JPH06198123A - 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ - Google Patents
気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタInfo
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- JPH06198123A JPH06198123A JP5273353A JP27335393A JPH06198123A JP H06198123 A JPH06198123 A JP H06198123A JP 5273353 A JP5273353 A JP 5273353A JP 27335393 A JP27335393 A JP 27335393A JP H06198123 A JPH06198123 A JP H06198123A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】気体中の気体汚染物質、ミストに溶解する汚染
物質、固体微粒子を除去し、高清浄度の閉空間を形成す
る。 【構成】気体を、陽イオンおよび陰イオン交換繊維、な
らびにアルカリを添着した活性炭繊維を組合わせたフィ
ルタを通過せしめ、さらにＨＥＰＡフィルタを通過させ
る。酸性ガスや有機気体などの気体汚染物質は主に活性
炭層で、ミスト中に含まれる酸性物質、アルカリ性物
質、あるいは活性炭層で生成した中性塩などは主にイオ
ン交換繊維層において、固体微粒子はＨＥＰＡフィルタ
により除去される。化学汚染防止に効果があり、たとえ
ばクラス１００よりもクリーン度が高いクリーンルーム
の浄化循環路や補充気体の導入路に利用すると効果的で
ある。
物質、固体微粒子を除去し、高清浄度の閉空間を形成す
る。 【構成】気体を、陽イオンおよび陰イオン交換繊維、な
らびにアルカリを添着した活性炭繊維を組合わせたフィ
ルタを通過せしめ、さらにＨＥＰＡフィルタを通過させ
る。酸性ガスや有機気体などの気体汚染物質は主に活性
炭層で、ミスト中に含まれる酸性物質、アルカリ性物
質、あるいは活性炭層で生成した中性塩などは主にイオ
ン交換繊維層において、固体微粒子はＨＥＰＡフィルタ
により除去される。化学汚染防止に効果があり、たとえ
ばクラス１００よりもクリーン度が高いクリーンルーム
の浄化循環路や補充気体の導入路に利用すると効果的で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム、クリ
ーンブース、クリーンベンチなどの清浄閉空間における
汚染防止方法、すなわち、固形微粒子；酸性物質、アル
カリ性物質や塩類などを含む微粒子ミスト；ＮＯx 、Ｓ
Ｏx 、揮発性有機物などの気体を含む汚染物質を除去す
る、気体の清浄化方法および閉空間の清浄度を維持する
方法、ならびに、そのための気体ろ過用フィルタおよび
清浄閉空間に関する。
ーンブース、クリーンベンチなどの清浄閉空間における
汚染防止方法、すなわち、固形微粒子；酸性物質、アル
カリ性物質や塩類などを含む微粒子ミスト；ＮＯx 、Ｓ
Ｏx 、揮発性有機物などの気体を含む汚染物質を除去す
る、気体の清浄化方法および閉空間の清浄度を維持する
方法、ならびに、そのための気体ろ過用フィルタおよび
清浄閉空間に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、機械工業分野、電子工業分野、バ
イオケミカル分野、なかんずく半導体製造分野では、汚
染物質を極度に嫌う高度技術が大幅に発達した。これら
の高度技術は、極めて清浄な雰囲気の閉空間内で実施し
なければならないので、気体の清浄化方法、閉空間の清
浄度を維持する方法や、気体ろ過用フィルタの性能向
上、高度の清浄閉空間の形成が大きな課題になってい
る。この種の清浄閉空間は、通常、循環浄化経路を設け
て、内部の気体の一部を導出して汚染物質を除去し、も
との閉空間に戻して清浄度を維持している。清浄閉空間
の清浄度を高める必要性が生じると、閉空間の気体の循
環浄化回数を増やしたり、粒径が０．３μｍの粒子に対
し９９．９７％以上の捕集率を有する超高性能フィルタ
（ＨＥＰＡフィルタ）の開発を進め、光学顕微鏡で見え
る範囲の塵埃粒子、菌に対する捕集性能を大幅に向上さ
せたりして、対応していた。
イオケミカル分野、なかんずく半導体製造分野では、汚
染物質を極度に嫌う高度技術が大幅に発達した。これら
の高度技術は、極めて清浄な雰囲気の閉空間内で実施し
なければならないので、気体の清浄化方法、閉空間の清
浄度を維持する方法や、気体ろ過用フィルタの性能向
上、高度の清浄閉空間の形成が大きな課題になってい
る。この種の清浄閉空間は、通常、循環浄化経路を設け
て、内部の気体の一部を導出して汚染物質を除去し、も
との閉空間に戻して清浄度を維持している。清浄閉空間
の清浄度を高める必要性が生じると、閉空間の気体の循
環浄化回数を増やしたり、粒径が０．３μｍの粒子に対
し９９．９７％以上の捕集率を有する超高性能フィルタ
（ＨＥＰＡフィルタ）の開発を進め、光学顕微鏡で見え
る範囲の塵埃粒子、菌に対する捕集性能を大幅に向上さ
せたりして、対応していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ＨＥＰＡフィ
ルタなどを使用する従来の汚染物質の除去方法は、主に
気体中の固体微粒子の分離に主眼がおかれていたので、
液体の微粒子であるミストや、ＮＯx 、ＳＯx 、揮発性
有機物などの液体、気体の化学的汚染物質の除去にはあ
まり有効ではなかった。ところが、たとえば、電子工業
分野で使用するクリーンルームやクリーンブース内で
は、酸やアルカリを使用する装置を取扱う場合が少なく
なく、酸性物質、アルカリ性物質、塩類などを溶解する
ミストや、汚染気体が発生しやすい。この場合、清浄閉
空間の清浄度を維持する目的で、循環浄化経路にＨＥＰ
Ａフィルタを挿入しても、液体および気体の汚染物質に
対する除去効果は少ないので、そのままでは清浄度を維
持できない。固体微粒子は極限まで清浄度が到達して
も、前記の化学的汚染物質は逆に濃縮傾向を示すのであ
る。また、フッ酸などを取扱う洗浄装置のある場合、ド
ラフトからリークするフッ酸などがクリーンルーム内な
どの循環気体に含まれ、ＨＥＰＡフィルタを構成するガ
ラス繊維などを腐食し、本来存在しない筈のイオンが検
出されたりしていた。この様な汚染に対しては、コスト
高にはなるが、常時、多量の新しい清浄化した気体を外
部から取入れ、清浄閉空間内の気体と交換する必要があ
った。
ルタなどを使用する従来の汚染物質の除去方法は、主に
気体中の固体微粒子の分離に主眼がおかれていたので、
液体の微粒子であるミストや、ＮＯx 、ＳＯx 、揮発性
有機物などの液体、気体の化学的汚染物質の除去にはあ
まり有効ではなかった。ところが、たとえば、電子工業
分野で使用するクリーンルームやクリーンブース内で
は、酸やアルカリを使用する装置を取扱う場合が少なく
なく、酸性物質、アルカリ性物質、塩類などを溶解する
ミストや、汚染気体が発生しやすい。この場合、清浄閉
空間の清浄度を維持する目的で、循環浄化経路にＨＥＰ
Ａフィルタを挿入しても、液体および気体の汚染物質に
対する除去効果は少ないので、そのままでは清浄度を維
持できない。固体微粒子は極限まで清浄度が到達して
も、前記の化学的汚染物質は逆に濃縮傾向を示すのであ
る。また、フッ酸などを取扱う洗浄装置のある場合、ド
ラフトからリークするフッ酸などがクリーンルーム内な
どの循環気体に含まれ、ＨＥＰＡフィルタを構成するガ
ラス繊維などを腐食し、本来存在しない筈のイオンが検
出されたりしていた。この様な汚染に対しては、コスト
高にはなるが、常時、多量の新しい清浄化した気体を外
部から取入れ、清浄閉空間内の気体と交換する必要があ
った。
【０００４】さて、特公昭６０−１８３０２２号公報に
は、気体中の変異原物質を捕集するための陽イオン交換
