JPH04252048A - ダイシング装置 - Google Patents

ダイシング装置

Info

Publication number
JPH04252048A
JPH04252048A JP3001361A JP136191A JPH04252048A JP H04252048 A JPH04252048 A JP H04252048A JP 3001361 A JP3001361 A JP 3001361A JP 136191 A JP136191 A JP 136191A JP H04252048 A JPH04252048 A JP H04252048A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting water
cutting
foil
blade
wheel mount
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3001361A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2637850B2 (ja
Inventor
Katsuhiro Nishimura
勝博 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
Priority to JP136191A priority Critical patent/JP2637850B2/ja
Publication of JPH04252048A publication Critical patent/JPH04252048A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2637850B2 publication Critical patent/JP2637850B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Dicing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェハーを個片に
切断するダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイシング装置のホイル部は、図
２の断面図に示す様に、ホイルシャフト３にホイルマウ
ント１をはめ込み、このホイルマウント１にブレード２
をはめ込み、それぞれをホイルナット６で固定して取り
付ける構造になっている。そして、切削水ノズル４から
切削水５を噴出させ、半導体ウェハー１０の切削を行な
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のダイシ
ング装置は、切削水ノズルがブレードと一定距離を隔て
て設置されている。切削の際、高速でブレードが回転す
ると、半導体ウェハーの切削溝内で空気抵抗により空気
圧力が高くなり、この高圧空気の存在により、その外側
から切削水を噴射させても、切削構内のブレードと半導
体ウェハー間に切削水が入り込めないという問題があっ
た。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のダイシング装置
は、軸端面に開孔し内部に向けてテーパー状に広がる空
洞を有するホイルシャフトと、このホイルシャフトには
まりブレードとの間でハウジングを形成するホイルマウ
ントと、ホイルシャフトの開孔に向けて設置された切削
水ノズルとを備え、この切削水ノズルからの切削水が前
記空洞とハウジングとを接続する小孔を介してホイルマ
ウントの外周部のスリットからブレード面に沿って遠心
力で噴出する構造を有している。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。
【０００６】図１は本発明の一実施例のダイシング装置
のホイル部の断面図を示す。切削水５はホイルシャフト
３の端面に設置された切削水ノズル４から供給される。 ホイルシャフト３は、端面に切削水５を送り込む開孔を
有し、この開孔から内部に向けて広がるテーパー状の空
洞７を有する。ホイルシャフトは２〜３万ＲＰＭで回転
しており、ホイルシャフト３内に供給された切削水５は
、遠心力により空洞７のテーパーにそってホイルマウン
ト１側へ圧送される。
【０００７】圧送される切削水は、ホイルシャフト３の
径方向に開けられた切削水穴８およびホイルマウントに
開けられた穴を通じてホイルマウント内ハウジング９へ
送り込まれる。ホイルマウント内ハウジング９に圧送さ
れた切削水は、更にホイルマウントの遠心力により加圧
され、ホイルマウント外周に設けたスリットからブレー
ド２に沿って、かつ極めてブレードに近い位置に放出さ
れる。本実施例によれば、ホイル部周辺の切削水供給設
備を簡素化できるという効果がある。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、切削水ホ
イルシャフト内を通して送り込む事により、ブレード面
に沿って遠心力による切削水の高圧噴射が可能となり、
その結果、高圧空気が発生しにくくなって切削部への切
削水補給が確実に行えるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例におけるホイル部の断面図で
ある。
【図２】従来のダイシング装置におけるホイル部の断面
図である。
【符号の説明】
１　　　　ホイルマウント ２　　　　ブレード ３　　　　ホイルシャフト ４　　　　切削水ノズル ５　　　　切削水 ６　　　　ホイルナット ７　　　　テーパー状空洞 ８　　　　切削水穴 ９　　　　ハウジング １０　　　　半導体ウェハー

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　半導体ウェハーを個片に切断するダイ
    シング装置において、軸端面に開孔し内部に向けてテー
    パー状に広がる空洞を有するホイルシャフトと、このホ
    イルシャフトにはまりブレードとの間でハウジングを形
    成するホイルマウントと、前記ホイルシャフトの開孔に
    向けて設置された切削水ノズルとを備え、この切削水ノ
    ズルからの切削水が前記空洞とハウジングとを接続する
    小孔を介して前記ホイルマウントの外周部のスリットか
    ら前記ブレード面に沿って遠心力で噴出することを特徴
    とするダイシング装置。
JP136191A 1991-01-10 1991-01-10 ダイシング装置 Expired - Lifetime JP2637850B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP136191A JP2637850B2 (ja) 1991-01-10 1991-01-10 ダイシング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP136191A JP2637850B2 (ja) 1991-01-10 1991-01-10 ダイシング装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04252048A true JPH04252048A (ja) 1992-09-08
JP2637850B2 JP2637850B2 (ja) 1997-08-06

Family

ID=11499355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP136191A Expired - Lifetime JP2637850B2 (ja) 1991-01-10 1991-01-10 ダイシング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2637850B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0724725A (ja) * 1993-07-07 1995-01-27 Murata Mfg Co Ltd ダイシングソー及びダイシングブレード
JP2016043423A (ja) * 2014-08-20 2016-04-04 株式会社ディスコ 切削装置
JP2016132046A (ja) * 2015-01-16 2016-07-25 株式会社ディスコ マウントフランジ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0724725A (ja) * 1993-07-07 1995-01-27 Murata Mfg Co Ltd ダイシングソー及びダイシングブレード
JP2016043423A (ja) * 2014-08-20 2016-04-04 株式会社ディスコ 切削装置
JP2016132046A (ja) * 2015-01-16 2016-07-25 株式会社ディスコ マウントフランジ
CN105810577A (zh) * 2015-01-16 2016-07-27 株式会社迪思科 安装法兰

Also Published As

Publication number Publication date
JP2637850B2 (ja) 1997-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3983740A (en) Method and apparatus for forming a stream of identical drops at very high speed
JPWO2017154173A1 (ja) 基板吸着ステージ、基板処理装置、基板処理方法
JPH07156038A (ja) 工作機械の冷却集塵装置
JP6619061B1 (ja) 放電加工装置
JPH04252048A (ja) ダイシング装置
US4562958A (en) Method and device for spraying a liquid or a suspension
JP6511009B2 (ja) ノズル装置
JPH07214368A (ja) レーザ切断方法およびレーザ切断ノズル
JPH04201203A (ja) ダイシング装置
EP0623058A1 (en) ROTATING SPRAYER.
JPH0671563A (ja) 高速回転式の外周刃ブレードダイサー
KR102043616B1 (ko) 에어스핀들장치
SU1634464A1 (ru) Сопло дл абразивной обработки деталей
JPH07276146A (ja) ワイヤ放電加工機におけるワイヤ送り装置
JPH1190820A (ja) ウエーハ研磨用テンプレートと該テンプレートを利用したウエーハ剥がし方法
JPS6337093Y2 (ja)
SU1450877A1 (ru) Аэрозольный генератор
JP2537463B2 (ja) 熱可塑性樹脂ストランドの冷却移送切断装置
KR100718274B1 (ko) 매엽식 기판 처리 장치
JPS5912405B2 (ja) 深穴切削装置
JPH1064856A (ja) ダイシングソー支持装置
SU1323072A1 (ru) Аэрозольный генератор
JP2002126941A (ja) ブローチ盤用流体噴出装置
JPS6214368B2 (ja)
JPS5930625A (ja) ワイヤ−カツト放電加工機の放電液噴出器

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970304