JPH04247207A - エアフィルター - Google Patents
エアフィルターInfo
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- JPH04247207A JPH04247207A JP1176691A JP1176691A JPH04247207A JP H04247207 A JPH04247207 A JP H04247207A JP 1176691 A JP1176691 A JP 1176691A JP 1176691 A JP1176691 A JP 1176691A JP H04247207 A JPH04247207 A JP H04247207A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- filter medium
- air
- ion exchange
- clean room
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエアフィルター、特にク
リーンルーム等を形成する際の末端（最終）フィルター
に用いられる微粒子精密濾過用の高性能エアフィルター
の改良に関する。
リーンルーム等を形成する際の末端（最終）フィルター
に用いられる微粒子精密濾過用の高性能エアフィルター
の改良に関する。
【０００２】近年半導体素子の微細化に伴い、半導体素
子の製造環境の清浄度管理対象物質も微粒子（パーティ
クル）からガス状のイオン物質にまで拡がってきた。そ
の理由は、陰イオンが直接半導体ウエーハに付着してア
ルミニウム配線等の腐蝕の原因となると同時に、クリー
ンルーム内で使用している装置類に付着してその金属部
を腐蝕してそこから発生するパーティクルによるクリー
ンルーム内汚染の原因となり、またガス状の陽イオン即
ち金属イオンもウエーハ面に吸着されて電流リーク等に
よる素子性能劣化の原因になることによる。
子の製造環境の清浄度管理対象物質も微粒子（パーティ
クル）からガス状のイオン物質にまで拡がってきた。そ
の理由は、陰イオンが直接半導体ウエーハに付着してア
ルミニウム配線等の腐蝕の原因となると同時に、クリー
ンルーム内で使用している装置類に付着してその金属部
を腐蝕してそこから発生するパーティクルによるクリー
ンルーム内汚染の原因となり、またガス状の陽イオン即
ち金属イオンもウエーハ面に吸着されて電流リーク等に
よる素子性能劣化の原因になることによる。
【０００３】そこで、クリーンルーム内へ供給される大
気中に含まれるガス状の陰イオン及び陽イオンを、微粒
子（パーティクル）と同様に精密に除去することが必要
になってきている。
気中に含まれるガス状の陰イオン及び陽イオンを、微粒
子（パーティクル）と同様に精密に除去することが必要
になってきている。
【０００４】
【従来の技術】図３は層流方式クリーンルームの換気フ
ローの一例を示す図で、図中、５１はクリーンルーム、
５２は簀子状の床、５３は外気取り入れ口、５４はプレ
フィルター、５５は温湿度調節手段、５６は中間フィル
ター、５７は吸気ファン、５８は給気回路、５９は最終
フィルター、６０は排気ファン、６１は還気回路を示す
。
ローの一例を示す図で、図中、５１はクリーンルーム、
５２は簀子状の床、５３は外気取り入れ口、５４はプレ
フィルター、５５は温湿度調節手段、５６は中間フィル
ター、５７は吸気ファン、５８は給気回路、５９は最終
フィルター、６０は排気ファン、６１は還気回路を示す
。
【０００５】図示のような層流方式クリーンルームにお
いては吸気ファン５７によって外気取り入れ口５３から
粒子除去用のプレフィルター５４を介して取り入れられ
た外気は温湿度調節手段５５によって所定の温湿度に調
節され、中間フィルター５６、吸気ファン５７、給気回
路５８を経、微粒子精密濾過用の最終フィルター５９を
通してクリーンルーム５１内に供給され、且つクリーン
ルーム５１内を通過した大気の、内圧調整用に排気ファ
ン６０を介して外部に排出される分を除いた一部は還気
回路６１を経て温湿度調節手段５５に戻され、新たに取
り入れられた外気と共に中間フィルター５６、吸気ファ
ン５７、給気回路５８、最終フィルター５８、クリーン
ルーム５１、還気回路６１を経て循環することによって