繊維からなるフィルタが記載されているが、そのフィル
タは、クリーンルームなどでその除去を求められている
酸性物質や、中性塩などを捕集することができない。一
方、最近、酸やアルカリ塩を含むミスト、酸性気体など
の化学的汚染物質を雰囲気気体から分離するために、中
和反応剤を活性炭に添着担持させた、活性炭フィルタが
提案されている。しかし、活性炭フィルタは、反応の結
果、活性炭面に生成した中和塩類などが気体中に脱離飛
散することがあり、逆に清浄雰囲気を汚染するおそれが
あって、そのままでは簡単に採用することができないと
いう問題があった。
は、気体中の変異原物質を捕集するための陽イオン交換
繊維からなるフィルタが記載されているが、そのフィル
タは、クリーンルームなどでその除去を求められている
酸性物質や、中性塩などを捕集することができない。一
方、最近、酸やアルカリ塩を含むミスト、酸性気体など
の化学的汚染物質を雰囲気気体から分離するために、中
和反応剤を活性炭に添着担持させた、活性炭フィルタが
提案されている。しかし、活性炭フィルタは、反応の結
果、活性炭面に生成した中和塩類などが気体中に脱離飛
散することがあり、逆に清浄雰囲気を汚染するおそれが
あって、そのままでは簡単に採用することができないと
いう問題があった。
【０００５】本発明は、前述した未解決の課題の解決手
段、すなわち、気体中の固体微粒子、ミストに含まれる
酸性物質、アルカリ性物質や塩類、および、酸性気体、
揮発性有機物などの汚染物質を除去し、清浄な気体を製
造し、または清浄閉空間の清浄度を維持するための、気
体の清浄化方法、気体ろ過用フィルタ、および清浄閉空
間の提供を目的に開発されたものである。
段、すなわち、気体中の固体微粒子、ミストに含まれる
酸性物質、アルカリ性物質や塩類、および、酸性気体、
揮発性有機物などの汚染物質を除去し、清浄な気体を製
造し、または清浄閉空間の清浄度を維持するための、気
体の清浄化方法、気体ろ過用フィルタ、および清浄閉空
間の提供を目的に開発されたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、まず、本発明は、本発明第１の気体の清浄化方法
として、気体を、イオン交換繊維層からなるフィルタを
通過させて気体中に含まれる汚染物質を除去することを
特徴とする、気体の清浄化方法、本発明第２の気体の清
浄化方法として、気体を、活性炭層とイオン交換繊維層
とを組合わせたフィルタを通過させて気体中に含まれる
汚染物質を除去することを特徴とする、気体の清浄化方
法、および、本発明第３の気体の清浄化方法として、前
記の各清浄化方法を用いて清浄化した気体を、さらに、
超高性能フィルタを通過させて気体中に含まれる汚染物
質を除去することを特徴とする、気体の清浄化方法を提
供する。
めに、まず、本発明は、本発明第１の気体の清浄化方法
として、気体を、イオン交換繊維層からなるフィルタを
通過させて気体中に含まれる汚染物質を除去することを
特徴とする、気体の清浄化方法、本発明第２の気体の清
浄化方法として、気体を、活性炭層とイオン交換繊維層
とを組合わせたフィルタを通過させて気体中に含まれる
汚染物質を除去することを特徴とする、気体の清浄化方
法、および、本発明第３の気体の清浄化方法として、前
記の各清浄化方法を用いて清浄化した気体を、さらに、
超高性能フィルタを通過させて気体中に含まれる汚染物
質を除去することを特徴とする、気体の清浄化方法を提
供する。
【０００７】ここに、本発明の気体の清浄化方法におい
ては、活性炭層に、アルカリ化合物を担持せしめた活性
炭を用いることが望ましく、また、前記の気体の清浄化
方法においては、いずれも、イオン交換繊維層に、−Ｓ
Ｏ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基を交換基とするＨ
型の陽イオン交換繊維と、第１〜３級アミン基または第
４級アンモニウム基を交換基とするＯＨ型の陰イオン交
換繊維とを組合わせて用いることが望ましい。そして、
閉空間から気体の一部を導出し、目的に応じ、前記の気
体の清浄化方法の内の適当な方法を使用して導出した気
体に含まれる汚染物質を除去し、清浄化した気体をもと
の閉空間に戻すことによって、閉空間の清浄度を維持す
ることができる。
ては、活性炭層に、アルカリ化合物を担持せしめた活性
炭を用いることが望ましく、また、前記の気体の清浄化
方法においては、いずれも、イオン交換繊維層に、−Ｓ
Ｏ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基を交換基とするＨ
型の陽イオン交換繊維と、第１〜３級アミン基または第
４級アンモニウム基を交換基とするＯＨ型の陰イオン交
換繊維とを組合わせて用いることが望ましい。そして、
閉空間から気体の一部を導出し、目的に応じ、前記の気
体の清浄化方法の内の適当な方法を使用して導出した気
体に含まれる汚染物質を除去し、清浄化した気体をもと
の閉空間に戻すことによって、閉空間の清浄度を維持す
ることができる。
【０００８】また、本発明第４の気体ろ過用フィルタと
して、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基を交換
基とするＨ型の陽イオン交換繊維と、第１〜３級アミン
基または第４級アンモニウム基を交換基とするＯＨ型の
陰イオン交換繊維とからなるイオン交換繊維層から構成
されていることを特徴とする気体ろ過用フィルタ、本発
明第５の気体ろ過用フィルタとして、活性炭層とイオン
交換繊維層とが直列に組合わされて構成されていること
を特徴とする、気体ろ過用フィルタ、および本発明第６
の気体ろ過用フィルタとして、前記の各気体ろ過用フィ
ルタにおいて、さらに、超高性能フィルタが直列に組合
わされて構成されていることを特徴とする、気体ろ過用
フィルタを提供する。そして、内部気体に含まれる汚染
物質を除去するため、気体の循環浄化経路を有する清浄
閉空間において、該循環浄化経路中に、前記の各気体ろ
過用フィルタのいずれかが取付けられていることを特徴
とする清浄閉空間を提供する。
して、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基を交換
基とするＨ型の陽イオン交換繊維と、第１〜３級アミン
基または第４級アンモニウム基を交換基とするＯＨ型の
陰イオン交換繊維とからなるイオン交換繊維層から構成
されていることを特徴とする気体ろ過用フィルタ、本発
明第５の気体ろ過用フィルタとして、活性炭層とイオン
交換繊維層とが直列に組合わされて構成されていること
を特徴とする、気体ろ過用フィルタ、および本発明第６
の気体ろ過用フィルタとして、前記の各気体ろ過用フィ
ルタにおいて、さらに、超高性能フィルタが直列に組合
わされて構成されていることを特徴とする、気体ろ過用
フィルタを提供する。そして、内部気体に含まれる汚染
物質を除去するため、気体の循環浄化経路を有する清浄
閉空間において、該循環浄化経路中に、前記の各気体ろ
過用フィルタのいずれかが取付けられていることを特徴
とする清浄閉空間を提供する。
【０００９】すなわち、本発明は、イオン交換繊維層か
ら構成される本発明第４の気体ろ過用フィルタ、イオン
交換繊維層、活性炭層を組合わせた本発明第５の気体ろ
過用フィルタ、または、これらの気体ろ過用フィルタ
に、さらに、超高性能フィルタを直列に配置した気体ろ
過用フィルタ、ならびに前記のいずれかの気体ろ過用フ
ィルタを利用して気体の清浄化を図り、清浄化された閉
空間を形成するものである。本発明で、気体は、空気、
窒素などの清浄閉空間の雰囲気形成気体をいい、気体に
含まれる汚染物質は、除去の目的物である固体微粒子、
酸性物質やアルカリ性物質を溶存する微粒ミスト、およ
び、ＮＯx 、ＳＯx 、揮発性有機物などの汚染気体をい
う。
ら構成される本発明第４の気体ろ過用フィルタ、イオン
交換繊維層、活性炭層を組合わせた本発明第５の気体ろ
