JPH0424855Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［考案の目的］ （産業上の利用分野） この考案は高純度材料保存容器に係り、半導体
製造の際等に使用される高純度のエツチング材、
フオトレジスト材、ドーピングソース、洗浄材、
或いはバイオテクノロジー関係に使用する材料の
如き高純度材料を保存する容器において、密閉す
べく蓋を冠着する際に、容器口部と蓋との摺動に
よつて発生する不純物（以下パーテイクルと称
す）が容器内の高純度材料内に混入されないよう
にした高純度材料保存容器に関する。

（従来の技術） 従来から、前述の如き高純度材料は、その保存
の際には、例えば、ポリエチレンやフツ素樹脂の
如き合成樹脂にてなる特殊容器内に入れ、蓋をネ
ジにより冠着することで密閉し、パーテイクルの
混入を皆無にして厳重に保存している。

一方、タンクキヤツプとして特開昭54−127784
号公報にて、外蓋を回転させて螺着した際に、シ
ール部材がねじられないようにすべく、タンク注
入口の外周と所定の操作角をもつて螺合すると共
にそれ以上の操作角では空転する外蓋と、この外
蓋の内部に摺動可能に設けられると共にタンク注
入口縁と対向当接するシール部材を装着した内蓋
と、上記シール部材をタンク注入口縁方向に付勢
して所定のシール圧を発生なす付勢手段とからな
るものが提案されている。

（考案が解決しようとする問題点） 〈従来の技術の問題点〉 ところが、このようにして厳重に保存する容器
にあつても未だにパーテイクルの混入が完全に防
止されていなかつた。

そこで、このパーテイクルの混入の原因を更に
追及した結果、次の点がパーテイクルの混入要因
として大きくクローズアツプされてきた。

すなわち、容器本体内面にはほとんど問題はな
かつたが、蓋の冠着構造に問題があつた。

従来の高純度材料保存容器の蓋の冠着構造は、
内周面に複数条のネジを螺刻してある有底円筒状
の蓋と、この蓋を螺合して冠着する口部と、この
蓋の内底面と口部開口端面との間に密閉状態を保
つべく介在しているパツキングとからなつてい
る。

そのため、蓋を冠着する際にこの蓋を回転させ
ると、蓋の回転に対して口部開口端面は静止して
いるので蓋の回転と同時にパツキングも回転する
ことが多い。そのため、パツキングと口部開口端
面とが擦られ、摺動によつて発生した非常に微小
なパーテイクルが若干ではあるが発生する。そう
すると、このパーテイクルが容器内に落下して中
の高純度材料に混入してしまう。この場合、通常
の液体等であればこの位のパーテイクルは何等問
題はないが、高純度材料になるとこの程度のパー
テイクルであつてもその機能上、作用上において
大きな弊害となるものであつた。又、ネジの螺合
部分においても同様にパーテイクルが発生し、そ
れが蓋をはずしたときに容器内に入つてしまうこ
ともたびたび起つた。

そこで、前述したような特開昭54−127784号公
報にて提案されているタンクキヤツプの構造を用
いると、蓋の回転と同時にパツキングも回転する
ということはほとんどなくなるので、前述したパ
ーテイクルの容器内への落下が防止されるのであ
るが、それはあくまでも論理上であつて、実際に
は、この構造は、シール部材がシール効果を損な
わない程度でねじられないようにするための構造
であつて、若干はねじられるのである。つまり、
その顕著な構造的問題は、所定のシール圧を発生
なす付勢手段、具体的にはスプリングを用いてい
る点にあり、シール部材とスプリングとの摩擦抵
抗の違いをある程度は利用しているものの、外蓋
を回動させることで徐々にその付勢圧力を増すよ
うに形成されるから、かなり付勢圧力が強まつた
段階でも螺着完了の完全なる停止はなされないた
めその微妙な段階でシール部材は若干ではあるが
回転することになる。それをある程度なくすよう
にするために、タンク注入口の外周と所定の操作
角をもつて螺合すると共にそれ以上の操作角では
空転するように形成してあり、この構造がそれを
実証している。

ところが、シール部材のシール効果を損なわな
い程度のねじりであればこの構造でも何等問題は
ないが、高純度材料保存容器のように、パーテイ
クルの混入が絶対的に許されないようにするため
の容器の場合は、シール部材の回転は、シール部
材のシール効果を損なわない程度のねじりよりも
更に少なく押さえられないとその蓋の役目を果た
し得ないのであり、特開昭54−127784号公報にて
提案されているタンクキヤツプの構造ではその役
目を果たせない問題点があり、又、構造的にも複
雑となる問題点もあつた。

〈技術的課題〉 この考案は、上述した問題点に鑑み、半導体製
造の際等に使用される高純度のエツチング材、フ
オトレジスト材、ドーピングソース、洗浄材、或
いはバイオテクノロジー関係に使用する材料の如
き高純度材料を保存する容器において、密閉すべ
き蓋を冠着する際に、容器口部と蓋との摺動によ
つて発生するパーテイクルが容器内に入らないよ
うにし、しかも蓋の冠着を簡単に行なえようにす
ると共に、密閉状態を十分に保てるようにするこ
とを課題として案出されたものである。

［考案の構成］ （問題点を解決するための手段） この考案は、内部に不純物が存在しない容器の
口部に外蓋を冠着して密閉する高純度材料保存容
器において、この容器の口部外周には少ない回転
にて螺着可能としたリードの大きい適数条のネジ
部を形成し、外蓋は、底を天板とした有底筒状で
その内周面には前記ネジ部に螺合して少ない回転
で冠着可能とした螺合部を設け、容器口部開口端
と外蓋天板内面との間には中蓋を介在させ、中蓋
は、口部内に嵌入する柱体でその一端に前記口部
内には嵌入不可能なフランジを形成すると共に、
このフランジが形成されている一端の端面を滑性
に優れた面に形成し、更に、中蓋には、ゴム材の
如き摩擦抵抗が大きい弾性材にてなる密閉リング
を、中蓋の前記口部内への嵌入状態でフランジと
口部端面との間に配されるべく外嵌し、天板内面
には前記中蓋のフランジが形成されている一端の
端面との接触を最小限に押える逃げ凹部を形成し
て、天板内面と中蓋のフランジが形成されている
一端の端面との接触摩擦抵抗に対して、中蓋のフ
ランジとの密閉リングと容器口部端面とのそれぞ
れの接触摩擦抵抗の方を格段に大きく形成したこ
とにより上述した問題点を解決する。

（作用） 内部にパーテイクルが存在しない容器の口部に
外蓋を冠着して密閉する高純度材料保存容器にお
いて、中蓋の柱体に密閉リングを外嵌した後この
柱体を口部内に嵌入して覆せる。そうすることで
中蓋は、フランジの部分に密閉リングが当接し、
且つ口部開口端面にも密閉リングが当接した状
態、つまり、この開口端面とフランジとの間に密
閉リングが介在していることとなる。又、天板内
面に逃げ凹部を設けたことと、中蓋におけるフラ
ンジが形成されている一端の端面を滑性に優れた
面に形成したこととにより、天板内面と中蓋の前
記フランジが形成されている一端の端面とは、接
触面が少なく非常に滑り易い状態となる。そこ
で、外蓋を少ない回転で口部に冠着すると、前記
フランジと開口端面との間に弾性材にてなる密閉
リングが介在するからその弾性によつて滑り難く
なる。

その時に、密閉リングを、ゴム材の如き摩擦抵
抗が大きい弾性材にて形成し、天板内面と中蓋の
フランジが形成されている一端の端面との接触摩
擦抵抗に対して、中蓋のフランジと密閉リングと
容器口部端面とのそれぞれの接触摩擦抵抗の方を
格段に大きくすることで、天板内面に対し中蓋の
接触面は滑り、且つ口部に対して中蓋は全く回転
しない状態が保たれたまま容器は、中蓋及び密閉
リングを介して外蓋により密閉される。

そして、その動きは、口部外周の少ない回転に
て螺着可能としたリードの大きい適数条のネジ部
と、外蓋の前記ネジ部に螺合して少ない回転で冠
着可能とした螺合部との少ない回転にて行われ、
且つ、固体同志の面接触にて瞬時に行われるもの
である。

（実施例） 以下、図面を参照してこの考案の一実施例を説
明すると次の通りである。

すなわち、図に示す符号１は容器本体であり、
胴部２と口部３とからなる。

この容器本体１は、例えばステンレス鋼の如き
耐蝕性に優れた材料にて形成され、その内面から
口部３の先端部１６外周面にかけて特殊フツ素コ
ーテイングを施し更に耐蝕性に優れたものとして
ある。

そして、前記口部３の外周面には、胴部２近傍
にネジ部１４が形成されている。このネジ部１４
には、後記外蓋４を口部３に冠着する際に、少な
い回転、例えば略1/6回転で冠着できるように、
傾斜の大きいネジ溝１５が周を３等分してそれぞ
れに１条ずつ計３条刻設し、後記ネジ係合突起８
をネジ溝１５の略半分程度まで嵌合した時に冠着
完了するように形成されている。