、クリーンルーム５１内が所定の温湿度を有する高度の
無塵状態に維持される。
いては吸気ファン５７によって外気取り入れ口５３から
粒子除去用のプレフィルター５４を介して取り入れられ
た外気は温湿度調節手段５５によって所定の温湿度に調
節され、中間フィルター５６、吸気ファン５７、給気回
路５８を経、微粒子精密濾過用の最終フィルター５９を
通してクリーンルーム５１内に供給され、且つクリーン
ルーム５１内を通過した大気の、内圧調整用に排気ファ
ン６０を介して外部に排出される分を除いた一部は還気
回路６１を経て温湿度調節手段５５に戻され、新たに取
り入れられた外気と共に中間フィルター５６、吸気ファ
ン５７、給気回路５８、最終フィルター５８、クリーン
ルーム５１、還気回路６１を経て循環することによって
、クリーンルーム５１内が所定の温湿度を有する高度の
無塵状態に維持される。
【０００６】このようなクリーンルームにおいて、クリ
ーンルーム５１内の微粒子数を低く維持する機能を有す
る最終（末端）フィルターには、従来、ＨＥＰＡ（ｈｉ
ｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ
ａｉｒ） フィルター、或いはＵＬＰＡ（ｕｌｔｒａ
ｌｏｗ ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ ａｉｒ）フィルタ
ーと呼ばれる高性能エアフィルターが用いられていた。
ーンルーム５１内の微粒子数を低く維持する機能を有す
る最終（末端）フィルターには、従来、ＨＥＰＡ（ｈｉ
ｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ
ａｉｒ） フィルター、或いはＵＬＰＡ（ｕｌｔｒａ
ｌｏｗ ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ ａｉｒ）フィルタ
ーと呼ばれる高性能エアフィルターが用いられていた。
【０００７】図４はＨＥＰＡフィルターの要部を示す模
式側断面図である。この図のように従来の最終フィルタ
ーに用いられていたＨＥＰＡフィルター（ＵＬＰＡフィ
ルターも同様）は、アルミニウム枠１内に、ガラス繊維
を圧縮して作った厚さ ０．５〜１ｍｍ程度の紙状の微
粒子精密除去用濾材２が、濾過面積を増すために図示し
ないスペーサを介して波型に嵌め込まれ、周囲がアルミ
ニウム枠１に気密に接着された構造をなし、 ０．１〜
０．３ μｍ以上の微粒子をほぼ完全に除去する機能の
みを有していた。
式側断面図である。この図のように従来の最終フィルタ
ーに用いられていたＨＥＰＡフィルター（ＵＬＰＡフィ
ルターも同様）は、アルミニウム枠１内に、ガラス繊維
を圧縮して作った厚さ ０．５〜１ｍｍ程度の紙状の微
粒子精密除去用濾材２が、濾過面積を増すために図示し
ないスペーサを介して波型に嵌め込まれ、周囲がアルミ
ニウム枠１に気密に接着された構造をなし、 ０．１〜
０．３ μｍ以上の微粒子をほぼ完全に除去する機能の
みを有していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そのため従来のＨＥＰ
Ａフィルター或いはＵＬＰＡフィルターを最終（末端）
フィルターに用いたクリーンルームにおいては、外気に
混入するガス状（厳密にはミスト状）のイオン物質及び
クリーンルーム内におけるエッチング作業等で発生し還
気に混入したガス状のイオン物質のフィルターによる除
去が不可能なため、クリーンルーム内の空気が前記還気
回路等を介して循環することにより前記イオン物質が順
次濃縮され、クリーンルーム内で処理される半導体ウエ
ーハにイオン物質による汚染を生じ、半導体素子の製造
歩留りや信頼性を低下させるという問題を生ずる。また
クリーンルーム内の装置がイオン物質により腐蝕されて
微粒子を発生し、室内の微粒子濃度を高めるという問題
も生ずる。
Ａフィルター或いはＵＬＰＡフィルターを最終（末端）
フィルターに用いたクリーンルームにおいては、外気に
混入するガス状（厳密にはミスト状）のイオン物質及び
クリーンルーム内におけるエッチング作業等で発生し還
気に混入したガス状のイオン物質のフィルターによる除
去が不可能なため、クリーンルーム内の空気が前記還気
回路等を介して循環することにより前記イオン物質が順
