JPH0425006A - Porcelain capacitor and manufacturing method thereof - Google Patents

Porcelain capacitor and manufacturing method thereof

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JPH0425006A
JPH0425006A JP2125812A JP12581290A JPH0425006A JP H0425006 A JPH0425006 A JP H0425006A JP 2125812 A JP2125812 A JP 2125812A JP 12581290 A JP12581290 A JP 12581290A JP H0425006 A JPH0425006 A JP H0425006A
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Abstract

PURPOSE:To contrive to marked improve relative permittivity and to make a porcelain capacitor small-sized and a large capacitance by a method of specifying the composition of a dielectric porcelain composition comprising a dielectric layer of a porcelain capacitor. CONSTITUTION:Additive components with respect to a fundamental component {(Ba1-XCaX)O}K(Ti1-Y-ZZrYRZ)O2-Z/2 are, in an triangular figure in which compositions are shown in mol%, in a range enclosed by six straight lines linking in the following order: a first point A showing a composition of B2O3 1 mol%, SiO2 80mol%, and MO 19mol%; a second point B showing a composition of B2O3 1mol%, SiO2 39mol%, and MO 60mol%; a third point C showing a composition of B2O3 30mol%, SiO2 0mol%, and MO 70mol%; a fourth point D showing a composition of B2O3 90mol%, SiO2 0mol%, and MO 10 mol%; a fifth point E showing a composition of B2O3 90mol%, SiO2 10mol%, and MO 0mol%; and a point F showing a composition of B2O3 20mol%, SiO2 80mol%, and MO 0mol%.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、誘電体磁器層を少なくとも2以上の内部電極
で挟持してなる単層または積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a ceramic capacitor having a single-layer or laminated structure in which a dielectric ceramic layer is sandwiched between at least two internal electrodes, and a method for manufacturing the same. .

[従来の技術] 積層磁器コンデンサは、誘電体磁器原料粉末からなる未
焼結磁器シート(グリーンシート)に導電性ペーストを
所望パターンで印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、酸化性雰囲気中において1300°C〜1600℃で
焼成させて製造されている。
[Conventional technology] Multilayer ceramic capacitors are manufactured by printing a conductive paste in a desired pattern on an unsintered porcelain sheet (green sheet) made of dielectric ceramic raw material powder, stacking a plurality of sheets and pressing them together, and placing them in an oxidizing atmosphere. It is manufactured by firing at 1300°C to 1600°C.

この焼成により、前記未焼結磁器シートは誘電体m器層
となり、前記導電性ペーストは内部電極となる。
By this firing, the unsintered porcelain sheet becomes a dielectric layer, and the conductive paste becomes an internal electrode.

ところで、従来、前記導電性ペーストとしては白金また
はパラジウム等の貴金属を主成分とするものが使用され
ていた。
By the way, conventionally, as the conductive paste, one whose main component is a noble metal such as platinum or palladium has been used.

これは、導電性ペーストとして白金またはパラジウム等
の貴金属を主成分とするものを使用ずれば、酸化性雰囲
気中において1300°C〜1600℃という高温で焼
成させても、導電性ペーストを酸化させることな(、所
望の内部電極に変性させることができるからである。
This means that if a conductive paste whose main component is a noble metal such as platinum or palladium is used, the conductive paste will not oxidize even if it is fired at a high temperature of 1300°C to 1600°C in an oxidizing atmosphere. (This is because it can be modified into a desired internal electrode.)

しかし、白金やパラジウム等の貴金属は高価であるため
、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になるという
問題があった。
However, since noble metals such as platinum and palladium are expensive, there is a problem in that the cost of multilayer ceramic capacitors is inevitably high.

この問題を解決することができるものとして、本件出願
人に係わる特公昭60−20851号公報には、((B
axCaySrz)Olk(T1r+Zr+−n102
からなる基本成分と、Li2Oと5in2とMO(但し
、MOはBad、CaO及びSrOから選択された1種
または2種以上の酸化物)からなる添加成分とを含む誘
電体磁器組成物が開示されている。
As a solution to this problem, Japanese Patent Publication No. 60-20851 related to the present applicant ((B
axCaySrz)Olk(T1r+Zr+-n102
A dielectric ceramic composition is disclosed that includes a basic component consisting of Li2O, 5in2, and an additive component consisting of MO (where MO is one or more oxides selected from Bad, CaO, and SrO). ing.

また、特開昭61−147404号公報には、((Ba
t−++−ycaxsry)O1w(Tut−zZrj
Ozからなる基本成分と、B2O3とSiO2とL x
 20からなる添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開
示されている。
Also, in Japanese Patent Application Laid-open No. 147404/1983, ((Ba
t-++-ycaxsry)O1w(Tut-zZrj
Basic components consisting of Oz, B2O3, SiO2 and L x
A dielectric ceramic composition is disclosed that includes an additive component consisting of 20.

また、特開昭61−147405号公報には、((Ba
t −x−ycaxsryl ol、 (T1. +−
zZrzl 02からなる基本成分と、B2O3とSi
O□からなる添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示
されている。
Furthermore, in Japanese Patent Application Laid-open No. 147405/1983, ((Ba
t −x−ycaxsryl ol, (T1. +−
Basic components consisting of zZrzl 02, B2O3 and Si
A dielectric ceramic composition containing an additive component consisting of O□ is disclosed.

また、特開昭61−147406号公報には、((Ba
t−x−ycaxsrylO)K(Tut−zZrzl
Lからなる基本成分゛と、B2O3とSiO□とMO(
但し、MOはBad、CaO及びSrOから選択された
1種または2種以上の酸化物)からなる添加成分とを含
む誘電体磁器組成物が開示されている。
Furthermore, in Japanese Patent Application Laid-open No. 147406/1986, ((Ba
t-x-ycaxsrylO)K(Tut-zZrzl
The basic component ゛ consisting of L, B2O3, SiO□ and MO (
However, a dielectric ceramic composition is disclosed in which MO is an additive component consisting of one or more oxides selected from Bad, CaO, and SrO.

これらの公報に開示されている誘電体磁器組成物は、還
元性雰囲気中における1200℃以下の比較的低い温度
の焼成で得ることができるものであるが、その比誘電率
εは5000以上、抵抗率pはlX106MΩ・cm以
上である。
The dielectric ceramic compositions disclosed in these publications can be obtained by firing at a relatively low temperature of 1200°C or less in a reducing atmosphere, but the dielectric constant ε is 5000 or more and the resistance is low. The ratio p is 1×10 6 MΩ·cm or more.

[発明が解決しようとする課題] ところで、近年における電子回路の高密度化への進展は
著しく、積層磁器コンデンサの小型化の要求は非常に強
い。
[Problems to be Solved by the Invention] Incidentally, in recent years, there has been a remarkable progress toward higher density of electronic circuits, and there is a strong demand for miniaturization of multilayer ceramic capacitors.

このため、積層磁器コンデンサの誘電体層を構成する誘
電体磁器組成物の比誘電率εを、他の電気的特性を悪化
させることなく、上記各公報に開示されている誘電体磁
器組成物の比誘電率εよりも更に増大させることが望ま
れていた。
For this reason, the dielectric constant ε of the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer of the multilayer ceramic capacitor can be changed from that of the dielectric ceramic composition disclosed in the above-mentioned publications without deteriorating other electrical properties. It has been desired to further increase the dielectric constant ε.

そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気中における1
200℃以下の温度の焼成で得られるものであるにもか
かわらず、誘電体層を構成している誘電体磁器組成物の
比誘電率εが7000以上、誘電体損失tanδが2.
5%以下、抵抗率pがlX106MΩ・Cm以上と、そ
の電気的特性が従来のものより更に優れた磁器コンデン
サ及びその製造方法を提供することにある。
Therefore, the object of the present invention is to
Although it is obtained by firing at a temperature of 200°C or lower, the relative dielectric constant ε of the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer is 7000 or more, and the dielectric loss tan δ is 2.
The object of the present invention is to provide a ceramic capacitor whose electrical characteristics are better than conventional ones, with a resistivity p of 5% or less and a resistivity p of 1×106 MΩ·Cm or more, and a method for manufacturing the same.

[課題を解決するための手段] 本発明に係る磁器コンデンサは、誘電体磁器組成物から
なる誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している
少なくとも2以上の内部電極とを備えた磁器コンデンサ
において、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5,0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、 前記基本成分が、 ((Bat−xcajolh(T1.+−y−zZry
RzlOz−zz2(但し、Rは、Sc、Y、Gd、D
y、Ho。
[Means for Solving the Problems] A ceramic capacitor according to the present invention includes a dielectric ceramic layer made of a dielectric ceramic composition, and at least two internal electrodes sandwiching the dielectric ceramic layer. In the ceramic capacitor, the dielectric ceramic composition is made of a fired mixture of 100.0 parts by weight of a basic component and 0.2 to 5.0 parts by weight of an additive component, and the basic component is ( (Bat-xcajolh(T1.+-y-zZry
RzlOz-zz2 (However, R is Sc, Y, Gd, D
y, Ho.

Er、Yb、Tb、Tm及びLuから選択された1種ま
たは2種以上の元素、 x、y、z、には、 0≦X≦0.27 0.05≦y≦0.26 0.002≦Z≦0.04 1.00≦に≦1.04 を満足する数値)であり、 前記添加成分がB2O3とSiO2とMO(但し、MO
はBaO,SrO,Cab、MgO及びZnOから選択
された1種または2種以上の酸化物)からなり、 前記B2O3と前記SiO2と前記MOとの組成範囲が
、これらの組成をモル%で示す三角図において、 前記B2O3が1モル%、前記SiO□が80モル%、
前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記B2O3が1モル%、前記SjO□が39モル%、
前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記B2O3が30モル%、前記5jO2が0モル%、
前記MOが70モル%の組成を示す第3の点Cと、 前記B2O3が90モル%、前記SiO□が0モル%、
前記MOが10モル%の組成を示す第4の点りと、 前記百203が90モル%、前記5in2が10モル%
、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと、 前記B2O3が20モル%、前記SiO□が80モル%
、前記MOが0モル%の組成を示す第6の点Fと をこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあるもの
である。
One or more elements selected from Er, Yb, Tb, Tm, and Lu; ≦Z≦0.04 1.00≦≦1.04), and the additive components are B2O3, SiO2, and MO (however, MO
is one or more oxides selected from BaO, SrO, Cab, MgO, and ZnO), and the composition range of the B2O3, the SiO2, and the MO is a triangle representing these compositions in mol%. In the figure, the B2O3 is 1 mol%, the SiO□ is 80 mol%,
A first point A in which the MO has a composition of 19 mol%, the B2O3 has a composition of 1 mol%, the SjO□ has a composition of 39 mol%,
a second point B having a composition of 60 mol% of the MO; 30 mol% of the B2O3; 0 mol% of the 5jO2;
a third point C having a composition of 70 mol% of the MO; 90 mol% of the B2O3; 0 mol% of the SiO□;
A fourth dot showing a composition of 10 mol% of the MO, 90 mol% of the 10203 and 10 mol% of the 5in2.
, a fifth point E having a composition in which the MO is 0 mol%, the B2O3 is 20 mol%, and the SiO□ is 80 mol%.
, and the sixth point F where the MO has a composition of 0 mol % are in a region surrounded by six straight lines connecting in this order.

ここで、基本成分の組成式中におけるCaの原子数の割
合、すなわちXの値を0≦X≦0.27としたのは、X
の値が、O≦X≦0.27の場合には、所望の電気的特
性を有する焼結体を得ることができるが、0.27を越
えた場合には、焼成温度が1250℃と高くなり、比誘
電率ε8も7000未満となるからである。
Here, the ratio of the number of Ca atoms in the composition formula of the basic component, that is, the value of X, is set to 0≦X≦0.27 because
If the value of This is because the dielectric constant ε8 is also less than 7,000.

また、基本成分の組成式中におけるZrの原子数の割合
、すなわちyの値を0.05≦y≦0.26としたのは
、yの値が、0.05≦y≦0.26の場合には、所望
の電気的特性を有する焼結体を得ることができるが、こ
の範囲から外れた場合には、比誘電率ε5が7000未
満となるからである。
In addition, the ratio of the number of Zr atoms in the composition formula of the basic component, that is, the value of y, is set to 0.05≦y≦0.26 because the value of y is 0.05≦y≦0.26. In this case, it is possible to obtain a sintered body having desired electrical properties, but if it deviates from this range, the dielectric constant ε5 becomes less than 7,000.

また、基本成分の組成式中におけるRの原子数の割合、
すなわちZの値を0.002≦Z≦0.04としたのは
、Zの値が、0.002≦2≦0.04の場合には所望
の電気的特性を有する焼結体を得ることができるが、0
.002未満になった場合には、誘電体損失tanδが
大幅に悪化し、抵抗率ρもIX]、03MΩ・cm未満
となり、また、0.04を越えた場合には、焼成温度が
1250℃であっても緻密な焼結体を得ることができな
いからである。
In addition, the ratio of the number of atoms of R in the composition formula of the basic component,
In other words, the reason why the value of Z is set to 0.002≦Z≦0.04 is that when the value of Z is 0.002≦2≦0.04, a sintered body having desired electrical characteristics can be obtained. can be done, but 0
.. When it becomes less than 0.002, the dielectric loss tan δ deteriorates significantly, and the resistivity ρ also becomes less than I This is because even if there is, a dense sintered body cannot be obtained.

なお、R成分のSc、Y、Gd、Dy、Ho。Note that the R components Sc, Y, Gd, Dy, and Ho.

Er、Yb、Tb、Tm及びLuははメ同様に働き、こ
れ等から選択された1つを使用しても、または検数を使
用しても同様な結果が得られる。
Er, Yb, Tb, Tm, and Lu work in the same way as the squares, and the same result can be obtained even if one selected from them is used or a count is used.

基本成分の組成式中における((Bat−xCa、)0
)の割合、すなわちkの値を1.00≦に≦1.04と
したのは、kの値が、1.00≦に≦1.04の場合に
は、所望の電気的特性を有する焼結体を得ることができ
るが、1.00未満になった場合には、抵抗率ρがlX
10’MΩ・cm未満と、大幅に低くなり、1.04を
越えた場合には、緻密な焼結体を得ることができないか
らである。
In the composition formula of the basic component, ((Bat-xCa,)0
), that is, the value of k is set to 1.00≦≦1.04, because if the value of k is 1.00≦≦1.04, the sintered material has the desired electrical characteristics. Although a solid can be obtained, if the resistivity ρ becomes less than 1.00, the resistivity ρ becomes lX
This is because if it is less than 10'MΩ·cm, it is significantly low, and if it exceeds 1.04, a dense sintered body cannot be obtained.

なお、基本成分の組成式中におけるR成分のうちで、T
b、Tm及びL uは後記する第1表中に記載しなかっ
たが、これらも他のR成分と同様の作用効果を有するも
のである。
In addition, among the R components in the composition formula of the basic components, T
Although b, Tm and Lu are not listed in Table 1 below, these also have the same effects as the other R components.

また、基本成分の中には、本発明の目的を阻害しない範
囲で微量のMn0z(好ましくは0.05〜0.1重量
%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよい。
In addition, a trace amount of mineralizing agent such as Mn0z (preferably 0.05 to 0.1% by weight) may be added to the basic components within a range that does not impede the purpose of the present invention to improve sinterability. Good too.

また、その他の物質を必要に応じて添加してもよい。Further, other substances may be added as necessary.

また、基本成分を得るための出発原料としては、実施例
で示した以外の酸化物を使用してもよいし、水酸化物ま
たはその他の化合物を使用してもよい。
Further, as a starting material for obtaining the basic components, oxides other than those shown in the examples, hydroxides, or other compounds may be used.

次に、添加成分の添加量を、100重量部の基本成分に
対して0.2〜5.0重量部としたのは、添加成分の添
加量がこの範囲内にある場合は1190〜1200℃の
焼成で所望の電気的特性を何する焼結体を得ることがで
きるが、0.2重量部未満になると、焼成温度が125
0°Cであっても緻密な焼結体を得ることができないし
、また、5.0重量部を越えると、比誘電率8.、が7
000未満となるからである。
Next, the addition amount of the additive component was set to 0.2 to 5.0 parts by weight relative to 100 parts by weight of the basic component. A sintered body with desired electrical properties can be obtained by firing at a temperature of 125% by weight.
Even at 0°C, a dense sintered body cannot be obtained, and if it exceeds 5.0 parts by weight, the dielectric constant is 8. , is 7
This is because it is less than 000.

添加成分の組成を、B2O3と5in2とMOとの組成
をモル%で示す三角図において、前記した点A−Fをこ
の順に結ぶ6本の直線で囲まれた範囲内としたのは、添
加成分の組成をこの範囲内のものとすれば、所望の電気
的特性を有する焼結体を得ることができるが、添加成分
の組成をこの範囲外とすれば、緻密な焼結体を得ること
ができないからである。
In the triangular diagram showing the composition of B2O3, 5in2, and MO in mol%, the composition of the additive component was set within the range surrounded by the six straight lines connecting the points A-F in this order. If the composition is within this range, a sintered body with desired electrical properties can be obtained, but if the composition of the additive components is outside this range, a dense sintered body cannot be obtained. Because you can't.

なお、MO成分は、Bad、SrO,Cab。Note that the MO components are Bad, SrO, and Cab.

MgO,ZnOのいずれか1つであってもよいし、また
は適当な比率としてもよい。
Either one of MgO and ZnO may be used, or an appropriate ratio may be used.

次に、本発明に係る磁器コンデンサの製造方法は、前記
の基本成分と添加成分とからなる未焼結の磁器粉末から
なる混合物を調製する工程と、前記混合物からなる未焼
結磁器シートを形成する工程と、前記未焼結磁器シート
を少な(とも2以上の導電性ペースト膜で挟持させた積
層物を形成する工程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中
において熱処理する工程と、前記熱処理を受けた積層物
を酸化性雰囲気中において熱処理する工程とを備えたも
のである。
Next, the method for manufacturing a porcelain capacitor according to the present invention includes the steps of preparing a mixture of unsintered porcelain powder made of the basic components and additive components, and forming an unsintered porcelain sheet of the mixture. a step of forming a laminate in which the unsintered porcelain sheet is sandwiched between two or more conductive paste films; a step of heat treating the laminate in a non-oxidizing atmosphere; and a step of heat-treating the laminate in a non-oxidizing atmosphere. The method includes a step of heat-treating the laminate in an oxidizing atmosphere.

ここで、非酸化性雰囲気としては、H2やCOなとの還
元性雰囲気のみならず、N2やArなどの中性雰囲気で
あってもよい。
Here, the non-oxidizing atmosphere may be not only a reducing atmosphere such as H2 or CO, but also a neutral atmosphere such as N2 or Ar.

また、非酸化性雰囲気中における熱処理の温度は、電極
材料を考慮して種々変更することができる。ニッケルを
内部電極とする場合には、1050℃〜1200℃の範
囲でニッケル粒子の(疑集をほとんど生じさせることな
く熱処理することができる。
Further, the temperature of the heat treatment in a non-oxidizing atmosphere can be varied in consideration of the electrode material. When nickel is used as the internal electrode, heat treatment can be performed in the range of 1050° C. to 1200° C. with almost no agglomeration of the nickel particles.

また、酸化性雰囲気中における熱処理の温度は、焼結温
度より低い温度であればよく、500〜1000°Cの
範囲が好ましい。どのような温度にするかは、電極材料
にッケル等)の酸化と誘電体磁器層の酸化とを考慮して
種々変更する必要がある。後述する実施例ではこの熱処
理の温度を600℃としたが、この温度に限定されるも
のではない。
Further, the temperature of the heat treatment in an oxidizing atmosphere may be lower than the sintering temperature, and is preferably in the range of 500 to 1000°C. The temperature to be set needs to be changed in various ways, taking into account the oxidation of the electrode material (nickel, etc.) and the oxidation of the dielectric ceramic layer. Although the temperature of this heat treatment was set to 600° C. in the examples described later, it is not limited to this temperature.

なお、本発明は積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層
の磁器コンデンサにも勿論適用可能である。
Note that the present invention is of course applicable to general single-layer ceramic capacitors other than multilayer ceramic capacitors.

[実施例コ まず、第1表中の試料No、1の場合について説明する
[Example] First, the case of sample No. 1 in Table 1 will be explained.

基]ヨ虹公4」」刃 配合1の化合物を各々秤量し、これらの化合物をポット
ミルに、複数個のアルミナボール及び2.5℃の水とと
もに入れ、15時間撹拌混合して、混合物を得た。
Weighed each of the compounds of blade formulation 1, put these compounds into a pot mill together with a plurality of alumina balls and water at 2.5°C, and stirred and mixed for 15 hours to obtain a mixture. Ta.

ここで、配合1の各化合物の重量(g)は、前記基本成
分の組成式 %式% となるように計算して求めた値である。
Here, the weight (g) of each compound in Formulation 1 is a value calculated so that the compositional formula of the basic components is as follows.

次に、前記混合物をステンレスポットに入れ、熱風式乾
燥器を用い、150℃で4時間乾燥し、この乾燥した混
合物を粗粉砕し、この粗粉砕した混合物をトンネル炉を
用い、大気中において約1200℃で2時間仮焼し、前
記組成式(1)で表わされる組成の基本成分の粉末を得
た。
Next, the mixture was placed in a stainless steel pot and dried at 150°C for 4 hours using a hot air dryer, and the dried mixture was coarsely ground. It was calcined at 1200° C. for 2 hours to obtain a powder having the basic components represented by the composition formula (1).

亀凰戊豆匁11 また、配合2の化合物を各々秤量し、これらの化合物を
ポリエチレンポットに、複数個のアルミナボール及び3
00m、Cのアルコールとともに加え、10時間撹拌混
合して、混合物を得た。
11 In addition, each of the compounds of Formulation 2 was weighed, and these compounds were placed in a polyethylene pot with a plurality of alumina balls and 3
00m and C alcohol and stirred and mixed for 10 hours to obtain a mixture.

ここで、配合2の各化合物の重量(g)は、B2O3が
1モル%、S i Oaが80モル%、MOが19モル
%1Bao(3,8モル%)+Ca0(9,5モル%)
+Mg0(5,7モル%))の組成となるように計算し
て求めた値である。
Here, the weight (g) of each compound in Formulation 2 is: B2O3 is 1 mol%, Si Oa is 80 mol%, MO is 19 mol% 1Bao (3.8 mol%) + Ca0 (9.5 mol%)
+Mg0 (5.7 mol%)).

また、MOのうちでBad、CaO及びMgOの占める
割合は、BaOが20モル%、CaOが50モル%、M
gOが30モル%である。
In addition, the proportions of Bad, CaO, and MgO in MO are 20 mol% for BaO, 50 mol% for CaO, and 50 mol% for MgO.
gO is 30 mol%.

次に、前記混合物を大気中において約1000℃の温度
で2時間仮焼し、これをアルミナポットに複数個のアル
ミナボール及び300m℃の水とともに入れ、15時間
粉砕し、その後、150℃で4時間乾燥させ、前記組成
の添加成分の粉末を得た。
Next, the mixture was calcined in the air at a temperature of about 1000°C for 2 hours, put into an alumina pot together with a plurality of alumina balls and water at 300m°C, pulverized for 15 hours, and then heated to 150°C for 4 hours. It was dried for a period of time to obtain a powder of the additive component having the above composition.

スラリーの調製 次に、100重量部(1000g)の前記基本成分と、
2重量部(20g)の前記添加成分とをボールミルに入
れ、更に、これらの基本成分と添加成分との合計重量に
対して15重量%の有機バインダーと50重量%の水を
入れ、これらを混合及び粉砕して誘電体磁器組成物の原
料となるスラリーを得た。
Preparation of slurry Next, 100 parts by weight (1000 g) of the basic ingredients,
Put 2 parts by weight (20 g) of the above additive components into a ball mill, and further add 15% by weight of an organic binder and 50% by weight of water based on the total weight of these basic components and additive components, and mix these. and pulverized to obtain a slurry that would serve as a raw material for a dielectric ceramic composition.

ここで、有機バインダーとしては、アクリル酸エステル
ポリマー グリセリン及び縮合リン酸塩の水溶液からな
るものを使用した。
Here, the organic binder used was an aqueous solution of acrylic acid ester polymer glycerin and condensed phosphate.

未1」組数lコ仁二上4す刻成 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡処理し、
この脱泡処理したスラリーをポリエステルフィルム上に
リバースコータを用いて所定の厚さで塗布し、この塗布
されたスラリーをこのポリエステルフィルムとともに1
00 ’Cで加熱して乾燥させ、厚さ約25 g mの
長尺な未焼結m蓋シートを得た。そして、この長尺な未
焼結磁器シートを裁断して10cm角の未焼結磁器シー
トを得た。
The number of sets of "1" is carved into 4 pieces.Next, the slurry is put into a vacuum defoaming machine and degassed,
This defoamed slurry is applied onto a polyester film to a predetermined thickness using a reverse coater, and this applied slurry is coated with this polyester film in one coat.
It was dried by heating at 00'C to obtain a long unsintered m-lid sheet with a thickness of about 25 gm. Then, this long unsintered porcelain sheet was cut to obtain a 10 cm square unsintered porcelain sheet.

電 ペーストの  と印 また、粒径平均1.!5umのニッケル粉末10gと、
エチルセルロース0.9gをブチルカルピトール9.1
gに溶解させたものとを撹拌機に入れて10時間撹拌し
、内部電極用の導電性ペーストを得た。
The average particle size of the electric paste is 1. ! 10g of 5um nickel powder,
0.9g of ethylcellulose to 9.1g of butylcarpitol
A conductive paste for internal electrodes was obtained by putting the mixture in a stirrer and stirring for 10 hours.

そして、前記未焼結磁器シートの片面にこの導電性ペー
ストからなるパターン(長さ14mm、幅7mm)を5
0個、スクリーン印刷法によって形成させ、乾燥させた
Then, five patterns (length 14 mm, width 7 mm) made of this conductive paste were placed on one side of the unsintered porcelain sheet.
0 pieces, formed by screen printing method and dried.

未 1士磁0シートの 層 次に、この未焼結磁器シートを、導電性ペーストからな
るパターンが形成されている側を上にして2枚積層した
。この積層の際、隣接する上下の未焼結磁器シート間に
おいて、導電性ペーストからなるパターンが長平方向に
半分程ずれるようにした。
Next, two of the unsintered porcelain sheets were laminated with the side on which the pattern made of conductive paste was formed facing upward. During this lamination, the patterns made of conductive paste were shifted by about half in the longitudinal direction between the upper and lower adjacent unsintered porcelain sheets.

そして、更に上記のようにして積層したものの上下両面
に厚さ60μmの未焼結磁器シートを各々4枚ずつ積層
して積層物を得た。
Then, four unsintered porcelain sheets each having a thickness of 60 μm were laminated on the upper and lower surfaces of the laminated product as described above to obtain a laminate.

μ物の圧 と断 次に、約50℃の温度下において、この積層物に厚さ方
向から約40トンの荷重を加えて、この積層物を構成し
ている未焼結磁器シート相互を圧着させた。そして、こ
の積層物を格子状に裁断して、50個の積層体チップを
得た。
Then, at a temperature of about 50°C, a load of about 40 tons was applied from the thickness direction to this laminate to press the unsintered porcelain sheets that make up the laminate together. I let it happen. Then, this laminate was cut into a grid shape to obtain 50 laminate chips.

層 チップの焼成 次に、この積層体チップを雰囲気焼成が可能な炉に入れ
、この炉内を大気雰囲気にし、100℃/hの速度で6
00℃まで昇温させ、未焼結磁器シート中の有機バイン
ダーを燃焼除去させた。
Layer Chip FiringNext, this laminate chip was placed in a furnace capable of atmosphere firing, the inside of the furnace was made into an atmospheric atmosphere, and the layered chip was heated at a rate of 100°C/h for 6 hours.
The temperature was raised to 00°C to burn off the organic binder in the unsintered porcelain sheet.

その後、炉内の雰囲気を大気雰囲気から還元雰囲気(H
2(2体積%)+N2f98体積%))に変え、炉内の
温度を600℃から1160℃まで、100℃/hの速
度で昇温させ、1160℃の温度を3時間保持し、その
後、100℃/hの速度で降温させ、炉内の雰囲気を大
気雰囲気(酸化性雰囲気)に変え、600℃の温度を3
0分間保持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却
して積層焼結体チップを得た。
After that, the atmosphere inside the furnace is changed from atmospheric to reducing atmosphere (H
2 (2 volume%) + N2f98 volume%)), the temperature in the furnace was raised from 600 °C to 1160 °C at a rate of 100 °C/h, the temperature of 1160 °C was maintained for 3 hours, and then 100 °C The temperature was lowered at a rate of ℃/h, the atmosphere inside the furnace was changed to an atmospheric atmosphere (oxidizing atmosphere), and the temperature of 600℃ was lowered to 3
The sample was held for 0 minutes to perform oxidation treatment, and then cooled to room temperature to obtain a laminated sintered chip.

11!且旦形羞 次に、この積層焼結体チップの対向する側面のうちで、
内部電極の端部が露出している側面に対の外部電極を形
成し、第1図に示すような、−層の誘電体磁器層12.
’12.12と二層の内部電極14.14とからなる積
層焼結体チップ15の端部に一対の外部電極16.16
が形成された積層磁器コンデンサ10が得られた。
11! Then, among the opposing sides of this laminated sintered chip,
A pair of external electrodes is formed on the side surface where the ends of the internal electrodes are exposed, and a negative dielectric ceramic layer 12 is formed as shown in FIG.
'12.12 and a pair of external electrodes 16.16 at the end of the laminated sintered chip 15 consisting of two layers of internal electrodes 14.14.
A multilayer ceramic capacitor 10 was obtained.

ここで、外部電極16は、前記側面に亜鉛とガラスフリ
ット(glass frit)とビヒクル(vehic
le1とからなる導電性ペーストを塗布し、この導電性
ペーストを、乾燥後、大気中において550 ’Cの温
度で15分間焼き付けて亜鉛電極層18とし、更にこの
亜鉛電極層18の上に無電解メツキ法で銅層20を形成
し、更にこの銅層20の上に電気メツキ法でPb−3n
半田層22を設けることによって形成した。
Here, the external electrode 16 includes zinc, glass frit, and vehicle on the side surface.
After drying, this conductive paste is baked in the atmosphere at a temperature of 550'C for 15 minutes to form a zinc electrode layer 18. Further, on this zinc electrode layer 18, an electroless A copper layer 20 is formed by plating method, and Pb-3n is further formed on this copper layer 20 by electroplating method.
It was formed by providing a solder layer 22.

なお、この積層磁器コンデンサ10の誘電体磁器層12
の厚さは0.02mm、一対の内部電極14.14の対
向面積は5mmX5mm=25mm2である。また、焼
結後の誘電体磁器層12の組成は、焼結前の基本成分及
び添加成分の混合物の組成と実質的に同じである。
Note that the dielectric ceramic layer 12 of this multilayer ceramic capacitor 10
The thickness of the electrode is 0.02 mm, and the opposing area of the pair of internal electrodes 14.14 is 5 mm x 5 mm = 25 mm2. Further, the composition of the dielectric ceramic layer 12 after sintering is substantially the same as the composition of the mixture of basic components and additive components before sintering.

電気的、・、の測′〜 次に、積層磁器コンデンサ10の電気的特性を測定し、
その平均値を求めたところ、第1表に示すように、比誘
電率ε、が]、 5200、tanδが1.2%、抵抗
率ρが2.78X10’MΩ・cmであった。
Measurement of electrical... Next, the electrical characteristics of the multilayer ceramic capacitor 10 are measured,
When the average values were determined, as shown in Table 1, the relative dielectric constant ε was 5200, the tan δ was 1.2%, and the resistivity ρ was 2.78×10'MΩ·cm.

なお、電気的特性は次の要領で測定した。Note that the electrical characteristics were measured in the following manner.

FA)比誘電率ε5は、温度20°C1周波数1、 k
 Hz、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容量を測
定し、この測定値と、一対の内部電極14.14の対向
面積(25mm2)と一対の内部電極14.14間の誘
電体磁器層12の厚さ(0,02mm)から計算で求め
た。
FA) Relative permittivity ε5 is temperature 20°C1 frequency 1, k
Hz, voltage (effective value) 1. The capacitance was measured under OV conditions, and this measured value was combined with the opposing area (25 mm2) of the pair of internal electrodes 14.14 and the thickness (0, 02mm).

(1誘電体損失tanδ(%)は、上記した比誘電率ε
、の測定の場合と同一の条件で測定した。
(1 dielectric loss tan δ (%) is the relative dielectric constant ε
, was measured under the same conditions as in the case of measurement.

(C)抵抗率ρ(MO・am)は、温度20℃において
DC100Vを1分間印加した後に、一対の外部電極1
6.16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基
づいて計算で求めた。
(C) Resistivity ρ (MO・am) is measured after applying DC 100V for 1 minute at a temperature of 20°C.
The resistance value was measured between 6.16 and calculated based on the measured value and the dimensions.

以上、試料NO31について述べたが、試料No、2〜
83についても、基本成分及び添加成分の組成を第1表
の左欄に示すように変え、還元性雰囲気中における焼成
温度を第1表の右欄に示すように変えた他は、試料No
、1と全(同一の方法で積層磁器コンデンサを作成し、
同一の方法で電気的特性を測定した。試料No、2〜8
3の電気的特性は第1表の右欄に示す通りとなった。
Above, sample No. 31 was described, but samples No. 2 to
Regarding Sample No. 83, the compositions of the basic components and additive components were changed as shown in the left column of Table 1, and the firing temperature in the reducing atmosphere was changed as shown in the right column of Table 1.
, 1 and all (multilayer ceramic capacitors are made using the same method,
Electrical properties were measured using the same method. Sample No. 2-8
The electrical characteristics of Sample No. 3 were as shown in the right column of Table 1.

なお、第1表において、1−xの欄には基本成分の組成
式におけるBaの原子数の割合が、Xの欄には基本成分
の組成式におけるCaの原子数の割合が、1−y−zの
欄には基本成分の組成式におけるTiの原子数の割合が
、yの欄には基本成分の組成式におけるZrの原子数の
割合が、Zの欄には基本成分の組成式におけるRの原子
数の割合が、kの欄には基本成分の組成式における( 
(Ba、 −xcaxl o)の割合が示されている。
In Table 1, the column 1-x shows the ratio of the number of Ba atoms in the composition formula of the basic component, and the column X shows the ratio of the number of Ca atoms in the composition formula of the basic component. The -z column shows the ratio of the number of Ti atoms in the composition formula of the basic component, the y column shows the ratio of the number of Zr atoms in the composition formula of the basic component, and the Z column shows the ratio of the number of Zr atoms in the composition formula of the basic component. The ratio of the number of atoms of R is shown in the column k in the composition formula of the basic component (
The percentage of (Ba, -xcaxlo) is shown.

また、Zの欄のSc、Y、Gd、Dy、Ho。Also, Sc, Y, Gd, Dy, and Ho in the Z column.

Er、Ybは基本成分の組成式中におけるRの内容を示
し、これ等の元素の各欄にはこれ等の元素の原子数の割
合が示され、合計の欄にはこれ等の元素の原子数の割合
の合計値(Z値)が示されている。
Er and Yb indicate the content of R in the composition formula of the basic component, each column of these elements shows the ratio of the number of atoms of these elements, and the total column shows the atoms of these elements. The total value (Z value) of the number ratio is shown.

また、添加成分の内容の欄の添加量は基本成分100重
量部に対する重量部で示され、MOの内容の欄にはBa
d、SrO,Cab、MgO。
In addition, the amount added in the column of content of added components is shown in parts by weight based on 100 parts by weight of the basic component, and the column of content of MO shows Ba
d, SrO, Cab, MgO.

ZnOの割合がモル%で示されている。The proportion of ZnO is shown in mole %.

第1表から明らかなように、本発明に従う試料によれば
、非酸化性雰囲気中における1200°C以下の焼成で
、比誘電率ε8が7000以上、誘電体損失tanδが
2.5%以下、抵抗率ρがlX106MΩ・cm以」二
の電気的特性を有する誘電体磁器組成物を備えた磁器コ
ンデンサを得ることができるものである。
As is clear from Table 1, according to the samples according to the present invention, when fired at 1200°C or less in a non-oxidizing atmosphere, the relative dielectric constant ε8 is 7000 or more, the dielectric loss tan δ is 2.5% or less, It is possible to obtain a ceramic capacitor equipped with a dielectric ceramic composition having electrical characteristics such that the resistivity ρ is 1×10 6 MΩ·cm or more.

これに対し、No、11〜13,20,25゜26.3
1,37,43,44,48,49゜53.63,68
,69,73,74,78゜79及び83の試料によれ
ば、所望の電気的特性を有する磁器コンデンサを得るこ
とができない。
On the other hand, No, 11-13, 20, 25° 26.3
1,37,43,44,48,49゜53.63,68
, 69, 73, 74, 78° 79 and 83, it was not possible to obtain a ceramic capacitor having the desired electrical characteristics.

従って、これらのNo、の試料は本発明の範囲外のもの
であ机 次に、本発明に係る磁器コンデンサに用いられている誘
電体磁器組成物の組成範囲の限定理由について説明する
Therefore, these samples No. are outside the scope of the present invention. Next, the reason for limiting the composition range of the dielectric ceramic composition used in the ceramic capacitor according to the present invention will be explained.

まず、基本成分の組成式中におけるCaの原子数の割合
、すなわちXの値について説明する。
First, the ratio of the number of Ca atoms in the composition formula of the basic component, ie, the value of X, will be explained.

Xの値か、試料No、36及び42に示すように、0.
27の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No。
The value of X, as shown in sample Nos. 36 and 42, is 0.
In the case of sample No. 27, a sintered body having desired electrical properties can be obtained.

37及び43に示すように、0.30の場合には、焼成
温度が1250℃と高(なり、比誘電率ε5も7000
未満となる。従って、Xの値の上限は0.27である。
37 and 43, in the case of 0.30, the firing temperature is as high as 1250°C, and the dielectric constant ε5 is also 7000°C.
less than Therefore, the upper limit of the value of X is 0.27.

また、Caは温度特性を平坦にする作用及び抵抗率pを
向上させる作用を有するが、Xの値が零であっても所望
の電気的特性の焼結体を得ることができる。従って、X
の値の下限は零である。
Further, Ca has the effect of flattening the temperature characteristics and improving the resistivity p, but even if the value of X is zero, a sintered body with desired electrical characteristics can be obtained. Therefore, X
The lower bound of the value of is zero.

次に、基本成分の組成式中におけるZrの原子数の割合
、すなわちyの値について説明する。
Next, the ratio of the number of Zr atoms in the composition formula of the basic component, that is, the value of y, will be explained.

yの値が、試料No、45及び50に示すように、0.
05の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No。
As shown in sample Nos. 45 and 50, the value of y is 0.
In the case of sample No. 05, a sintered body having desired electrical properties can be obtained.

44及び49に示すように、0.03の場合には、比誘
電率ε5が7000未満となる。
44 and 49, in the case of 0.03, the dielectric constant ε5 is less than 7000.

従って、yの値の下限は0,05である。Therefore, the lower limit of the value of y is 0.05.

方、yの値が、試料No、47及び52に示すように、
0.26の場合には所望の電気的特性の焼結体を得るこ
とができるが、試料No、48及び53に示すように、
0929の場合には、比誘電率8.、が7000未満と
なる。従って、yの値の上限は0.26である。
On the other hand, the value of y is as shown in samples No. 47 and 52,
In the case of 0.26, a sintered body with desired electrical properties can be obtained, but as shown in sample Nos. 48 and 53,
In the case of 0929, the dielectric constant is 8. , is less than 7000. Therefore, the upper limit of the value of y is 0.26.

次に、基本成分の組成式中におけるRの原子数の割合、
すなわちZの値について説明する。
Next, the ratio of the number of atoms of R in the composition formula of the basic component,
That is, the value of Z will be explained.

Zの値が、試料No、64及び70に示すように、0.
002の場合には所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No。
As shown in sample Nos. 64 and 70, the value of Z is 0.
In the case of sample No. 002, a sintered body having desired electrical properties can be obtained.

63及び69に示すように、0.001の場合には、誘
電体損失tanδが大幅に悪化し、抵抗率pも]XIO
′MΩ・cm未満となる。従って、Zの値の下限は0.
002である。
63 and 69, in the case of 0.001, the dielectric loss tan δ deteriorates significantly and the resistivity p also]XIO
'MΩ・cm. Therefore, the lower limit of the value of Z is 0.
It is 002.

一方、2の値が、試料No、67及び72に示すように
、0.04の場合には所望の電気的特性を有する焼結体
を得ることができるが、試料No、68及び73に示す
ように、0.06の場合には、焼成温度が1250℃で
あっても緻密な焼結体を得ることができない。従って、
Zの値の」1限は0.04である。
On the other hand, when the value of 2 is 0.04, as shown in sample Nos. 67 and 72, a sintered body having desired electrical properties can be obtained; Thus, in the case of 0.06, a dense sintered body cannot be obtained even if the firing temperature is 1250°C. Therefore,
The limit of the value of Z is 0.04.

なお、R成分のSc、Y、Dy、Ho、Er。Note that the R components Sc, Y, Dy, Ho, and Er.

Ybははf同様に働き、これ等から選択された1つを使
用しても、または複数を使用しても同様な結果が得られ
る。
Yb works in the same way as f, and the same result can be obtained even if one selected from these or a plurality of them are used.

次に、基本成分の組成式中における ( (Bat−xcaj 01の割合、すなわちkの値
について説明する。
Next, the ratio of ((Bat-xcaj 01), that is, the value of k in the composition formula of the basic component will be explained.

kの値が、試料No、75及び80に示すように、1.
00の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得
ることができるが、試料No。
As shown in sample Nos. 75 and 80, the value of k is 1.
In the case of sample No. 00, a sintered body having desired electrical properties can be obtained.

74及び79に示すように、0.99の場合には、抵抗
率pが1X10’MΩ・cm未満と、大幅に低(なる。
As shown in 74 and 79, in the case of 0.99, the resistivity p is significantly low (less than 1×10'MΩ·cm).

従って、kの値の下限は1.00である。Therefore, the lower limit of the value of k is 1.00.

一方、kの値が、試料No、77及び82に示すように
、1.04の場合には所望の電気的特性の焼結体を得る
ことができるが、試料No。
On the other hand, when the value of k is 1.04, as shown in sample Nos. 77 and 82, a sintered body with desired electrical characteristics can be obtained;

78及び83に示すように、1.05の場合には、緻密
な焼結体を得ることができない。
As shown in Nos. 78 and 83, in the case of 1.05, a dense sintered body cannot be obtained.

従って、kの値の上限は1.04である。Therefore, the upper limit of the value of k is 1.04.

次に、添加成分の添加量について説明する。Next, the amounts of the additive components to be added will be explained.

添加成分の添加量が、試料No、21及び27に示すよ
うに、100重量部の基本成分に対して0.2重量部の
場合には、1190〜1200°Cの焼成で所望の電気
的特性を有する焼結体を得ることができるが、試料No
、20及び26に示すように、添加成分の添加量が零の
場合には、焼成温度が1250℃であっても緻密な焼結
体を得ることができない。従って、添加成分の下限値は
、100重量部の基本成分に対して0.2重量部である
When the amount of the additive component is 0.2 parts by weight relative to 100 parts by weight of the basic component, as shown in Sample Nos. 21 and 27, the desired electrical properties can be obtained by firing at 1190 to 1200°C. However, sample No.
, 20 and 26, if the amount of the additive component is zero, a dense sintered body cannot be obtained even if the firing temperature is 1250°C. Therefore, the lower limit of the additive component is 0.2 part by weight per 100 parts by weight of the basic component.

一方、添加成分の添加量が、試料No、24及び30に
示すように、100重量部の基本成分に対して5重量部
の場合には、所望の電気的特性を有する焼結体を得るこ
とができるが、添加成分の添加量か、試料No、25及
び31に示すように、100重量部の基本成分に対して
7重量部の場合には、比誘電率ε8が7000未満とな
る。
On the other hand, when the amount of the additive component added is 5 parts by weight relative to 100 parts by weight of the basic component, as shown in Sample Nos. 24 and 30, a sintered body having desired electrical properties can be obtained. However, as shown in samples No. 25 and 31, when the amount of the additive component is 7 parts by weight relative to 100 parts by weight of the basic component, the dielectric constant ε8 becomes less than 7000.

従って、添加成分の添加量の上限値は、100重量部の
基本成分に対して5重量部である。
Therefore, the upper limit of the amount of the additive component added is 5 parts by weight per 100 parts by weight of the basic component.

次に添加成分の好ましい組成範囲について説明する。Next, a preferred composition range of the additive components will be explained.

添加成分の好ましい組成範囲は、第2図の8203−3
iO□−MOの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。
The preferred composition range of the additive components is 8203-3 in Figure 2.
It can be determined based on a triangular diagram showing the composition ratio of iO□-MO.

二角図の第1の点Aは、試料No、1のB2O3が1モ
ル%、5i02が80モル%、MOが19モル%の組成
を示し、第2の点Bは、試料N002のB2O3が1モ
ル%、SiO□が39モル%、MOが60モル%の組成
を示し、第3の点Cは、試料N013のB2O3が30
モル%、5jO2が0モル%、MOが70モル%の組成
を示し、第4の点りは、試料No、4のB2O3が90
モル%、5in2が0モル%、MOが10モル%の組成
を示し、第5の点Eは、試料No、5のB2O3が90
モル%、5in2が10モル%、MOが0モル%の組成
を示し、第6の点Fは、試料No、6のB2O3が20
モル%、5in2が80モル%、MOが0モル%の組成
を示す。
The first point A in the diagonal diagram shows the composition of sample No. 1 with 1 mol% of B2O3, 80 mol% of 5i02, and 19 mol% of MO, and the second point B shows the composition of sample No. 1 with B2O3 of 1 mol%. 1 mol%, SiO□ is 39 mol%, and MO is 60 mol%.
mol%, 5jO2 is 0 mol%, MO is 70 mol%, and the fourth mark shows that sample No. 4 has a composition of 90 mol%
mol%, 5in2 shows a composition of 0 mol%, MO shows a composition of 10 mol%, and the fifth point E is sample No. 5 with a composition of 90% B2O3.
mol%, 5in2 shows a composition of 10 mol%, MO shows a composition of 0 mol%, and the sixth point F has a composition in which B2O3 of sample No. 6 is 20 mol%.
The composition is 80 mol% for 5in2 and 0 mol% for MO.

本発明の組成範囲に属する試料の添加成分は、第2図に
示す三角図の第1〜6の点A−Fをこの順に結ぶ6本の
直線で囲まれた範囲内となっている。
The added components of the sample belonging to the composition range of the present invention are within the range surrounded by six straight lines connecting points 1 to 6 in this order in the triangular diagram shown in FIG.

添加成分の組成をこの範囲内のものとすれば、所望の電
気的特性を有する焼結体を得ることができる。一方、試
料No、11〜13のように、添加成分の組成を本発明
で特定した範囲外とすれば、緻密な焼結体を得ることが
できない。
If the composition of the additive components is within this range, a sintered body having desired electrical properties can be obtained. On the other hand, if the composition of the additive components is outside the range specified in the present invention, as in Samples Nos. 11 to 13, a dense sintered body cannot be obtained.

なお、MO酸成分、例えば試料No、14〜18に示す
ように、Bad、SrO,Cab。
In addition, MO acid components such as Bad, SrO, and Cab as shown in Sample Nos. 14 to 18.

MgO,ZnOのいずれか1つであってもよいし、また
は他の試料に示すように適当な比率としてもよい。
It may be either one of MgO or ZnO, or it may be in an appropriate ratio as shown in other samples.

[発明の効果] 本発明によれば、磁器コンデンサの誘電体層を構成して
いる誘電体磁器組成物の組成を前述したように構成した
ので、非酸化性雰囲気中における1200℃以下の焼成
であるにもかかわらず、その比誘電率ε3を7000〜
20100と飛躍的に向上させることができ、従って、
磁器コンデンサの小型大容量化を図ることが可能になっ
た。
[Effects of the Invention] According to the present invention, since the composition of the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer of the ceramic capacitor is configured as described above, it can be fired at 1200°C or lower in a non-oxidizing atmosphere. Despite the fact that the relative dielectric constant ε3 is 7000 ~
20100, and therefore,
It has become possible to make ceramic capacitors smaller and larger in capacity.

そして、磁器コンデンサの小型大容量化を図ることがで
きるようになったので、ニッケル等の卑金属の導電性ペ
ーストを内部電極の形成に用いることと相まって、磁器
コンデンサの低コスト化を図ることが可能になった。
Now that it has become possible to make ceramic capacitors smaller and larger in capacity, it is possible to reduce the cost of ceramic capacitors by using conductive paste of base metals such as nickel to form internal electrodes. Became.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例に係る積層型磁器コンデンサの
断面図、第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図であ
る。 12・・・誘電体磁器層   14・・・内部電極15
・・・積層焼結体チップ 16・・・外部電極18・・
・亜鉛電極層    20・・・銅層22 ・P b 
−S n半田層 代理人 弁理士 窪 1)法 明
FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a triangular diagram showing the composition range of additive components. 12... Dielectric ceramic layer 14... Internal electrode 15
...Laminated sintered chip 16...External electrode 18...
・Zinc electrode layer 20...Copper layer 22 ・P b
-S n Handa layer agent Patent attorney Kubo 1) Akira Hou

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1.誘電体磁器組成物からなる誘電体磁器層と、この誘
電体磁器層を挟持している少なくとも2以上の内部電極
とを備えた磁器コンデンサにおいて、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、 前記基本成分が、 {(Ba_1_−_xCa_x)O}_k(Ti_1_
−_y_−_zZr_yR_z)O_2_−_z_/_
2(但し、Rは、Sc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,
Yb,Tb,Tm及びLuから選択された1種または2
種以上の元素、 x,y,z,kは、 0≦x≦0.27 0.05≦y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 を満足する数値)であり、 前記添加成分がB_2O_3とSiO_2とMO(但し
、MOはBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOか
ら選択された1種または2種以上の酸化物)からなり、 前記B_2O_3と前記SiO_2と前記MOとの組成
範囲が、これらの組成をモル%で示す三角図において、 前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと
、 前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が39モ
ル%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと
、 前記B_2O_3が30モル%、前記SiO_2が0モ
ル%、前記MOが70モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記B_2O_3が90モル%、前記SiO_2が0モ
ル%、前記MOが10モル%の組成を示す第4の点Dと
、 前記B_2O_3が90モル%、前記SiO_2が10
モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと
、 前記B_2O_3が20モル%、前記SiO_2が80
モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第6の点Fと をこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあること
を特徴とする磁器コンデンサ。 2.未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製する工程と
、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形成する工程
と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以上の導電性
ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工程と、前記
積層物を非酸化性雰囲気中において熱処理する工程と、
前記熱処理を受けた積層物を酸化性雰囲気中において熱
処理する工程とを備え、 前記未焼結の磁器粉末からなる混合物が、 100.0重量部の基本成分と、0.2〜5重量部の添
加成分とからなり、 前記基本成分が、 {(Ba_1_−_xCa_x)O}_k(Ti_1_
−_y_−_zZr_yR_z)O_2_−_z_/_
2(但し、Rは、Sc,Y,Gd,Dy,Ho,Er,
Yb,Tb,Tm及びLuから選択された1種または2
種以上の元素、 x,y,z,kは、 0≦x≦0.27 0.05≦y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 を満足する数値)であり、 前記添加成分がB_2O_3とSiO_2とMO(但し
、MOはBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOか
ら選択された1種または2種以上の酸化物)からなり、 前記B_2O_3と前記SiO_2と前記MOとの組成
範囲が、これらの組成をモル%で示す三角図において、 前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと
、 前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が39モ
ル%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと
、 前記B_2O_3が30モル%、前記SiO_2が0モ
ル%、前記MOが70モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記B_2O_3が90モル%、前記SiO_2が0モ
ル%、前記MOが10モル%の組成を示す第4の点Dと
、 前記B_2O_3が90モル%、前記SiO_2が10
モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと
、 前記B_2O_3が20モル%、前記SiO_2が80
モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第6の点Fと をこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあること
を特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
[Claims] 1. A ceramic capacitor comprising a dielectric ceramic layer made of a dielectric ceramic composition and at least two or more internal electrodes sandwiching the dielectric ceramic layer, wherein the dielectric ceramic composition contains 100.0 parts by weight. and 0.2 to 5.0 parts by weight of additive components, and the basic components are {(Ba_1_−_xCa_x)O}_k(Ti_1_
-_y_-_zZr_yR_z)O_2_-_z_/_
2 (However, R is Sc, Y, Gd, Dy, Ho, Er,
One or two selected from Yb, Tb, Tm and Lu
The elements x, y, z, k satisfy the following: 0≦x≦0.27 0.05≦y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 the additive components are B_2O_3, SiO_2, and MO (where MO is one or more oxides selected from BaO, SrO, CaO, MgO, and ZnO), and the B_2O_3 and the In a triangular diagram in which the composition range of SiO_2 and the MO is expressed in mol%, a first point indicates a composition in which the B_2O_3 is 1 mol%, the SiO_2 is 80 mol%, and the MO is 19 mol%. A, a second point B having a composition of 1 mol% of B_2O_3, 39 mol% of SiO_2, and 60 mol% of MO; 30 mol% of B_2O_3, 0 mol% of SiO_2, and 0 mol% of MO; A third point C has a composition of 70 mol% of the B_2O_3, a fourth point D has a composition of 90 mol% of the B_2O_3, 0 mol% of the SiO_2, and 10 mol% of the MO; Mol%, the SiO_2 is 10
a fifth point E showing a composition in which the MO is 0 mol %; the B_2O_3 is 20 mol % and the SiO_2 is 80 mol %;
mol %, and the MO is located within a region surrounded by six straight lines connecting in this order a sixth point F showing a composition of 0 mol %. 2. A step of preparing a mixture made of unsintered porcelain powder, a step of forming an unsintered porcelain sheet made of the mixture, and a lamination in which the unsintered porcelain sheet is sandwiched between at least two or more conductive paste films. a step of forming a product; a step of heat treating the laminate in a non-oxidizing atmosphere;
and heat treating the heat-treated laminate in an oxidizing atmosphere, wherein the mixture of the unsintered porcelain powder contains 100.0 parts by weight of the basic component and 0.2 to 5 parts by weight. The basic component is {(Ba_1_−_xCa_x)O}_k(Ti_1_
-_y_-_zZr_yR_z)O_2_-_z_/_
2 (However, R is Sc, Y, Gd, Dy, Ho, Er,
One or two selected from Yb, Tb, Tm and Lu
The elements x, y, z, k satisfy the following: 0≦x≦0.27 0.05≦y≦0.26 0.002≦z≦0.04 1.00≦k≦1.04 the additive components are B_2O_3, SiO_2, and MO (where MO is one or more oxides selected from BaO, SrO, CaO, MgO, and ZnO), and the B_2O_3 and the In a triangular diagram in which the composition range of SiO_2 and the MO is expressed in mol%, a first point indicates a composition in which the B_2O_3 is 1 mol%, the SiO_2 is 80 mol%, and the MO is 19 mol%. A, a second point B having a composition of 1 mol% of B_2O_3, 39 mol% of SiO_2, and 60 mol% of MO; 30 mol% of B_2O_3, 0 mol% of SiO_2, and 0 mol% of MO; A third point C has a composition of 70 mol% of the B_2O_3, a fourth point D has a composition of 90 mol% of the B_2O_3, 0 mol% of the SiO_2, and 10 mol% of the MO; Mol%, the SiO_2 is 10
a fifth point E showing a composition in which the MO is 0 mol %; the B_2O_3 is 20 mol % and the SiO_2 is 80 mol %;
A method for manufacturing a ceramic capacitor, characterized in that the MO is located within an area surrounded by six straight lines connecting in this order the sixth point F showing a composition of 0 mol %.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101459A (en) * 1984-10-20 1986-05-20 京セラ株式会社 Non-reductive high permittivity diekectric ceramic composition
JPS61147406A (en) * 1984-12-18 1986-07-05 太陽誘電株式会社 Dielectric ceramic composition

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