一方、口部３には有底円筒状の外蓋４が冠着さ
れ、外蓋４における底としての天板７内面と口部
３の開口端１７との間には中蓋５が介在するよう
になつている。

そして、外蓋４は、その内周面に前記それぞれ
のネジ溝１５に螺合する螺合部としてのネジ係合
突起８が３か所に設けられていると共に、天板７
内面には外蓋４と同心にて円形の逃げ凹部９が設
けられている。この逃げ凹部９は、その径が後記
フランジ１１よりも若干小さいものとし外蓋４に
おける天板７と中蓋５における後記接触面１２と
の接触面積を最小限に抑えるためのものである。

中蓋５は、前記口部３内に嵌入可能な径を有す
る円柱１０でその一端にフランジ１１を形成す
る。このフランジ１１は、外蓋４内に挿入可能
で、且つ口部３内周よりも大きい径を有するもの
であり、口部３の中蓋５を覆せた際に、中蓋５が
容器本体１内に落下しないように停止させる働き
をすると同心に、後記Ｏリング６を当接して口部
３の開口端１７との間にＯリング６を介在させる
ための押え板の役目をも果す。又、前記円柱１０
のフランジ１１側の端面とフランジ１１の一方の
面とは連続していてこの面が前記天板７内面と接
触する接触面１２となるものである。

更に、中蓋５の円柱１０には、摩擦抵抗が大き
い弾性材にてなるＯリング６の如き密閉リングを
外嵌する。そして、この中蓋５の円柱１０におけ
るフランジ１１近傍にはその全周に亘つてＯリン
グ嵌着溝１３が設けられ、このＯリング嵌着溝１
３にＯリング６が係合して保持される。

このようにして形成した外蓋４と中蓋５とは次
のようにして口部３に冠着される。

すなわち、先ず、前述したように中蓋５にＯリ
ング６を外嵌してＯリング嵌着溝１３の位置に配
し保持する。この時に、Ｏリング６は、中蓋５の
円柱１０の径よりも内径を若干小さめのものを選
択し、円柱１０に外嵌する時にはＯリング６を若
干拡げて入れ、Ｏリング嵌着溝１３の位置に来た
時に丁度外嵌された状態となるようにする。

このようにしてＯリング６を外嵌した中蓋５
を、その円柱１０を口部３内に嵌入して覆せる。
そうすると、第２図に示すように、口部３の開口
端１７とフランジ１１との間にＯリング６が介在
した状態、つまり、開口端１７とＯリング６、Ｏ
リング６とフランジ１１とがそれぞれ接触した状
態となる。

次に、その上から外蓋４を覆せて外嵌させ、ネ
ジ係合突起８を前記ネジ溝１５に係合させ略1/6
回転程度回転させることで冠着する。その時に、
外蓋４の深さは、冠着完了後に天板７内面に中蓋
５の接触面１２が圧接されるように寸法を設定す
るものである。

その結果、外蓋４の天板７内面と中蓋５の前記
接触面１２との摺動抵抗は、接触面積が小さいこ
とと滑り易いこととから非常に小さく、且つ口部
３に対する中蓋５の摺動抵抗は、摩擦抵抗の大き
い弾性材を介して圧接しているから非常に大きな
ものとなり、その差は格段に大きく、口部３を固
定しておけば中蓋５は回らないで接触面１２と前
記点板７の内面とが滑つた状態のまま外蓋４は口
部３に冠着される。従つて、摺動は中蓋５の外側
で行なわれるため、摺動により発生するパーテイ
クルは容器本体１内には入らず、中の高純度材料
にも混入することはない。

［考案の効果］ 上述した如く構成したこの考案は、高純度材料
保存容器の蓋冠着構造において、この容器の口部
３外周には少ない回転にて螺着可能としたリード
の大きい適数条のネジ部１４を形成し、外蓋４
は、底を天板７とした有底筒状でその内周面には
前記ネジ部１４に螺合して少ない回転で冠着可能
とした螺合部を設けたことにより密閉状態を得る
べく冠着する作業を非常に簡単に、且つ瞬時に行
なうことができ、場合によつては片手でもそれを
行なうことができる。

しかも、中蓋５におけるフランジ１１が形成さ
れている一端の端面を滑性に優れた面に形成し、
更に、中蓋５には、ゴム材の如き摩擦抵抗が大き
い弾性材にてなる密閉リング６を、中蓋５の前記
口部３内への嵌入状態でフランジ１１と口部３端
面との間に配されるべく外嵌し、天板７内面には
前記中蓋５のフランジ１１が形成されている一端
の端面との接触を最小限に押える逃げ凹部９を形
成して、天板７内面と中蓋５のフランジ１１が形
成されている一端の端面との接触摩擦抵抗に対し
て、中蓋５のフランジ１１と密閉リング６と容器
口部３端面とのそれぞれの接触摩擦抵抗の方を格
段に大きく形成したことにより、口部３内に柱体
を嵌入して中蓋５を口部３に覆せると、中蓋５の
フランジ１１と口部３の開口端１７との間にＯリ
ング６を介在させることになる。その結果、口部
３に対する中蓋５の摺動抵抗は、弾性材を介して
圧接されているので非常に大きなものとなり、口
部３を固定しておけば中蓋５は回り難い。そし
て、Ｏリング５が弾性材にてなるから口部３に中
蓋５を押しつければ、非常に良好な密閉状態を得
ることができる。

