JPH04251580A - 超音波モータの駆動制御装置 - Google Patents

超音波モータの駆動制御装置

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Publication number
JPH04251580A
JPH04251580A JP2416326A JP41632690A JPH04251580A JP H04251580 A JPH04251580 A JP H04251580A JP 2416326 A JP2416326 A JP 2416326A JP 41632690 A JP41632690 A JP 41632690A JP H04251580 A JPH04251580 A JP H04251580A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic motor
speed
frequency
rotational speed
level
Prior art date
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Pending
Application number
JP2416326A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoki Sukai
須貝 直樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP2416326A priority Critical patent/JPH04251580A/ja
Publication of JPH04251580A publication Critical patent/JPH04251580A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータの駆動制
御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気発生がなく、小型でトルクが
大きいことから、超音波モータが各種の機器の駆動源と
して用いられている。
【0003】超音波モータは、図4に示すように、中心
に回転軸1を有する円板状の回転子2と、環状に配列さ
れた複数の圧電体31 〜3n 、41 〜4n 、5
および圧電センサ6の上面に弾性体7が接着された固定
子8とによって構成されている。
【0004】圧電体31 〜3n 、41 〜4n は
、極性が互い違いとなるように並んでおり、図5に示す
ように、左側の圧電体31 〜3n と右側の圧電体4
1 〜4n に対して、圧電体の共振周波数に近い周波
数で90度位相が異なる交流信号を電極9a、9b、1
0a、10bより印加すると、圧電体31 〜3n 、
41 〜4n は、円周方向に屈曲振動し、左右の波が
中間の圧電体5を介して干渉し、図6に示すように、弾
性体7の表面には、円周方向に沿って進行する弾性波が
生じる。
【0005】このため、弾性体7に上方から接している
回転子2は、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転
駆動される。
【0006】なお、弾性波の振幅は、図7の特性Eに示
すように交流信号の周波数が圧電体31 〜3n 、4
1 〜4n の共振周波数Fo に近い程大きくなり、
これに追従して回転子2の回転速度も速くなる。また、
圧電センサ6は、この弾性波に対応した信号を出力する
【0007】したがって、超音波モータに対する交流信
号周波数を例えばFaからFb の範囲で可変すれば、
モータ回転速度もこの周波数の可変に追従して変化する
ことになる。
【0008】このような特性を有する超音波モータに、
いきなり目標回転速度に対応した周波数の信号を印加す
ると、モータ寿命を著しく短くしてしまうため、従来の
駆動制御装置では、交流信号の周波数を、共振周波数F
o よりかなり高い周波数Fs から所定の掃引速度で
共振周波数方向に掃引して、低回転速度から目標回転速
度へ起動するようにしている。
【0009 】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、超音波
モータの共振特性は、周囲温度によって大きく変化し、
特に低温になると、図7の常温での特性Eは、より高い
共振周波数Fo ′を有する特性Gのように偏移してし
まうため、低温時にいきなり共振周波数に近い交流信号
が印加されるのを避けるため、起動時の周波数は、予め
低温時の特性の低回転域に設定しなければならない。こ
のために、目標回転速度に達するまでの時間が、常温時
に著しく長くなってしまうという問題がある。
【0010】これを解決するために、掃引速度を速くす
ることも考えられるが、低回転域(図7の共振特性でK
より下の傾きの小さい回転域)に比べて、低回転域を越
えた回転域のモータ応答速度(周波数変化に対する回転
速度の追従性)が遅いため、この応答の遅い回転域に対
応した速度での掃引が限界であった。
【0011】本発明は、この課題を解決した超音波モー
タの駆動制御装置を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
、本発明の超音波モータの駆動制御装置は、超音波モー
タ内の圧電センサから出力される弾性波のレベルを検出
するレベル検出器と、超音波モータの回転子に連結され