過用フィルタ、または、これらの気体ろ過用フィルタ
に、さらに、超高性能フィルタを直列に配置した気体ろ
過用フィルタ、ならびに前記のいずれかの気体ろ過用フ
ィルタを利用して気体の清浄化を図り、清浄化された閉
空間を形成するものである。本発明で、気体は、空気、
窒素などの清浄閉空間の雰囲気形成気体をいい、気体に
含まれる汚染物質は、除去の目的物である固体微粒子、
酸性物質やアルカリ性物質を溶存する微粒ミスト、およ
び、ＮＯx 、ＳＯx 、揮発性有機物などの汚染気体をい
う。
【００１０】
【実施態様例と作用】本発明について、まず、本発明第
１の気体の清浄化方法、および本発明第４の気体ろ過用
フィルタを中心に説明する。第１の気体の清浄化方法
は、気体を、イオン交換繊維、好ましくは、複数種類の
イオン交換繊維からなる層、すなわちフィルタを通過さ
せて、気体中に含まれる汚染物質、主にミストに含まれ
る酸性物質、アルカリ性物質や塩類などを捕集除去する
ものである。すなわち、本発明は、汚染物質の化学的に
捕集し、化学的汚染物質を溶存するミストが含まれる場
合に有用である。
１の気体の清浄化方法、および本発明第４の気体ろ過用
フィルタを中心に説明する。第１の気体の清浄化方法
は、気体を、イオン交換繊維、好ましくは、複数種類の
イオン交換繊維からなる層、すなわちフィルタを通過さ
せて、気体中に含まれる汚染物質、主にミストに含まれ
る酸性物質、アルカリ性物質や塩類などを捕集除去する
ものである。すなわち、本発明は、汚染物質の化学的に
捕集し、化学的汚染物質を溶存するミストが含まれる場
合に有用である。
【００１１】本発明の前記のいずれの清浄化方法または
気体ろ過用フィルタにおいても、イオン交換繊維層を構
成するイオン交換繊維には、強酸性陽イオン交換繊維、
弱酸性陽イオン交換繊維、Ｉ型およびII型の強塩基性陰
イオン交換繊維または弱塩基性陰イオン交換繊維などを
使用できる。ミスト中の捕集すべき目的物質を特定でき
る場合には、その捕集物質の種類、ろ過気体量などの使
用条件によって、用いるイオン交換繊維の種類、厚さ、
かさ密度を選定し、単一の、または複数種のイオン交換
繊維を組合わせて使用する。通常のアルカリ性ミストや
酸性ミストに対しては、たとえば、交換基として−ＳＯ
3 Ｈを有する陽イオン交換繊維および／または−ＣＯＯ
Ｈを有するＨ型の陽イオン交換繊維、あるいは第１〜３
級アミン基または第４級アンモニウム基を交換基とする
ＯＨ型の陰イオン交換繊維を、除去する目的物質に応じ
て単独で使用することもできる。しかし、一般的には、
除去する目的物質が単純ではないので、陽イオン交換繊
維と陰イオン交換繊維とを組合わせて使用する。その場
合、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基を交換基
とするＨ型の強酸性または弱酸性陽イオン交換繊維と、
第１〜３級アミン基または第４級アンモニウム基を交換
基とするＯＨ型の陰イオン交換繊維とを組合わせたもの
が、広範囲の汚染物質を除去できるので、好適である。
気体ろ過用フィルタにおいても、イオン交換繊維層を構
成するイオン交換繊維には、強酸性陽イオン交換繊維、
弱酸性陽イオン交換繊維、Ｉ型およびII型の強塩基性陰
イオン交換繊維または弱塩基性陰イオン交換繊維などを
使用できる。ミスト中の捕集すべき目的物質を特定でき
る場合には、その捕集物質の種類、ろ過気体量などの使
用条件によって、用いるイオン交換繊維の種類、厚さ、
かさ密度を選定し、単一の、または複数種のイオン交換
繊維を組合わせて使用する。通常のアルカリ性ミストや
酸性ミストに対しては、たとえば、交換基として−ＳＯ
3 Ｈを有する陽イオン交換繊維および／または−ＣＯＯ
Ｈを有するＨ型の陽イオン交換繊維、あるいは第１〜３
級アミン基または第４級アンモニウム基を交換基とする
ＯＨ型の陰イオン交換繊維を、除去する目的物質に応じ
て単独で使用することもできる。しかし、一般的には、
除去する目的物質が単純ではないので、陽イオン交換繊
維と陰イオン交換繊維とを組合わせて使用する。その場
合、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基を交換基
とするＨ型の強酸性または弱酸性陽イオン交換繊維と、
第１〜３級アミン基または第４級アンモニウム基を交換
基とするＯＨ型の陰イオン交換繊維とを組合わせたもの
が、広範囲の汚染物質を除去できるので、好適である。
【００１２】使用するイオン交換繊維は、長繊維でも短
繊維、あるいは複合繊維でもよく、形状もトウ、フェル
ト、不繊布、織物、編物あいはこれらの成型品でもよ
い。また、繊維状イオン交換体以外の担体となる繊維な
どに交絡させ、または接着したものでもよく、適当な支
持体を使用することもできる。複数のイオン交換繊維を
使用する場合には、それぞれを別個にフィルタ層に形成
して直列に配置しても、複数のイオン交換繊維を所要
量、たとえば陽イオン交換繊維と陰イオン交換繊維とを
それぞれ等交換容量づつ、均一に混合して１つの混合型
フィルタ層に形成してもよい。
繊維、あるいは複合繊維でもよく、形状もトウ、フェル
ト、不繊布、織物、編物あいはこれらの成型品でもよ
い。また、繊維状イオン交換体以外の担体となる繊維な
どに交絡させ、または接着したものでもよく、適当な支
持体を使用することもできる。複数のイオン交換繊維を
使用する場合には、それぞれを別個にフィルタ層に形成
して直列に配置しても、複数のイオン交換繊維を所要
量、たとえば陽イオン交換繊維と陰イオン交換繊維とを
それぞれ等交換容量づつ、均一に混合して１つの混合型
フィルタ層に形成してもよい。
【００１３】次に、本発明第２の気体の清浄化方法、お
よび本発明第５の気体ろ過用フィルタについて説明す
る。第２の気体清浄化方法では、第１の気体清浄化方法
に、さらに活性炭層を組合わせて気体を通過させること
により、本発明第１の気体清浄化方法を用いて除去でき
る物質に加えて、ＮＯx 、ＳＯx 、揮発性有機物など
の、主に気体汚染物質を除去することができる。気体が
空気など、酸素を含む場合には、活性炭に吸着されたＮ
Ｏx 、ＳＯx などは、活性炭を触媒としてＮＯ3 ，ＳＯ
4 などに酸化される。活性炭に吸着したＮＯx 、ＳＯx
などを効率的に酸化させ、生成した酸化物を中和し、吸
着量を増大するには、アルカリ性に保たれた活性炭が効
果的である。具体的には、苛性カリ等のアルカリ性物質
を添着担持させた活性炭を用いるとよい。アルカリ性物
質の添着量は、活性炭の種類、使用条件によって決める
が、０．１〜２．０ｍｇ／ｃｍ2 程度を目途にするとよ
い。アルカリ性物質を担持させた活性炭は、気体中の汚
染物質の種類に応じ単独で、または無担持の活性炭と混
合し、あるいはそれぞれを別々に充填して使用すること
ができる。使用する活性炭の形状に制限はなく、粒状、
繊維状などにして使用することができるが、なかでも繊
維状活性炭が好ましく用いられる。
よび本発明第５の気体ろ過用フィルタについて説明す
る。第２の気体清浄化方法では、第１の気体清浄化方法
に、さらに活性炭層を組合わせて気体を通過させること
により、本発明第１の気体清浄化方法を用いて除去でき
る物質に加えて、ＮＯx 、ＳＯx 、揮発性有機物など
の、主に気体汚染物質を除去することができる。気体が
空気など、酸素を含む場合には、活性炭に吸着されたＮ
Ｏx 、ＳＯx などは、活性炭を触媒としてＮＯ3 ，ＳＯ
4 などに酸化される。活性炭に吸着したＮＯx 、ＳＯx
などを効率的に酸化させ、生成した酸化物を中和し、吸
着量を増大するには、アルカリ性に保たれた活性炭が効
果的である。具体的には、苛性カリ等のアルカリ性物質
を添着担持させた活性炭を用いるとよい。アルカリ性物
質の添着量は、活性炭の種類、使用条件によって決める
が、０．１〜２．０ｍｇ／ｃｍ2 程度を目途にするとよ
い。アルカリ性物質を担持させた活性炭は、気体中の汚
染物質の種類に応じ単独で、または無担持の活性炭と混
合し、あるいはそれぞれを別々に充填して使用すること
ができる。使用する活性炭の形状に制限はなく、粒状、
繊維状などにして使用することができるが、なかでも繊
維状活性炭が好ましく用いられる。
【００１４】さらに、活性炭は、揮発性有機物を吸着除
去する作用も有する。揮発性有機物を吸着させるには、
比表面積が１５００ｍ2 ／ｇ以下、望ましくは１０００
ｍ2／ｇ以下の活性炭を使用するとよい。
去する作用も有する。揮発性有機物を吸着させるには、
比表面積が１５００ｍ2 ／ｇ以下、望ましくは１０００
ｍ2／ｇ以下の活性炭を使用するとよい。
【００１５】活性炭層を通過した気体中には、もともと
気体中に存在したミストのほかにも活性炭層で酸化さ
れ、中和されて生成した汚染物質が含まれ、Ｃａ，Ｎ
ａ，Ｋ，Ｆｅ，Ａｌ，ＮＨ4 などの陽イオン、Ｆ，Ｃ
ｌ，ＳＯ4 などの陰イオン、その他のイオン性物質がミ
スト状に浮游しているものと考えられる。このミスト状
物質は、イオン交換繊維、すなわち−ＳＯ3 Ｈ基、−Ｃ
ＯＯＨ基をもつ陽イオン交換繊維、及び第１〜第３級ア
ミン、第４級アンモニウム塩などの陰イオン交換繊維か
ら構成されるイオン交換繊維層（イオン交換繊維フィル
タ）を通過させることによって、除去することができ
る。
気体中に存在したミストのほかにも活性炭層で酸化さ
れ、中和されて生成した汚染物質が含まれ、Ｃａ，Ｎ
ａ，Ｋ，Ｆｅ，Ａｌ，ＮＨ4 などの陽イオン、Ｆ，Ｃ
ｌ，ＳＯ4 などの陰イオン、その他のイオン性物質がミ
スト状に浮游しているものと考えられる。このミスト状
物質は、イオン交換繊維、すなわち−ＳＯ3 Ｈ基、−Ｃ
ＯＯＨ基をもつ陽イオン交換繊維、及び第１〜第３級ア
ミン、第４級アンモニウム塩などの陰イオン交換繊維か
ら構成されるイオン交換繊維層（イオン交換繊維フィル
タ）を通過させることによって、除去することができ
る。
【００１６】活性炭層を、本発明第４の気体ろ過用フィ
ルタと組合わせて本発明第５の気体ろ過用フィルタを構
成するには、フィルタの上流側から活性炭層、イオン交
換繊維層フィルタ、または前段のイオン交換繊維層、活
性炭層、後段のイオン交換繊維層の順に配列するのが好
ましい。前者の配列は、処理気体中に汚染物質を含むミ
ストが少なく、ＮＯ3 ，ＳＯ4 や揮発性有機物の気体汚
染物質の量が多い場合に好ましい。後者は、ミストおよ
び気体汚染物質の両方を含む場合に好ましく用いられ、
まず、前段のイオン交換繊維層でミスト中の汚染物質を
除去した後、活性炭層で気体汚染物質を除去し、さらに
後段のイオン交換繊維層で活性炭層から離脱、飛散する
中性塩などを捕集する。活性炭層、イオン交換繊維層
は、一部または全体を一体に構成し、またはそれぞれを
独立して構成し、あるいはこれらの各層の中間に調湿や
加熱ゾーンを設けたり、補充気体の導入配管を接続する
こともできる。
ルタと組合わせて本発明第５の気体ろ過用フィルタを構
成するには、フィルタの上流側から活性炭層、イオン交
換繊維層フィルタ、または前段のイオン交換繊維層、活
性炭層、後段のイオン交換繊維層の順に配列するのが好
ましい。前者の配列は、処理気体中に汚染物質を含むミ
ストが少なく、ＮＯ3 ，ＳＯ4 や揮発性有機物の気体汚
染物質の量が多い場合に好ましい。後者は、ミストおよ
び気体汚染物質の両方を含む場合に好ましく用いられ、
まず、前段のイオン交換繊維層でミスト中の汚染物質を
除去した後、活性炭層で気体汚染物質を除去し、さらに
後段のイオン交換繊維層で活性炭層から離脱、飛散する
中性塩などを捕集する。活性炭層、イオン交換繊維層
は、一部または全体を一体に構成し、またはそれぞれを
独立して構成し、あるいはこれらの各層の中間に調湿や
加熱ゾーンを設けたり、補充気体の導入配管を接続する
こともできる。
【００１７】本発明第３の気体の清浄化方法、および本
発明第６の気体ろ過用フィルタは、前記の各気体の清浄
化方法、および前記の各気体ろ過用フィルタに、主に気
体中の固体微粒子を分離、除去するためのＨＥＰＡフィ
ルタを組合わせたものである。ＨＥＰＡフィルタは、市
販のものを使用条件に応じ、選択して使用することがで
きる。本発明においては、通常、活性炭層やイオン交換
繊維層を前記の配列に準じて上流側に、ＨＥＰＡフィル
タを下流側に直列的に配置して使用する。ＨＥＰＡフィ
ルタの損耗を軽減できるからである。活性炭層、イオン
交換繊維層およびＨＥＰＡフィルタは、一部または全体
を一体に構成し、またはそれぞれを独立して構成し、あ
るいはこれらの中間に調湿や加熱ゾーンを設けたり、補
充気体の導入配管を接続することもできる。
発明第６の気体ろ過用フィルタは、前記の各気体の清浄
化方法、および前記の各気体ろ過用フィルタに、主に気
体中の固体微粒子を分離、除去するためのＨＥＰＡフィ
ルタを組合わせたものである。ＨＥＰＡフィルタは、市
販のものを使用条件に応じ、選択して使用することがで
きる。本発明においては、通常、活性炭層やイオン交換
繊維層を前記の配列に準じて上流側に、ＨＥＰＡフィル
タを下流側に直列的に配置して使用する。ＨＥＰＡフィ
ルタの損耗を軽減できるからである。活性炭層、イオン
交換繊維層およびＨＥＰＡフィルタは、一部または全体
を一体に構成し、またはそれぞれを独立して構成し、あ
るいはこれらの中間に調湿や加熱ゾーンを設けたり、補
充気体の導入配管を接続することもできる。
【００１８】以上に説明した本発明の気体の清浄化方法
は、クリーンルームやクリーンベンチなどの閉空間の清
浄度を必要範囲に維持するのに好適である。具体的に
は、これらの閉空間に循環浄化経路を設け、閉空間から
気体の一部を導出し、導出した気体に含まれる汚染物質
を本発明の気体の清浄化方法を用いて除去し、清浄化し
た気体をもとの閉空間に戻すことによって達成できる。
さらに、必要があれば、閉空間の汚染気体の一部を、本
発明の気体の清浄化方法を用いて浄化した外部の気体と
交換することもできる。また、本発明以外の清浄化方法
や気体ろ過用フィルタと併用することも可能である。
は、クリーンルームやクリーンベンチなどの閉空間の清
浄度を必要範囲に維持するのに好適である。具体的に
は、これらの閉空間に循環浄化経路を設け、閉空間から
気体の一部を導出し、導出した気体に含まれる汚染物質
を本発明の気体の清浄化方法を用いて除去し、清浄化し
た気体をもとの閉空間に戻すことによって達成できる。
さらに、必要があれば、閉空間の汚染気体の一部を、本
発明の気体の清浄化方法を用いて浄化した外部の気体と
交換することもできる。また、本発明以外の清浄化方法
や気体ろ過用フィルタと併用することも可能である。
【００１９】つぎに、本発明をより具体的に説明するた
めに、クリーンルーム（垂直層流型）での実施態様例を
あげ、図面を参照して説明する。図１は、本発明を利用
したクリーンルームの実施態様例を示す概念図である。
クリーンルーム１内で発生した汚染物質を含む空気は、
連続的に床面１３から吸い込ませ、清浄化した後、クリ
ーンルーム１に戻し、内部の清浄度を維持する。床面１
３から吸込んだ空気は、まず、床下に設けたプレフィル
タ１０を通過させて脱じんする。
めに、クリーンルーム（垂直層流型）での実施態様例を
あげ、図面を参照して説明する。図１は、本発明を利用
したクリーンルームの実施態様例を示す概念図である。
クリーンルーム１内で発生した汚染物質を含む空気は、
連続的に床面１３から吸い込ませ、清浄化した後、クリ
ーンルーム１に戻し、内部の清浄度を維持する。床面１
３から吸込んだ空気は、まず、床下に設けたプレフィル
タ１０を通過させて脱じんする。
【００２０】次に、空気の循環浄化経路中に設けたイオ
ン交換繊維層１１を通過させて、ミスト中の酸性物質、
アルカリ性物質や塩類を捕捉して除去する。イオン交換
繊維層１１は、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ
基を交換基とするＨ型の陽イオン交換繊維とＯＨ型の陰
イオン交換繊維とを、等交換容量になるように均一に混
