図、
ｃはｂのＢ−Ｂ断面図である。第３図において、
シヤフト１７は軸方向（Ｘ方向）に移動可能に中
間筒１８内に挿通され、その回動は規制されてい
る。即ち、シヤフト１７に植設したピン１９が、
中間筒１８の軸方向に穿設した長穴２０に嵌入さ
れている。又、中間筒１８の外周には２個の球状
部２１，２２が形成されている。中間筒１８の一
方の球状部２１はベース２３の円筒部で支持され
ている。このベース２３の円筒部の端部にはベロ
ーズ２４が固着され、更に、ベローズ２４の可動
端にはシヤフト１７の一端が挿通固着されてい
る。又、ベローズ２４の可動端を貫通したシヤフ
ト１７の端部には第１図と同様な絞りホルダ１６
が取り付けられている。シヤフト１７の他端には
軸方向にねじ部２５が刻設され、そこにナツト２
６が螺合している。中間筒１８の他方の球状部２
２の外周にはピン２７が突設され、該ピン２７が
ピン溝２８に嵌入する状態にて、球状部２２の球
面がスライダ２９に形成された内筒面に線接触し
ている。又、このスライダ２９はスライダ３０に
アリ溝により嵌合され、スライダ３０に対しては
Ｙ方向にのみ移動可能となつている。同様にスラ
イダ３０はベース２３にアリ溝により嵌合され、
ベース２３に対してはＺ方向にのみ移動可能とな
つている。又、ベース２３にはキヤツプ３３が取
付けられ、該キヤツプ３３にスライダ２９をＹ方
向に移動させるためのコイルばね３１及び３２が
配設されている。一方、スライダ３０をＺ方向に
移動させるためのコイルばね３４及びノブ３５
は、直接ベース２３に配設されている。尚、コイ
ルばね３１の一端とスライダ２９との間にはブツ
シユ３６が挿入配置され、コイルばね３４の他端
には押圧力を調整するための押しねじ３７が設け
られている。

このような構成において、シヤフト１７はベロ
ーズ２４の両側の圧力差（ベローズの外側は真空
になつている）により常に絞りホルダ１６側に押
圧されていて、ナツト２６を回転することにより
シヤフト１７（絞りホルダ１６）をＸ方向に移動
させることができ、ノブ３２を回転することによ
り中間筒１８の球状部２２を介して絞りホルダ１
６をＹ方向に移動させることができ、ノブ３５を
回転することにより中間筒１８の球状部２２を介
して絞りホルダ１６をＺ方向に移動させることが
できる。ここで、シヤフト１７を軸方向に移動さ
せる場合の動作に着目すると、ピン２７がピン溝
２８に嵌入し、第１のスライダ２９に対して回転
が規制された中間筒１８の球状部２２は、互いに
直交する二方向にのみ移動でき回動は不可能なス
ライダ２９，３０で支持されており、しかもベロ
ーズ２４によつてもその回動を規制されているの
で、従来構造のようにシヤフト１７のＸ方向の移
動時に中間筒が回転することはなく、安定な動作
が得られる。しかも、Ｙ，Ｚ方向の動きが全く独
立に行えるので干渉がなく調整精度が向上する。
更に、他方の球状部２２の球面は、スライダ２９
の内筒面に線接触しているので、Ｙ，Ｚ方向の調
整を行なつても、常に球状部２２の球面はスライ
ダ２９の内筒面によつて確実に支持されている。
よつて、中間筒１８の２つの球状部２１，２２は
常時ベース２３側に支持され、振動の影響を受け
にくくなる。

尚、シヤフト１７の軸方向に移動させる機構は
第３図のものに限る必要はなく、第１図の機構を
用いてもよいし、モータで移動機構を回転駆動さ
せるように構成してもよい。モータ駆動の場合に
は、パルスモータを用いることによりコンピユー
タ等による高精度の位置制御が行える。又、モー
タ駆動の位置制御にあたつては、ポテンシヨメー
タを組み合わせてもよい。又、上記実施例では、
他方の球状部２２にピン２７を、第１のスライダ
２９にピン溝２８を設けたが、逆に、他方の球状
部にピン溝を、第１のスライダにピン溝に嵌入す
るピンを設けるようにしてもよい。

更に、上記実施例では、電子顕微鏡の絞り移動
装置の例について説明したが、他の同種の装置に
も応用できる。

以上説明したように、本考案によれば、シヤフ
ト（絞りホルダ）をＸ方向に移動させるのにあた
つて絞りホルダに永続的な回転変位を生じさせる
ことがない。又、絞りホルダＹ，Ｚの二方向に確
実に移動させることができる。従つて、各種の装
置の絞り移動装置として好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の一例を示す構成図、第２図
はその一部分の構成図、第３図は本考案の一実施
例を示す構成図である。 １６……絞りホルダ、１７……シヤフト、１８
……中間筒、１９，２７……ピン、２０……長
穴、２１，２２……球状部、２３……ベース、２
４……ベロース、２５……ねじ部、２６……ナツ
ト、２８……ピン溝、２９，３０……スライダ、
３１，３４……コイルばね、３２，３５……ノ
ブ、３３……キヤツプ、３６……ブツシユ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 一端に絞りホルダが固着されたシヤフトと、 外周に２個の球状部が突設され内部には該シヤ
   フトが略軸方向にのみ移動可能に挿通された中間
   筒と、 該中間筒の一方の球状部を円筒部で支持するベ
   ースと、 該ベースの円筒部と前記シヤフトとの間に固着
   されたベローズと、 前記中間筒の他方の球状部の球面に線接触する
   内筒面が形成された第１のスライダと、 該第１のスライダを前記シヤフトの軸方向と直
   交する一方向に移動可能に案内し且つ前記ベース
   によつて該第１のスライダの移動方向と直交する
   方向に移動可能に案内された第２のスライダと、 前記第１のスライダを変位させる第１の送り手
   段と、 前記第２のスライダを変位させる第２の送り手
   段と、 前記シヤフトをねじを利用して軸方向に変位さ
   せる第３の送り手段と、 前記中間筒の他方の球状部と前記第１のスライ
   ダの内筒面の内のどちらか一方に形成され、前記
   第１のスライダと第２のスライダの内のどちらか
   一方の移動方向に延出するピン溝と、 前記中間筒の他方の球状部と前記第１のスライ
   ダの内筒面の内の他方に設けられ、前記ピン溝に
   係合するピンと、 を具備した絞り移動装置。