、超音波モータの回転速度に対応した信号を出力する回
転速度検出器と、レベル検出器の出力が所定値より大き
いか否かを判定するレベル判定手段と、レベル検出器の
出力が所定値を越えたと判定されるまで、交流信号の周
波数を、所定周波数から所定の掃引速度で共振周波数方
向に掃引する第1の起動掃引手段と、回転速度検出器か
らの信号に対応した回転速度が目標回転速度に達したか
否かを判定する速度判定手段と、レベル検出器の出力が
所定値を越えたと判定されたときから、超音波モータの
回転速度が目標回転速度に達したと判定されるまで、交
流信号の周波数を、所定の掃引速度より遅い掃引速度で
共振周波数方向に掃引する第2の起動掃引手段とを備え
ている。
【0013】
【作用】したがって、超音波モータの弾性波のレベルが
所定値を越えるまでは、所定周波数から所定の掃引速度
で交流信号の掃引がなされ、レベル検出器の出力が所定
値を越えた後は、より遅い掃引速度で交流信号の掃引が
なされる。
【0014】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。図1は、一実施例の超音波モータの駆動制御装
置(以下、駆動制御装置と記す)20の構成を示すブロ
ック図である。
【0015】図1において、21は、後述するCPU3
0からの出力データに対応した電圧を出力するDA変換
器、22は、DA変換器21の出力電圧の変化に対して
逆方向に周波数変化する信号を発振出力するVCO(電
圧制御発振器)である。
【0016】23は、VCO22からの出力信号を1/
4分周することにより、90度位相の異なる交流信号を
発生する移相回路である。24、25は、移相回路23
の出力を増幅して超音波モータMの圧電体31 〜3n
 、41 〜4n にそれぞれ印加するドライバである
【0017】26は、圧電センサ6からの弾性波信号の
レベルを検出するレベル検出器、27は、レベル検出器
26の出力と、所定電圧Vr との大小を比較するコン
パレータである。この所定電圧Vr は、前述した図7
のKの位置に対応する弾性波振幅にほぼ等しい値に予め
設定されている。
【0018】超音波モータの回転子2には、回転子2の
回転速度に比例した周波数のパルス信号を出力するロー
タリエンコーダ28が連結されている。
【0019】29は、超音波モータMの目標速度を設定
するための速度設定器であり、超音波モータMが目標速
度で回転するときの、ロータリエンコーダ28のパルス
周期Tが設定される。
【0020】CPU30は、外部からの起動信号を受け
ると、コンパレータ27、ロータリエンコーダ28およ
び速度設定器29からの信号に基づく起動処理と定速処
理とを、メモリ31に記憶された処理手順に従って行う
【0021】図2は、CPU30の起動処理および定速
処理を示すフローチャートであり、以下、このフローチ
ャートに従って、駆動制御装置20の動作を説明する。
【0022】CPU30に対する起動信号がHレベルに
なると、DA変換器21に対する電圧データDが初期値
Do に設定される(ステップ1、2)。このため、電
圧データDo に対応した周波数(例えば図7のFs 
)の2相の交流信号が超音波モータMに印加される。
【0023】この交流信号の印加により、超音波モータ
Mの圧電センサ6からの弾性波信号がレベル検出器26
に出力され、その検出レベルは、コンパレータ27で所
定電圧Vr と比較される。
【0024】CPU30は、コンパレータ27出力がH
レベル(弾性波信号のレベルが所定電圧より大きい状態
)となるまで、電圧データをAずつ加算更新する(ステ
ップ3、4)。
【0025】この加算データAは、超音波モータMが低
回転域で応答速度できる最大の値に設定されており、こ
の加算更新処理によって超音波モータMに対する交流信
号の周波数は、図3のHa に示すようにFs からコ
ンパレータ27出力がHレベルとなる周波数Fk まで
、高速で掃引されることになる(第1の起動掃引手段)
【0026】コンパレータ27出力がHレベルになると
、CPU30は、ロータリエンコーダ28のパルス周期
tが速度設定器29に設定された周期Tに達するまで、
電圧データをBずつ加算更新する(ステップ5〜7)。
【0027】この加算データBは、超音波モータMの共
振特性の立ち上がり部分の回転域で応答できる最大の値
が設定されており、前述したようにこの回転域での応答
速度は、低回転域での応答速度より遅いため、加算デー
タAより小さな値となっている。
【0028】この加算更新処理によって、超音波モータ
Mに対する交流信号の周波数は、図3のHb に示すよ
うに、Ha の掃引速度よりも遅い掃引速度で周波数F
k から目標回転速度に対応した周波数Fm まで掃引
されることになる(第2の起動掃引手段)。
【0029】したがって、起動開始から目標回転速度に
達するまでの時間t1 は、図3のJに示すように、H
b と同じ傾きでFs から掃引した場合の到達時間t
2 よりも格段に短くて済む。
【0030】このようにして、超音波モータMが目標速
度まで起動されると、CPU30は、定速処理に移行す
る。
【0031】起動処理後には、ロータリエンコーダ28
のパルスの周期tが測定され、測定された周期tと設定
周期Tとの大小比較がなされる(ステップ8、9)。
【0032】ここで、t<Tであれば、回転速度が目標
速度より速いと判断されて、電圧データがCだけ減算更
新され、交流信号の周波数が高くなる(ステップ10)
。また、t<Tであれば、回転速度が目標速度より遅い