合し、不織布などに形成したものを使用する。もちろ
ん、両イオン交換繊維を用い別個にフィルタを形成して
直列に配置してもよい。酸性、アルカリ性、中性塩など
ミスト中に含まれる物質などを除去した循環空気は、熱
交換器８を通して所定の温度および湿度に調節され、循
環ブロワ１２でクリーンルーム１の天井に設けられたＨ
ＥＰＡフィルタ２に送られ、残る固体微粒子が取除かれ
てクリーンルーム１へと循環される。
ン交換繊維層１１を通過させて、ミスト中の酸性物質、
アルカリ性物質や塩類を捕捉して除去する。イオン交換
繊維層１１は、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ
基を交換基とするＨ型の陽イオン交換繊維とＯＨ型の陰
イオン交換繊維とを、等交換容量になるように均一に混
合し、不織布などに形成したものを使用する。もちろ
ん、両イオン交換繊維を用い別個にフィルタを形成して
直列に配置してもよい。酸性、アルカリ性、中性塩など
ミスト中に含まれる物質などを除去した循環空気は、熱
交換器８を通して所定の温度および湿度に調節され、循
環ブロワ１２でクリーンルーム１の天井に設けられたＨ
ＥＰＡフィルタ２に送られ、残る固体微粒子が取除かれ
てクリーンルーム１へと循環される。
【００２１】一方、補充される空気は、吸引ブロワ５に
よって粗じんフィルタ３とその下流に設けられたイオン
交換繊維層からなるフィルタ４を通して吸引される。フ
ィルタ４を強酸性イオン交換樹脂と強塩基性のイオン交
換樹脂とで構成することによって、外気に含まれてい
る、たとえば塩化ナトリウムなどの中性塩も分解除去す
ることができる。中性塩や酸性物質などを除去された吸
引空気は、熱交換器７と加湿器９で調温調湿されて循環
空気に合流し、ＨＥＰＡフィルタ２によって、固体微粒
子が取除かれ、クリーンルーム１に送入される。
よって粗じんフィルタ３とその下流に設けられたイオン
交換繊維層からなるフィルタ４を通して吸引される。フ
ィルタ４を強酸性イオン交換樹脂と強塩基性のイオン交
換樹脂とで構成することによって、外気に含まれてい
る、たとえば塩化ナトリウムなどの中性塩も分解除去す
ることができる。中性塩や酸性物質などを除去された吸
引空気は、熱交換器７と加湿器９で調温調湿されて循環
空気に合流し、ＨＥＰＡフィルタ２によって、固体微粒
子が取除かれ、クリーンルーム１に送入される。
【００２２】前記の実施態様例のイオン交換繊維層１１
に代えて、循環浄化経路中にアルカリ化合物を担持せし
めた活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせたフィル
タ１１´を設ければ、固体微粒子やミストの汚染物質に
加えて、クリーンルーム１内でＮＯx 、ＳＯx や揮発性
有機物が発生しても、これらの気体汚染物質を吸着酸化
させ、あるいは吸着除去することができる。イオン交換
繊維フィルタ４に代えて、活性炭層とイオン交換繊維層
とを組合わせたフィルタ４´を取付ければ、外部空気に
含まれる気体汚染物質を除去することができる。
に代えて、循環浄化経路中にアルカリ化合物を担持せし
めた活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせたフィル
タ１１´を設ければ、固体微粒子やミストの汚染物質に
加えて、クリーンルーム１内でＮＯx 、ＳＯx や揮発性
有機物が発生しても、これらの気体汚染物質を吸着酸化
させ、あるいは吸着除去することができる。イオン交換
繊維フィルタ４に代えて、活性炭層とイオン交換繊維層
とを組合わせたフィルタ４´を取付ければ、外部空気に
含まれる気体汚染物質を除去することができる。
【００２３】
【実施例】以下、本発明に係る活性炭層とイオン交換繊
維層とを組合わせたフィルタの実施例について説明す
る。実施例に用いた装置のフローシートを図２に示す。
本実施例は、ドラフトチャンバー２５内で汚染物質を含
む試料気体を発生させ、試料気体を活性炭層とイオン交
換繊維層とからなるフィルタ２３（以下、試験用フィル
タという）を通して吸引し、試験用フィルタ２３通過後
の汚染物質濃度と、試験用フィルタを通さないで吸引し
た試料気体中の汚染物質濃度とを測定し、両者を比較し
て試験用フィルタの性能を評価した。
維層とを組合わせたフィルタの実施例について説明す
る。実施例に用いた装置のフローシートを図２に示す。
本実施例は、ドラフトチャンバー２５内で汚染物質を含
む試料気体を発生させ、試料気体を活性炭層とイオン交
換繊維層とからなるフィルタ２３（以下、試験用フィル
タという）を通して吸引し、試験用フィルタ２３通過後
の汚染物質濃度と、試験用フィルタを通さないで吸引し
た試料気体中の汚染物質濃度とを測定し、両者を比較し
て試験用フィルタの性能を評価した。
【００２４】（１）試料気体： 汚染物質を含む空気
は、ＨＣｌ、ＨＮＯ3 、Ｈ2 ＳＯ4 、ＮＨ4 ＯＨ、ＨＦ
＋Ｈ2 ＳＯ4 、ｎ−プロピルアルコール５．０容量％水
溶液を各々ビーカーに入れ、ドラフトチャンバー２５内
で加熱してそれぞれのガスを発生させ、この発生ガスを
供試試料とし発生ガス１容量部に対して外気１０〜１５
容量部を混合器２７を通して希釈混合した後、フィルタ
容器２８に取付けた試験用フィルタ２３を通した。
は、ＨＣｌ、ＨＮＯ3 、Ｈ2 ＳＯ4 、ＮＨ4 ＯＨ、ＨＦ
＋Ｈ2 ＳＯ4 、ｎ−プロピルアルコール５．０容量％水
溶液を各々ビーカーに入れ、ドラフトチャンバー２５内
で加熱してそれぞれのガスを発生させ、この発生ガスを
供試試料とし発生ガス１容量部に対して外気１０〜１５
容量部を混合器２７を通して希釈混合した後、フィルタ
容器２８に取付けた試験用フィルタ２３を通した。
【００２５】（２） 試験用フィルタ： 構成するイオ
ン交換繊維（ニチビＩＥＦ：（株）ニチビ製）層および
活性炭（繊維状活性炭、ＩＲ−７０〜１２０：クラレケ
ミカル（株）製）層の仕様を、表１および表２に示す。
ン交換繊維（ニチビＩＥＦ：（株）ニチビ製）層および
活性炭（繊維状活性炭、ＩＲ−７０〜１２０：クラレケ
ミカル（株）製）層の仕様を、表１および表２に示す。
【００２６】
【表１】 イオン交換繊維 目付量 厚さ 種 類 含有量（％） （ｇ／ｍ2 ） （ｍｍ） 弱酸性陽イオン交換繊維 ８０ １８０ ２．１７ 強塩基性陰イオン交換繊維 ８０ １８０ １．９９ 混合型イオン交換繊維 ８０ １８０ ２．０１ （注）混合型は、強酸性陽イオン交換繊維と強塩基性陰
イオン交換繊維とを１：２の比率で混合
イオン交換繊維とを１：２の比率で混合
【００２７】
【表２】 活性炭含有量 目付量 厚さ ＫＯＨ添着量 種 類 （％） （ｇ／ｍ2 ） （ｍｍ） (mg/cm2 ） アルカリ添着活性炭 １００ １５０ ２．０ ２ 無添着活性炭 １００ １５０ ２．０ − （注）活性炭（繊維状）の比表面積は、７００〜１２０
０ｍ2 ／ｇ、アルカリはＫＯＨ。
０ｍ2 ／ｇ、アルカリはＫＯＨ。
【００２８】（３） 試験方法： ガス洗浄ビン２１に
純水を２５０ｍｌ入れ、試料気体をエアポンプ２２で吸
引した。試験用フィルタ２３を通過させた処理気体と、
通過させない試料気体とを同時に吸引し、ガス洗浄ビン
２１に捕集された無機イオンおよびＣＯＤcr（ＪＩＳ
０１０４：用水分析法に準拠）を測定した。２４はガス
メータ、２６は流量計、２９は空気導入管である。
純水を２５０ｍｌ入れ、試料気体をエアポンプ２２で吸
引した。試験用フィルタ２３を通過させた処理気体と、
通過させない試料気体とを同時に吸引し、ガス洗浄ビン
２１に捕集された無機イオンおよびＣＯＤcr（ＪＩＳ
０１０４：用水分析法に準拠）を測定した。２４はガス
メータ、２６は流量計、２９は空気導入管である。
【００２９】実施例１ 上流側から順に、アルカリ添着活性炭層、無添着活性炭
層、弱酸性陽イオン交換繊維層、強塩基性陰イオン交換
繊維層、混合型イオン交換繊維層を重ね、試験用フィル
タを構成した。この試験用フィルタに試料気体を０．５
ｍ／ｓｅｃ（結果：表３）および１．０ｍ／ｓｅｃ（結
