JPH04253589A - レーザロボットの手首の配管装置 - Google Patents

レーザロボットの手首の配管装置

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JPH04253589A
JPH04253589A JP3009716A JP971691A JPH04253589A JP H04253589 A JPH04253589 A JP H04253589A JP 3009716 A JP3009716 A JP 3009716A JP 971691 A JP971691 A JP 971691A JP H04253589 A JPH04253589 A JP H04253589A
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wrist
annular chamber
liquid
gas
annular
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JP3009716A
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Inventor
Nobutoshi Torii
信利 鳥居
Akihiro Terada
彰弘 寺田
Yasuo Sasaki
康夫 佐々木
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
    • B23K26/0876Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
    • B23K26/0884Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least three axial directions, e.g. manipulators, robots

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザロボットの手首
の配管装置に関し、特に、レーザロボットの手首内に配
置されるレーザビームの進路変更用反射ミラーを冷却す
る冷却液の配管や手首先端に装着されるレーザビームの
出射装置に対するアシスト気体の供給用配管系を手首内
部及び手首外周にコンパクトに設けて配管と周辺機器と
の干渉問題を解消し、かつ、配管の損傷防止、冷却水漏
れ防止等を高い信頼性の下に達成できるレーザロボット
の手首の配管装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5(A)、(B)に図示のように、従
来よりレーザロボットは高エネルギーのレーザビームを
作業レーザとして用いるために、レーザビーム出射装置
5が装着されるロボット手首4の周囲には、レーザビー
ムの進路を変更させるための反射ミラー6を冷却する冷
却液を配管、供給し、また、レーザ加工用のアシストガ
スとして不活性気体を供給する配管路6が必要とされる
。そのために、これらの配管路7はフレキシブルチュー
ブ材を使用し、レーザロボットの夫々の可動部、即ち、
図示されていないロボット胴や上腕、又前腕3、手首4
等の動作自由度に対応して動作時に捩じりや引張等を吸
収できるように、充分な余裕長さを保有させて配管され
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】然るに、このように余
裕長さを与えたフレキシブル配管路7が、ロボット手首
4の周辺に介在すると、レーザ加工、その他のレーザ作
業の遂行に当たり、フレキシブル配管路7が周辺機器に
干渉し、また、ワークのレーザ溶接や切断等の加工時等
では発生するスパッタでフレキシブル配管が損傷又は破
損する等の事故が発生する危惧がある。このような危惧
を解消すべく、ロボット手首の鞘管内部に配管路を内蔵
させる改良を試みると、当該鞘管の径が大きくなりワー
クに対するロボット作業部先端は可及的に小径、軽量で
あることが機能的に要請されることに反する点、また、
内部配管路から冷却液が漏れた場合に機械内部へ液が侵
入して種々の障害の原因となる点等の問題が発生するた
め、実用化の段階には到達していない。
【0004】依って、本発明の主目的は、フレキシブル
配管による余裕長さを手首周辺に設ける欠点を排除しつ
つ、コンパクトな構造で手首周辺からレーザビーム出射
装置に到る領域にアシストガスや冷却液体の供給、回収
のための配管を設けることが可能なレーザロボットの手
首の配管装置を提供することにある。
【0005】本発明の他の目的は、冷却液が漏出してロ
ボット機体内部やレーザビーム出射装置等に障害を生起
させることがないような構成、作用を有したレーザロボ
ットの手首の配管装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上述した発明の目的に鑑
み、本発明は、レーザロボットの手首の鞘管内に複数の
シール手段を利用した環状室を設け、これらの環状室に
おける所定の環状室を気体環状室及び液体環状室として
形成し、これら環状室を経由してアシスト気体や冷却液
体の供給及び回収を行い得るようにして、配管路を固い
金属配管路の固定配置で、しかもロボット前腕や手首の
周囲に密着して設け得るように改善した構成を採ったも
のである。しかも、上記環状室の所定の室を手首の内管
側から送給する圧力空気の圧力作用室に形成し、圧力作
用室の間にシール手段を配置することにより該シール手
段に圧力を作用させ、気体環状室や液体環状室から気体
や液体の漏出が発生しないような構成にもできるのであ
る。
【0007】即ち、本発明によれば、レーザロボットの
前腕先端に少なくとも1つの軸心回りに旋回可能に設け
られ、先端にレーザ出射装置を有する手首にアシスト気
体、冷却液体等の作用媒体供給用配管を設けるレーザロ
ボットの手首の配管装置において、  前記ロボット前
腕の端部と前記手首の鞘管との関節結合部に設けられた
前記手首旋回支持用の回転軸受の軸心方向に適宜間隔を
設けて、前記手首鞘管に装填するように設けた複数のシ
ール手段と、前記複数のシール手段の外周にシール手段
保持用に装着された環状保持環と、前記複数のシール手
段における隣接した2つのシール手段の中間毎に配設さ
れた複数の環状室と、前記複数の環状室における所定の
環状室を気体環状室と液体環状室として該気体環状室及
び液体環状室とに連通して気体作用媒体の供給又は液体
作用媒体の供給を行うために、前記前腕周囲に匍匐して
固定、配置される第1の作用媒体供給管手段と、前記気
体環状室と液体環状室とから手首前方側又は前記レーザ
出射装置へ前記アシスト気体及び冷却液体を送給するよ
うに前記手首鞘管に密着、配設された第2の作用媒体供
給管手段とを、具備して構成されたことを特徴とするレ
ーザロボットの手首の配管装置が提供される。
【0008】本発明によれば、更に、レーザロボットの
前腕先端に少なくとも1つの軸心回りに旋回可能に設け
られ、先端にレーザ出射装置を有する手首にアシスト気
体、冷却液体等の作用媒体供給用配管を設けるレーザロ
ボットの手首の配管装置において、  前記ロボット前
腕の端部と前記手首の鞘管との関節結合部に設けられた
前記手首旋回支持用の回転軸受の軸心方向に適宜間隔を
設けて、前記手首鞘管に装填するように設けた複数のシ
ール手段と、前記複数のシール手段の外周にシール手段
保持用に装着された環状保持環と、前記複数のシール手
段における隣接した2つのシール手段の中間毎に配設さ
れた複数の環状室と、前記複数の環状室における所定の
環状室を気体環状室と液体環状室として該気体環状室と
液体環状室とに連通して気体作用媒体の供給又は液体作
用媒体の供給を行うために、前記前腕周囲に匍匐して固
定、配置される第1の作用媒体供給管手段と、前記気体
環状室と液体環状室とから手首前方側又は前記レーザ出
射装置へ前記アシスト気体及び冷却液体を送給するよう
に前記手首鞘管に密着、配設された第2の作用媒体供給
管手段と、前記複数の環状室における所定の環状室を圧
力環状室として前記気体環状室の前後及び前記液体環状
室の前後に設け、該圧力環状室に前記手首の鞘管の内側
に設けた内管から圧力空気の圧力を作用させるように該
内管に穿設された圧力空気路手段とを、具備して構成さ
れ、前記気体環状室及び液体環状室からのアシスト気体
及び冷却液体の漏れを防止したことを特徴とするレーザ
ロボットの手首の配管装置が提供される。以下、本発明
を添付図面に示す実施例に基づき、更に詳細に説明する
【0009】図1は、本発明のレーザロボットの手首の
配管装置の実施例を示す拡大断面図、図2は、図1の2
ー2線に沿う端面図、図3は、図1に示した配管装置を
備えたレーザロボットの前腕と手首部分との部分側面図
、図4は、レーザロボットの全体構成を示した側面図、
図5(A)、(B)は従来のレーザロボットの手首の配
管装置を示す側面図と平面図である。
【0010】先ず、図4を参照すると、レーザロボット
のロボット機体に関する全体構成が図示されている。同
図4において、レーザロボットの機体10は、ロボット
使用現場の床面等に固定されるロボット基台12、同ロ
ボット基台12に立設されて縦軸線(θ軸線)周りに旋
回可能なロボット胴14、同ロボット胴14の頂部の側
面に水平軸線(W軸線)周りに俯仰旋回可能なロボット
腕16、同ロボット腕16の先端部に装着され、少なく
とも1軸線周りに旋回自由度を有した手首18、同手首
18に具備されたレーザビーム出射装置20等を備えて
いる。このようなレーザロボットの機体10に対して、
レーザビームは外部のレーザビーム発振器から適宜のビ
ーム導管路を経てロボット胴14の頂部またはロボット
基台12の底部から導入され、ロボット胴14とロボッ
ト腕16との枢着部及び手首18の内部に設けられたビ
ーム進路変更用の反射ミラー(図示なし)を経てレーザ
ビーム出射装置20へ導かれている。
【0011】また、レーザロボットに必須の反射ミラー
冷却用の冷却液、レーザ加工時のアシスト用不活性気体
(以下、アシスト気体)、機体10の内部のレーザビー
ム導管路内を加圧状態に保持して反射ミラーの清浄度を
維持し、外部からの塵埃侵入を防止する加圧空気等は夫
々、機体10の外部から夫々の管路を経てロボット基台
12に接続され、導入されている。このとき、加圧空気
は機体内のビーム管路を経てレーザ出射装置20の出射
口から外部に流出され、冷却液は配液管路により機体内
部の夫々の反射ミラーに誘導されて反射ミラーを冷却し
、再び、帰還管路を経て機外の液源へ帰還されるように
配管され、このとき、後述のように、ロボット腕16の
適宜箇所で腕外部に導かれ、腕表面を匍匐する配管で手
首18まで配管される構成になっている。更に、アシス
ト気体はレーザビーム出射装置20からワークのレーザ
加工部へレーザビームと共に噴出されるように機体内部
を通過し、ロボット腕16の適宜位置から外部に出て、
後述する配管路でレーザビーム出射装置20へ供給され
ている。
【0012】図3は、本発明に係る配管装置を具備した
ロボット腕16の先端部、同ロボット腕16の中心軸線
(α軸線)周りとそれに直交した軸線(β軸線)周りに
旋回可能な動作自由度を有した手首18及びレーザビー
ム出射装置20を図示したものであり、図5(A)、(
B)との比較から明らかなように、冷却液及びアシスト
機体の供給及び帰還用の配管類22、24、24’、2
6、26’、28、30、32がステンレス管等の金属
製管からなる剛性管により形成され、ロボット腕16や
手首18の周囲に密着した状態で匍匐、配管されている
様子を示している。また、手首18に設けられて冷却液
による冷却作用を受ける反射ミラー34、36も示され
ている。上述のように、配管類22〜32がロボット腕
16や手首18の周囲に密着して余裕長を与えること無
く配管可能になった理由は、後述の如く、本発明により
手首18の関節、結合部の内部に新規な配管構造が採り
入れられたことに由来するものであり、以下においては
、上記関節、結合部の内部に設けられた新規な配管構造
に就いて図1、図2を参照して説明する。
【0013】図1、図2において、ロボット腕16の端
部に結合される手首結合管41は、内部に空洞構造のギ
ヤ室を有し、同ギヤ室の内部に手首18の中空な鞘管4
2の内端が回転軸受60により回転可能に支持されてい
る。つまり、手首18の鞘管42が、α軸線周りに回転
可能に設けられているのである。また、上記鞘管42の
内部には、同軸に中空内管44が配設され、回転軸受6
2により回転可能に支持され、オイルシール80により
封止されている。また、図示されていないが、中空管4
4の端部モ回転軸受(図示なし)により支持され、同様
なオイルシールにより封止されている。この内管44の
内部はレーザビームの導管路として形成されると共に腕
16内を送給された加圧空気により大気圧より高圧状態
に維持されている。なお、ロボット腕16の端部のギヤ
室内に臨んだ上記鞘管42及び内管44の端部には夫々
手首駆動ギヤ64、66が図示例では、ボルトねじから
成る固定手段により取付けられ、鞘管42、内管44の
旋回駆動力がロボット腕16側のギヤ(図示に現れない
)から伝達される構成にあり、これらの駆動ギヤ64、
66は、ギヤ室内に充填された潤滑用グリースで潤滑さ
れている。
【0014】さて、鞘管42はギア室から出た部位にフ
ランジ部42aを有し、このフランジ部42aと回転軸
受60との間に第1オイルシール70、第2オイルシー
ル72、第3オイルシール74、第4オイルシール76
、第5オイルシール78の5つのオイルシールが鞘管4
2の軸線方向に間隔を空けて装着され、また、内管44
に関する回転軸受62にも隣接してオイルシール80が
装着されており、更に、内管44とロボット腕16のギ
ヤ室壁との間にも潤滑グリースの漏出を防止するオイル
シール82が設けられている。鞘管42の第1のオイル
シール70は、ギヤ室に充填された潤滑グリースと回転
軸受60の隣室部に充填された潤滑グリースがフランジ
部42a側に漏出するのを防止している。上述した第1
〜第5のオイルシール70〜78は、ロボット腕16の
端面とフランジ部16aの端面との間における鞘管42
の外周に取付けられたオイルシール保持環46によって
所定の位置にラジアル方向から押圧、保持されており、
従って、第1のオイルシール70と第2のオイルシール
72の間には第1の環状室84が形成され、以下順次に
、第2オイルシール72と第3オイルシール74との間
には第2の環状室86が形成れ、第3オイルシール74
と第4オイルシール76との間には第3の環状室88が
、第4オイルシール76と第5オイルシール78との間
には第4環状室90が夫々、形成されている。
【0015】ここで、第1、第3の環状室84、88は
、鞘管42の周壁に円周方向に適当間隔で穿設された複
数の通孔48、50及び内管44の周壁に同じく円周方
向に適当間隔で穿設された複数の通孔52を介して内管
44の内部の高圧状態に維持されたレーザビーム管路に
連通している。従って、上記の第1、第3の環状室84
、88は内管44の内部と同様な加圧空気の作用を受け
、それら環状室を形成しているオイルシール70、72
、74、76に圧力を及ぼしている。
【0016】他方、第2、第4の環状室86、90はオ
イルシール保持環46に穿設された流体口54a、54
bに取付けた配管継手22a、24a、24’a、を経
て既述の外部剛性配管22、24(図3参照)に連通し
、かつ、鞘管42のフランジ部42aから軸方向に穿設
された流路56a、56b、56c、配管継手26a、
26’a、28aを経て同フランジ部42aに結合され
た既述の剛性管26、26’、28(図3)に連通して
いる。本実施例では第2の環状室86には剛性管22か
ら供給されるアシスト気体が供給され、環状室86内を
このアシスト気体が充満し、流路56aを経て剛性管2
8により手首18の先端に向けて送給されている。この
アシスト気体は更に図3に示した剛性配管32を経てレ
ーザビーム出射装置20に供給される。つまり、第2の
環状室86は、剛性管22から28へのアシスト気体の
受渡し室を手首18の内部に形成し、手首18がロボッ
ト腕16に対して旋回した場合にも、配管系に捩れや引
張を誘起することなく、気体搬送を可能にしているので
ある。
【0017】同様に、第4環状室90は剛性管24から
流体口54aを介して供給される冷却液体を流路56b
、配管継手26aを経て剛性管26へ供給し、手首18
の反射ミラー34へ冷却媒体として供給している。この
冷却液は更に、図3の剛性配管30を経て他の反射ミラ
ー36を冷却し、その後、剛性配管26’を帰還して一
旦、第4環状室90に入り、更に剛性帰還管24’を経
由してロボット機体10内を経由して冷却液源へ帰還し
ている。つまり、第4の環状室90は、手首18の内部
に冷却液受渡し室を形成しているのである。
【0018】上述の説明から明らかなように、本発明に
より、手首18の鞘管42や内管44の内部にオイルシ
ール手段を利用して形成した環状室84〜90が設けら
れたことにより、ロボット腕16の外周に匍匐、配設し
た金属管から成る剛性管22、24や手首18の外周に
匍匐、配設した同様の剛性管22を気体、液体の供給搬
送や帰還搬送に用いることが可能になり、従来は余裕長
を付与したフレキシブル配管を設けた場合に比較して配
管系を腕、手首の周囲に密着して配管でき、しかも、複
数の環状室84〜90が鞘管42の軸線方向に列設され
ているから、鞘管42の径の増大を来すこともなく、全
体的にコンパクト化が可能になると共に、ステンレス管
等の金属剛性管であれば、レーザ加工時のスパッタ飛散
により、損傷される危惧も解消されるのである。
【0019】しかも、上述した鞘管42の周囲に形成さ
れた第1、第3の環状室84、88が内管44の内部を
流動する防塵用の加圧空気を利用、導入して大気圧より
高圧状態に維持される構成が設けられていることから、
第1〜第4のオイルシール70〜76に圧力の平衡化を
付与してシール性能を向上させており、又、オイルシー
ル78も鞘管42のフランジ部42aに近接されている
のでスパッタ等によるオイルシールの破損を防止してい
る。このように、シール手段のシール性が向上される構
成が採られているから、アシスト気体や冷却液の受渡し
室である第2、第4の環状室86、90に対する気体や
液体の漏出防止性能が向上し、手首18の内部への水漏
れ問題が発生する危惧が見事に解消されているのである
。しかも、上述のように加圧空気の一部利用は新たに余
分な加圧空気源を要しないので、既存設備の利用度を向
上させているのである。
【0020】更に、第4環状室90の隣へ第5環状室を
設け、加圧空気を充満する構造とすることにより、内部
への液漏れだけでなく、外部への液漏れ等に対しても性
能を向上させることができる。
【0021】なお、図4は、図3の4ー4線による端面
の構成を示し、鞘管42のフランジ部42aに形成され
た流路56a、56b及び図3には図示されていない冷
却液の帰還流路56cが示されている。ここで、注意す
べき点は、図3では図示の便宜上からアシスト気体の流
路56aと冷却液の流路56bが鞘管42のフランジ部
42aにおける略直径方向の両側に設けられているよう
に図示されているが、実際には図4に示すように両者は
略隣接して設けられ、冷却液の帰還流路56cが流路5
6bに対して周方向に略半周分だけ隔てた位置に配置さ
れているのである。
【0022】以上、本発明の最も典型的な実施例を図示
に基づき説明したが、同様な構成は手首18において、
β軸線を旋回軸線とする手首先端側の結合部にも配管2
8と30、32との間でアシスト気体及び冷却液を授受
する内部配管構造としてオイルシール手段を利用した複
数の環状室の形成により実現されていることは言うまで
もない。なお、変形実施例として、図6(A)、(B)
に示すように、手首を構成する鞘管42の外周に軸方向
に溝100を設け、これをシール部材102、102を
介してカバー104で被覆することにより、鞘管42の
外周を直接の配管路とした構成を採ることも可能である
【0023】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、レーザロボットの手首の鞘管内に複数のオイルシー
ルから成るシール手段を利用した環状室を設け、これら
の環状室における所定の環状室をアシスト気体の受渡し
環状室及び冷却液体の受渡し環状室として形成し、これ
ら環状室を経由してアシスト気体や冷却液体の供給及び
回収を行い得るようにして、配管路をステンレス管等の
固い金属配管路の固定配置で、しかもロボット前腕や手
首の周囲に密着して設け得るように改善した構成を採り
、又は手首を構成する鞘管の外周に軸方向に溝を設け、
これをシール部材を介してカバーすることにより、鞘管
外周を直接の配管路とした構成を採り、しかも、上記環
状室の所定の環状室を手首の内管側から送給する防塵用
圧力空気の圧力作用室に形成し、圧力作用室の間に上記
シール手段を配置することにより該シール手段に圧力を
作用させ、気体環状室や液体環状室から気体や液体の漏
出が発生しないような構成にもしているので、従来のフ
レキシブル管を余裕長さを付与して配設した手首配管装
置に対比して構造のコンパクト化、配管類の損傷防止、
手首内部における冷却液やアシストガスの漏出防止等の
諸効果を奏することができるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザロボットの手首の配管装置の実
施例を示す拡大断面図である。
【図2】図1の2ー2線に沿う端面図である。
【図3】図1に示した配管装置を備えたレーザロボット
の前腕と手首部分との部分側面図である。
【図4】レーザロボットの全体構成を示した側面図であ
る。
【図5】(A)、(B)は従来のレーザロボットの手首
の配管装置を示す側面図と平面図である。
【図6】(A)は、本発明の配管装置の変形例を示す部
分断面解説図であり、(B)は、(A)図の6ー6線に
よる断面図である。
【符合の説明】
16…ロボット腕、18…手首、20…レーザビーム出
射装置、22…剛性管、24…剛性管、26…剛性管、
28…剛性管、42…鞘管、42a…フランジ部、44
…内管、46…オイルシール保持環、48…通孔、50
…通孔、52…通孔、60…回転軸受、62…回転軸受
、70…第1オイルシール、72…第2オイルシール、
74…第3オイルシール、76…第4オイルシール、7
8…第5オイルシール、84…第1環状室、86…第2
環状室、88…第3環状室、90…第4環状室。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  レーザロボットの前腕先端に少なくと
    も1つの軸心回りに旋回可能に設けられ、先端にレーザ
    出射装置を有する手首にアシスト気体、冷却液体等の作
    用媒体供給用配管を設けるレーザロボットの手首の配管
    装置において、前記ロボット前腕の端部と前記手首の鞘
    管との関節結合部に設けられた前記手首旋回支持用の回
    転軸受の軸心方向に適宜間隔を設けて、前記手首鞘管に
    装填するように設けた複数のシール手段と、前記複数の
    シール手段の外周にシール手段保持用に装着された環状
    保持環と、前記複数のシール手段における隣接した2つ
    のシール手段の中間毎に配設された複数の環状室と、前
    記複数の環状室における所定の環状室を気体環状室と液
    体環状室として該気体環状室及び液体環状室とに連通し
    て気体作用媒体の供給又は液体作用媒体の供給を行うた
    めに、前記前腕周囲に匍匐して固定、配置される第1の
    作用媒体供給管手段と、前記気体環状室と液体環状室と
    から手首前方側又は前記レーザ出射装置へ前記アシスト
    気体及び冷却液体を送給するように前記手首鞘管に密着
    、配設された第2の作用媒体供給管手段とを、具備して
    構成されたことを特徴とするレーザロボットの手首の配
    管装置。
  2. 【請求項2】  前記液体環状室は、前記第2の作用媒
    体供給管手段と連通する冷却液体の供給口と、前記手首
    前方側又は前記レーザ出射装置から帰還管路手段を介し
    て帰還した冷却液体の回収口とを具備した請求項1に記
    載のレーザロボットの手首の配管装置。
  3. 【請求項3】  レーザロボットの前腕先端に少なくと
    も1つの軸心回りに旋回可能に設けられ、先端にレーザ
    出射装置を有する手首にアシスト気体、冷却液体等の作
    用媒体供給用配管を設けるレーザロボットの手首の配管
    装置において、前記ロボット前腕の端部と前記手首の鞘
    管との関節結合部に設けられた前記手首旋回支持用の回
    転軸受の軸心方向に適宜間隔を設けて、前記手首鞘管に
    装填するように設けた複数のシール手段と、前記複数の
    シール手段の外周にシール手段保持用に装着された環状
    保持環と、前記複数のシール手段における隣接した2つ
    のシール手段の中間毎に配設された複数の環状室と、前
    記複数の環状室における所定の環状室を気体環状室と液
    体環状室として該気体環状室と液体環状室とに連通して
    気体作用媒体の供給又は液体作用媒体の供給を行うため
    に、前記前腕周囲に匍匐して固定、配置される第1の作
    用媒体供給管手段と、前記気体環状室と液体環状室とか
    ら手首前方側又は前記レーザ出射装置へ前記アシスト気
    体及び冷却液体を送給するように前記手首鞘管に密着、
    配設された第2の作用媒体供給管手段と、前記複数の環
    状室における所定の環状室を圧力環状室として前記気体
    環状室の前後及び前記液体環状室の前後に設け、該圧力
    環状室に前記手首の鞘管の内側に設けた内管から圧力空
    気の圧力を作用させるように該内管に穿設された圧力空
    気路手段とを、具備して構成され、前記気体環状室及び
    液体環状室からのアシスト気体及び冷却液体の漏れを防
    止したことを特徴とするレーザロボットの手首の配管装
    置。
  4. 【請求項4】  前記複数のシール手段における少なく
    とも前記手首の鞘管の最内端側に設けたシール手段は、
    前記々腕の端部に設けた手首駆動機構の潤滑グリースを
    封止するオイルシールとして設けられている請求項3に
    記載のレーザロボットの手首の配管装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007080986A1 (ja) * 2006-01-13 2007-07-19 Nabtesco Corporation 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3607929B2 (ja) * 2001-01-31 2005-01-05 ビー・エル・オートテック株式会社 ロータリジョイント
US7550693B2 (en) * 2005-02-04 2009-06-23 Honeywell International Inc. Hand-held laser welding wand with improved optical assembly serviceability features
US20070169806A1 (en) * 2006-01-20 2007-07-26 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell production using non-contact patterning and direct-write metallization
US20080116182A1 (en) * 2006-11-21 2008-05-22 Palo Alto Research Center Incorporated Multiple Station Scan Displacement Invariant Laser Ablation Apparatus
US10953491B2 (en) * 2008-08-20 2021-03-23 Foro Energy, Inc. High power laser offshore decommissioning tool, system and methods of use
US7999175B2 (en) * 2008-09-09 2011-08-16 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated back contact silicon solar cells with laser ablated grooves
US9150966B2 (en) * 2008-11-14 2015-10-06 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell metallization using inline electroless plating
US20110216401A1 (en) * 2010-03-03 2011-09-08 Palo Alto Research Center Incorporated Scanning System With Orbiting Objective
US8962424B2 (en) 2011-03-03 2015-02-24 Palo Alto Research Center Incorporated N-type silicon solar cell with contact/protection structures
DE112013007410B4 (de) * 2013-10-15 2020-01-30 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Kühlsystem für ein optisches Element einer Laseranlage und Anordnung einer Laseranlage mit einem Kühlsystem
EP3257616A1 (de) * 2016-06-18 2017-12-20 Wsoptics GmbH Laserbearbeitungskopf mit gekühlten optischen komponenten und verfahren zum betreiben eines laserbearbeitungskopfes

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4642445A (en) * 1985-06-28 1987-02-10 Westinghouse Electric Corp. Shielding apparatus for metal processing operations
US4695701A (en) * 1986-03-17 1987-09-22 Cincinnati Milacron Inc. Laser wrist
US4661681A (en) * 1986-10-06 1987-04-28 Cincinnati Milacron Inc. Robotic marking machine
JPH0248295A (ja) * 1988-08-08 1990-02-19 Matsumoto Kokan Kk ドッグ用盤木
JPH0275490A (ja) * 1988-09-07 1990-03-15 Fanuc Ltd レーザビーム中継ユニット
JPH0248295U (ja) * 1988-09-22 1990-04-03
JPH02179380A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Fanuc Ltd レーザーロボットの手首軸構造

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007080986A1 (ja) * 2006-01-13 2007-07-19 Nabtesco Corporation 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置
US8156840B2 (en) 2006-01-13 2012-04-17 Nabtesco Corporation Drive apparatus of substrate carrying robot including cooling circulation path
JP5096930B2 (ja) * 2006-01-13 2012-12-12 ナブテスコ株式会社 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置

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EP0531534B1 (en) 1996-05-08
DE69210513T2 (de) 1996-12-12
EP0531534A4 (en) 1993-06-30

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