と判断され、電圧データがCだけ加算更新され、交流信
号の周波数が低くなる(ステップ11)。
【0033】以後は、この定速処理が継続し、超音波モ
ータMの回転速度は、常に目標回転速度に維持されるこ
とになる。
【0034】
【他の実施例】なお、前記実施例では、CPU30によ
る掃引制御を行なっていたが、これは本発明を限定する
ものではなく、例えば、コンデンサを定電流で充電ある
いは放電することによって得られる三角波状の掃引電圧
をVCO22に入力して、交流信号の周波数を掃引して
いる場合は、コンパレータ27の出力がHレベルになっ
たときに、充放電の時定数を大きな値に切り換えて、以
後の掃引速度を遅くするようにしてもよい。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波モ
ータの駆動制御装置は、超音波モータに印加する交流信
号の起動時における周波数の掃引速度を、低回転域では
高速度に行い、低回転域を越えてから目標回転速度まで
は低速度に行うようにしているため、目標速度に達する
までの時間を格段に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の一実施例の処理手順を示すフローチャ
ートである。
【図3】一実施例の動作を説明するための図である。
【図4】超音波モータの構成を示す概略斜視図である。
【図5】超音波モータの要部の正面図である。
【図6】超音波モータの動作を説明するための概略図で
ある。
【図7】超音波モータの駆動周波数に対する弾性波振幅
の特性を示す図である。
【符号の説明】
6    圧電センサ 20  超音波モータの駆動制御装置 22  VCO 23  移相回路 26  レベル検出器 27  コンパレータ 28  ロータリエンコーダ 29  速度設定器 30  CPU M    超音波モータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  超音波モータの圧電体に印加する交流
    信号の周波数を、所定周波数から前記圧電体の共振周波
    数方向に掃引して、前記超音波モータを目標回転速度ま
    で起動する超音波モータの駆動制御装置において、前記
    超音波モータ内の圧電センサの出力レベルを検出するレ
    ベル検出器と、前記超音波モータの回転子に連結され、
    超音波モータの回転速度に対応した信号を出力する回転
    速度検出器と、前記レベル検出器の出力が所定値より大
    きいか否かを判定するレベル判定手段と、前記レベル検
    出器の出力が所定値を越えたと判定されるまで、前記交
    流信号の周波数を、前記所定周波数から所定の掃引速度
    で前記共振周波数方向に掃引する第1の起動掃引手段と
    、前記回転速度検出器からの信号に対応した回転速度が
    前記目標回転速度に達したか否かを判定する速度判定手
    段と、前記レベル検出器の出力が前記所定値を越えたと
    判定されたときから、前記超音波モータの回転速度が前
    記目標回転速度に達したと判定されるまで、前記交流信
    号の周波数を、前記所定の掃引速度より遅い掃引速度で
    前記共振周波数方向に掃引する第2の起動掃引手段とを
    備えたことを特徴とする超音波モータの駆動制御装置。
JP2416326A 1990-12-27 1990-12-27 超音波モータの駆動制御装置 Pending JPH04251580A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2416326A JPH04251580A (ja) 1990-12-27 1990-12-27 超音波モータの駆動制御装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP2416326A JPH04251580A (ja) 1990-12-27 1990-12-27 超音波モータの駆動制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04251580A true JPH04251580A (ja) 1992-09-07

Family

ID=18524555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2416326A Pending JPH04251580A (ja) 1990-12-27 1990-12-27 超音波モータの駆動制御装置

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JP (1) JPH04251580A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002209392A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Canon Inc 振動波モータの駆動回路

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002209392A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Canon Inc 振動波モータの駆動回路

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