又、中蓋５における天板７内面との接触面１２
を平滑性に優れた面とし、且つ天板７内面には前
記接触面１２との接触を最小限に押える逃げ凹部
９を構成したことにより、天板７内面と中蓋５の
前記フランジ１１が形成されている一端の端面と
は、接続面が少なく非常に滑り易い状態となる。
そこで、外蓋４を少ない回転で口部３に冠着する
と、前記フランジ１１と開口端１７面との間に弾
性材にてなる密閉リング６が介在するからその弾
性によつて滑り難くなる。

その時に、密閉リング６を、ゴム材の如き摩擦
抵抗が大きい弾性材にて形成し、天板７内面と中
蓋５のフランジ１１が形成されている一端の端面
との接触摩擦抵抗に対して、中蓋５のフランジ１
１と密閉リング６と容器口部３端面とのそれぞれ
の接触摩擦抵抗の方を格段に大きくすることで、
天板７内面に対し中蓋５の接触面は滑り、且つ口
部３に対して中蓋５は全く回転しない状態が保た
れたまま容器は、中蓋５及び密閉リング６を介し
て外蓋により密閉される。

そして、その動きは、口部３外周の少ない回転
にて螺着可能としたリードの大きい適数条のネジ
部１４と、外蓋４の前記ネジ部１４に螺合して少
ない回転で冠着可能とした螺合部との少ない回転
にて行われ、且つ、固体同志の面接触にて瞬時に
行われるものである。その結果、容器内には、前
述した良好な密閉状態と相俟つて、滑りによるパ
ーテイクルは侵入することが全くなくなるもので
ある。

これは、特に固体の面接触でほとんど瞬時に行
われるので、従来の特開昭54−127784号公報にて
提案されているタンクキヤツプの構造のようなス
プリングを使用したもののように、徐々に圧力が
増加するものに比して、口部３に対して中蓋５は
全く回転しない状態が保たれるものである。従つ
て、パーテイクルの容器内への落下は全くなくな
るものである。

以上説明したように、この考案によれば、内部
にパーテイクルが存在しない容器の口部に外蓋を
冠着して密閉する高純度材料保存容器において、
非常に簡単な構造のもので、パーテイクルの侵
入、ひいては、内部にある高純度材料へのパーテ
イクルの混入を完全に防止することができ、又、
冠着も簡単に行なうことができ、更には、構造的
に複雑ではないから従来の容器と比べて何等製造
コストの増加もない等の実用上有益な効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１
図は一部切欠分解斜視図、第２図は冠着状態の正
面図である。 １……容器本体、２……胴部、３……口部、４
……外蓋、５……中蓋、６……Ｏリング、７……
天板、８……ネジ係合突起、９……逃げ凹部、１
０……円柱、１１……フランジ、１２……接触
面、１３……Ｏリング嵌着溝、１４……ネジ部、
１５……ネジ溝、１６……先端部、１７……開口
端。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内部に不純物が存在しない容器の口部に外蓋を
   冠着して密閉する高純度材料保存容器において、
   この容器の口部外周には少ない回転にて螺着可能
   としたリードの大きい適数条のネジ部を形成し、
   外蓋は、底を天板とした有底筒状でその内周面に
   は前記ネジ部に螺合して少ない回転で冠着可能と
   した螺合部を設け、容器口部開口端と外蓋天板内
   面との間には中蓋を介在させ、中蓋は、口部内に
   嵌入する柱体でその一端に前記口部内には嵌入不
   可能なフランジを形成すると共に、このフランジ
   が形成されている一端の端面を滑性に優れた面に
   形成し、更に、中蓋には、ゴム材の如き摩擦抵抗
   が大きい弾性材にてなる密閉リングを、中蓋の前
   記口部内への嵌入状態でフランジと口部端面との
   間に配されるべく外嵌し、天板内面には前記中蓋
   のフランジが形成されている一端の端面との接触
   を最小限に押える逃げ凹部を形成して、天板内面
   と中蓋のフランジが形成されている一端の端面と
   の接触摩擦抵抗に対して、中蓋のフランジとの密
   閉リングと容器口部端面とのそれぞれの接触摩擦
   抵抗の方を格段に大きく形成したことを特徴とす
   る高純度材料保存容器。