次濃縮され、クリーンルーム内で処理される半導体ウエ
ーハにイオン物質による汚染を生じ、半導体素子の製造
歩留りや信頼性を低下させるという問題を生ずる。また
クリーンルーム内の装置がイオン物質により腐蝕されて
微粒子を発生し、室内の微粒子濃度を高めるという問題
も生ずる。
【０００９】そこで本発明は、クリーンルーム内へ供給
される大気中に含まれるガス状の陰イオン及び陽イオン
物質を、微粒子（パーティクル）と共に微粒子同様に精
密に除去することが可能な最終（端末）濾過用のエアフ
ィルターを提供し、クリーンルーム内の清浄度をより完
全なものにすることを目的とする。
される大気中に含まれるガス状の陰イオン及び陽イオン
物質を、微粒子（パーティクル）と共に微粒子同様に精
密に除去することが可能な最終（端末）濾過用のエアフ
ィルターを提供し、クリーンルーム内の清浄度をより完
全なものにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題は、大気を濾過
する濾材が、微粒子精密濾過用の第１の濾材（２） と
、イオン交換繊維にて構成されるものであって、該第１
の濾材の大気の流れ込む側に重ね合わされたイオン吸着
用の第２の濾材（４） とからなる本発明によるエアフ
ィルター、若しくは、大気を濾過する濾材が、微粒子精
密濾過用濾材を形成する繊維（５） にイオン交換繊維
（６） を混入し加圧成形したイオン交換繊維混入精密
濾過用濾材（７） からなる本発明によるエアフィルタ
ーによって解決される。
する濾材が、微粒子精密濾過用の第１の濾材（２） と
、イオン交換繊維にて構成されるものであって、該第１
の濾材の大気の流れ込む側に重ね合わされたイオン吸着
用の第２の濾材（４） とからなる本発明によるエアフ
ィルター、若しくは、大気を濾過する濾材が、微粒子精
密濾過用濾材を形成する繊維（５） にイオン交換繊維
（６） を混入し加圧成形したイオン交換繊維混入精密
濾過用濾材（７） からなる本発明によるエアフィルタ
ーによって解決される。
【００１１】
【作用】即ち本発明に係る第１の発明においては、ＨＥ
ＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルター等の微粒子精密濾
過用濾材の大気流入側に、イオン交換繊維をフィルター
に大きな圧損を生ぜしめない程度の目の粗い紙状に加圧
成形してなる第２の濾材を重ねて配置した構造を有する
。そして、大気は第２の濾材中を通過することによって
ガス状のイオン物質がイオン交換繊維に吸着除去され、
続いて第１の濾材中を通過することによって微粒子が濾
過除去されて超清浄な状態でクリーンルーム内へ供給さ
れる。
ＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルター等の微粒子精密濾
過用濾材の大気流入側に、イオン交換繊維をフィルター
に大きな圧損を生ぜしめない程度の目の粗い紙状に加圧
成形してなる第２の濾材を重ねて配置した構造を有する
。そして、大気は第２の濾材中を通過することによって
ガス状のイオン物質がイオン交換繊維に吸着除去され、
続いて第１の濾材中を通過することによって微粒子が濾
過除去されて超清浄な状態でクリーンルーム内へ供給さ
れる。
【００１２】また本発明に係る第２の発明においては、
ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルター等の濾材に用
いるガラス繊維にイオン交換繊維を精密濾過性能を損な
わない程度の比率で混入し、これを紙状に加圧成形した
ものを濾材として用いる。そして、この濾材全体により
微粒子の除去を行うと同時に、この濾材中に混入されて
いるイオン交換繊維によりガス状のイオン物質の吸着除
去を行って、クリーンルーム内に超清浄な大気を供給す
る。
ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルター等の濾材に用
いるガラス繊維にイオン交換繊維を精密濾過性能を損な
わない程度の比率で混入し、これを紙状に加圧成形した
ものを濾材として用いる。そして、この濾材全体により
微粒子の除去を行うと同時に、この濾材中に混入されて
いるイオン交換繊維によりガス状のイオン物質の吸着除
去を行って、クリーンルーム内に超清浄な大気を供給す
る。
【００１３】
【実施例】以下本発明を、図示実施例により具体的に説
明する。図１は本発明の第１の実施例の模式図で（ａ）
は平面図、（ｂ） はＡ−Ａ矢視断面図、図２は本発
明の第２の実施例の模式図で（ａ） は平面図、（ｂ）
はＡ−Ａ矢視断面図である。全図を通じ同一対象物は
同一符合で示す。
明する。図１は本発明の第１の実施例の模式図で（ａ）
は平面図、（ｂ） はＡ−Ａ矢視断面図、図２は本発
明の第２の実施例の模式図で（ａ） は平面図、（ｂ）
はＡ−Ａ矢視断面図である。全図を通じ同一対象物は
同一符合で示す。
【００１４】本発明に係る第１の発明のエアフィルター
は例えば図１の（ａ）及び（ｂ） に示すように、従来
同様のガラス繊維を加圧成形してなり、厚さ ０．５〜
１ｍｍの紙状を有し、ＨＥＰＡフィルター或いはＵＬＰ
Ａフィルターに用いる微粒子精密濾過用の第１の濾材２
が、従来同様にアルミニウム枠１内に、図示しないスペ
ーサを介し、且つ周囲が前記アルミニウム枠１に気密に
接着された状態で波型に組み込まれて固定され、且つフ
ィルターの矢印３で示す大気流通方向の上流側の前記第
１の濾材２上にその表面に沿って、例えば太さ数１０μ
ｍ程度の陰イオン交換繊維と陽イオン交換繊維とを例え
ば６：４の割合で混合し１ｍｍ程度の厚さの圧損を余り
高めない程度に目の粗い紙状に成形したイオン交換用の
第２の濾材４を重ねて載置し、その周囲をアルミニウム
枠１に接着固定した構造を有する。
は例えば図１の（ａ）及び（ｂ） に示すように、従来
同様のガラス繊維を加圧成形してなり、厚さ ０．５〜
１ｍｍの紙状を有し、ＨＥＰＡフィルター或いはＵＬＰ
Ａフィルターに用いる微粒子精密濾過用の第１の濾材２
が、従来同様にアルミニウム枠１内に、図示しないスペ
ーサを介し、且つ周囲が前記アルミニウム枠１に気密に
接着された状態で波型に組み込まれて固定され、且つフ
ィルターの矢印３で示す大気流通方向の上流側の前記第
１の濾材２上にその表面に沿って、例えば太さ数１０μ
ｍ程度の陰イオン交換繊維と陽イオン交換繊維とを例え
ば６：４の割合で混合し１ｍｍ程度の厚さの圧損を余り
高めない程度に目の粗い紙状に成形したイオン交換用の
第２の濾材４を重ねて載置し、その周囲をアルミニウム
枠１に接着固定した構造を有する。
【００１５】上記第１の実施例の構造を有するエアフィ
ルターにおいては、第２の濾材４中を通過する際に大気
中に含まれるガス状厳密にはミスト状のイオン物質は第
２の濾材を構成するイオン交換繊維に吸着除去された後
，従来のＨＥＰＡ、ＵＬＰＡと同様の第１の濾材２によ
り ０．１〜０．３ μｍ以上の微粒子が濾過除去され
る。従ってこのエアフィルターを最終フィルターに用い
ることにより、クリーンルーム内をイオン物質及び微粒
子の存在量の極めて少ない超清浄空間にすることができ
る。
ルターにおいては、第２の濾材４中を通過する際に大気
中に含まれるガス状厳密にはミスト状のイオン物質は第
２の濾材を構成するイオン交換繊維に吸着除去された後
，従来のＨＥＰＡ、ＵＬＰＡと同様の第１の濾材２によ
り ０．１〜０．３ μｍ以上の微粒子が濾過除去され
る。従ってこのエアフィルターを最終フィルターに用い
ることにより、クリーンルーム内をイオン物質及び微粒
子の存在量の極めて少ない超清浄空間にすることができ
る。
【００１６】また本発明に係る第２の発明のエアフィル
ターは例えば図２の（ａ） 及び（ｂ） に示すように
、ＨＥＰＡフィルター或いはＵＬＰＡフィルターの濾材
を形成する際に用いる太さ数μｍ乃至数１０μｍのガラ
ス繊維５に、陰イオン交換繊維及び陽イオン交換繊維か
らなり前記ガラス繊維と同様の太さに形成したイオン交
換繊維６を例えば２０％程度混入し、所定の微粒子精密
濾過能力を有する程度の密度に圧縮整形したイオン交換
繊維混入精密濾材７を従来同様アルミニウム枠１内に、
図示しないスペーサを介し、且つ周囲が前記アルミニウ
ム枠１に気密に接着された状態で波型に組み込み固定し
た構造を有する。
ターは例えば図２の（ａ） 及び（ｂ） に示すように
、ＨＥＰＡフィルター或いはＵＬＰＡフィルターの濾材
を形成する際に用いる太さ数μｍ乃至数１０μｍのガラ
ス繊維５に、陰イオン交換繊維及び陽イオン交換繊維か
らなり前記ガラス繊維と同様の太さに形成したイオン交
換繊維６を例えば２０％程度混入し、所定の微粒子精密
濾過能力を有する程度の密度に圧縮整形したイオン交換
繊維混入精密濾材７を従来同様アルミニウム枠１内に、
図示しないスペーサを介し、且つ周囲が前記アルミニウ
ム枠１に気密に接着された状態で波型に組み込み固定し
た構造を有する。
【００１７】この第２の実施例の構造を有するエアフィ
ルターにおいては、イオン交換繊維混入精密濾材７の濾
材全体によって大気中の ０．１〜０．３ μｍ以上の
微粒子が濾過除去されると同時に、この大気が濾材７中
を通過する際に、大気中に含まれるミスト状のイオン物
質が濾材７中に含まれるイオン交換繊維６に吸着除去さ
れるので、このエアフィルターを最終フィルターに用い
ることにより、前記実施例同様クリーンルーム内を超清
浄空間にすることが可能になる。
ルターにおいては、イオン交換繊維混入精密濾材７の濾
材全体によって大気中の ０．１〜０．３ μｍ以上の
微粒子が濾過除去されると同時に、この大気が濾材７中
を通過する際に、大気中に含まれるミスト状のイオン物
質が濾材７中に含まれるイオン交換繊維６に吸着除去さ
れるので、このエアフィルターを最終フィルターに用い
ることにより、前記実施例同様クリーンルーム内を超清
浄空間にすることが可能になる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によるエアフ
ィルターによれば、大気中に含まれる０．１〜０．３
μｍ以上の微粒子のみならず、従来除去が不可能であっ
たミスト状のイオン物質の除去をも同時に行うことがで
きる。
ィルターによれば、大気中に含まれる０．１〜０．３
μｍ以上の微粒子のみならず、従来除去が不可能であっ
たミスト状のイオン物質の除去をも同時に行うことがで
きる。
【００１９】従って、本発明に係るエアフィルターをク
リーンルームの最終（端末）フィルターに用いることに
よりクリーンルーム内で製造する微細な半導体素子を微
粒子及びイオン物質による汚染から回避せしめることが
できるので、本発明はＬＳＩ等の製造歩留りや信頼性の
向上に寄与するところが大きい。
リーンルームの最終（端末）フィルターに用いることに
よりクリーンルーム内で製造する微細な半導体素子を微
粒子及びイオン物質による汚染から回避せしめることが
できるので、本発明はＬＳＩ等の製造歩留りや信頼性の
向上に寄与するところが大きい。
【図１】本発明の第１の実施例の模式図で（ａ） は平
面図、（ｂ） はＡ−Ａ矢視断面図
面図、（ｂ） はＡ−Ａ矢視断面図
【図２】本発明の第２の実施例の模式図で（ａ） は平
面図、（ｂ） はＡ−Ａ矢視断面図
面図、（ｂ） はＡ−Ａ矢視断面図
【図３】層流方式クリーンルームの換気フローの一例を
示す図
示す図
【図４】ＨＥＰＡフィルターの要部を示す模式断面図
１ アルミニウム枠
２ 微粒子精密濾過用の第１の濾材
３ 大気流通方向
４ イオン交換用の第２の濾材
５ ガラス繊維
６ イオン交換繊維
７ イオン交換繊維混入精密濾材
Claims (2)
- 【請求項１】 大気を濾過する濾材が、微粒子精密濾
過用の第１の濾材（２）と、イオン交換繊維にて構成さ
れるものであって、該第１の濾材の大気の流れ込む側に
重ね合わされたイオン吸着用の第２の濾材（４） とか
らなることを特徴とするエアフィルター。 - 【請求項２】 大気を濾過する濾材が、微粒子精密濾
過用濾材を形成する繊維（５） にイオン交換繊維（６
） を混入し加圧成形したイオン交換繊維混入精密濾過
用濾材（７） からなることを特徴とするエアフィルタ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176691A JPH04247207A (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | エアフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176691A JPH04247207A (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | エアフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04247207A true JPH04247207A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=11787102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1176691A Withdrawn JPH04247207A (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | エアフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04247207A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06198123A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-07-19 | Toshiba Eng & Constr Co Ltd | 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ |
| EP0596441A3 (en) * | 1992-11-02 | 1994-09-07 | Ebara Corp | Purification of very slightly contaminated air within a clean room |
| KR100350000B1 (ko) * | 1993-11-30 | 2002-11-05 | 가부시키가이샤 퓨아렉스 | 다기능공기필터와이곳내에합체되는공기필터를가진공기순환청소유닛 |
| JP2010167416A (ja) * | 1998-08-27 | 2010-08-05 | Kx Technologies Llc | 複合濾過媒体を含む流体フィルター |
| KR20160141910A (ko) * | 2015-06-01 | 2016-12-12 | 주식회사 아모그린텍 | 기체필터 |
-
1991
- 1991-02-01 JP JP1176691A patent/JPH04247207A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0596441A3 (en) * | 1992-11-02 | 1994-09-07 | Ebara Corp | Purification of very slightly contaminated air within a clean room |
| US6228135B1 (en) * | 1992-11-02 | 2001-05-08 | Ebara Corporation | Purification of very slightly contaminated air within a clean room |
| JPH06198123A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-07-19 | Toshiba Eng & Constr Co Ltd | 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ |
| KR100350000B1 (ko) * | 1993-11-30 | 2002-11-05 | 가부시키가이샤 퓨아렉스 | 다기능공기필터와이곳내에합체되는공기필터를가진공기순환청소유닛 |
| JP2010167416A (ja) * | 1998-08-27 | 2010-08-05 | Kx Technologies Llc | 複合濾過媒体を含む流体フィルター |
| KR20160141910A (ko) * | 2015-06-01 | 2016-12-12 | 주식회사 아모그린텍 | 기체필터 |
| KR101878355B1 (ko) * | 2015-06-01 | 2018-07-16 | 주식회사 아모그린텍 | 기체필터 |
| US10751662B2 (en) | 2015-06-01 | 2020-08-25 | Amogreentech Co., Ltd. | Gas filter |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |