JPH04251423A

JPH04251423A - 磁気ヘッドスライダー

Info

Publication number: JPH04251423A
Application number: JP41875090A
Authority: JP
Inventors: Takao Aoyanagi; 青柳　孝男; Kazutatsu Sano; 佐野　千達; Hiroshi Kamiyama; 浩神山; Hiroshi Toda; 宏戸田
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1990-12-28
Filing date: 1990-12-28
Publication date: 1992-09-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、浮上型の磁気ヘッドス
ライダー（以下、単にスライダーともいう）に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスク等の記録・再生に用いら
れる浮上型の磁気ヘッドとしては、スライダーとコアブ
ロック（トランスデューサー）とを一体的に製造したモ
ノリシック型と、スライダーとコアブロックとを別部材
として製造し、これらを組み合わせたコンポジット型と
がある。

【０００３】このうち、コンポジット型磁気ヘッドのス
ライダーは、従来、セラミック製の基材に対し、切断、
切削、研削、研磨等の加工を施して、所望の形状とする
ことにより製造している。

【０００４】しかしながら、スライダーは、硬質である
セラミックス製であるため、上記加工がし難しく、また
、スライダーは小片であるため、細部の加工が困難であ
るといった問題があり、従って、磁気ヘッドをさらに複
雑な形状に形成するには限界があった。　　また、所望
のパターン形状のスライダーを得るには、上記加工を複
数回行なう必要があるため、製造工程が多くなり、製造
効率が極めて悪い。

【０００５】さらに、上記製造方法では、スライダー各
部の加工精度が悪いという欠点がある。すなわち、図３
に示すように、従来のスライダー２０には、磁気記録媒
体との相対移動方向（トラック方向）に延在する左右一
対のレール部３および４と、これらのレール部間に形成
され、レール部の浮上面３１および４１より凹没した溝
５とが形成されており、前記レール部の浮上面３１およ
び４１と前記溝５の底面５１との間のレール部側面３６
および４６は、本来平坦面でかつ浮上面３１および４１
と直角であるべきところ、溝部等の加工の困難さから、
実際の加工品では、側面３６および４６が傾斜または湾
曲し、特に、側面３６および４６と溝５の底面５１とが
連続した湾曲面３８、４８となる（図３参照）。また、
レール部３および４の外側に、溝や切り込み（図示せず
）を形成した場台も同様の湾曲面や傾斜面が形成される
。

【０００６】このように、レール部３および４の内側（
溝５側）および／または外側の側面が傾斜または湾曲す
ると、レール部３および４の幅がレール部厚さ方向（図
３の縦方向）に変化し、浮上面３１および４１の研磨厚
さの程度等によって、浮上面３１および４１の幅Ｈが変
動し、その寸法が製品毎にバラツキを生じる。その結果
、スライダーの浮上の安定性を欠き、浮上量が大きくな
り、また、浮上面３１および４１の幅寸法に差が生ずる
と、いわゆるローリングが発生し、浮上姿勢が不安定と
なるので、磁気ヘッドの記録・再生能力が十分に発揮さ
れないという問題が生じる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、製造
が容易で、寸法精度が高い磁気ヘッドスライダーを提供
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
（１）〜（３）の本発明により達成される。

【０００９】（１）射出成形の後、焼結することにより
製造されたセラミックス製の磁気ヘッドスライダーであ
って、磁気ヘッドスライダーの磁気記録媒体との相対移
動方向に延在するレール部と、このレール部の浮上面よ
り凹没した溝部とを有し、前記レール部の幅が、レール
部厚さ方向にほぼ一定であることを特徴とする磁気ヘッ
ドスライダー。

【００１０】（２）前記レール部の浮上面と側面とがほ
ぼ直角をなしている上記（１）に記載の磁気ヘッドスラ
イダー。

【００１１】（３）射出成形のゲート位置が前記溝部内
にある上記（１）または（２）に記載の磁気ヘッドスラ
イダー。

【００１２】

【作用】磁気ヘッドスライダーは、射出成形により製造
されるので、微小サイズの磁気ヘッドスライダーに対し
、複雑な形状でも容易に成形することができ、各部の寸
法精度も極めて高い。特に、レール部の幅をレール部厚
さ方向にほぼ一定とすることができるので、浮上面の幅
の寸法精度が良くなり、よって、浮上の安定性が向上し
、浮上量をより小さくでき、しかも砥石の変形による問
題もないため、生産性が著しく向上する。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の磁気ヘッドスライダーを添付
図面に示す好適実施例に基いて詳細に説明する。

【００１４】図１は、本発明のコンポジット型磁気ヘッ
ドスライダーの構成例を示す斜視図である。同図に示す
ように、コンポジット型磁気ヘッド１は、本発明のスラ
イダー２と、コアブロック（トランスデューサー）８と
で構成されている。

【００１５】スライダー２は、後述するセラミックス材
料で構成されており、磁気記録媒体であるディスク（図
示せず）と対面する側に、スライダー２の磁気記録媒体
との相対移動方向（ディスク回転方向）に延在する一対
のレール部３、４が形成されている。また、これらのレ
ール部３、４間には、スライダー２の磁気記録媒体との
相対移動方向に延在する溝５が形成されている。ディス
ク駆動時には、この溝５内を空気が高速で流れ、溝５内
に負圧が生じ、コンポジット型磁気ヘッド１をディスク
の表面に接近させる。

【００１６】レール部３および４には、それぞれ、浮上
面３１および４１が形成されている。ディスク駆動時に
は、浮上面３１、４１と、ディスクの表面とが、好まし
くは０．０５〜０．３μｍ、より好ましくは０．０８〜
０．１５μｍの距離（浮上量）を保った状態でスライダ
ー２が浮上する。

【００１７】浮上面３１および４１と、溝５の底面５１
との間には、それぞれ、レール部３および４の側面３２
および４２が形成されている。これらの側面３２および
４２は、浮上面３１、４１および底面５１と、それぞれ
ほぼ直角をなしている。

【００１８】また、レール部３および４の外側の側面３
３および４３も、浮上面３１および４１と、それぞれほ
ぼ直角をなしている。

【００１９】これにより、レール部３および４の幅は、
レール部厚さ方向にほぼ一定となり、よって、仕上加工
のために浮上面３１および４１を研磨した場合でも、そ
の研磨厚さに係らず、浮上面３１および４１の幅Ｈが常
に一定となり、その結果、優れた浮上安定性が確保され
るとともに、スライダーの浮上量を小さくすることがで
き、しかも、このような特性は、各製品に均一に得られ
る。

【００２０】なお、「レール部の幅がレール部厚さ方向
にほぼ一定」とは、レール部の幅のレール部厚さ方向に
おける変化率が、±２０％以内程度のものを言う。

【００２１】浮上面３１および４１と、溝５の底面５１
との段差の距離Ｔは、３０〜１００μｍ程度であるのが
好ましい。

【００２２】なお、浮上面３１および４１の幅は、図示
と異り、スライダー２の磁気記録媒体との相対移動方向
に沿って変化していてもよい。

【００２３】このような距離Ｔや幅Ｈのような各部の寸
法精度は、±１０％以内とすることができる。

【００２４】また、側面３２および４２と底面５１との
境界部は、シャープであり、いわゆるＲが付いたとして
も、３０μｍ以下、特に１０μｍ以下とすることができ
る。

【００２５】なお、図示されていないが、本発明のスラ
イダーでは、レール部３および４の外側に、溝や切り込
みを形成することもでき、この場合にも同様に、湾曲面
等が形成されることなく、レール部３および４の幅をレ
ール部厚さ方向にほぼ一定とすることができる。

【００２６】また、一方のレール部４には、コアブロッ
ク挿入用溝６が、スライダ２の厚さ方向に貫通して形成
されている。このコアブロック挿入用溝６には、コアブ
ロック８が挿入され、ガラス等の封止材１３により封止
、固定される。

【００２７】コアブロック８は、一対のコア９および１
０をガラスのような非磁性材料よりなるギャップ１１を
介して突き合せたものであり、一方のコア９には、巻線
１２が施されている。