果：表４）でを通過させた。結果を次表に示す。
層、弱酸性陽イオン交換繊維層、強塩基性陰イオン交換
繊維層、混合型イオン交換繊維層を重ね、試験用フィル
タを構成した。この試験用フィルタに試料気体を０．５
ｍ／ｓｅｃ（結果：表３）および１．０ｍ／ｓｅｃ（結
果：表４）でを通過させた。結果を次表に示す。
【００３０】
【表３】 項 目 試料気体 処理気体 除去率（％） Ｆ （ｍｇ／ｌ） ０．５２ ０．０２４ ９５．４ Ｃｌ （ｍｇ／ｌ） ０．１２ ０．０２ ８３．３ ＮＯ3 （ｍｇ／ｌ） ０．１５ ０．０２ ８６．７ ＳＯ4 （ｍｇ／ｌ） ０．４ ０．０５ ８７．５ ＮＨ4 （ｍｇ／ｌ） ２．０ ０．１７ ９１．５ ＣＯＤcr（ｍｇ／ｌ） ４．９ ＜２ ５９．２
【００３１】
【表４】 項 目 試料気体 処理気体 除去率（％） Ｆ （ｍｇ／ｌ） ０．２ ０．０３ ８５．０ Ｃｌ （ｍｇ／ｌ） ２．７ ０．４１ ８４．８ ＮＯ3 （ｍｇ／ｌ） ０．９２ ０．１２ ８７．０ ＳＯ4 （ｍｇ／ｌ） ０．４ ０．０７ ８２．５ ＮＨ4 （ｍｇ／ｌ） ４．５ ０．３９ ９１．３ ＣＯＤcr（ｍｇ／ｌ） １１ ＜２ ７５．０ 実施例２ 上流側から順に、弱酸性陽イオン交換繊維層、強塩基性
陰イオン交換繊維層、アルカリ添着活性炭層、無添着活
性炭層、混合型イオン交換繊維層を重ね、試験用フィル
タを構成した。この試験用フィルタに、試料気体を０．
５ｍ／ｓｅｃ（表５）および１．０ｍ／ｓｅｃ（表６）
で通過させた。結果を次の表に示す。
陰イオン交換繊維層、アルカリ添着活性炭層、無添着活
性炭層、混合型イオン交換繊維層を重ね、試験用フィル
タを構成した。この試験用フィルタに、試料気体を０．
５ｍ／ｓｅｃ（表５）および１．０ｍ／ｓｅｃ（表６）
で通過させた。結果を次の表に示す。
【００３２】
【表５】 項 目 試料気体 処理気体 除去率（％） Ｆ （ｍｇ／ｌ） ０．７ ０．０４ ９４．３ Ｃｌ （ｍｇ／ｌ） １．０ ０．０７ ９３．０ ＮＯ3 （ｍｇ／ｌ） １．２ ０．０４ ９６．７ ＳＯ4 （ｍｇ／ｌ） ０．５ ０．０３ ９４．０ ＮＨ4 （ｍｇ／ｌ） ２．５ ０．１９ ９２．４ ＣＯＤcr（ｍｇ／ｌ） １２ ＜２ ８３．３
【００３３】
【表６】 項 目 試料気体 処理気体 除去率（％） Ｆ （ｍｇ／ｌ） １．４ ０．３１ ７７．９ Ｃｌ （ｍｇ／ｌ） ２．１ ０．２９ ８６．２ ＮＯ3 （ｍｇ／ｌ） ０．９ ０．１４ ８４．４ ＳＯ4 （ｍｇ／ｌ） ０．６ ０．０９ ８５．０ ＮＨ4 （ｍｇ／ｌ） ４．２ ０．７４ ８２．４ ＣＯＤcr（ｍｇ／ｌ） ７．５ ＜２ ７３．３ 実施例３ 上流側から順に、アルカリ添着活性炭層、無添着活性炭
層、混合型イオン交換繊維層を重ね、試験用フィルタを
構成した。この試験用フィルタに、試料気体を０．５ｍ
／ｓｅｃ（表７）および１．０ｍ／ｓｅｃ（表８）で通
過させた。結果を次の表に示す。
層、混合型イオン交換繊維層を重ね、試験用フィルタを
構成した。この試験用フィルタに、試料気体を０．５ｍ
／ｓｅｃ（表７）および１．０ｍ／ｓｅｃ（表８）で通
過させた。結果を次の表に示す。
【００３４】
【表７】 項 目 試料気体 処理気体 除去率（％） Ｆ （ｍｇ／ｌ） ０．８ ０．０９ ８８．８ Ｃｌ （ｍｇ／ｌ） １．４ ０．２０ ８５．７ ＮＯ3 （ｍｇ／ｌ） １．２ ０．２１ ８２．５ ＳＯ4 （ｍｇ／ｌ） ０．６ ０．０９ ８５．０ ＮＨ4 （ｍｇ／ｌ） ３．１ ０．５７ ８１．６ ＣＯＤcr（ｍｇ／ｌ） １２ ＜２ ８３．３
【００３５】
【表８】 項 目 試料気体 処理気体 除去率（％） Ｆ （ｍｇ／ｌ） １．１ ０．２９ ７３．６ Ｃｌ （ｍｇ／ｌ） １．６ ０．３４ ８５．０ ＮＯ3 （ｍｇ／ｌ） ０．９ ０．１１ ７８．８ ＳＯ4 （ｍｇ／ｌ） ０．７ ０．１２ ８２．８ ＮＨ4 （ｍｇ／ｌ） ２．９ ０．６７ ７６．９ ＣＯＤcr（ｍｇ／ｌ） １４ ＜２ ８５．７ 実施例４ 実施例１の試験を開始するのに先立って、ドラフトチャ
ンバー内のウォーターバス用ガスバーナーを点火し、ド
ラフトチャンバー内のＮＯx 、ＳＯx を測定したとこ
ろ、ＳＯx が０．１〜０．４ｐｐｍ、ＮＯx が１．０〜
１．５ｐｐｍ程度検出された。同時に、ドラフトチャン
バー内の空気を、実施例１〜３に使用した試験用フィル
タを通して吸引し、ＮＯx （ＪＩＳ Ｂ９６５２に準
拠）、ＳＯx（ＪＩＳ Ｂ７９５８に準拠）を測定し
た。この処理気体中では、ＮＯx 、ＳＯx が９０％以
上、除去されていた。
ンバー内のウォーターバス用ガスバーナーを点火し、ド
ラフトチャンバー内のＮＯx 、ＳＯx を測定したとこ
ろ、ＳＯx が０．１〜０．４ｐｐｍ、ＮＯx が１．０〜
１．５ｐｐｍ程度検出された。同時に、ドラフトチャン
バー内の空気を、実施例１〜３に使用した試験用フィル
タを通して吸引し、ＮＯx （ＪＩＳ Ｂ９６５２に準
拠）、ＳＯx（ＪＩＳ Ｂ７９５８に準拠）を測定し
た。この処理気体中では、ＮＯx 、ＳＯx が９０％以
上、除去されていた。
【００３６】
【発明の効果】本発明の気体の清浄化方法および気体ろ
過用フィルタにおいては、イオン交換繊維層からなるフ
ィルタ、活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせたフ
ィルタ、またはこれらのフィルタとＨＥＰＡフィルタと
を複合的に組合わせたフィルタを使用しているので、汚
染物質の種類に応じて適切なフィルタを選択をすれば、
酸性ガスや有機気体などの気体汚染物質は、主に活性炭
層で、ミスト中に含まれる酸性物質、アルカリ性物質、
あるいは活性炭層で生成した中性塩などは、主にイオン
交換繊維層において、固体微粒子はＨＥＰＡフィルタに
より、それぞれの特性を生かして効率よく除去される。
しかも、いずれの汚染物質も、高率で除去することがで
きるので、高度の清浄度が要求されるクリーンルームな
どの清浄閉空間を維持し、あるいは形成するのに好適で
ある。本発明の利用によって、清浄閉空間の化学的な汚
染物質の蓄積が防止されるので、気体を浄化するための
気体の循環回数と外部からの清浄気体の補給量とを最小
限に保つことが可能になり、同一清浄度に到達するに必
要な動力費を大幅に節減できる効果がある。
過用フィルタにおいては、イオン交換繊維層からなるフ
ィルタ、活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせたフ
ィルタ、またはこれらのフィルタとＨＥＰＡフィルタと
を複合的に組合わせたフィルタを使用しているので、汚
染物質の種類に応じて適切なフィルタを選択をすれば、
酸性ガスや有機気体などの気体汚染物質は、主に活性炭
層で、ミスト中に含まれる酸性物質、アルカリ性物質、
あるいは活性炭層で生成した中性塩などは、主にイオン
交換繊維層において、固体微粒子はＨＥＰＡフィルタに
より、それぞれの特性を生かして効率よく除去される。
しかも、いずれの汚染物質も、高率で除去することがで
きるので、高度の清浄度が要求されるクリーンルームな
どの清浄閉空間を維持し、あるいは形成するのに好適で
ある。本発明の利用によって、清浄閉空間の化学的な汚
染物質の蓄積が防止されるので、気体を浄化するための
気体の循環回数と外部からの清浄気体の補給量とを最小
限に保つことが可能になり、同一清浄度に到達するに必
要な動力費を大幅に節減できる効果がある。
【００３７】具体的には、、本発明を酸性物質やアルカ
リ性物質を扱う、クラス１００よりもクリーン度が高い
クリーンルームなどに利用すれば効果的である。すなわ
ち、従来のようにクリーンルーム内でミストを発生する
場合、外部気体の取入量を増加させることなく、クリー
ン状態を維持できる。また、外気に微量の塩類が含まれ
ている海岸線や工業地域に近い立地条件下においても、
気体の取入口に本発明のフィルタを設け、ＮＯx 、ＳＯ
x や塩類を除去し、ＨＥＰＡフィルタの負荷を大幅に低
減できる。さらに、送風機の防蝕にも効果的である。Ｈ
