JPH04255B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はレーザ光を利用して加工を行うレーザ
加工機等に用いられるチヨツパーミラーに関する
ものである。

従来例の構成とその問題点 チヨツパーミラーはレーザ光が透過または反射
する部分より構成されており、一本のレーザ光を
２つ以上に分割するためのものである。ここで、
第１図にチヨツパーミラーの従来例を示す。同図
ａは正面図、同図ｂは同図ａのＡ−A′における
断面図である。基板１上に、透過用の穴２を空け
ている。基板１は表面を鏡面加工し反射率を98％
以上にしたものである。センター３を軸中心とし
て回転し、レーザー光をチヨツピングする。この
チヨツパーミラーの場合には、次のような問題点
がある。第１に基板１に穴加工をするため、基板
１の平面度が良く出来ず、また経年変化も起こ
る。第２にチヨツパーミラーを回転して用いる場
合に穴２があるために風切り音が発生し、騒音と
なる。また、空気を引き込むことになり反射面に
空気が当たり空気中の埃などが鏡面を傷つける。
第３に基板１の厚みによりビームをケルことにな
るため穴形状が必要以上に大きくなり、チヨツパ
ーミラーの形状が大きなものになる。

発明の目的 本発明は、以上に示した問題点を解決し、高精
度で長寿命であり、騒音を発生しないチヨツパー
ミラーを提供することを目的とするものである。

発明の構成 レーザ光を透過する基板表面上の一部にレーザ
光を反射する物質を形成し、前記基板を回転させ
ることでレーザ光を透過または反射によつて２方
向に分割することによつて、上記目的を達成する
チヨツパーミラーを提供するものである。

実施例の説明 第２図に本発明の一実施例におけるチヨツパー
ミラーの概観図を示す。この実施例はレーザ光と
してCO₂レーザを用いた場合のチヨツパーミラー
である。基板４の素材としてはCO₂レーザ光を透
過するZnSeである。表面は研磨し、レーザ光を
透過する際損傷しないようになつている。その表
面の一部に反射部５として、金を蒸着している。
金を蒸着していない領域は透過部６となる。第３
図に本実施例のチヨツパーミラーがレーザ光を分
割する例を示す。レーザ光７は反射部５で反射し
レーザ光７−１となり、一方透過部６ではレーザ
光７−２として進む。このように構成されるチヨ
ツパーミラーは基板４上に窓用の穴加工を必要と
しないため、表面の平面度を良くすることが可能
であり、さらに回転して用いる場合に動バランス
が良いため高精度な回転が可能となり、チヨツパ
ーミラーとして高精度なものとなる。また加工に
より歪がないため、平面度の経年変化もない。基
板４がレーザ光を透過するため基板４の厚さに変
化なくチヨツパーミラー径を決定できるため小型
化ができる。

また本実施例のチヨツパーミラー表面には凹凸
がないため、高速回転した際に風切り音を発生せ
ず、騒音の問題がない。また回転している際に引
き込む空気量が少ないので、空気中の埃などによ
り表面を損傷することが少なくなる。

なお本発明の基板としては使用されるレーザ光
を透過する物質であれば他のものであつても良い
ことはもちろんである。

発明の効果 以上要するに本発明はレーザ光を透過する物質
よりなる基板表面上の一部にレーザ光を反射する
物質を形成し、前記基板を回転させることでレー
ザ光を透過または反射によつて２方向に分割する
チヨツパーミラーを提供するもので高精度であ
り、それを長く保つことができ、また騒音の発生
を押えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは従来のチヨツパーミラーの正面図、
同図ｂは同図ａのＡ−A′における断面図、第２
図は本発明の一実施例におけるチヨツパーミラー
の正面図、第３図は本実施例によるレーザ光を分
割する例を説明する図である。 ４……基板、５……反射部、６……透過部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ レーザ光を透過する基板表面上の一部にレー
   ザ光を反射する物質を形成し、前記基板を回転さ
   せることでレーザ光を透過または反射によつて２
   方向に分割するチヨツパーミラー。