JPH0424950B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、アクチユエータ及び主・従遠隔マニ
ピユレータの主アームまたは従アームの任意の位
置決め及び方向運動を制御する位置サーボ制御目
的のためのアクチユエータの使用に関する。

特に、本発明は、現在用いられているケーブル
またはベルト作動式アクチユエータの各々の代り
に用いることができ且つケーブルまたはベルト手
段で作動される主アームと同一の信頼制を有する
小型化した主アームを提供することが可能である
アクチユエータに関する。

現在用いられているケーブルまたはベルト作動
式アクチユエータが機械的に可逆的であるという
重要な利点を有すること、すなわち、アクチユエ
ータが、遠隔マニピユレータが力すなわち応力の
戻り状態にあるとき、主アームからの運動の従ア
ームヘの伝達及び従アームによつて出合う抵抗の
主アームーへの伝達の両方を可能にすることほ周
知である。しかし、これらのアクチユエータは幾
分から欠点を有し、これらの内の最つとも重要な
２つは、所定の運動に対して減速を行なうプーリ
ーの存在から特に生じる全体的に大きな寸法と、
ひんぱんの修理を必要とするケープル及びベルト
の弱さ及びもろさとである。

これらの欠点の第１は、遠隔マニピユレータの
使用の条件が主アームの小型化を例えば必要とす
るとき、こえらの従来のアクチユエータの使用を
計画することが不可能なことである。このこと
は、特に、遠隔マニピユレータが潜水操作を行な
わなければならないとき且つマニピユレータが小
さい潜水船から制御され、主アームに対する有効
空間が直径50cmの球状部分に制限されるときに当
てはまる。

ケーブルまたはテープの弱さに関して、このこ
とは、特に遠隔マニピユレータが原子力の分野で
用いられるとき、従アームに関する動作制限を生
じさせる。このように、あらゆる場合に作動的欠
点となるような従アームの脱汚染または放射媒質
中での修理を行なう必要がある。

本発明は、ケーブルまたはベルト作動式アクチ
ユエータの欠点を有せず、一方力戻しマニピユレ
ータがを与えるように運動の可逆性を与えるアク
チユエータの構造に関する。

この目的のために、及び本発明に従つて、比較
的高い初期速度を有する小さい電気モータが用い
られ、且つ寸法及び力の要求の両方を満足するた
めに、高減速比を有する減速ギヤが電気モータに
加えられる。そのような減速ギヤがほんのわずか
しか可逆的でしかないという事実を考慮して適当
な手段を加えることによつて良好な可逆性を減速
ギヤに加える必要がある。本発明によると、これ
らの手段は、加えられた力に感応する角度的な可
撓な機械連結手段及びこの力を検出する手段であ
る。

特に、本発明は、箱、すなわちケースと、その
ステータが前記箱すなわちケース内に固着された
電気モータと、箱、すなわちケース内に配置され
且つその駆動部分が電気モータのロータによつて
駆動される減速ギヤと、箱、すなわちケースの外
側にあり、且つ角度的に可撓な機械的連結手段に
よつて減速ギヤの被動部分に連結した作動部分
と、作動部分及び被動部分の間の第１角度変位を
検出する手段と、及び被動部分及び箱、すなわち
ケース間の第２角度変位を検出する手段と、を有
することを特徴とするアクチユエータに関する。

可撓な連結手段は特にトーシヨンバーまたは反
対方向に取付けられた２つのらせんばねによつて
形成される。

本発明の好ましい実施例によると、アクチユエ
ータは、減速ギヤの被動部分を基準プレートに連
結するためにトーシヨンバーを中心として同心的
に配列した堅い管状シヤフトを有し、基準プレー
トの両表面が箱の表面及び作動部分の表面に面し
てそれぞれ配置しており、第１及び第２角度変位
を検出する手段が作動部分の前記表面及び基準プ
レートの対応表面の間に、それぞれ取付けられて
いることである。

本発明は、また主アーム及び従アームから成
り、各々が複数の運動を行なう主・従遠隔マチピ
ユレータのアームの少なくとも１つの各運動はマ
クチユエータによつて制御され、サーボ制御器
は、他のアームの同一運動に対応する位置を検出
する３つの手段と、第２手段によつて供給される
信号及び第３手段によつて供給される信号の間の
差を決定する第４手段と、第４手段によつて供給
される信号及び第１手段によつて供給される信号
の間の差を決定する第５手段と、を有し、第５手
段によつて供給される信号が電気モータを制御す
るように働くことを特徴とする位置サーボ制御器
に関する。

