JPH0425628Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425628Y2 JPH0425628Y2 JP5198787U JP5198787U JPH0425628Y2 JP H0425628 Y2 JPH0425628 Y2 JP H0425628Y2 JP 5198787 U JP5198787 U JP 5198787U JP 5198787 U JP5198787 U JP 5198787U JP H0425628 Y2 JPH0425628 Y2 JP H0425628Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- subject
- jig
- liquid
- test liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は電子部品や電子機器などの気密封止試
験に際し、被検体を載置するのに使用する気密封
止試験用治具に関する。
験に際し、被検体を載置するのに使用する気密封
止試験用治具に関する。
一般に半導体素子では、半導体チツプをセラミ
ツクスや樹脂などのケース内に封止して用いられ
ているが、ケース気密不良が生じると、チツプの
表面劣化や配線パターン不良が発生する。このた
め、従来から半導体素子を気密封止試験装置に供
することが行われている。
ツクスや樹脂などのケース内に封止して用いられ
ているが、ケース気密不良が生じると、チツプの
表面劣化や配線パターン不良が発生する。このた
め、従来から半導体素子を気密封止試験装置に供
することが行われている。
第３図はこの従来装置の一例の斜視図である。
図示の通り、上面が開放可能で前面がガラス窓２
とされた液槽１内に、フロロカーボンなどの不活
性かつ低表面張力の検査液３が、約125℃の高温
度状態で貯留されている。半導体素子（例えば
LCC）などの被検体４はこの検査液３に浸漬さ
れ、被検体４からの気泡の発生によつて気密封止
不良の検査を行うようになつている。そこで、被
検体４を検査液３に浸漬させるための治具５が使
用される。そして、従来の治具５は液槽１の上端
部に掛止されるアーム５ａと、アーム５ａの下端
部に取り付けられ被検体４が載置される支持板５
ｂとからなつている。
図示の通り、上面が開放可能で前面がガラス窓２
とされた液槽１内に、フロロカーボンなどの不活
性かつ低表面張力の検査液３が、約125℃の高温
度状態で貯留されている。半導体素子（例えば
LCC）などの被検体４はこの検査液３に浸漬さ
れ、被検体４からの気泡の発生によつて気密封止
不良の検査を行うようになつている。そこで、被
検体４を検査液３に浸漬させるための治具５が使
用される。そして、従来の治具５は液槽１の上端
部に掛止されるアーム５ａと、アーム５ａの下端
部に取り付けられ被検体４が載置される支持板５
ｂとからなつている。
ところで気密封止の検査に際しては、気泡の漏
泄のみならず、その漏泄位置の確認も必要となつ
ている。しかしながら、従来の治具を使用した場
合には、被検体４の上面および側面から生じる気
泡の発生位置の確認は可能であるが、底面から気
泡が生じる場合には、その位置の確認ができない
不都合がある。このため従来は、被検体４を転倒
させたり角度を変えたりするため、その都度、高
温の検査液３に浸漬させる必要があつた。その結
果、検査時間が長くなると共に、検査液への出し
入れに伴なつて熱衝撃が蓄積される問題を生じて
いる。
泄のみならず、その漏泄位置の確認も必要となつ
ている。しかしながら、従来の治具を使用した場
合には、被検体４の上面および側面から生じる気
泡の発生位置の確認は可能であるが、底面から気
泡が生じる場合には、その位置の確認ができない
不都合がある。このため従来は、被検体４を転倒
させたり角度を変えたりするため、その都度、高
温の検査液３に浸漬させる必要があつた。その結
果、検査時間が長くなると共に、検査液への出し
入れに伴なつて熱衝撃が蓄積される問題を生じて
いる。
そこで、本考案は被検体の底面から気泡が漏出
する場合には、その位置確認が直ちに可能な検査
用治具を提供することを目的としている。
する場合には、その位置確認が直ちに可能な検査
用治具を提供することを目的としている。
本考案に係かる気密封止試験用治具は、被検体
を載置した状態で検査液に被検体を浸漬させる治
具であつて、上記被検体の載置面が検査液と略同
等の屈折率を有する網体で形成されていることを
特徴としている。
を載置した状態で検査液に被検体を浸漬させる治
具であつて、上記被検体の載置面が検査液と略同
等の屈折率を有する網体で形成されていることを
特徴としている。
被検体の底面から生じる気泡は網体を通過し、
網体は検査液と略同等の屈折率を有する。従つ
て、その漏出位置を外部から透視でき、その位置
確認が行われるよう作用する。
網体は検査液と略同等の屈折率を有する。従つ
て、その漏出位置を外部から透視でき、その位置
確認が行われるよう作用する。
以下、本考案の一実施例を第１図および第２図
を参照して具体的に説明する。なお、図面の説明
において同一要素には同一符号を付し、重複する
説明を省略する。
を参照して具体的に説明する。なお、図面の説明
において同一要素には同一符号を付し、重複する
説明を省略する。
第１図は本考案の一実施例の斜視図であり、第
２図はその使用状態の斜視図である。図示の通り
この治具１０は、アーム１１とアーム１１の下端
部に取り付けられた枠体１３とによつて形成され
ている。アーム１１は後述するように液槽１の上
端部に掛止されるものであり、その上端部には後
側に屈曲するフツク部１１ａが形成されている。
枠体１３はアーム１１の下端部から水平方向に延
びるように取り付けられており、その内側には網
体１２が張設されている。
２図はその使用状態の斜視図である。図示の通り
この治具１０は、アーム１１とアーム１１の下端
部に取り付けられた枠体１３とによつて形成され
ている。アーム１１は後述するように液槽１の上
端部に掛止されるものであり、その上端部には後
側に屈曲するフツク部１１ａが形成されている。
枠体１３はアーム１１の下端部から水平方向に延
びるように取り付けられており、その内側には網
体１２が張設されている。
ここで、網体１２は気泡漏出検査を行う検査液
３と略同等の屈折率を有する線材がネツト状に編
成されることで形成されており、より好ましくは
透明又は半透明の線材が編成されて構成されてい
る。この網体１２は被検体４が載置される載置面
となつており、被検体４の底面から気泡が漏泄し
ても、網目を通過して網体１２の下方に達するこ
とができるようになつている。
３と略同等の屈折率を有する線材がネツト状に編
成されることで形成されており、より好ましくは
透明又は半透明の線材が編成されて構成されてい
る。この網体１２は被検体４が載置される載置面
となつており、被検体４の底面から気泡が漏泄し
ても、網目を通過して網体１２の下方に達するこ
とができるようになつている。
このような治具１０は第２図に示すように、被
検体４が網体１２上に載置された状態で使用され
る。すなわち、液槽１内の検査液３に被検体４が
浸漬されるようにアーム１１を液槽１に掛止さ
せ、被検体４からの気泡を確認する。ここで、液
槽１の前面はガラス窓２となつていると共に、内
面には耐熱鏡などの反射面６が帯状に形成されて
おり、被検体４は反射面６の延長線上に位置する
ように浸漬される。
検体４が網体１２上に載置された状態で使用され
る。すなわち、液槽１内の検査液３に被検体４が
浸漬されるようにアーム１１を液槽１に掛止さ
せ、被検体４からの気泡を確認する。ここで、液
槽１の前面はガラス窓２となつていると共に、内
面には耐熱鏡などの反射面６が帯状に形成されて
おり、被検体４は反射面６の延長線上に位置する
ように浸漬される。
この状態で被検体４の底面から気泡が生じる
と、この気泡は何ら支障なく網体１２を通過して
検査液３中に出る。ここで、網体１２は検査液と
略同一の屈曲率を有しているのでゆがめられるこ
とがなく、ガラス窓２あるいは反射面６を通じ
て、その漏出位置が正確に確認できる。従つて、
気泡の漏出位置が直ちに、しかも確実に確認でき
るので、検査時間が短縮されると共に、検査液へ
の浸漬時間が短くなるだけでなく浸漬回数も減少
し、従つて被検体への熱的なストレスを低減する
ことができる。
と、この気泡は何ら支障なく網体１２を通過して
検査液３中に出る。ここで、網体１２は検査液と
略同一の屈曲率を有しているのでゆがめられるこ
とがなく、ガラス窓２あるいは反射面６を通じ
て、その漏出位置が正確に確認できる。従つて、
気泡の漏出位置が直ちに、しかも確実に確認でき
るので、検査時間が短縮されると共に、検査液へ
の浸漬時間が短くなるだけでなく浸漬回数も減少
し、従つて被検体への熱的なストレスを低減する
ことができる。
本考案は上記実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。
く、種々の変形が可能である。
例えば、アーム１１の長さを調整可能としても
よい。また、網体１２を多段状あるいはアーム１
１の両側に設け、多数の被検体の同時検査を行う
ようにしてもよい。
よい。また、網体１２を多段状あるいはアーム１
１の両側に設け、多数の被検体の同時検査を行う
ようにしてもよい。
以上、詳細に説明したとおり本考案は、被検体
の載置面を検査液と略同等の屈折率の網体で形成
したので、被検体の底面から漏泄する気泡の位置
確認を、正確かつ確実に行うことができる効果が
ある。
の載置面を検査液と略同等の屈折率の網体で形成
したので、被検体の底面から漏泄する気泡の位置
確認を、正確かつ確実に行うことができる効果が
ある。
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
その使用状態の斜視図、第３図は従来例の使用状
態の斜視図である。 ３……検査液、４……被検体、１０……気密封
止試験用治具、１２……網体。
その使用状態の斜視図、第３図は従来例の使用状
態の斜視図である。 ３……検査液、４……被検体、１０……気密封
止試験用治具、１２……網体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被検体を載置した状態で検査液に前記被検体を
浸漬させる気密封止試験用治具において、 前記被検体の載置面が前記検査液と略同等の屈
折率を有する網体で形成されていることを特徴と
する気密封止試験用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5198787U JPH0425628Y2 (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5198787U JPH0425628Y2 (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63159741U JPS63159741U (ja) | 1988-10-19 |
| JPH0425628Y2 true JPH0425628Y2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=30876757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5198787U Expired JPH0425628Y2 (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425628Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-04-06 JP JP5198787U patent/JPH0425628Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63159741U (ja) | 1988-10-19 |
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