【００２８】また、コアブロック８近傍のスライダー２
の厚さ方向中間には、平面形状が三角形の巻線用溝７が
形成されている。この巻線用溝７により、コアブロック
８が露出し、コア９等に巻線１２を施すことが可能とな
る。

【００２９】ディスクの駆動回転により、ディスクの表
面と浮上面３１および４１との間に微小厚さの空気層が
形成され、スライダー２が浮上する。また、同時に空気
がスライダー２の溝５内をディスク回転方向へ流れる。このとき、溝５内に負圧が生じスライダー２をディスク
の表面に押さえつける作用が生ずる。このためディスク
駆動中にスライダー２が過度に浮上することが防止され
、前記浮上量が適正値に保たれる。その結果、磁気ヘッ
ド１の記録・再生能力が十分に発揮される。

【００３０】次に、本発明の磁気ヘッドスライダーの製
造方法について説明する。

【００３１】図２は、上記スライダー２の製造工程の一
例を示すフローチャートである。

【００３２】セラミックスとして、例えばＣａ−Ｔｉ酸
化物系セラミックスを用いたときは、ＣａＣＯ３、Ｔｉ
Ｏ２等の素材原料に添加剤を混ぜて粉砕する。この粉砕
によって素材原料の粒径や粒度分布が調整される。具体
的には、粒径は０．５〜２μｍ程度とし、粒度分布は、
全体の９０ｗｔ％以上が平均粒径の１／２〜２倍の範囲
にあるようにされる。上記素材原料としては、酸化物を
混合して用いる他、セラミック材をそのまま用いてもよ
い。セラミックスとしては、熱膨張係数が９０〜１４０
×１０−７／℃程度であれば、他のセラミックス、例え
ばＢａ−Ｔｉ酸化物系、Ｍｇ−Ｔｉ酸化物系、Ｎｉ−Ｔ
ｉ酸化物系等のセラミックスであってもよく、これらの
構成成分を混合してもよい。

【００３３】上記素材原料に添加される添加剤としては
、Ｍｇ、Ｚｒ、Ｙ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｉ、Ｓｉ等の酸化物
等を添加成分や焼結助剤等として用いることができる。

【００３４】一方、バインダー（有機結合剤）に添加剤
を混合し、これを前記素材原料に加え混練する。

【００３５】ここで、上記バインダーとしては、例えば
ポリスチレン、ポリプロピレン、アクリル系樹脂等の各
種熱可塑性樹脂が用いられ、このバインダーに添加され
る添加剤としては、ジエチルフタレート、パラフィン等
の可塑剤やステアリン酸、鉱物油等の滑剤が挙げられる
。そして、前記バインダーと添加剤の割台は、添加剤１
に対して、バインダーは７〜１０重量比程度でよい。また、素材原料とバインダーとの混合比は素材原料１に
対して、１５〜４０重量比程度とすればよい。

【００３６】バインダーと前記素材原料を混練した後、
これを乾燥してペレット化する。このペレットをさらに
粉砕後、造粒して、粒径を２〜７ｍｍ程度に整える。

【００３７】以上のようにして得られたペレットをシリ
ンダ内で溶融し、所望形状の金型内に射出充填して、上
記スライダー２の形状に成形する。

【００３８】ここで、上記射出成形の好適な条件は、次
の通りである。すなわち、溶融したペレットの金型内へ
の射出速度は２．９〜５ｇ／秒程度、金型温度は３５〜
５０℃程度、射出される溶解したペレットの温度は１７
０〜１９０℃程度、射出圧力は１８５０〜２０５０ｋｇ
ｆ／ｃｍ２程度であって、さらにサイクルタイムは３０
〜４０秒程度である。

【００３９】また、射出成形におけるゲート位置は、ス
ライダー２の溝５内、特に底面５１とするのが好ましい
。スライダー２の他の面は基準面として使用するため、
ゲート跡があると、これを研磨して除去しなければなら
ないが、ゲート跡が溝５内にある場合には、これを除去
しなくてもよく、製造工程の簡素化が図れる。なお、ス
ライダー２は、複数個が連なった状態で同時に成形され
るのが好ましい。

【００４０】射出成形の後、成形不良であるスライダー
や、ランナーおよびスプールは、前記粉砕工程や造粒工
程または混練工程へ戻され、再び原料として利用される
。

【００４１】以上のような条件で射出成形されたスライ
ダーには、４００〜６００℃程度の雰囲気加熱や、加圧
抽出等により、脱脂ないし脱バインダー処理が施工され
る。

【００４２】次に、脱脂等がなされたスライダーについ
て焼結を行う。Ｃａ−Ｔｉ酸化物系セラミックスの場合
、焼結の好適な条件は、焼結温度が１２５０〜１３５０
℃程度、焼結時間が２〜６時間程度である。この焼結は
、例えば、熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）やホットプレス
などによればよい。焼結雰囲気は大気中、雰囲気ガス中
等、セラミックスの材質に応じて決定すればよい。また
、焼結時の温度プロフィールも任意である。

【００４３】その他の焼結条件は、ＨＩＰの場合で、焼
結温度は１１００〜１２００℃程度、プレス圧力９００
〜１０００ｋｇｆ／ｃｍ２程度、縮率０．５〜１％程度
でよく、ホットプレスの場合で、焼結温度は１１５０〜
１２５０℃程度、プレス圧力２００〜３５０ｋｇｆ／ｃ
ｍ２程度、縮率０．５〜１％程度でよい。

【００４４】焼結の後、必要に応じ、バリ取りや寸法直
し、さらには精度出しのための仕上加工が施され、これ
によりスライダー２が完成する。

【００４５】以上のような製造方法によれば、射出成形
によってスライダーの概形が細部まで形成されるため、
例えば溝５、６、７等を形成するための切削、研削等の
加工を行なう必要がなく、よって、より複雑な形状のス
ライダーをも容易かつ迅速にに製造することができると
ともに、スライダー各部の寸法精度が極めて高く、特に
、レール部３、４の幅Ｈをレール部厚さ方向にほぼ一定
とすることができる。その結果、浮上面の幅Ｈの寸法精
度が良くなり、浮上の安定性が向上し、浮上量をより小
さくでき、しかも生産性が著しく向上する。

【００４６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の磁気ヘッド
スライダーによれば、複雑な形状でも容易に成形するこ
とができ、また、各部の寸法精度が極めて高く、特に、
レール部の幅をレール部厚さ方向にほぼ一定とすること
ができるので、浮上面の幅の寸法精度が良くなり、よっ
て、浮上の安定性が向上し、浮上量をより小さくでき、
しかも生産性が著しく向上する。

【００４７】これにより、磁気ヘッドの記録・再生能力
の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドスライダーの構成例を示す
斜視図である。

【図２】本発明の磁気ヘッドスライダーの製造工程の一
例を示す工程図である。

【図３】従来の磁気ヘッドスライダーの構成を示す断面
正面図である。

【符号の説明】

１　　　　　　　　　　　　磁気ヘッド２　　　　　　
　　　　　　スライダー２０　　　　　　　　　　従来
のスライダー３、４　　　　　　　　レール部３１、４１　　　　浮上面３２、４２　　　　側面（溝側）３３、４３　　　　側面（外側）３６、４６　　　　側面（溝側）３８、４８　　　　湾曲面５　　　　　　　　　　　　溝５１　　　　　　　　　　底面６　　　　　　　　　　　　コアブロック挿入用溝７　
　　　　　　　　　　　巻線用溝８　　　　　　　　　　　　コアブロック９、１０　　
　　　　コア１１　　　　　　　　　　ギャップ１２　　　　　　　　　　巻線１３　　　　　　　　　　封止材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　射出成形の後、焼結することにより製
造されたセラミックス製の磁気ヘッドスライダーであっ
て、磁気ヘッドスライダーの磁気記録媒体との相対移動
方向に延在するレール部と、このレール部の浮上面より
凹没した溝部とを有し、前記レール部の幅が、レール部
厚さ方向にほぼ一定であることを特徴とする磁気ヘッド
スライダー。
【請求項２】　　前記レール部の浮上面と側面とがほぼ
直角をなしている請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ
ー。
【請求項３】　　射出成形のゲート位置が前記溝部内に
ある請求項１または２に記載の磁気ヘッドスライダー。