好ましくは、このサーボ制御器は、第４手段に
よつて第５手段に伝達される信号のレベルを所定
の値に制御するための第６手段が設けられてい
る。

本発明の他の特徴によると、他のアームの各運
動が第２アクチユエータによつて制御され、第２
アクチユエータは第３手段及び前記第２アクチユ
エータによつて働らかされた力を決定する第８手
段と関連しており、サーボ制御器は第４手段及び
第８手段によつて供給される信号間の差を決定す
る第９手段を有し、第９手段によつて供給される
信号が第２アクチユエータを制御する働きをなす
ものである。

好ましくは、本発明のサーボ制御器は、第４手
段によつて第９手段に伝達される信号のレベルを
所定の値に制御する手段を有している。

次に、本発明を図面を参照して説明する。

第１図の下側部分は、実際に具体化された本発
明のアクチユエータの種々の部材の構造を示し、
一方、上側部分はこれらの部材によつて構成され
た種々の組立体を慨略的に示す。

このように、第１図から、本発明のアクチユエ
ータ１０が円筒状ケース、すなわち円筒状箱１２
から成り、この箱１２は３つの部分１２ａ，１２
ｂ，１２ｃから実際には形成され、それらは結合
具（結合具の１つが一点鎖線１４で概略的に示さ
れている）によつて積み重ねられて組立てられて
いる。比較的高速の電気モータ１６のステータ１
６ａは箱１２の中央部分１２ｂ中に固定されてい
る。モータ１６のロータ１６ｂは部材１８に固定
され部材１８はボア１８ａを有し且つ箱１２及び
ボア１８ａに共通な軸線を中心として箱１２内で
回転するように取付けられている。部材１８は高
減速比を有する減速ギヤ２０の駆動部材を構成す
る。このギヤは、詳細には後述するが、その高減
速比に起因してほんのわずかにしか可逆的でな
い。回転中、ギヤは、ギヤの被動部分２２の機素
の１つを形成する歯付リング２２ａを、駆動部材
１８の速度と比較して比較的低速度で駆動する。
被動部分２２はフランジ２２ｂを含み、フランジ
２２ｂに歯付リング２２ａがねじ（ねじ１つが一
点鎖線２４で概略的に示されている）によつて固
定されている。

被動部分２２ばかりでなく減速ギヤ２０も部分
１２ａ中に配置されており、部分１２ａは箱の１
端を閉じている。被動部分２２はボールベアリン
グ２６を介して部分１２ａ内で回転するように取
付けられている。

駆動部分１８は中空シヤフト状に形成され、箱
の部１２ａ，１２ｂ中を貫通している。駆動部分
はフランジ２２ｂ内の１端及び箱の部分１２ｂ内
の他端とによつて２つのボールベアリング３０を
介して回転するように支持されている。

被動部分２２は駆動部分内に形成したボア１８
ａ内に同心的に配置した堅い管状シヤフト３２と
一体に形成されている。管状シヤフト３２は完全
に駆動部分１８を横切つてフランジ２２ｂとは反
対の端に突出している。シヤフト３２はこの突出
端はボールベアリング３４を介して箱の部分１２
ｂによつて回転するように支持されている。さら
に、その突出端はボールベアリング３４を越えて
延ばされて箱の部分１２ｃ中に配置した基準プレ
ート３６を形成する。

フランジ２２ｂにおいて、堅い管状シヤフト３
２はその内部基部に溝３８を有し、溝３８中に、
管状シヤフト３２内に同心的に配置したトーシヨ
ンバー４２の端に形成した対応溝４０を受入れ
る。トーシヨンバー４２はシヤフト３２の全長に
わたつて延び、基準プレート３６を越えて作動部
分４４に固定されている。作動部分４４は箱の部
分１２ｃの端に形成した円形開口を横切つてお
り、ボールベアリング４６によつて開口中に回転
自在に支持されている。部分４４は、箱１２の外
側に、遠隔マニピユレータの部分と一体の作動プ
レート４４ａ有し、マニピユレータは箱に対して
可動である。

作動部分４４は、箱の部分１２ｃ内に位置決め
されたプレートすなわちデイスクの形状の部分を
含み、デイスクは基準プレート３６の両面の内の
１つの面に面する表面４４ｂを有している。プレ
ート３６の他の面は箱の部分１２ｂに形成した表
面１２ｄに面する。箱に対する基準プレート３６
の回転は箱の表面１２ｄとプレート３６との間に
配置した第１ポテンシヨメータ４８によつて測定
される。同様に、基準プレート３６に対する作動
部材４４の回転は表面４４ｂとプレート３６との
間に置かれたポテンシヨメータ５０によつて検出
される。ポテンシヨメータ４８及び５０は光学符
号器の如き任意の他の位置符号化装置によつて置
換えることができる。

この配列の結果として、ポテンシヨメータ４８
は基準プレート３６及び箱の間の角度変位、すな
わち力がトーシヨンバー４２に加わらないときの
箱に対する部材４４の角度変位を測定することを
可能にすることが明らかである。その結果、ポテ
ンシヨメータ４８トーシヨンバーの角度的ねじれ
内で箱に対する部材４４の位置を指示する。明ら
かに、トーシヨンバー４２は、角度的ねじれを形
成するような、被動部分２２及び部材４４間の他
の任意の機械的連結手段で置き換えるこができ
る。このように、この目的のために、反対向きに
取付けた２つのスパイラルスプリングまたは２つ
の半径方向に配置したプレート間に置かれたスプ
リングを用いることも可能である。

また、ポテンシヨメータ５０は、基準プレート
３６と作動部分４４、すなわちトーシヨンバー４
２との間の角度変位を検出することを可能にす
る。このように、ポテンシヨメータ５０は部分４
４と箱１２との間に働く力を表示する。例えば角
度変位は３Kgの力に対して５０である。

明細書の残りの記載から明らかになるが、トー
シヨンバー４２と組合わさつて本発明の２つのポ
テンシヨメータは、実際の減速ギヤ２０が可逆的
でないにもかかわらず、可逆的アクチユエータを
提供する。

２つのポテンシヨメータによつて与えられる値
を加えることによつて、箱１２に対する部分４４
の位置ち関する情報を得ることができる。このこ
とは、ロボツト工学に適用されるとき、特に有益
である。

明らかに、減速ギヤ２０はモータ１６のロータ
１６ｂに伝達される回転速度に適合するのに充分
な高減速比を有する種類の任意の周知の手段によ
つて形成することができる。前述の如く、そのよ
うなギヤは一般にほんのわずかしか可逆的でな
い。

制限的でない実施例として、第２ａ図及び第２
ｂ図を参照して、第１図のアクチユエータに用い
られる減速ギヤの作動について説明する。このギ
ヤは周知の形式を有し、一般にハーモニツクドラ
イブと呼ばれている。

第１図及び第２ａ図に示す如く、駆動部分１８
はボールベアリングのボール２０ａ用の楕円状内
側レースを形成する部分１８ｂを有し、ボールベ
アリングの外側レースは内側レースの楕円形状に
適合する可撓性スチールリング２０ｂ上に形成さ
れている。第１図に示すように、リング２０ｂは
外歯を有し、外歯は２つの直径方向に反対側の母
線に沿つて同時に箱の部分１２ｂに固定したリン
グに形成した内歯２０ｃ及び被動部分２２のリン
グ２２ａに形成した内歯２０ｄに係合する。

第２ｂ図から明らかなように、リング２０ｂ内
の部分１８ｂによつて支持したレースの回転が駆
動部分１８の所定の回転に対する歯間の変位に対
応する角度αだけ固定歯２０ｃ内のレースを回転
する効果を有するように、歯付リング２０ｂの歯
の数が箱に形成した歯２０ｃの数と異なる。

なお、２０ｄ中の歯の数がリング２０ｂ中の歯
の数と同一であるので、リング２０ｂの回転は被
動部分２２の回転に対して同一角度αだけ進む。

このような減速ギヤの減速比は極めて高い。そ
の理由は、もし２０ｂおよび２０ｃの歯の数の間
の変位が１だけならば、歯２０ｃのピツチに対応
する角度αによる被動部分２２の回転は駆動部分
の１回転に相当するからである。前述の如く、こ
のようなギヤはほんのわずかに可逆的である。

第３図に特に示すように、本発明のアクチユエ
ータは遠隔マニピユレータの運動の各々を制御す
るために用いられることができる。このように、
第３図は、小型化した主アーム（マスターアー
ム）５２が普通の寸法の従アーム（スレーブアー
ム）５４を遠隔制御することを示している。主ア
ーム５２は特に潜水船内に設定でき、従アーム５
４は潜水船の外にあり、舷窓を介して、またはテ
レビジヨンスクリーン５６に表示される両面の助
けによつてモニターされる。

例えば、主アーム５２は垂直に軸支した支持体
５２及び支持体５２ａの垂直軸線を中心として枢
動するように（運動Ｘ）及び前記第１軸線に垂直
なシヨルダー軸線を中心として枢動するように
（運動２）取付けたアーム５２ｂを有する。前腕
５２ｃがシヨルダー軸線に平行なエルボー軸線を
中心として回動するように（運動Ｙ）アーム５２
ｂに関節結合されている。前腕５２ｃの端はハン
ドル５２ｄを支持し、前腕の軸線を中心として回
動できる（方位方向運動Ａ）。ハンドル５２ｄは
また前腕軸線に垂直な軸線を中心として回動し
（上昇運動Ｂ）及び前述の軸線に垂直な第２軸線
を中心として回動する（枢動運動Ｃ）ように関節
結合されている。最後に、ハンドルは従アームの
把持具の開閉運動を制御する爪を有している。

従アーム５４は、同様に、垂直軸支持体５４
ａ、アーム５４ｂ、前腕５４ｃ及び把持具５４を
有し、これらは主アームの対応部品と同様に互い
に対して枢動できる。

本発明のアクチユエータ１０は主アームの位置
決め運動（Ｘ、Ｙ及びＺ）及び方向運動（Ａ、Ｂ
及びＣ）の各々に対応する。簡略化のために、支
持体５２ａの垂直軸線を中心とする主アームの組
立体の枢動を制御するアクチユエータ１０ａが第
３図に示されている。従アーム５４上のアクチユ
エータは前述のアクチユエータの各々に対応す
る。このように、特に、油圧ジヤツキによつて形
成できるアクチユエータ５８ａはアクチユエータ
１０ａに対応する。このジヤツキにはポテンシヨ
ンメータのような位置検出器ばかりでなく力（す
なわち圧力）測定装置が設けられている。測定し
た圧力は従アームに加えらえた負荷の概念を与え
る。

第４図に示すようなサーボ制御回路は、形式１
０ａ−５８ａのアクチユエータ組立体の各々に対
応する。

次の記載は、位置−位置、力戻し、主従遠隔マ
ニピユレータに関するが、マニピユレータは位置
−力、または力−位置形式ものであつてもよい。

モータ１６、減速ギヤ２０、ポテンシヨメータ
４８及び５０及びアクチユエータ１０の作動プレ
ート４４ａを見ることができる。またジヤツキ５
８、位置ポテンシヨメータ６０、力ポテンシヨメ
ータ６０及びギヤツキによつて制御される可動部
分６４を見ることができる。主側において、モー
タ１６はタコゼネレータ（速度計用発電機）６６
によつて制御される。

ポテンシヨメータ４８及び６０によつて供給さ
れる位置信号は減算器６８に入れられ、減算器６
８の出力信号は、主側において、リミツタ７２を
通過した後、減算器７０に入れられる。減算器７
０の第２入力端子は力ポテンシヨメータ５０から
の信号を受けとる。減算器７０の出力信号は、増
幅器７６を通過した後、第２減算器７４に入力さ
れる。減算器７４は、モータ１６を制御する出力
信号を第２増幅器７８を介して供給するために、
減算器７０からの出力信号をタコゼネレータ６６
からの信号と比較する。

従側では、同一形式の比較が減算器６８の出力
信号と力ポテンシヨメータ６２によつて供給され
る信号との間で行なわれる。また、リミツタ７
２′、減算器７０′及び増幅器７６′がある。この
増幅器から供給される信号はジヤツキ５８を制御
するサーボバルブ８０に直接入れられる。

第３図及び第４図を参照して前述した遠隔マニ
ピユレータ次のように作動する。

対応する運動が主アーム上に行なわれていない
ときに、従アーム５４がバランスしているとする
と、ジヤツキ５８と関連するポテンシヨメータ６
２は負荷が存在しない状態で信号を与えない。同
様に、もし主アームがバランスしているならば、
信号は５０に表われない。ポテンシヨメータ４８
及び６０によつて供給される信号間の差（減算器
６８の出力で読まれる値）が零であるように２つ
のアームが位置決めらえているとさらに仮定す
る。もし負荷が考えている運動方向において従ア
ームに供給され、主アームの部分にはまだ運動が
ないとすると、圧力変化がポテンシヨメータ６２
で検出され、サーボバルブ８０に伝達される。サ
ーボバルブ８０は、力を働らかせる方向にジヤツ
キ５８の前進を制御する。

したがつて、ポテンシヨメータ６０は位置変化
を検出する。

減算器６８の出力に表われるポーンシヨメータ
５８及び６０間の位置の差は、一方においては、
減算器７０′の出力におけるサーボバルブ８０の
制御信号の打消しによつて、ジヤツキ５８を遅く
して停止させ、他方においては、モータ１６の回
転に導き、これらはポテンシヨメータ４８の変位
に導く。

したがつて、従アームは平衝状態にあり、ポテ
ンシヨメータ６２で測定される力はポーンシヨメ
ータ及び６０間の位置の差と直接関係にあり、位
置の差は減算器６８の出力で得られる。ジヤツキ
５８で制御される従アームは、前述の如き、平衝
状態を保持するために、ねじれるので、減算器６
８の出力で測定される差は広がらないことをこの
段階において指摘しておく。

もし操作者が制御部材４４ａによつて主アーム
を堅く保持するならば、トーシヨンバーはねじ
れ、検出器はねじれを測定し、減算器７０を介し
てモータ１６の運動を止める。

従アームに関して、ポテンシヨメータ５０によ
つて測定した力が減算器６８の出力におけるポテ
ンシヨメータ４８及び６０間の位置の差と直線関
係にあるように、平衝状態が得られる。

配列が対称であるので、４４ａにおいて主アー
ムに操作者によつて働らかされる力は、前述と同
一のプロセスによつて従アーム作用する。リミツ
タ７２及び７２′の機能はアクチユエータによつ
て働らかされる力の大きさを絶対値内に制限する
ことである。

減算器６８の出力測定した変化がリミツタ７２
の制限値を越え、操作者がアクチユエータ４４ａ
にさらに増大する力を働らかせると仮定する。ポ
テンシヨメータ５０からの値がリミツタ７２の制
限値を越えるとき、モータ１６が制御されて、力
が制限値を越えている間アーム４４ａは戻され
る。すなわち、アームは、装置が設計さえた制限
値を越える力に対しては分離する。

このリミツタは、増幅段の飽和を生じさせる電
子回路の値を適当に選らぶことによつて得られ
る。第４図の回路は、その作動が述べられていな
いが、タコゼネレータ６６を含む。これは、実際
には、タコメータ（速度計）負帰還の名前の下で
周知の回路であり、負帰還の目的は、装置の性能
を改良することである。簡略化のために、このタ
コゼネレータは第１図には表われないが、このこ
とはタコゼネレータがモータの端に加えられるこ
とを防げるものではない。同様に、従の部分に対
しても、性能を改良するために、速度負帰還を加
えることも可能である。

６２において、回路は、運動に対する力トラン
スジユーサを含む、このことは良い解決である。
また、油圧アクチユエータ上に圧力トランスジユ
ーサを利用することもえきる。しかし、装置の性
質はジヤツキ、すなわち油圧モータの摩擦に起因
して、わずかに劣るものである。

主アーム及び従アーム間の力の比は、主アーム
または従アームに対して選らばれる最大力の比と
は異なる任意の値に電子的に調節できる。主アー
ム５２の運動の各々に対して、本発明のアクチユ
エータ１０は、従アームの変位の制御及び主アー
ムに対する従アームからの力の戻しを行なうこと
を可能とする。

明らかに、本発明はこの用述に制限されるもの
ではなく、ロボツト工学における任意の運動制御
に対して一般の方法で用いることができる。

このように、本発明のアクチユエータは従アー
ムに対しても用いられることができる。この場合
本発明のアクチユエータは第３図の手段５８の
各々に換える。従アームに加えられた力は、ポテ
ンシヨメータ５０によつて検出され、主アームに
取付けられた対応するアクチユエータのモータ１
６を制御するために主アームに加えらえた力と比
較される。特に、このような適用は、先行技術の
ケーブルまたはベルト作動式マニピユレータの欠
点を有しない主・従遠隔マニピユレータを実現す
ることができる。

最後に、本発明のアクチユエータが設けられた
主アーム状アーム５２は、いわゆる重い従アーム
を制御するのにも用いられる利点がある。極めて
重い負荷を取扱うことができるこの種の従アーム
は、現在、プツシユボタン制御箱から制御され、
位置または力戻しを有しない。この場合、ポテン
シヨメータが現存の従アームに加えられ、その運
動を検出することを可能にし、双方形の位置／位
置サーボ制御が従アームの変位を制御するように
従アームの位置を主アームの位置に比較すること
によつて行なわれる。特に、運動の各々に対し
て、この運動に対応する本発明のアクチユエータ
が作動され、対応するトーシヨンバーをねじる効
果を有する。このようにポテンシヨメータ５０に
おいて測定した力はモータ１６に直接伝達され、
操作者によつて働らかされた力に従う。主アーム
の得られた変位はポテンシヨメータ４８によつて
測定される。それは、対応するポテンシヨメータ
によつて指示さえた従アームの対応する位置と比
較される。得られた信号は、主アームと同様に従
アームを変位するために、従アームのモータを制
御するのに用いられる。

従アームの変位を遅くすることを留意して、主
アーム（その変位速度は制限されない）と従アー
ムとの間に変位を生じさせることもできる。双方
形の位置／位置サーボ制御系に起因して、この変
位はその解放の際主アームの後方戻りによつて補
償できる。

この用述の場合、リミツタ７２の値は操作者の
動作を容易にするために減じられる。実際には真
の力戻しは存在しない。その理由は、力検出が従
アームにおいて生じないからである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のアクチユエータの長手方向
断面図である。第２ａ図及び第２ｂ図は、第１図
のアクチユエータにおいて用いられる減速ギヤの
作動を説明するための図である。第３図は、通常
の寸法を有する油圧制御式従アームの遠隔制御を
行なう小型化した主アームの運動を制御するのに
本発明のアクチユエータを適用することを示す図
である。第４図は、第３図の遠隔マニピユレータ
の運動の各々を制御するのに用いられることがで
きるサーボ制御回路を示す図である。 １０……アクチユエータ、１２……箱、１６…
…モータ、２０……減速ギヤ、５２……主アー
ム、５４……従アーム。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ケース１２と、このケース１２内にステータ
   １６ａが固定されている電気モータ１６と、ケー
   ス１２内に配置され且つ駆動部分１８が電気モー
   タ１６のロータ１６ｂよつて駆動される減速ギヤ
   ２０と、ケース１６内で減速ギヤ２０および電気
   モータ１６と同じ軸線方向に延びた可撓性部材４
   ２とを有し、 この可撓性部材４２の第１端部は減速ギヤ２０
   の被駆動部分２２に連結されており、その第２端
   部はケース１６の外側にある作動部材４４に連結
   されており、 さらに、作動部材４４と減速ギヤ２０の被駆動
   部分２２との間の角度変化を検出する第１検出手
   段５０と、減速ギヤ２０の被駆動部分２２とケー
   ス１６との間の角度変化を検出する第２検出手段
   ４８とがケース１２の内部に設けられていること
   を特徴とするアクチユエータ。 ２ 可撓性部材４２の軸線と作動部材４４および
   減速ギヤ２０の被駆動部分２２の軸線とが同軸で
   ある特許請求の範囲第１項に記載のアクチユエー
   タ。 ３ 可撓性部材４２がトーシヨンバーである特許
   請求の範囲第１項または第２項に記載のアクチユ
   エータ。 ４ 減速ギヤ２０の被駆動部分２２が、上記トー
   シヨンバー４２の外側にそれと同軸に配置された
   剛体の管状シヤフトを介して基準プレート３６に
   連結されており、この基準プレート３６の両表面
   はケース１２の表面と作動部材４４の表面とに
   各々対向して配置されており、上記第１検出手段
   ５０は作動部材４４の表面とそれに対向した基準
   プレート３６の表面の間の角度変位を検出し、第
   ２検出手段４８はケース１２の表面とそれと対向
   した基準プレート３６の表面との間の角度変位を
   検出するように取付けられている特許請求の範囲
   第３項に記載のアクチユエータ。 ５ 可撓性部材４２が２本のコイルバネである特
   許請求の範囲第１項または第２項に記載のアクチ
   ユエータ。