ＥＰＡフィルタを単独に使用する場合に比較し、化学汚
染を含む、塵埃、菌、化学物質などの総合的な透過阻止
の効果を発揮することができる。
リ性物質を扱う、クラス１００よりもクリーン度が高い
クリーンルームなどに利用すれば効果的である。すなわ
ち、従来のようにクリーンルーム内でミストを発生する
場合、外部気体の取入量を増加させることなく、クリー
ン状態を維持できる。また、外気に微量の塩類が含まれ
ている海岸線や工業地域に近い立地条件下においても、
気体の取入口に本発明のフィルタを設け、ＮＯx 、ＳＯ
x や塩類を除去し、ＨＥＰＡフィルタの負荷を大幅に低
減できる。さらに、送風機の防蝕にも効果的である。Ｈ
ＥＰＡフィルタを単独に使用する場合に比較し、化学汚
染を含む、塵埃、菌、化学物質などの総合的な透過阻止
の効果を発揮することができる。
【００３８】また、本発明のイオン交換繊維層からなる
フィルタや活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせた
フィルタなどは、すでにＨＥＰＡフィルタを取付けてい
る既設のクリーンルームなどに、容易に付設することが
できるので、これらのクリーンルームなどが従来抱えて
いた問題を極めて経済的に解消し、高性能のクリーンル
ームなどに改造することができる。
フィルタや活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせた
フィルタなどは、すでにＨＥＰＡフィルタを取付けてい
る既設のクリーンルームなどに、容易に付設することが
できるので、これらのクリーンルームなどが従来抱えて
いた問題を極めて経済的に解消し、高性能のクリーンル
ームなどに改造することができる。
【図１】 本発明を利用したクリーンルームの実施態様
例を示す概念図。
例を示す概念図。
【図２】 実施例に用いた装置のフローシート。
１：クリーンルーム ２：ＨＥＰＡフィルタ ３：粗じんフィルタ ４：イオン交換繊維フィルタ ４´：活性炭層とイオン交換繊維層とを組合わせたフィ
ルタ ５：吸引ブロワ ６：プレフィルタ ７：熱交換器
８：熱交換器 ９：加湿器 １０：プレフィルタ １１：イオン交
換繊維層 １１´：活性炭層とイオン交換繊維層との組合わせたフ
ィルタ １２：循環ブロワ １３：床面 １４：循環浄化経
路 ２１：ガス洗浄ビン ２２：エアポンプ ２３：試
験用フィルタ ２４：ガスメータ ２５：ドラフトチャンバー ２
６：流量計 ２７：混合器 ２８：フィルタ容器 ２９：空気導
入管
ルタ ５：吸引ブロワ ６：プレフィルタ ７：熱交換器
８：熱交換器 ９：加湿器 １０：プレフィルタ １１：イオン交
換繊維層 １１´：活性炭層とイオン交換繊維層との組合わせたフ
ィルタ １２：循環ブロワ １３：床面 １４：循環浄化経
路 ２１：ガス洗浄ビン ２２：エアポンプ ２３：試
験用フィルタ ２４：ガスメータ ２５：ドラフトチャンバー ２
６：流量計 ２７：混合器 ２８：フィルタ容器 ２９：空気導
入管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 卯之原 敏 東京都港区西新橋３丁目７番１号 東芝プ ラント建設株式会社内 (72)発明者 益田 光信 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目３番23号 株式会社タクマ内 (72)発明者 藤原 護朗 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目３番23号 株式会社タクマ内 (72)発明者 川中 朝一 静岡県藤枝市青南町３丁目５番５号 (72)発明者 堀江 広 千葉県舟橋市高根台７丁目21番５号
Claims (11)
- 【請求項１】気体を、イオン交換繊維層からなるフィル
タを通過させて、気体中に含まれる汚染物質を除去する
ことを特徴とする、気体の清浄化方法。 - 【請求項２】気体を、活性炭層とイオン交換繊維層とを
組合わせたフィルタを通過させて、気体中に含まれる汚
染物質を除去することを特徴とする、気体の清浄化方
法。 - 【請求項３】活性炭層に、アルカリ化合物を担持せしめ
た活性炭を用いることを特徴とする、請求項２に記載の
気体の清浄化方法。 - 【請求項４】清浄化した気体を、さらに超高性能フィル
タを通過させて、気体中に含まれる汚染物質を除去する
ことを特徴とする、請求項１、２または３に記載の気体
の清浄化方法。 - 【請求項５】前記のイオン交換繊維層に、−ＳＯ3 Ｈ基
および／または−ＣＯＯＨ基を交換基とするＨ型の陽イ
オン交換繊維と、第１〜３級アミン基または第４級アン
モニウム基を交換基とするＯＨ型の陰イオン交換繊維と
を組合わせて用いることを特徴とする、請求項１、２、
３または４に記載の気体の清浄化方法。 - 【請求項６】閉空間から気体の一部を導出し、導出した
気体に含まれる汚染物質を請求項１、２、３、４または
５に記載の気体の清浄化方法を用いて除去し、清浄化し
た気体をもとの閉空間に戻すことを特徴とする、閉空間
の清浄度を維持する方法。 - 【請求項７】−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基
を交換基とするＨ型の陽イオン交換繊維と、第１〜３級
アミン基または第４級アンモニウム基を交換基とするＯ
Ｈ型の陰イオン交換繊維とからなるイオン交換繊維層で
構成されていることを特徴とする気体ろ過用フィルタ。 - 【請求項８】活性炭層とイオン交換繊維層とが直列に組
合わされて構成されていることを特徴とする、気体ろ過
用フィルタ。 - 【請求項９】活性炭層に、アルカリ化合物を担持せしめ
た活性炭を用いることを特徴とする、請求項８に記載の
気体ろ過用フィルタ。 - 【請求項１０】さらに、超高性能フィルタが直列に組合
わされて構成されていることを特徴とする、請求項７、
８または９に記載の気体ろ過用フィルタ。 - 【請求項１１】内部の気体に含まれる汚染物質を除去す
るため、気体の循環浄化経路を有する清浄閉空間におい
て、該循環浄化経路中に、請求項７、８、９または１０
に記載の気体ろ過用フィルタが取付けられていることを
特徴とする清浄閉空間。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5273353A JPH06198123A (ja) | 1992-11-05 | 1993-11-01 | 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ |
| TW83106278A TW249757B (ja) | 1993-11-01 | 1994-07-11 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-295891 | 1992-11-05 | ||
| JP29589192 | 1992-11-05 | ||
| JP5273353A JPH06198123A (ja) | 1992-11-05 | 1993-11-01 | 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9235649A Division JPH1080619A (ja) | 1992-11-05 | 1997-09-01 | クリーンルームとクリーンルーム内の清浄化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06198123A true JPH06198123A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=26550625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5273353A Pending JPH06198123A (ja) | 1992-11-05 | 1993-11-01 | 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06198123A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10192623A (ja) * | 1996-12-31 | 1998-07-28 | Takuma Co Ltd | ボロン除去用フィルタ及び汚染気体浄化方法 |
