JPH04249705A - 位置ずれ検出方法と位置決め装置 - Google Patents
位置ずれ検出方法と位置決め装置Info
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- JPH04249705A JPH04249705A JP44991A JP44991A JPH04249705A JP H04249705 A JPH04249705 A JP H04249705A JP 44991 A JP44991 A JP 44991A JP 44991 A JP44991 A JP 44991A JP H04249705 A JPH04249705 A JP H04249705A
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は印刷配線基板等の電極に
プローブを当接せしめ導通試験を行う検査装置に係り、
特に自動的に電極の位置ずれを検出し位置を修正する位
置ずれ検出方法と位置決め装置に関する。
プローブを当接せしめ導通試験を行う検査装置に係り、
特に自動的に電極の位置ずれを検出し位置を修正する位
置ずれ検出方法と位置決め装置に関する。
【０００２】混成集積回路等に用いられる印刷配線基板
はセラミック等からなる基板上に、電極や導体配線パタ
ーンと共に抵抗体やコンデンサ等が形成されており、か
かる印刷配線基板の検査は通常複数の電極に複数のプロ
ーブを同時に当接せしめ、それぞれの電極間の導体抵抗
を測定することによって良否の判定を行う。
はセラミック等からなる基板上に、電極や導体配線パタ
ーンと共に抵抗体やコンデンサ等が形成されており、か
かる印刷配線基板の検査は通常複数の電極に複数のプロ
ーブを同時に当接せしめ、それぞれの電極間の導体抵抗
を測定することによって良否の判定を行う。
【０００３】しかし、被検体となる印刷配線基板が所定
の位置に位置決めされていないと、導通試験に際して全
てのプローブを目標とする電極に当接させることができ
ず、異なった抵抗値を検出して誤判定したりプローブの
先端を損傷する場合がある。
の位置に位置決めされていないと、導通試験に際して全
てのプローブを目標とする電極に当接させることができ
ず、異なった抵抗値を検出して誤判定したりプローブの
先端を損傷する場合がある。
【０００４】そこで被検体の位置ずれを容易に検出でき
る位置ずれ検出方法の確立と、被検体を所定の位置に確
実に位置決めできる位置決め装置の開発が要望されてい
る。
る位置ずれ検出方法の確立と、被検体を所定の位置に確
実に位置決めできる位置決め装置の開発が要望されてい
る。
【０００５】
【従来の技術】図４は被検体の一例を示す平面図、図５
は従来の位置決め装置を示すブロック図である。
は従来の位置決め装置を示すブロック図である。
【０００６】図４（ａ） に示す如く混成集積回路等に
用いられる印刷配線基板（以下被検体と称する）１１は
、セラミック等からなる同一基板１上に複数個同時に形
成されており、それぞれの被検体１１は数多くの電極や
導体パターン、抵抗体等の他に、図４（ｂ） に示す如
く例えば右上隅と左下隅に円環状位置補正マーク１２を
有する。
用いられる印刷配線基板（以下被検体と称する）１１は
、セラミック等からなる同一基板１上に複数個同時に形
成されており、それぞれの被検体１１は数多くの電極や
導体パターン、抵抗体等の他に、図４（ｂ） に示す如
く例えば右上隅と左下隅に円環状位置補正マーク１２を
有する。
【０００７】かかる被検体１１を検査する装置は被検体
１１を所定の位置に位置決めする位置決め装置を有し、
位置決め装置は図５（ａ） に示す如く被検体１１を移
動させるＸＹθテーブル２と、位置補正マーク１２を画
像信号として取り込むビデオカメラ３と、位置補正マー
ク１２を拡大して画面に写し出すディスプレイ装置４を
具えている。
１１を所定の位置に位置決めする位置決め装置を有し、
位置決め装置は図５（ａ） に示す如く被検体１１を移
動させるＸＹθテーブル２と、位置補正マーク１２を画
像信号として取り込むビデオカメラ３と、位置補正マー
ク１２を拡大して画面に写し出すディスプレイ装置４を
具えている。
【０００８】ＸＹθテーブル２は手動で駆動することも
モータで駆動することも可能であり、被検体１１をＸ軸
方向およびＹ軸方向に移動させると共に任意の角度だけ
水平方向に回動させ、被検体１１の移動量や回転角を示
すパルス信号が内蔵されたロータリーエンコーダから出
力される。
モータで駆動することも可能であり、被検体１１をＸ軸
方向およびＹ軸方向に移動させると共に任意の角度だけ
水平方向に回動させ、被検体１１の移動量や回転角を示
すパルス信号が内蔵されたロータリーエンコーダから出
力される。
【０００９】従来の位置決め装置は図５（ｂ） に示す
如くディスプレイ装置４の画面に十字の基準マーク４１
を有し、画面を見ながら手動または電動によってＸＹθ
テーブル２を駆動して、位置補正マーク１２の一点鎖線
で示す仮想中心線を基準マーク４１に重ね、位置補正マ
ーク１２の中心を位置決め装置の所定の位置に合わせる
。
如くディスプレイ装置４の画面に十字の基準マーク４１
を有し、画面を見ながら手動または電動によってＸＹθ
テーブル２を駆動して、位置補正マーク１２の一点鎖線
で示す仮想中心線を基準マーク４１に重ね、位置補正マ
ーク１２の中心を位置決め装置の所定の位置に合わせる
。
【００１０】セラミック等からなる基板１上に形成され
た被検体１１は図４（ａ） に示す如く、Ｘ軸方向およ
びＹ軸方向に対してそれぞれ異なる方向に傾斜している
ことが多く、被検体１１を位置決めする際は例えば右上
隅と左下隅に形成された位置補正マーク１２により、被
検体１１の傾斜を修正すると同時に所定の位置に移動さ
せなければならない。そこで例えば右上隅の位置補正マ
ーク１２の中心を所定の位置に合わせ、次いで左下隅の
位置補正マーク１２の中心を所定の位置に合わせる。
た被検体１１は図４（ａ） に示す如く、Ｘ軸方向およ
びＹ軸方向に対してそれぞれ異なる方向に傾斜している
ことが多く、被検体１１を位置決めする際は例えば右上
隅と左下隅に形成された位置補正マーク１２により、被
検体１１の傾斜を修正すると同時に所定の位置に移動さ
せなければならない。そこで例えば右上隅の位置補正マ
ーク１２の中心を所定の位置に合わせ、次いで左下隅の
位置補正マーク１２の中心を所定の位置に合わせる。
【００１１】位置決め装置はまたコンピュータ５とＸＹ
θテーブル２を制御する制御回路６を具えており、例え
ば右上隅の位置補正マーク１２の中心から左下隅の位置
補正マーク１２の中心に到達するまでの移動量と、予め
設定されている位置データからコンピュータ５が修正の
ための回転角や移動量を算出し、コンピュータ５から出
力される命令によって制御回路６がＸＹθテーブル２を
駆動する。
θテーブル２を制御する制御回路６を具えており、例え
ば右上隅の位置補正マーク１２の中心から左下隅の位置
補正マーク１２の中心に到達するまでの移動量と、予め
設定されている位置データからコンピュータ５が修正の
ための回転角や移動量を算出し、コンピュータ５から出
力される命令によって制御回路６がＸＹθテーブル２を
駆動する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の位置決
め装置は位置補正マークの中心を所定の位置に合わせる
作業を目視で行っており、オペレータによって精度が左
右されると同時に位置決めのために多くの人手を要する
という問題があった。
め装置は位置補正マークの中心を所定の位置に合わせる
作業を目視で行っており、オペレータによって精度が左
右されると同時に位置決めのために多くの人手を要する
という問題があった。
【００１３】本発明の目的は自動的に電極の位置ずれを
検出し位置を修正する位置ずれ検出方法と位置決め装置
を提供することにある。
検出し位置を修正する位置ずれ検出方法と位置決め装置
を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の位置ずれ
検出方法と位置決め装置を示す図である。なお全図を通
し同じ対象物は同一記号で表している。
検出方法と位置決め装置を示す図である。なお全図を通
し同じ対象物は同一記号で表している。
【００１５】上記課題は画面上の任意の点を原点７１と
し原点７１を中心とする円形の基準ウインド７を設定し
て、位置補正マーク１２の内径より大きく外形より小さ
い基準ウインド７内に含まれる、位置補正マーク１２の
内径で囲まれた領域１３の面積と重心１４の位置を算出
し、原点７１と重心１４を結ぶ線の方向を位置補正マー
ク１２の位置ずれ方向とすると共に、原点７１と重心１
４を結ぶ線と平行に基準ウインド７を移動せしめ、領域
１３の面積が位置補正マーク１２の内径で囲まれた円形
の面積に等しくなった位置における、領域１３の重心１
４から原点７１までの距離を位置ずれ量とする本発明の
位置ずれ検出方法。
し原点７１を中心とする円形の基準ウインド７を設定し
て、位置補正マーク１２の内径より大きく外形より小さ
い基準ウインド７内に含まれる、位置補正マーク１２の
内径で囲まれた領域１３の面積と重心１４の位置を算出
し、原点７１と重心１４を結ぶ線の方向を位置補正マー
ク１２の位置ずれ方向とすると共に、原点７１と重心１
４を結ぶ線と平行に基準ウインド７を移動せしめ、領域
１３の面積が位置補正マーク１２の内径で囲まれた円形
の面積に等しくなった位置における、領域１３の重心１
４から原点７１までの距離を位置ずれ量とする本発明の
位置ずれ検出方法。
【００１６】およびモータで駆動され被検体１１をＸ軸
方向とＹ軸方向に移動させ且つ水平に回動させるＸＹθ
テーブル２と、被検体１１上の位置補正マーク１２を画
像信号として取り込むビデオカメラ３と、コンピュータ
５およびＸＹθテーブル２を制御する制御回路６を有す
る位置決め装置であって、位置補正マーク１２の画像を
二値化する二値化回路８１と、任意の大きさの基準ウイ
ンド７を創成するウインド創成回路８２と、基準ウイン
ド７と位置補正マーク１２を合成する画像合成回路８３
と、位置補正マーク１２の内径で囲まれた領域１３の面
積と重心１４の位置を算出する演算回路８４を有し、前
記検出方法によって被検体１１の位置ずれを検出し位置
修正を行う本発明の位置決め装置によって達成される。
方向とＹ軸方向に移動させ且つ水平に回動させるＸＹθ
テーブル２と、被検体１１上の位置補正マーク１２を画
像信号として取り込むビデオカメラ３と、コンピュータ
５およびＸＹθテーブル２を制御する制御回路６を有す
る位置決め装置であって、位置補正マーク１２の画像を
二値化する二値化回路８１と、任意の大きさの基準ウイ
ンド７を創成するウインド創成回路８２と、基準ウイン
ド７と位置補正マーク１２を合成する画像合成回路８３
と、位置補正マーク１２の内径で囲まれた領域１３の面
積と重心１４の位置を算出する演算回路８４を有し、前
記検出方法によって被検体１１の位置ずれを検出し位置
修正を行う本発明の位置決め装置によって達成される。
【００１７】
【作用】図１において画面上の任意の点を原点とし原点
を中心とする円形の基準ウインドを設定して、位置補正
マークの内径より大きく外形より小さい基準ウインド内
に含まれる、位置補正マークの内径で囲まれた領域の面
積と重心の位置を算出し、原点と重心を結ぶ線の方向を
位置補正マークの位置ずれ方向とすると共に、原点と重
心を結ぶ線と平行に基準ウインドを移動せしめ、領域の
面積が位置補正マークの内径で囲まれた円形の面積に等
しくなった位置における、領域の重心から原点までの距
離を位置ずれ量とする本発明になる位置ずれ検出方法と
、モータで駆動され被検体をＸ軸方向とＹ軸方向に移動
させ且つ水平に回動させるＸＹθテーブルと、被検体上
の位置補正マークを画像信号として取り込むビデオカメ
ラと、コンピュータおよびＸＹθテーブルを制御する制
御回路を有する位置決め装置であって、位置補正マーク
の画像を二値化する二値化回路と、任意の大きさの基準
ウインドを創成するウインド創成回路と、基準ウインド
と位置補正マークを合成する画像合成回路と、位置補正
マークの内径で囲まれた領域の面積と重心の位置を算出
する演算回路を有する本発明になる位置決め装置によっ
て、目視にたよることなく被検体上の位置補正マークを
自動的に所定の位置に位置きめすることが可能になり、
自動的に電極の位置ずれを検出し位置を修正する位置ず
れ検出方法と位置決め装置を実現することができる。
を中心とする円形の基準ウインドを設定して、位置補正
マークの内径より大きく外形より小さい基準ウインド内
に含まれる、位置補正マークの内径で囲まれた領域の面
積と重心の位置を算出し、原点と重心を結ぶ線の方向を
位置補正マークの位置ずれ方向とすると共に、原点と重
心を結ぶ線と平行に基準ウインドを移動せしめ、領域の
面積が位置補正マークの内径で囲まれた円形の面積に等
しくなった位置における、領域の重心から原点までの距
離を位置ずれ量とする本発明になる位置ずれ検出方法と
、モータで駆動され被検体をＸ軸方向とＹ軸方向に移動
させ且つ水平に回動させるＸＹθテーブルと、被検体上
の位置補正マークを画像信号として取り込むビデオカメ
ラと、コンピュータおよびＸＹθテーブルを制御する制
御回路を有する位置決め装置であって、位置補正マーク
の画像を二値化する二値化回路と、任意の大きさの基準
ウインドを創成するウインド創成回路と、基準ウインド
と位置補正マークを合成する画像合成回路と、位置補正
マークの内径で囲まれた領域の面積と重心の位置を算出
する演算回路を有する本発明になる位置決め装置によっ
て、目視にたよることなく被検体上の位置補正マークを
自動的に所定の位置に位置きめすることが可能になり、
自動的に電極の位置ずれを検出し位置を修正する位置ず
れ検出方法と位置決め装置を実現することができる。
【００１８】
【実施例】以下添付図により本発明の実施例について説
明する。図２は本発明になる位置ずれ検出方法の原理を
示す図、図３は本発明になる位置ずれ量の確認方法を示
す図である。
明する。図２は本発明になる位置ずれ検出方法の原理を
示す図、図３は本発明になる位置ずれ量の確認方法を示
す図である。
【００１９】図２（ａ） において位置補正マーク１２
の内径より大きく外形より小さい円形の基準ウインド７
は、画面上の任意の位置に定められた原点７１を中心と
して設定されている。位置ずれが無い場合はかかる基準
ウインド７に二値化された位置補正マーク１２の画像を
重ねると、基準ウインド７の中に位置補正マーク１２の
内径で囲まれた円形の領域１３ａ（斜線部分）が写しだ
される。
の内径より大きく外形より小さい円形の基準ウインド７
は、画面上の任意の位置に定められた原点７１を中心と
して設定されている。位置ずれが無い場合はかかる基準
ウインド７に二値化された位置補正マーク１２の画像を
重ねると、基準ウインド７の中に位置補正マーク１２の
内径で囲まれた円形の領域１３ａ（斜線部分）が写しだ
される。
【００２０】しかるに位置補正マーク１２の中心が原点
７１から大きくずれていると図２（ｂ） に示す如く、
位置補正マーク１２の内径で囲まれた円形の領域は一部
が基準ウインド７で覆われている。その領域１３ｂ（斜
線部分）の重心１４ｂ は基準ウインド７の中心、即ち
原点７１から離れた位置に存在し、この重心１４ｂ と
原点７１を結んだ直線は位置補正マーク１２が原点７１
からずれている方向を示す。
７１から大きくずれていると図２（ｂ） に示す如く、
位置補正マーク１２の内径で囲まれた円形の領域は一部
が基準ウインド７で覆われている。その領域１３ｂ（斜
線部分）の重心１４ｂ は基準ウインド７の中心、即ち
原点７１から離れた位置に存在し、この重心１４ｂ と
原点７１を結んだ直線は位置補正マーク１２が原点７１
からずれている方向を示す。
【００２１】また位置補正マーク１２の中心が原点７１
から大きくずれていると領域１３ｂ の面積は、位置補
正マーク１２の内径で囲まれた円形の領域１３ａ に比
べ小さくなる。 かかる場合は図２（ｃ） に示す如く位置がずれた方向
に基準ウインド７を移動させると、位置補正マーク１２
の内径で囲まれた領域１３ｂ の面積が増大して領域１
３ｃ となり、やがて図２（ａ） に示す円形の領域１
３ａ の面積と等しくなる位置が見出される。
から大きくずれていると領域１３ｂ の面積は、位置補
正マーク１２の内径で囲まれた円形の領域１３ａ に比
べ小さくなる。 かかる場合は図２（ｃ） に示す如く位置がずれた方向
に基準ウインド７を移動させると、位置補正マーク１２
の内径で囲まれた領域１３ｂ の面積が増大して領域１
３ｃ となり、やがて図２（ａ） に示す円形の領域１
３ａ の面積と等しくなる位置が見出される。
【００２２】そのときの領域１３ｃ は全周が位置補正
マーク１２の内径で囲まれた円形であり、領域１３ｃ
の重心１４ｃ は内径の中心、即ち位置補正マーク１２
の中心と合致する。したがって重心１４ｃ から原点７
１までの距離を算出することによって、位置補正マーク
１２の原点７１からの位置ずれ量を検出することができ
る。
マーク１２の内径で囲まれた円形であり、領域１３ｃ
の重心１４ｃ は内径の中心、即ち位置補正マーク１２
の中心と合致する。したがって重心１４ｃ から原点７
１までの距離を算出することによって、位置補正マーク
１２の原点７１からの位置ずれ量を検出することができ
る。
【００２３】しかし、二値化された位置補正マーク１２
は内径で囲まれた領域と外径の外は同レベルであり、図
３（ａ） に示す如く位置補正マーク１２の中心が原点
７１から更に大きくずれた場合は、基準ウインド７内の
位置補正マーク１２の内径で囲まれた領域１３ｄ の面
積を算出する際に、基準ウインド７内に含まれる位置補
正マーク１２の外径の外にある領域１３ｅ の面積が加
算される。
は内径で囲まれた領域と外径の外は同レベルであり、図
３（ａ） に示す如く位置補正マーク１２の中心が原点
７１から更に大きくずれた場合は、基準ウインド７内の
位置補正マーク１２の内径で囲まれた領域１３ｄ の面
積を算出する際に、基準ウインド７内に含まれる位置補
正マーク１２の外径の外にある領域１３ｅ の面積が加
算される。
【００２４】かかる状態で位置ずれ量を検出するために
位置がずれた方向に基準ウインド７を移動させると、領
域１３ｄ の面積と領域１３ｅ の面積の加算値が円形
の領域１３ａ の面積と等しくなる場合がある。その場
合の重心の位置は当然位置補正マーク１２の中心と異な
るものである。
位置がずれた方向に基準ウインド７を移動させると、領
域１３ｄ の面積と領域１３ｅ の面積の加算値が円形
の領域１３ａ の面積と等しくなる場合がある。その場
合の重心の位置は当然位置補正マーク１２の中心と異な
るものである。
【００２５】そこで本発明になる位置ずれ検出方法では
次の方法によって両者の区別を行っている。即ち、図２
（ｃ） に示す領域１３ｃ の面積、または図３（ａ）
に示す領域１３ｄ の面積と領域１３ｅ の面積が、
図２（ａ） に示す円形の領域１３ａ の面積と等しく
なったときに図３（ｂ） に示す如く、基準ウインド７
と同じ位置に大きさの異なる第２の基準ウインド９を設
定する。
次の方法によって両者の区別を行っている。即ち、図２
（ｃ） に示す領域１３ｃ の面積、または図３（ａ）
に示す領域１３ｄ の面積と領域１３ｅ の面積が、
図２（ａ） に示す円形の領域１３ａ の面積と等しく
なったときに図３（ｂ） に示す如く、基準ウインド７
と同じ位置に大きさの異なる第２の基準ウインド９を設
定する。
【００２６】図２（ｃ） に示す領域１３ｃ は位置補
正マーク１２の内径で囲まれた領域であり、図３（ａ）
に示す領域１３ｄ と領域１３ｅ は位置補正マーク
１２と基準ウインドに囲まれた領域である。したがって
例えば基準ウインドが大きくなっても領域１３ｃ の面
積は変わらないが、領域１３ｄ と領域１３ｅ の面積
は増大するため両者を明確に見分けることができる。
正マーク１２の内径で囲まれた領域であり、図３（ａ）
に示す領域１３ｄ と領域１３ｅ は位置補正マーク
１２と基準ウインドに囲まれた領域である。したがって
例えば基準ウインドが大きくなっても領域１３ｃ の面
積は変わらないが、領域１３ｄ と領域１３ｅ の面積
は増大するため両者を明確に見分けることができる。
【００２７】本発明になる位置決め装置は図１（ｂ）
に示す如く被検体１１を移動させるＸＹθテーブル２と
、位置補正マーク１２を画像信号として取り込むビデオ
カメラ３の他に、位置補正マーク１２の画像を二値化す
る二値化回路８１と、任意の大きさの基準ウインド７を
創成するウインド創成回路８２と、基準ウインド７と位
置補正マーク１２を合成する画像合成回路８３と、位置
補正マーク１２の内径で囲まれた領域１３の面積と重心
１４の位置を算出する演算回路８４と、位置決めの過程
を監視する画像を写し出すディスプレイ装置４を具えて
いる。
に示す如く被検体１１を移動させるＸＹθテーブル２と
、位置補正マーク１２を画像信号として取り込むビデオ
カメラ３の他に、位置補正マーク１２の画像を二値化す
る二値化回路８１と、任意の大きさの基準ウインド７を
創成するウインド創成回路８２と、基準ウインド７と位
置補正マーク１２を合成する画像合成回路８３と、位置
補正マーク１２の内径で囲まれた領域１３の面積と重心
１４の位置を算出する演算回路８４と、位置決めの過程
を監視する画像を写し出すディスプレイ装置４を具えて
いる。
【００２８】ＸＹθテーブル２は手動で駆動することも
モータで駆動することも可能であり、被検体１１をＸ軸
方向およびＹ軸方向に移動させると共に任意の角度だけ
水平方向に回動させ、被検体１１の移動量や回転角を示
すパルス信号が内蔵されたロータリーエンコーダから出
力される。
モータで駆動することも可能であり、被検体１１をＸ軸
方向およびＹ軸方向に移動させると共に任意の角度だけ
水平方向に回動させ、被検体１１の移動量や回転角を示
すパルス信号が内蔵されたロータリーエンコーダから出
力される。
【００２９】位置決め装置はまたコンピュータ５とＸＹ
θテーブル２を制御する制御回路６を具えており、コン
ピュータ５に予め記憶させているプログラムに従ってＸ
Ｙθテーブル２が移動し、ＸＹθテーブル２に載置され
た被検体１１が順次位置決め装置の所定の位置に位置決
めされる。例えば被検体１１の右上隅に形成された位置
補正マーク１２を画像信号として取り込み、二値化回路
８１、ウインド創成回路８２、画像合成回路８３、およ
び演算回路８４で画像信号を処理する。
θテーブル２を制御する制御回路６を具えており、コン
ピュータ５に予め記憶させているプログラムに従ってＸ
Ｙθテーブル２が移動し、ＸＹθテーブル２に載置され
た被検体１１が順次位置決め装置の所定の位置に位置決
めされる。例えば被検体１１の右上隅に形成された位置
補正マーク１２を画像信号として取り込み、二値化回路
８１、ウインド創成回路８２、画像合成回路８３、およ
び演算回路８４で画像信号を処理する。
【００３０】位置ずれの検出に必要なデータ、即ち基準
ウインドの原点、位置補正マークの内径で囲まれた領域
の面積等はコンピュータ５に記憶されており、演算回路
８４から面積と重心の位置を示す情報が出力されると、
コンピュータ５が直ちに位置ずれ方向と位置ずれ量を算
出して例えばディスプレイ装置に表示し、コンピュータ
５から出力される命令によって制御回路６がＸＹθテー
ブル２を駆動する。
ウインドの原点、位置補正マークの内径で囲まれた領域
の面積等はコンピュータ５に記憶されており、演算回路
８４から面積と重心の位置を示す情報が出力されると、
コンピュータ５が直ちに位置ずれ方向と位置ずれ量を算
出して例えばディスプレイ装置に表示し、コンピュータ
５から出力される命令によって制御回路６がＸＹθテー
ブル２を駆動する。
【００３１】被検体１１の右上隅に形成された位置補正
マーク１２の中心を所定の位置に合わせると、次いで左
下隅に形成された位置補正マーク１２の中心を所定の位
置に合わせる。右上隅の位置補正マーク１２の中心から
左下隅の位置補正マーク１２の中心に到達するまでの移
動量と、予め設定されている位置データからコンピュー
タ５が修正のための回転角や移動量を算出し、コンピュ
ータ５から出力される命令によって制御回路６がＸＹθ
テーブル２を駆動する。
マーク１２の中心を所定の位置に合わせると、次いで左
下隅に形成された位置補正マーク１２の中心を所定の位
置に合わせる。右上隅の位置補正マーク１２の中心から
左下隅の位置補正マーク１２の中心に到達するまでの移
動量と、予め設定されている位置データからコンピュー
タ５が修正のための回転角や移動量を算出し、コンピュ
ータ５から出力される命令によって制御回路６がＸＹθ
テーブル２を駆動する。
【００３２】このように画面上の任意の点を原点とし原
点を中心とする円形の基準ウインドを設定して、位置補
正マークの内径より大きく外形より小さい基準ウインド
内に含まれる、位置補正マークの内径で囲まれた領域の
面積と重心の位置を算出し、原点と重心を結ぶ線の方向
を位置補正マークの位置ずれ方向とすると共に、原点と
重心を結ぶ線と平行に基準ウインドを移動せしめ、領域
の面積が位置補正マークの内径で囲まれた円形の面積に
等しくなった位置における、領域の重心から原点までの
距離を位置ずれ量とする本発明になる位置ずれ検出方法
と、モータで駆動され被検体をＸ軸方向とＹ軸方向に移
動させ且つ水平に回動させるＸＹθテーブルと、被検体
上の位置補正マークを画像信号として取り込むビデオカ
メラと、コンピュータおよびＸＹθテーブルを制御する
制御回路を有する位置決め装置であって、位置補正マー
クの画像を二値化する二値化回路と、任意の大きさの基
準ウインドを創成するウインド創成回路と、基準ウイン
ドと位置補正マークを合成する画像合成回路と、位置補
正マークの内径で囲まれた領域の面積と重心の位置を算
出する演算回路を有する本発明になる位置決め装置によ
って、目視にたよることなく被検体上の位置補正マーク
を自動的に所定の位置に位置きめすることが可能になり
、自動的に電極の位置ずれを検出し位置を修正する位置
ずれ検出方法と位置決め装置を実現することができる。
点を中心とする円形の基準ウインドを設定して、位置補
正マークの内径より大きく外形より小さい基準ウインド
内に含まれる、位置補正マークの内径で囲まれた領域の
面積と重心の位置を算出し、原点と重心を結ぶ線の方向
を位置補正マークの位置ずれ方向とすると共に、原点と
重心を結ぶ線と平行に基準ウインドを移動せしめ、領域
の面積が位置補正マークの内径で囲まれた円形の面積に
等しくなった位置における、領域の重心から原点までの
距離を位置ずれ量とする本発明になる位置ずれ検出方法
と、モータで駆動され被検体をＸ軸方向とＹ軸方向に移
動させ且つ水平に回動させるＸＹθテーブルと、被検体
上の位置補正マークを画像信号として取り込むビデオカ
メラと、コンピュータおよびＸＹθテーブルを制御する
制御回路を有する位置決め装置であって、位置補正マー
クの画像を二値化する二値化回路と、任意の大きさの基
準ウインドを創成するウインド創成回路と、基準ウイン
ドと位置補正マークを合成する画像合成回路と、位置補
正マークの内径で囲まれた領域の面積と重心の位置を算
出する演算回路を有する本発明になる位置決め装置によ
って、目視にたよることなく被検体上の位置補正マーク
を自動的に所定の位置に位置きめすることが可能になり
、自動的に電極の位置ずれを検出し位置を修正する位置
ずれ検出方法と位置決め装置を実現することができる。
【００３３】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば自動的に電極
の位置ずれを検出し位置を修正する位置ずれ検出方法と
位置決め装置を提供することができる。
の位置ずれを検出し位置を修正する位置ずれ検出方法と
位置決め装置を提供することができる。
【図１】 本発明の位置ずれ検出方法と位置決め装置
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 本発明になる位置ずれ検出方法の原理を示
す図である。
す図である。
【図３】 本発明になる位置ずれ量の確認方法を示す
図である。
図である。
【図４】 被検体の一例を示す平面図である。
【図５】 従来の位置決め装置を示すブロック図であ
る。
る。
２ ＸＹθテーブル ３
ビデオカメラ４ ディスプレイ装置
５ コンピュータ６ 制御回路
７，９ 基準ウインド１１
被検体 １
２ 位置補正マーク１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，
１３ｄ 内径で囲まれた領域 １３ｅ 外
径の外にある領域
ビデオカメラ４ ディスプレイ装置
５ コンピュータ６ 制御回路
７，９ 基準ウインド１１
被検体 １
２ 位置補正マーク１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，
１３ｄ 内径で囲まれた領域 １３ｅ 外
径の外にある領域
Claims (3)
- 【請求項１】 画面上の任意の点を原点（７１）とし
該原点（７１）を中心とする円形の基準ウインド（７）
を設定して、位置補正マーク（１２）の内径より大き
く外形より小さい該基準ウインド（７） 内に含まれる
、該位置補正マーク（１２）の内径で囲まれた領域（１
３）の面積と重心（１４）の位置を算出し、該原点（７
１）と該重心（１４）を結ぶ線の方向を該位置補正マー
ク（１２）の位置ずれ方向とすると共に、該原点（７１
）と該重心（１４）を結ぶ線と平行に該基準ウインド（
７） を移動せしめ、該領域（１３）の面積が該位置補
正マーク（１２）の内径で囲まれた円形の面積に等しく
なった位置における、該領域（１３）の重心（１４）か
ら原点（７１）までの距離を位置ずれ量とすることを特
徴とした位置ずれ検出方法。 - 【請求項２】 モータで駆動され被検体（１１）をＸ
軸方向とＹ軸方向に移動させ且つ水平に回動させるＸＹ
θテーブル（２） と、該被検体（１１）上の位置補正
マーク（１２）を画像信号として取り込むビデオカメラ
（３） と、コンピュータ（５） および該ＸＹθテー
ブル（２） を制御する制御回路（６） を有する位置
決め装置であって、該位置補正マーク（１２）の画像を
二値化する二値化回路（８１）と、任意の大きさの基準
ウインド（７） を創成するウインド創成回路（８２）
と、該基準ウインド（７） と該位置補正マーク（１２
）を合成する画像合成回路（８３）と、該位置補正マー
ク（１２）の内径で囲まれた領域（１３）の面積と重心
（１４）の位置を算出する演算回路（８４）を有し、請
求項１記載の検出方法によって該被検体（１１）の位置
ずれを検出し位置修正を行うことを特徴とする位置決め
装置。 - 【請求項３】 基準ウインド（７） を設定し請求項
１記載の方法により位置ずれを検出した後、該基準ウイ
ンド（７） と大きさの異なる第２の基準ウインド（９
） を設定し、位置ずれ量の確認を行うことを特徴とす
る位置ずれ検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP44991A JPH04249705A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 位置ずれ検出方法と位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP44991A JPH04249705A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 位置ずれ検出方法と位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249705A true JPH04249705A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=11474102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP44991A Withdrawn JPH04249705A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 位置ずれ検出方法と位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249705A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104880162A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-09-02 | 江门崇达电路技术有限公司 | 一种检测pcb中钻孔偏移程度的方法 |
| JP2016142532A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-08 | 前田建設工業株式会社 | 施工性評価プログラム、施工性評価方法及び施工性評価装置 |
-
1991
- 1991-01-08 JP JP44991A patent/JPH04249705A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016142532A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-08 | 前田建設工業株式会社 | 施工性評価プログラム、施工性評価方法及び施工性評価装置 |
| CN104880162A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-09-02 | 江门崇达电路技术有限公司 | 一种检测pcb中钻孔偏移程度的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |