JPH041628Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電子顕微鏡等の絞りを互いに直交す
る三方向に移動する絞り移動装置に関する。

例えば、電子顕微鏡の絞り位置の調整は、穴径
の異なる複数の細孔（絞り）が長手方向に沿つて
穿設された絞りホルダを、所定の絞りがビームと
正しく対向するように、３軸方向に移動すること
によつて行われている。

第１図は従来のこの種の移動装置の一例を示す
構成説明図であつて、ａは側方断面を示し、ｂは
ａのＡ−Ａ断面を示している。図において、シヤ
フト１はコイルばね２によつてＸ方向（軸方向）
に付勢された状態で中間筒３内に挿通されてい
る。このシヤフト１は軸方向にのみ移動可能であ
り、その回動は、シヤフト１に植設されたピン４
と該ピン４が嵌入するように中間筒３に穿設され
た軸方向の長穴５とによつて規制されている。中
間筒３の一端は球状に形成され、鏡筒壁６に挿通
固着されたベース７の軸受でもつて回転可能に支
持されている。又、中間筒３の前記長穴５の近傍
には、第２図に示すように階段状のガイド溝が設
けられた円筒状のピンガイド８が固着され、該ピ
ンガイド８のガイド溝に嵌合するピン９がノブ１
０に固着されている。又、中間筒３の中間部は、
Ｙ方向及びＺ方向に垂直な平面を有するリテーナ
１１を形成している。ベース７には、このリテー
ナ１１の平面を押圧してＹ，Ｚ方向の位置調整を
行うための要素であるコイルばね１２，１３及び
ノブ１４，１５がリテーナ１１を挟むようにして
対向設置されている。上記シヤフト１の一端に
は、穴径の異なる複数の細孔が長手方向に沿つて
穿設された絞りホルダ１６が固着され、更にこの
シヤフト１の他端には微調整用つまみ３８が螺合
されている。尚、微調整用つまみ３８はパイプ３
９に当接し、パイプ３９はノブ１０に当接してい
る。

このような構成において、シヤフト１はコイル
ばね２により絞りホルダ１６側に押され、この力
は微調整用つまみ３８及びパイプ３９を介してノ
ブ１０に伝わり、ノブ１０をベース７側に押して
いる。従つて、シヤフト１（絞りホルダ１６）の
Ｘ方向の位置は、中間筒３に固定されたピンガイ
ド８とノブ１０に固着されたピン９との嵌合位置
関係により決定されることになる。一方、絞りホ
ルダ１６のＹ，Ｚ方向の位置は、前記ノブ１４，
１５のねじ込み量により決定されることになる。

しかし、上記の従来装置においては、シヤフト
１を軸方向に移動させるためにノブ１０を回転さ
せると、リテーナ１１も同時に回転してしまい、
絞りホルダ１６に設けられている細孔とビームと
の正しい対向関係が損われ、真円であるべき絞り
が実質的には楕円となつてしまうという欠点があ
る。同様に、Ｚ方向に位置調整した場合も、シヤ
フト１が傾き、絞りホルダ１６の細孔とビームと
の正しい対向関係が損われ、絞りが実質的には楕
円となつてしまうという欠点がある。

本考案は、この欠点を除去することを目的とす
るもので、一端にホルダが形成されたシヤフト
と、該シヤフトに嵌合し、該シヤフトの略軸方向
の移動のみを許容する中間筒と、前記シヤフトの
軸方向と略直交する方向が板厚方向となるよう
に、前記中間筒に一端が固着された一対の平行な
第１の板ばねと、該第１の板ばねの他端に固着さ
れたフレームと、前記第１の板ばねに略直交する
ような位置関係で、前記フレームに一端が固着さ
れた一対の平行な第２の板ばねと、該第２の板ば
ねの他端に固着されたベースと、該ベースに螺合
し前記中間筒を前記第１の板ばねの板厚方向に変
位させる第１の送り手段と、前記ベースに螺合し
前記フレームを前記第２の板ばねの板厚方向に変
位させる第２の送り手段と、前記シヤフトをその
軸方向に変位させる第３の送り手段とを具備した
ことを特徴とするものである。

以下、図面を参照し本考案の実施例を詳細に説
明する。

第３図は本考案の一実施例を示す構成説明図で
あり、ａは平面断面図、ｂは側面断面図である。
第３図において、シヤフト１７は中間筒１８内に
挿通され、軸方向（Ｘ方向）にのみその移動が許
容されている。即ち、シヤフト１７に植設された
ピン１９が、中間筒１８の軸方向に穿設された長
穴２０内に嵌入され、シヤフト１７の回動を規制
している。中間筒１８を囲む筒状のベース２１の
一端にはベローズ２２が固着され、該ベローズ２
２の可動端にシヤフト１７の端部が挿通固着され
ている。ベローズ２２の可動端を貫通したシヤフ
ト１７の先端部には、第１図と同一の絞りホルダ
１６が固着されている。シヤフト１７の他端部に
はねじ穴２３が切られると共に外部に連通した空
気孔２４が穿設されている。このねじ穴２３には
モータ２５の出力軸に連結されたねじ軸２６が螺
合している。又、シヤフト１７の端部とモータ２
５との間には螺合部のバツクラツシユを吸収する
ためのコンプレツシヨンスプリング２７が配設さ
れている。中間筒１８のモータ２５側の端部近傍
には、Ｙ方向及びＺ方向に垂直な平面を有するリ
テーナ２８が形成されている。このリテーナ２８
のＺ方向と垂直な一対の平行面は、これら各面と
平行な一対の板ばね２９，３０を介して、中央に
中間筒１８が遊嵌されたフレーム３１の平行面
（Ｚ方向と垂直な一対の平面）に連結され、フレ
ーム３１の他方の平行面（Ｙ方向と垂直な一対の
平面）は一対の板ばね３２，３３を介してベース
２１の平行面（Ｙ方向と垂直な一対の平面）に連
結されている。即ち、中間筒１８とフレーム３１
とは、中間筒１８がＺ方向への移動を許容するよ
うに連結され、フレーム３１とベース２１とは、
フレーム３１がＹ方向への移動を許容するように
連結されている。そして、ベース２１には、中間
筒（リテーナ２８）を押して変位させるためのノ
ブ３４と、フレーム３１を押して変位させるため
のノブ３５が螺合している。

このような構成において、モータ２５でねじ軸
２６を回転させることによりシヤフト１７（絞り
ホルダ１６）をＸ方向に移動させることができ、
ノブ３４を回転することによりシヤフト１７（絞
りホルダ１６）をＺ方向に平行移動させることが
でき、ノブ３５を回転することによりシヤフト１
７（絞りホルダ１６）をＹ方向に平行移動させる
ことができる。ここで、絞りホルダ１６をシヤフ
ト１７の軸方向に移動させる場合の動作に着目す
ると、シヤフト１７が、シヤフト１７の軸方向と
平行し且つ互いに直交するように配置された板ば
ね２９，３０及び３２，３３でもつてベース２１
に固定されているので、中空筒１８が多少でも回
動すると復元トルクが働き、結局、中間筒１８は
常に定位置（回転に関して）に戻る。従つて、従
来の構造のように中間筒が回転した状態を維持す
ることはなく、Ｘ方向にモータ等で回転駆動する
場合に安定な動作が得られる。しかも、シヤフト
１７と螺合する螺部材の回動によりシヤフト１７
を軸方向に変位させる構成のため、中間筒１８に
作用する回転トルクが小さいので、上記効果は一
層顕著に現れる。又、ノブ３４，３５を回すこと
により、従来と同様、絞りホルダ１６をＹ，Ｚ方
向に移動させることができるが、上記構成の場
合、移動方向が確実になるという利点がある。

尚、絞りホルダ１６のＸ方向の位置検出にあた
つては、例えば第４図に示す如く、モータ２５の
出力軸にギヤ４０，４１を介して回転形ポテンシ
ヨメータ４２を連結し、該ポテンシヨメータ４２
の出力信号から求めるようにすればよい。又、モ
ータ２５としてパルスモータを用いれば、コンピ
ユータ等による制御を容易に行えるので、より高
精度の制御が可能になる。勿論、ねじ軸２６の回
転駆動にあたつては手動で回転させるようにして
もよい。又、シヤフト１７を軸方向に移動させる
機構としては第１図の機構を用いてもよい。

更に、上記実施例は、電子顕微鏡の絞り移動装
置についてのものであつたが、他の同種の装置に
も応用できる。

以上説明したように、本考案によれば、シヤフ
ト（絞りホルダ）をＸ方向に移動させるのにあた
つて絞りホルダに永続的な回転変位を生じさせる
ことがない。又、絞りホルダを確実にＹ，Ｚの二
方向に平行移動させることができる。特に、Ｚ方
向に平行移動できることにより、常にしぼりホル
ダに設けられている細孔とビームとの正しい対向
関係を保つことができ、しぼりの形状を真円とす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の一例を示す構成図、第２図
はその一部分の構成図、第３図は本考案の一実施
例を示す構成図、第４図は本考案の他の実施例を
の一部を示す構成図である。 １６……絞りホルダ、１７……シヤフト、１８
……中間筒、１９……ピン、２０……長穴、２１
……ベース、２２……ベロース、２３……ねじ
穴、２５……モータ、２６……ねじ軸、２７……
コンプレツシヨンスプリング、２８……リテー
ナ、２９，３０，３２，３３……板ばね、３１…
…フレーム、３４，３５……ノブ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一端にホルダが形成されたシヤフトと、該シ
   ヤフトに嵌合し、該シヤフトの略軸方向の移動
   のみを許容する中間筒と、 前記シヤフトの軸方向と略直交する方向が板
   厚方向となるように、前記中間筒に一端が固着
   された一対の平行な第１の板ばねと、 該第１の板ばねの他端に固着されたフレーム
   と、 前記第１の板ばねに略直交するような位置関
   係で、前記フレームに一端が固着された一対の
   平行な第２の板ばねと、 該第２の板ばねの他端に固着されたベース
   と、 該ベースに螺合し前記中間筒を前記第１の板
   ばねの板厚方向に変位させる第１の送り手段
   と、 前記ベースに螺合し前記フレームを前記第２
   の板ばねの板厚方向に変位させる第２の送り手
   段と、 前記シヤフトをその軸方向に変位させる第３
   の送り手段と、 を具備した絞り移動装置。 (2) 前記第３の送り手段として、 前記シヤフトと螺合する螺部材の回動により
   前記シヤフトをその軸方向に変位させるものを
   用いたことを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項記載の絞り移動装置。