| JPH11156139A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Toshiba Corp | 外気処理装置及び外気清浄化システム |
| JP2002523207A (ja) * | 1998-08-20 | 2002-07-30 | エクストラクシヨン・システムズ・インコーポレーテツド | 多孔質の強酸性重合体を用いたフィルター |
| KR100514380B1 (ko) * | 2002-07-24 | 2005-09-30 | 충남대학교산학협력단 | 재생가능한 가스 스크러버용 유·무기 복합 이온교환 필터제조방법 |
| JP2010075791A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | ケミカルフィルタおよびこれを備える空調システム |
| US7922791B2 (en) | 2006-07-13 | 2011-04-12 | Entegris, Inc. | Filtering system for a semiconductor processing tool |
| JP2012245519A (ja) * | 2012-07-17 | 2012-12-13 | Horiba Ltd | 塩分ミスト除去装置およびこれを用いた分析装置 |
| USRE44536E1 (en) | 2000-05-05 | 2013-10-15 | Entegris, Inc. | Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media |
| JP2014088869A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-05-15 | Hugle Electronics Inc | ガス浄化装置 |
| JP2016172203A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 清水建設株式会社 | 空気清浄化システム |
| TWI610715B (zh) * | 2012-10-02 | 2018-01-11 | Hugle Electronics Inc | 氣體淨化裝置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5062883A (ja) * | 1973-10-09 | 1975-05-29 | ||
| JPS60183022A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-18 | Toray Ind Inc | 空気中の変異原物質捕係用フイルタ− |
| JPH0497904A (ja) * | 1990-08-13 | 1992-03-30 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 薬剤を添着した活性炭の製造方法 |
| JPH04247207A (ja) * | 1991-02-01 | 1992-09-03 | Fujitsu Ltd | エアフィルター |
| JPH05111607A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Japan Atom Energy Res Inst | 自動車用エアフイルタ |
-
1993
- 1993-11-01 JP JP5273353A patent/JPH06198123A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5062883A (ja) * | 1973-10-09 | 1975-05-29 | ||
| JPS60183022A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-18 | Toray Ind Inc | 空気中の変異原物質捕係用フイルタ− |
| JPH0497904A (ja) * | 1990-08-13 | 1992-03-30 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 薬剤を添着した活性炭の製造方法 |
| JPH04247207A (ja) * | 1991-02-01 | 1992-09-03 | Fujitsu Ltd | エアフィルター |
| JPH05111607A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Japan Atom Energy Res Inst | 自動車用エアフイルタ |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10192623A (ja) * | 1996-12-31 | 1998-07-28 | Takuma Co Ltd | ボロン除去用フィルタ及び汚染気体浄化方法 |
| JPH11156139A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Toshiba Corp | 外気処理装置及び外気清浄化システム |
| JP2002523207A (ja) * | 1998-08-20 | 2002-07-30 | エクストラクシヨン・システムズ・インコーポレーテツド | 多孔質の強酸性重合体を用いたフィルター |
| USRE44536E1 (en) | 2000-05-05 | 2013-10-15 | Entegris, Inc. | Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media |
| KR100514380B1 (ko) * | 2002-07-24 | 2005-09-30 | 충남대학교산학협력단 | 재생가능한 가스 스크러버용 유·무기 복합 이온교환 필터제조방법 |
| US7922791B2 (en) | 2006-07-13 | 2011-04-12 | Entegris, Inc. | Filtering system for a semiconductor processing tool |
| JP2010075791A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | ケミカルフィルタおよびこれを備える空調システム |
| JP2012245519A (ja) * | 2012-07-17 | 2012-12-13 | Horiba Ltd | 塩分ミスト除去装置およびこれを用いた分析装置 |
| JP2014088869A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-05-15 | Hugle Electronics Inc | ガス浄化装置 |
| TWI610715B (zh) * | 2012-10-02 | 2018-01-11 | Hugle Electronics Inc | 氣體淨化裝置 |
| JP2016172203A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 清水建設株式会社 | 空気清浄化システム |
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